JPS5891390A - バキユ−ム機械 - Google Patents
バキユ−ム機械Info
- Publication number
- JPS5891390A JPS5891390A JP18854481A JP18854481A JPS5891390A JP S5891390 A JPS5891390 A JP S5891390A JP 18854481 A JP18854481 A JP 18854481A JP 18854481 A JP18854481 A JP 18854481A JP S5891390 A JPS5891390 A JP S5891390A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- casing
- low
- gas
- suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 13
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 13
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 4
- 238000005192 partition Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 210000004709 eyebrow Anatomy 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/082—Details specially related to intermeshing engagement type pumps
- F04C18/084—Toothed wheels
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/04—Heating; Cooling; Heat insulation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Rotary-Type Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は平行２軸にて等しい位相で逆回転するロータに
て圧縮作動をするルーツ型バキューム機械の改良に関す
る０従来の方式は吸入気体ｔａ引してきたロータ・ケー
シング蘭の容積重、吐出側に開口する時、高温の吐出側
気体で逆圧をかけ圧縮する方式でおり、又これを改善し
た方法として吐出側気体か逆流圧縮する以前に、低温の
気体（大気等）をロータ・ケーシング間容積にケーシン
グ、或はサイドカバーより直接吸入させ圧＃ｉｔ行なう
方法がＲ発し使用されている。
て圧縮作動をするルーツ型バキューム機械の改良に関す
る０従来の方式は吸入気体ｔａ引してきたロータ・ケー
シング蘭の容積重、吐出側に開口する時、高温の吐出側
気体で逆圧をかけ圧縮する方式でおり、又これを改善し
た方法として吐出側気体か逆流圧縮する以前に、低温の
気体（大気等）をロータ・ケーシング間容積にケーシン
グ、或はサイドカバーより直接吸入させ圧＃ｉｔ行なう
方法がＲ発し使用されている。
然るに前者にあって゛は吐出側気体の繰返し逆圧をかけ
る為、吐出温度か極端に高温となり、圧縮比、吸入温度
か制限され殆んど実用化されていない。又後者の改善ｍ
は前者に比較し吐出側気体の温度上昇を抑制し、使用限
界圧力比會向上させて機械特性の向上、安定性が向上し
た。しかし乍ら体積効率の向上は殆んど望めず、従って
体積効率の上昇か必然的に機械効率の向上に影響するル
ーツ型バキューム機械では性能向上を考え７を場合、ま
だｔだ欠点のめる機械である。本発明は叙上の点を考察
し、ロータを含めた広い範囲の温度低下を大気等の低温
気体をロー／を通じてケーシング内の封入空間に一吸入
することにより為し、体積効率、全断熱効率の向上を計
ったものである。
る為、吐出温度か極端に高温となり、圧縮比、吸入温度
か制限され殆んど実用化されていない。又後者の改善ｍ
は前者に比較し吐出側気体の温度上昇を抑制し、使用限
界圧力比會向上させて機械特性の向上、安定性が向上し
た。しかし乍ら体積効率の向上は殆んど望めず、従って
体積効率の上昇か必然的に機械効率の向上に影響するル
ーツ型バキューム機械では性能向上を考え７を場合、ま
だｔだ欠点のめる機械である。本発明は叙上の点を考察
し、ロータを含めた広い範囲の温度低下を大気等の低温
気体をロー／を通じてケーシング内の封入空間に一吸入
することにより為し、体積効率、全断熱効率の向上を計
ったものである。
次に本発明の一実施例を、図面により説明する。
第１図は従来型で吐出側の高温気体で逆流圧縮すル＋ｔ
