JPS5884205A - 電気・機械変換装置 - Google Patents
電気・機械変換装置Info
- Publication number
- JPS5884205A JPS5884205A JP18284481A JP18284481A JPS5884205A JP S5884205 A JPS5884205 A JP S5884205A JP 18284481 A JP18284481 A JP 18284481A JP 18284481 A JP18284481 A JP 18284481A JP S5884205 A JPS5884205 A JP S5884205A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piston
- fluid
- small displacement
- amount
- spool
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B9/00—Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member
- F15B9/02—Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member with servomotors of the reciprocatable or oscillatable type
- F15B9/08—Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member with servomotors of the reciprocatable or oscillatable type controlled by valves affecting the fluid feed or the fluid outlet of the servomotor
- F15B9/09—Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member with servomotors of the reciprocatable or oscillatable type controlled by valves affecting the fluid feed or the fluid outlet of the servomotor with electrical control means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Servomotors (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Electromagnets (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電気信号を比較的大きな機械的動作置に変換
するための電気・機械変換装置に関するものである。
するための電気・機械変換装置に関するものである。
例えば、油圧装置のコンピュータ制御化を促進するため
には、電拳油サーボ弁等の複雑な機器゛を用いるこメな
しに電気信号をそれに比例した機械的動作量に変換する
装置を開発することが先決である。
には、電拳油サーボ弁等の複雑な機器゛を用いるこメな
しに電気信号をそれに比例した機械的動作量に変換する
装置を開発することが先決である。
本発明はこのような事情に僑みてなされたもノテ、入力
された電気信号をフォースモークによって第１の可動部
材の機械的な小変位量または小変位力に変換するととも
に、流体圧にょ゛って進退ｆｌｕ：ｌ用ピストンの大き
な動作量をフィードバック機構醗ζよって第２の可動部
材の小変位量または小変位力に変換し′、これら両回動
部材の変位量または変位力の差にょってピストン作動用
流体の制御を行なうようにすることによって、複雑な制
御回路を一切用いることなしに電気信号をそれに比例し
た大きな機械的動作量に確実かつ正確に変換することが
できるようにした電気・機械変換装置を提供するもので
ある。
された電気信号をフォースモークによって第１の可動部
材の機械的な小変位量または小変位力に変換するととも
に、流体圧にょ゛って進退ｆｌｕ：ｌ用ピストンの大き
な動作量をフィードバック機構醗ζよって第２の可動部
材の小変位量または小変位力に変換し′、これら両回動
部材の変位量または変位力の差にょってピストン作動用
流体の制御を行なうようにすることによって、複雑な制
御回路を一切用いることなしに電気信号をそれに比例し
た大きな機械的動作量に確実かつ正確に変換することが
できるようにした電気・機械変換装置を提供するもので
ある。
説明する。