ノ１”、吸入口ｌと吐出口２を設は九ケーシング３の両
側面にサイドカバー４を堆付は軸７．８．に支えらｎた
ロータ５，６に一同位相を保って各逆回転をすることに
依って気体の吸込、圧縮、吐出を行なうものである。こ
の従来型においてはロータ５゜６とケーシング３とて形
成される空間１０に刺入さｎた吸入側より移送さｔ′Ｌ
７を真空状態の気体（以下吸入気体と言う）が、ロータ
の回転と共に吐出側の高温気体（以下吐出気体と言う）
２に開口し次瞬間に逆流圧縮が行なゎｎる。この作動Ｆ
ｉ骸空間１０に高温の吐出気体を逆流圧縮する繰返しで
断熱圧縮に近く、吐出気体は極端な高温になり、ケーシ
ング・ロー′夕関、ロータ・ロータ関の間隙の設定か姉
かしく安全を考え、大となることがら体積効率、全効率
の低下が余韻なくされ、吐出温度の上昇は取扱気体の制
限を受け、到達真空度の低下に表わｎる〇 又第２図はこの欠点を補促する為にケーシング内に張出
し部１３，１４１−設は口〜夕５，６の回転で形成され
る空間１０に一ロータ先端ｓ１６から張出し部先端１７
の間を封入参勤行程とし、その参勤行程間に外気を吸気
する吸入孔１１を設けている。
ノ１”、吸入口ｌと吐出口２を設は九ケーシング３の両
側面にサイドカバー４を堆付は軸７．８．に支えらｎた
ロータ５，６に一同位相を保って各逆回転をすることに
依って気体の吸込、圧縮、吐出を行なうものである。こ
の従来型においてはロータ５゜６とケーシング３とて形
成される空間１０に刺入さｎた吸入側より移送さｔ′Ｌ
７を真空状態の気体（以下吸入気体と言う）が、ロータ
の回転と共に吐出側の高温気体（以下吐出気体と言う）
２に開口し次瞬間に逆流圧縮が行なゎｎる。この作動Ｆ
ｉ骸空間１０に高温の吐出気体を逆流圧縮する繰返しで
断熱圧縮に近く、吐出気体は極端な高温になり、ケーシ
ング・ロー′夕関、ロータ・ロータ関の間隙の設定か姉
かしく安全を考え、大となることがら体積効率、全効率
の低下が余韻なくされ、吐出温度の上昇は取扱気体の制
限を受け、到達真空度の低下に表わｎる〇 又第２図はこの欠点を補促する為にケーシング内に張出
し部１３，１４１−設は口〜夕５，６の回転で形成され
る空間１０に一ロータ先端ｓ１６から張出し部先端１７
の間を封入参勤行程とし、その参勤行程間に外気を吸気
する吸入孔１１を設けている。
本１はロータ５が封入参勤行程に移行する寸前で空間１
０内は外部低温気体が侵入し吐出側の気体温度上昇を抑
制し、或程度の機械安定性はめるが体積効率の上昇は望
めない。その理由は空間１０には低温気体が侵入する為
、ケーシング３０円弧部は内、外から冷却さｎる事から
内径寸法は膨張が押えらｎる。然るに厚シ＝＝２ヲ５■
ゆ状の半面を少し冷却するのみで、片側の半面は全く冷
却を受けないのでケーシング内径寸法に比較しロータ先
端長さは予想外に膨張する。故にロータ５の先端とケー
シング内径との間−はロータの膨張を見越して間樺葡多
く設定し製作する会費がるる。従ってこの間隙から圧縮
気体が吸入口１に逆Ｒ（プローバイ）シ、体積効率が低
下し全効率が悪化する０又逆流した気体を再圧縮するこ
とにもなるので吐出温度も上昇する欠点を内臓している
。その十到達真空度扛使用条件で変ることにより真空使
用の特徴として圧縮比の変動も大きく、それに比例する
温度上昇も多様化し、運転前間隙設定かロータが接触し
ない安全サイドの寸法設定となり、前述し次体積効率、
全効率の低下につながるものである。
０内は外部低温気体が侵入し吐出側の気体温度上昇を抑
制し、或程度の機械安定性はめるが体積効率の上昇は望
めない。その理由は空間１０には低温気体が侵入する為
、ケーシング３０円弧部は内、外から冷却さｎる事から
内径寸法は膨張が押えらｎる。然るに厚シ＝＝２ヲ５■
ゆ状の半面を少し冷却するのみで、片側の半面は全く冷
却を受けないのでケーシング内径寸法に比較しロータ先
端長さは予想外に膨張する。故にロータ５の先端とケー
シング内径との間−はロータの膨張を見越して間樺葡多
く設定し製作する会費がるる。従ってこの間隙から圧縮
気体が吸入口１に逆Ｒ（プローバイ）シ、体積効率が低
下し全効率が悪化する０又逆流した気体を再圧縮するこ
とにもなるので吐出温度も上昇する欠点を内臓している
。その十到達真空度扛使用条件で変ることにより真空使
用の特徴として圧縮比の変動も大きく、それに比例する
温度上昇も多様化し、運転前間隙設定かロータが接触し
ない安全サイドの寸法設定となり、前述し次体積効率、
全効率の低下につながるものである。
次に第３図、第４図は本発明による構成を示すもので吸
入口１と吐出口２ｔ−もったケーシング３内にロータ５
，６が同位相て逆回転し矢印方向に気体を吸入、圧縮す
るバキューム機械であるが、サイドカバー４に吸入孔２
０を穿孔し纏壁２１て区画され、流入口２２より低温気