内部に空洞部１ａを有した箱形ハウジングｌの一側壁部
にフォースモータ２を取着している−。
にフォースモータ２を取着している−。
フォースモータ２は端子２ａに入力された電気信号を第
１の可動部材たる駆動軸２ｂの軸心方向の小変位量に変
換するようにした通常のものである。
１の可動部材たる駆動軸２ｂの軸心方向の小変位量に変
換するようにした通常のものである。
また、前記ハウジングｌの底部両側壁に前記フォースモ
ータ２の駆動軸２ｂと平行な軸心を有した対をなすシリ
ンダ８．８を形成し、これら各シリンダ８．８にピスト
ン４の各端部をそれぞれスライド可能に嵌合させている
。すなわち、このピストン４は前記各シリンダ８．８内
に形成される対をなす流体導入室５．６間に配設され、
両流体導入室５．６内の圧力差に一応じて軸心方向に進
退するようになっている。そして、このピストン４の端
面輪心部には出力軸７が一体に突設されておりこの出力
軸７の先端部は軸孔８を通してハウジングｌ外へ突出さ
せである。また、前記ハウジングｌの空洞部１ａ内には
、前記ピストン４の進退勤作鰍を第２の可動要素の小変
位量に変換するフィードバック機構９を設けている。フ
ィードバック機構９は、′°龍記ハウジングｌの天壁部
に螺着され前記ピストン４の軸心と直交する方向に螺合
進退可能な枢支部材１１と、基端部１２＆を前記枢支部
材１１の凹陥部１ｉａに枢支させ先端部１２ｂ１ｋｌ！
ｉ記ピストン４の係合部４ａに係合させたフィードバッ
クロッド１２とを具備してなるもので、このフィードバ
ックロッド１２の基端近傍部１２６ 、つまり該フィー
ドバックロッド１２の前記駆動軸２ｂの軸心と交叉する
部位を前述した第２の可動要素としている。
ータ２の駆動軸２ｂと平行な軸心を有した対をなすシリ
ンダ８．８を形成し、これら各シリンダ８．８にピスト
ン４の各端部をそれぞれスライド可能に嵌合させている
。すなわち、このピストン４は前記各シリンダ８．８内
に形成される対をなす流体導入室５．６間に配設され、
両流体導入室５．６内の圧力差に一応じて軸心方向に進
退するようになっている。そして、このピストン４の端
面輪心部には出力軸７が一体に突設されておりこの出力
軸７の先端部は軸孔８を通してハウジングｌ外へ突出さ
せである。また、前記ハウジングｌの空洞部１ａ内には
、前記ピストン４の進退勤作鰍を第２の可動要素の小変
位量に変換するフィードバック機構９を設けている。フ
ィードバック機構９は、′°龍記ハウジングｌの天壁部
に螺着され前記ピストン４の軸心と直交する方向に螺合
進退可能な枢支部材１１と、基端部１２＆を前記枢支部
材１１の凹陥部１ｉａに枢支させ先端部１２ｂ１ｋｌ！
ｉ記ピストン４の係合部４ａに係合させたフィードバッ
クロッド１２とを具備してなるもので、このフィードバ
ックロッド１２の基端近傍部１２６ 、つまり該フィー
ドバックロッド１２の前記駆動軸２ｂの軸心と交叉する
部位を前述した第２の可動要素としている。
フィードバックロッド１２は、基端側部材１８と先端側
部材１４とをテレスコープ式に嵌合させて軸心方向に伸
縮可能としたもので、前記両部材１ｇ、１４間には、こ
れら両部材１Ｂ、１４を該フィードバックロッド１２が
伸長する方向に付勢するスプリングｌδが介在させであ
る。また、前記ハウリング１の一側壁部内に、前記両回
動部材の小変位量どうし、つまり、前記フォースモータ
２の駆動軸２ｂの変位量と前記フィードバックロッド１
２の基端近傍部１２Ｃの変位量とを比較してその差が設
定範囲内に維持されるように前記流体導入室５．６のい
ずれか一万に圧力流体を選択的に供給する流体制御機構
１６を設けている。具体的には、流体制御機構１６は前
記ハウジングｌの個ＩＩに貫通孔１７を前記フォースモ
ータ２の駆動軸２ｂと軸心を一致させて穿設し、この貫
通孔１７の内周にスリーブ１８を軸心方向にスライド可
能に嵌合させ、このスリーブ１８の内周にスプール１９
を軸心方向にスライド可能に嵌合させている。そして、
前記貫通孔１７の内ｌｉ！ｉ１面に８本の環状溝２Ｂ、
２４．２５を軸心方向Ｃζ所定の間隔をあけて形成し、
中央の環状溝２４を流体通路２６を介して圧力流体源か
に連通させるとともに、両側の各環状溝２８．２５を流
体通路鵡、２９を介して前記各流体導入室５．６にそれ
ぞれ連通させている。また、前記スリーブ１８０１１Ｉ
ＩＩに前記各環状溝２８．２４２５にそれぞれ連通する
ボートＩｌｌ、 ８２．８８を穿設し常時は前記両ポー
ト８１．８８を前記スプール１９によって閉塞してお（
ようにしている。そして、前記スプール１９を前記フォ
ースモータ２の駆動軸２ｂＩζ固着するとともに、この
スプール１９と前記スリーブ１８との間にスプリング３
４を介挿′シ、このスリーブ１８の端部を前記フィード
バックロッド１２の基端近傍部１２ｅに弾接させるよう
にしている。なお８５は前記スプール１９の両端面に接
する空５１１８６．８７をオイルタンク８８に連通させ
るための流体通路である。
部材１４とをテレスコープ式に嵌合させて軸心方向に伸
縮可能としたもので、前記両部材１ｇ、１４間には、こ
れら両部材１Ｂ、１４を該フィードバックロッド１２が
伸長する方向に付勢するスプリングｌδが介在させであ
る。また、前記ハウリング１の一側壁部内に、前記両回
動部材の小変位量どうし、つまり、前記フォースモータ
２の駆動軸２ｂの変位量と前記フィードバックロッド１
２の基端近傍部１２Ｃの変位量とを比較してその差が設
定範囲内に維持されるように前記流体導入室５．６のい
ずれか一万に圧力流体を選択的に供給する流体制御機構
１６を設けている。具体的には、流体制御機構１６は前
記ハウジングｌの個ＩＩに貫通孔１７を前記フォースモ
ータ２の駆動軸２ｂと軸心を一致させて穿設し、この貫
通孔１７の内周にスリーブ１８を軸心方向にスライド可
能に嵌合させ、このスリーブ１８の内周にスプール１９
を軸心方向にスライド可能に嵌合させている。そして、
前記貫通孔１７の内ｌｉ！ｉ１面に８本の環状溝２Ｂ、
２４．２５を軸心方向Ｃζ所定の間隔をあけて形成し、
中央の環状溝２４を流体通路２６を介して圧力流体源か
に連通させるとともに、両側の各環状溝２８．２５を流
体通路鵡、２９を介して前記各流体導入室５．６にそれ
ぞれ連通させている。また、前記スリーブ１８０１１Ｉ
ＩＩに前記各環状溝２８．２４２５にそれぞれ連通する
ボートＩｌｌ、 ８２．８８を穿設し常時は前記両ポー
ト８１．８８を前記スプール１９によって閉塞してお（
ようにしている。そして、前記スプール１９を前記フォ
ースモータ２の駆動軸２ｂＩζ固着するとともに、この
スプール１９と前記スリーブ１８との間にスプリング３
４を介挿′シ、このスリーブ１８の端部を前記フィード
バックロッド１２の基端近傍部１２ｅに弾接させるよう
にしている。なお８５は前記スプール１９の両端面に接
する空５１１８６．８７をオイルタンク８８に連通させ
るための流体通路である。
次いで、この実施例の作用を説明する。フォースモータ
１の端子１亀に電気信号が入力されその駆動軸１ｂが該
電気信号に対応する量だけ例えば、図中左方へ変位した
場合、スプール１９が前記駆動軸２ｂとともに左方へ変
位してポート８１と？−ト８２とが連通状態となる。そ
のため、圧力流体源４から流体通路２６を通してスリー
ブ１８円に導入された圧力流体がポート８１から流体通
路２Ｂを通して一方の流体導入室６内Ｃζ流れ込み、ピ
ストン４が左方へ移動する。そうすると、該ピストン４
に付−されてフィードバックロッド１２が左方へ回動す
るとともに、該ロッド１２の基端近傍部ｔｚｅに弾接さ
せたスリーブ１８が前記スプール１９を追いかけるよう
にして左方へ移動する。そして、このスリーブ１８が前
記スプール１９に追いついて、前記ポート８１が該スプ
ール１９にｊり再び閉塞された時点で前記ピストン４が
停止する。なお、前記スリーブ１８とスプール１９とが
相対的に変位して前記ポート８１が開いている間は、前
記流体通路２９と流体通路８５とがポート８８を介して
連通状態となるので、他方の流体導入室６内の流体は前
記両流体通路２９．８５を通して油タンク８８へ排出・
される。また、逆にフォースモータ１の駆動軸１ｂがス
プール１９とともに図中右方へ変位した場合、＆−）８
２とポート８８とが連通状態となる。そのため、圧力流
体源４から流体通路２６を通してスリーブ１８内に導入
された圧力流体がポート８８から流体通路２９を通して
流体導入室６内に流れ込み、ピストン４が右方へ移動す
る。そうすると、該ピストン４に付勢されてフィードバ
ックロッド１２が右方へ回動するとともに、該ロッド１
２の基端近傍部１２０に弾接させたスリーブ１８が前記
スプール１９を追いかけるようにして右方へ移動する。
１の端子１亀に電気信号が入力されその駆動軸１ｂが該
電気信号に対応する量だけ例えば、図中左方へ変位した
場合、スプール１９が前記駆動軸２ｂとともに左方へ変
位してポート８１と？−ト８２とが連通状態となる。そ
のため、圧力流体源４から流体通路２６を通してスリー
ブ１８円に導入された圧力流体がポート８１から流体通
路２Ｂを通して一方の流体導入室６内Ｃζ流れ込み、ピ
ストン４が左方へ移動する。そうすると、該ピストン４
に付−されてフィードバックロッド１２が左方へ回動す
るとともに、該ロッド１２の基端近傍部ｔｚｅに弾接さ
せたスリーブ１８が前記スプール１９を追いかけるよう
にして左方へ移動する。そして、このスリーブ１８が前
記スプール１９に追いついて、前記ポート８１が該スプ
ール１９にｊり再び閉塞された時点で前記ピストン４が
停止する。なお、前記スリーブ１８とスプール１９とが
相対的に変位して前記ポート８１が開いている間は、前