体を流入する。ロータ５．６には空洞１８を構成し、ｐ
−夕５，６の図示する個所に流通孔１９を貫通して−る
。
入口１と吐出口２ｔ−もったケーシング３内にロータ５
，６が同位相て逆回転し矢印方向に気体を吸入、圧縮す
るバキューム機械であるが、サイドカバー４に吸入孔２
０を穿孔し纏壁２１て区画され、流入口２２より低温気
体を流入する。ロータ５．６には空洞１８を構成し、ｐ
−夕５，６の図示する個所に流通孔１９を貫通して−る
。
第３図はロータ５の先端１５．１６とケーシング３とで
構成する空間１０を對鎖した状態を示し、同時にサイド
カバー４の吸気孔２０かロータ５の空洞１８に開孔し、
流入口２２がら侵入した低温気体は空洞１８に充満し、
流通孔１９より空間１０に侵入する。この際ロータは空
洞１８の内側より冷却し、且空間１０の冷気はケーシン
グの円弧部を内側から、又ロータ５のケーシング儒のま
ゆ状半面も同時に冷却される。
構成する空間１０を對鎖した状態を示し、同時にサイド
カバー４の吸気孔２０かロータ５の空洞１８に開孔し、
流入口２２がら侵入した低温気体は空洞１８に充満し、
流通孔１９より空間１０に侵入する。この際ロータは空
洞１８の内側より冷却し、且空間１０の冷気はケーシン
グの円弧部を内側から、又ロータ５のケーシング儒のま
ゆ状半面も同時に冷却される。
第４図はロータ５、が封入参勤行程を経て吐出口２に開
口Ｔｉ瞬間を示し、吸気孔２０は未だロータ空洞１８内
にめり、ロータの冷却も充分であることを示している。
口Ｔｉ瞬間を示し、吸気孔２０は未だロータ空洞１８内
にめり、ロータの冷却も充分であることを示している。
本発明の構造であれば比較的に薄肉のロータまゆ部を構
成されたロータ５であり、その空洞１８内に冷温気体が
充満してから空間１ｏに噴出する冷気作動を行なわしめ
る為、ロータ５とケーシング円１１部には同様な冷却効
果があり、ロータ頂部とケーシング内径との間隙は、両
者の間に温度差かなｉ為に圧縮比に関係なく均一に保持
し運転することが可能である。従って僅少の間隙でよい
ことになする。この特ｌｋは幾多のどの圧縮比を構成す
る吸入真空度であ、ても高効率な体積効率を保持し得る
ことで、こｆ′Ｌ＃ｉ全断熱効率の上昇にも遅なリ、そ
の上記述せる完壁な冷却効果で吐出温度が極端に低いこ
とは使用可能な圧縮比の限界を大巾に向上させ高温、高
真空域で軽動率のバキューム機械を提供することができ
る。又冷却機構が簡単で水ジャケット勢の禎雑な構成も
不費となりコスト低減にも寄与する有意義な発明である
０
成されたロータ５であり、その空洞１８内に冷温気体が
充満してから空間１ｏに噴出する冷気作動を行なわしめ
る為、ロータ５とケーシング円１１部には同様な冷却効
果があり、ロータ頂部とケーシング内径との間隙は、両
者の間に温度差かなｉ為に圧縮比に関係なく均一に保持
し運転することが可能である。従って僅少の間隙でよい
ことになする。この特ｌｋは幾多のどの圧縮比を構成す
る吸入真空度であ、ても高効率な体積効率を保持し得る
ことで、こｆ′Ｌ＃ｉ全断熱効率の上昇にも遅なリ、そ
の上記述せる完壁な冷却効果で吐出温度が極端に低いこ
とは使用可能な圧縮比の限界を大巾に向上させ高温、高
真空域で軽動率のバキューム機械を提供することができ
る。又冷却機構が簡単で水ジャケット勢の禎雑な構成も
不費となりコスト低減にも寄与する有意義な発明である
０
第１図は従来型で吐出高温気体の逆流圧縮型の断面図、
第２図は封入空間に直接、冷気ｔ−吸入する型の断面図
、第３図、及び第４図は本発明による実施例の作動断面
図、第５図は同情面の外観図、第６図は同ロータの噛合
せ斜視図である。 尚図中 １・・・・・・吸入口、 ２・・・・・・吐
出口３・・・・・・ケーシング。 ５．６・・・・・・ロータ ４・・・・・・サイドカバー １０・・・・・・空間、１３．１４・・・・・・張出都
１５．１６・・・・・・ロータ・ケーシング間隙１８・
・・・・・ロータ空洞
第２図は封入空間に直接、冷気ｔ−吸入する型の断面図
、第３図、及び第４図は本発明による実施例の作動断面
図、第５図は同情面の外観図、第６図は同ロータの噛合
せ斜視図である。 尚図中 １・・・・・・吸入口、 ２・・・・・・吐
出口３・・・・・・ケーシング。 ５．６・・・・・・ロータ ４・・・・・・サイドカバー １０・・・・・・空間、１３．１４・・・・・・張出都
１５．１６・・・・・・ロータ・ケーシング間隙１８・
・・・・・ロータ空洞
Claims (1)
- 平行な２軸とこれに嵌入し同位相で逆回転するロータを
組合せケーシング内に構成し、皺ロータとケーシング円
弧部との間で形成する空間を吸入側より吐出側へ圧出す
る・機構をも、て成るルーツ型バキューム機械に心って
、ロータ先端が吸入を閉止し、ロータの隣接する他先端
が吐出口側に開口する間に新入移動行程を形成すると共