記流体通路２９と流体通路８５とがポート８８を介して
連通状態となるので、他方の流体導入室６内の流体は前
記両流体通路２９．８５を通して油タンク８８へ排出・
される。また、逆にフォースモータ１の駆動軸１ｂがス
プール１９とともに図中右方へ変位した場合、＆−）８
２とポート８８とが連通状態となる。そのため、圧力流
体源４から流体通路２６を通してスリーブ１８内に導入
された圧力流体がポート８８から流体通路２９を通して
流体導入室６内に流れ込み、ピストン４が右方へ移動す
る。そうすると、該ピストン４に付勢されてフィードバ
ックロッド１２が右方へ回動するとともに、該ロッド１
２の基端近傍部１２０に弾接させたスリーブ１８が前記
スプール１９を追いかけるようにして右方へ移動する。
そして、このスリーブ１８が前記スプール１９に追いつ
いて、前記ポート８８が該スプール１９により再び閉塞
された時点で前記ピストン４が停止する。なお、前記ｚ
−）８Ｂカ用いている間は、前記流体通路詔と流体通路
８５とがポート８１を介して連通状態となるので、前記
流体導入室５内の流体は前記両流体通路２９．８５を通
して油タンク８８へ排出される。
いて、前記ポート８８が該スプール１９により再び閉塞
された時点で前記ピストン４が停止する。なお、前記ｚ
−）８Ｂカ用いている間は、前記流体通路詔と流体通路
８５とがポート８１を介して連通状態となるので、前記
流体導入室５内の流体は前記両流体通路２９．８５を通
して油タンク８８へ排出される。
しかして、このような実施例によれば、入力された電気
信号に比例して動作するスプール１９の変位量をＸ、出
力用のピストン４の動作量をｙ。
信号に比例して動作するスプール１９の変位量をＸ、出
力用のピストン４の動作量をｙ。
フィードバックロッド１２の基端から前記基端近傍部１
２０までの距離をａ、フィードバックロッド１２の基端
から先端までの距離をｂとすると、これらの間には、ｙ
＝１なる関係が成立する。つまり、前記ピストン４は前
記スプール１９の動き、を増幅したかたちで比例動作す
ることになる。したがってこのようなものであれば、フ
ォースモータ２の端子２ａに電気信号を入力することに
よって前記ピストン４の出力軸７から該電気信号に比例
した比較的大きな機械的州力を得ることができるもので
ある。
２０までの距離をａ、フィードバックロッド１２の基端
から先端までの距離をｂとすると、これらの間には、ｙ
＝１なる関係が成立する。つまり、前記ピストン４は前
記スプール１９の動き、を増幅したかたちで比例動作す
ることになる。したがってこのようなものであれば、フ
ォースモータ２の端子２ａに電気信号を入力することに
よって前記ピストン４の出力軸７から該電気信号に比例
した比較的大きな機械的州力を得ることができるもので
ある。
また、このような実施例であれば、フィードバック機構
９の枢＊部材１１をハウジングＩＩζ対して螺合進退さ
せることによって、フィードバックロッド１２の基端か
ら先端までの距離すを変更することができる。したがっ
て、入力に対する出力の割合、換言すれば、特定の入力
電気信号に対する出力用ピストン４の進退動作量を簡皐
な操作によって適宜調節することができるという利点が
ある。
９の枢＊部材１１をハウジングＩＩζ対して螺合進退さ
せることによって、フィードバックロッド１２の基端か
ら先端までの距離すを変更することができる。したがっ
て、入力に対する出力の割合、換言すれば、特定の入力
電気信号に対する出力用ピストン４の進退動作量を簡皐
な操作によって適宜調節することができるという利点が
ある。
さらに、図示実施例のように、流体制御機構１６をスリ
゛−ブ１８とスプール１９とを有してなるものにし、フ
ォースモーク２の駆動軸２ｂの小変位量とフィードバッ
グロッド１２の基端近傍部１２０の小変位量とを比較し
て流体の切換えを行なわせるようにすれば、フォースモ
ータ２のアーマチユア等た無理な力が作用しないので、
゛流体の制御を円滑に行なわせることができるとともに
、フォースモータ２の所期の性能を長期に亘って維持す
ることができるという利点が得られる。
゛−ブ１８とスプール１９とを有してなるものにし、フ
ォースモーク２の駆動軸２ｂの小変位量とフィードバッ
グロッド１２の基端近傍部１２０の小変位量とを比較し
て流体の切換えを行なわせるようにすれば、フォースモ
ータ２のアーマチユア等た無理な力が作用しないので、
゛流体の制御を円滑に行なわせることができるとともに
、フォースモータ２の所期の性能を長期に亘って維持す
ることができるという利点が得られる。
なお、図示実施例では、流体制御機構がスリ−ブとスプ
ールとからなるものである場合について説明したが、特
許請求の範囲第１項に記載された発明（以下「発明１１
」と称す）は、かならずしもこのようなものに限られな
いのは勿論であり、例えば、スリーブを廃し、スプール
の一端に直結した第１の可動部材の変位力と前記スプー
ルの他端にスプリングを介して接続した第２の可動部材
の変位力との兼合いによって前記スプールを進退させて
流体を切換えるような流体制御機構を採用してもよい。
ールとからなるものである場合について説明したが、特
許請求の範囲第１項に記載された発明（以下「発明１１
」と称す）は、かならずしもこのようなものに限られな
いのは勿論であり、例えば、スリーブを廃し、スプール
の一端に直結した第１の可動部材の変位力と前記スプー
ルの他端にスプリングを介して接続した第２の可動部材
の変位力との兼合いによって前記スプールを進退させて
流体を切換えるような流体制御機構を採用してもよい。
また、図示実施例では、フィードバック機構が、フィー
ドバックロッドの長さを枢支部材の螺合進退調節により
変更することができるように構成したものである場合に
ついて説明したが、特許請求の範囲第２項に記載された
発明（以下「発明２」と称す）はかならずしもこのよう
なものに限られないのは勿論であり、例えば、前記枢支
部材をハウジング等に固設したようなものにしてもよい
。また、この発明２には、第２図に示すような実施例も
含まれる。すなわち、第２図に示すものは、第１図に示
す実施例とは逆に、スリーブ１８をフォースモータ２の
駆動軸２ｂに固着するとともに、スプール１９をフィー
ドバックロッド１２の基端近傍部１２０に弾接させたも
ので、第１図に示すものと同様な作用をなす。なお、第
２図では、第１図に示す部品と同様な機能を有する部品
には第１図におけるものと同一の記号を付しである。
ドバックロッドの長さを枢支部材の螺合進退調節により
変更することができるように構成したものである場合に
ついて説明したが、特許請求の範囲第２項に記載された
発明（以下「発明２」と称す）はかならずしもこのよう
なものに限られないのは勿論であり、例えば、前記枢支
部材をハウジング等に固設したようなものにしてもよい
。また、この発明２には、第２図に示すような実施例も
含まれる。すなわち、第２図に示すものは、第１図に示
す実施例とは逆に、スリーブ１８をフォースモータ２の
駆動軸２ｂに固着するとともに、スプール１９をフィー
ドバックロッド１２の基端近傍部１２０に弾接させたも
ので、第１図に示すものと同様な作用をなす。なお、第
２図では、第１図に示す部品と同様な機能を有する部品
には第１図におけるものと同一の記号を付しである。
以上、詳述したように、発明１は、入力された電気信号
をフォースモータ１ζよって第１の可動部材の機械的な
小変位量または小変位力に変換するとともに、流体圧に
よって進退する出力用ピストンの大ミな動作量をフィー
ドバック機構によって第２の可動部材の小変位量または
小変位力に変換し、これら両回動部材の変位量または変
位力の差によってピストン作動流体の制御を行なうとい
う基本構成を有しているため、複雑な制御回路を一切用
いることなし翳ζ電気信号をそれに比例した大きな機械
的動作量に確実かつ正確−ζ変換することができるもの
である。しかも、フィードバック機構を、伸縮可能なフ
ィードバックロッドと、このフィードバックロッドの基
端部を枢支する枢支部材とから構成し、この枢支部材を
出力用ピストンの軸心と略直交する方向に螺合進退可能
に保持しているので、入力に対する出力−の割合を簡単
な操作によって適宜調節することができるという効果が
得られる。
をフォースモータ１ζよって第１の可動部材の機械的な
小変位量または小変位力に変換するとともに、流体圧に
よって進退する出力用ピストンの大ミな動作量をフィー
ドバック機構によって第２の可動部材の小変位量または
小変位力に変換し、これら両回動部材の変位量または変
位力の差によってピストン作動流体の制御を行なうとい
う基本構成を有しているため、複雑な制御回路を一切用
いることなし翳ζ電気信号をそれに比例した大きな機械
的動作量に確実かつ正確−ζ変換することができるもの
である。しかも、フィードバック機構を、伸縮可能なフ
ィードバックロッドと、このフィードバックロッドの基
端部を枢支する枢支部材とから構成し、この枢支部材を
出力用ピストンの軸心と略直交する方向に螺合進退可能
に保持しているので、入力に対する出力−の割合を簡単
な操作によって適宜調節することができるという効果が
得られる。
また、発明２は、前述した発明１と同様な基本構成をな
すものであるため、前記発明ｌと同じく、簡単な構成に
よって、電気的な入力を機械的な出力に確実かつ正確に
変換することができるという効果を有している。しかも
、流体制御機構をスリーブとスプールとからなるものに
しているので、前述のようにフォースモータ゛に無理な
力が作用することがなく、簡単な構成によって流体の制