に、四〜りには空洞を設け、且該ロータ円ＩＩＩＩ部の
非圧縮側面に単数又は柳数個の流通孔を設け、ライドカ
バー吸気孔よシロータ空洞を通じ前記空間のバキ１−ム
気内に、大気その他の低温気体を吸気し逆流圧縮を行わ
せる構成ｔ−％徽とするルーツ微バキューム模械。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18854481A JPS5891390A (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | バキユ−ム機械 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18854481A JPS5891390A (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | バキユ−ム機械 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5891390A true JPS5891390A (ja) | 1983-05-31 |
Family
ID=16225554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18854481A Pending JPS5891390A (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | バキユ−ム機械 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5891390A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0158262A2 (de) * | 1984-04-13 | 1985-10-16 | Bayer Ag | Druckwechselverfahren zur adsorptiven Trennung von Gasgemischen |
| NL8603287A (nl) * | 1984-12-07 | 1987-04-01 | Naaktgeboren Maschf Rotterdam | Tankwagen. |
| JP2016148281A (ja) * | 2015-02-12 | 2016-08-18 | オリオン機械株式会社 | 二軸回転ポンプ |
| JP2016148282A (ja) * | 2015-02-12 | 2016-08-18 | オリオン機械株式会社 | 二軸回転ポンプ |
| CN106321441A (zh) * | 2016-08-22 | 2017-01-11 | 中国航天空气动力技术研究院 | 罗茨真空机组自洁降温机构 |
| EP4239197A1 (en) * | 2022-02-09 | 2023-09-06 | Ebara Corporation | Vacuum pump |
-
1981
- 1981-11-24 JP JP18854481A patent/JPS5891390A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0158262A2 (de) * | 1984-04-13 | 1985-10-16 | Bayer Ag | Druckwechselverfahren zur adsorptiven Trennung von Gasgemischen |
| NL8603287A (nl) * | 1984-12-07 | 1987-04-01 | Naaktgeboren Maschf Rotterdam | Tankwagen. |
| JP2016148281A (ja) * | 2015-02-12 | 2016-08-18 | オリオン機械株式会社 | 二軸回転ポンプ |
| JP2016148282A (ja) * | 2015-02-12 | 2016-08-18 | オリオン機械株式会社 | 二軸回転ポンプ |
| CN106321441A (zh) * | 2016-08-22 | 2017-01-11 | 中国航天空气动力技术研究院 | 罗茨真空机组自洁降温机构 |
| CN106321441B (zh) * | 2016-08-22 | 2018-06-01 | 中国航天空气动力技术研究院 | 罗茨真空机组自洁降温机构 |
| EP4239197A1 (en) * | 2022-02-09 | 2023-09-06 | Ebara Corporation | Vacuum pump |
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