御を円滑に°行なわせるξとができるとともに、ブオー
スモータの所期の性能を長期に亘って維持することがで
きる等の優れた効果が得られるものである。
すものであるため、前記発明ｌと同じく、簡単な構成に
よって、電気的な入力を機械的な出力に確実かつ正確に
変換することができるという効果を有している。しかも
、流体制御機構をスリーブとスプールとからなるものに
しているので、前述のようにフォースモータ゛に無理な
力が作用することがなく、簡単な構成によって流体の制
御を円滑に°行なわせるξとができるとともに、ブオー
スモータの所期の性能を長期に亘って維持することがで
きる等の優れた効果が得られるものである。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は本発
明の他の実施例を示す断面図である。 ２・・・フォースモータ ２ｂ・・・第１の可動部材（駆動軸） ４・・・ピア、トン・ ５．６−流体導入室９・・・フ
ィードバック機構 １１−枢支部材１２−・・フィー
ドバックロッド １２０・・・第２の可動部材（基端近傍部）１６−・・
流体制御機構 １８・−スリーブ１９−・・スプール
２７・−圧力流体源代理人 弁理士 赤澤−博
明の他の実施例を示す断面図である。 ２・・・フォースモータ ２ｂ・・・第１の可動部材（駆動軸） ４・・・ピア、トン・ ５．６−流体導入室９・・・フ
ィードバック機構 １１−枢支部材１２−・・フィー
ドバックロッド １２０・・・第２の可動部材（基端近傍部）１６−・・
流体制御機構 １８・−スリーブ１９−・・スプール
２７・−圧力流体源代理人 弁理士 赤澤−博
Claims (2)
- （１） 入力された電気信号を第１の可動要素の小変
位量または小変位力に変換するフォースモークと対をな
す流体導入室間に配設され両流体導入室内の圧力差に応
じて軸心方向に進退動作を行なう出力用のピストンと、
このピストンの進退動作量を第２の可動要素の小変位量
または小変位力に変換するフィードバック機構と、前記
両可動要素の小変位量どうしまたは小変位力どうしｔ比
較してその差が設定範囲内に維持されるように＠記流体
導入室のいずれか一方に圧力流体を選択的に供給する流
体制御ｓｓとを具備してｅ、Ｌ前記フィードパ２フ機構
が、前記ピストンの軸心と略直交する方向に螺合進退可
能に保持され九枢支部材と、基端部を前記枢支部材に枢
支させ先端部を前記ピストンに係合させた伸縮可能１フ
イードバツクロツドとを備え、前記フィードバックロッ
ドの基端近傍部を前記第２の可動要素とし−に一〇であ
ることを特徴とする電気・機械変換装置。 - （２） 入力された電気信号を第１の可動要素の小変
位量に変換するフォースモークと、対をなす流体導入室
間に配設され両流体導入室内の圧力差に応じて軸心方向
に進退動作を行なう出力用のピストンと、このピストン
の進退動作量を第２の可動要素の小変位量に変換するフ
ィードバック機構と、前記両可動要素の小変位量どうし
を比較してその差が設定範囲内に維持されるよう薇こ前
記流体導入室のいずれか一方に圧力流体を選択的に供給
する流体制御機構とを具備してなり、前記流体制御機構
が、いずれか一方の可動要素に付勢されて軸心方向にス
ライドするスリーブと、このスリーブの内周に嵌合され
他方の可動要素に付勢されて軸心方向にスライドするス
プールとの相対運動によって圧力流体源を前記流体導入
室のいずれかに接続し得るように構成したものであるこ
とを特徴とする電気・機械変換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18284481A JPS5884205A (ja) | 1981-11-14 | 1981-11-14 | 電気・機械変換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18284481A JPS5884205A (ja) | 1981-11-14 | 1981-11-14 | 電気・機械変換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5884205A true JPS5884205A (ja) | 1983-05-20 |
| JPS6248082B2 JPS6248082B2 (ja) | 1987-10-12 |
Family
ID=16125440
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18284481A Granted JPS5884205A (ja) | 1981-11-14 | 1981-11-14 | 電気・機械変換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5884205A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61244902A (ja) * | 1985-04-22 | 1986-10-31 | Tokyo Keiki Co Ltd | リモ−ト操作形ピストン装置 |
| WO1997023734A1 (fr) * | 1995-12-22 | 1997-07-03 | Amc (Action Mesure Controle) S.A. | Dispositif actionneur positionneur pour l'asservissement d'un servomoteur |
-
1981
- 1981-11-14 JP JP18284481A patent/JPS5884205A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61244902A (ja) * | 1985-04-22 | 1986-10-31 | Tokyo Keiki Co Ltd | リモ−ト操作形ピストン装置 |
| JPS6361522B2 (ja) * | 1985-04-22 | 1988-11-29 | ||
| WO1997023734A1 (fr) * | 1995-12-22 | 1997-07-03 | Amc (Action Mesure Controle) S.A. | Dispositif actionneur positionneur pour l'asservissement d'un servomoteur |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6248082B2 (ja) | 1987-10-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2574335A (en) | Fluid-pressure motor device for control systems | |
| JPS6149175A (ja) | 可変容量型油圧ポンプまたはモ−タの制御装置 | |
| JP2603868B2 (ja) | カウンタバランス弁 | |
| JPH0420083B2 (ja) | ||
| US6006872A (en) | Braking apparatus for a hydraulic motor | |
| US2964018A (en) | Electro-hydraulic servo valve | |
| JPS5884205A (ja) | 電気・機械変換装置 | |
| US3814131A (en) | Servo valve | |
| US3893484A (en) | Cylinder and piston valve | |
| US3845694A (en) | End of stroke impact reducing means for linear fluid motors | |
| JP2892451B2 (ja) | 電気―空気サーボアクチュエータ | |
| US4191202A (en) | Polarity control valve | |
| KR20210137709A (ko) | 압력 피드백 서보 밸브 | |
| US3756278A (en) | Control slide valve for a hydraulic servo motor | |
| EP1134469A3 (en) | Multiway valve with cap element fixing means | |
| US4945815A (en) | Pneumatic type of reciprocating movement device | |
| JPS5943205A (ja) | デイジタルアクチユエ−タ | |
| JP2585339Y2 (ja) | 差圧制御バルブ | |
| JPS6114644Y2 (ja) | ||
| US5138932A (en) | Pump/motor control mechanism | |
| US4479514A (en) | Float positioning assembly for pilot operated valve | |
| JP3268879B2 (ja) | 多段シリンダ装置 | |
| EP0000445A1 (en) | Servo valve | |
| JPH0241363Y2 (ja) | ||
| US20230145967A1 (en) | Servovalve having a linear actuator and mechanical feedback |