JPS5879127A - 圧力変化検出装置 - Google Patents
圧力変化検出装置Info
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- JPS5879127A JPS5879127A JP17786581A JP17786581A JPS5879127A JP S5879127 A JPS5879127 A JP S5879127A JP 17786581 A JP17786581 A JP 17786581A JP 17786581 A JP17786581 A JP 17786581A JP S5879127 A JPS5879127 A JP S5879127A
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- Japan
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- pressure change
- change
- pressure
- pyroelectric element
- housing
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L11/00—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00
- G01L11/002—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by thermal means, e.g. hypsometer
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は低周波で微小な圧力変化を検出する圧力変化
検出装置に関するものである。
検出装置に関するものである。
従来非接触で圧力を検出するものとして超音波マイクロ
ホンおよび可聴域マイクロホンなどが実用化されている
。
ホンおよび可聴域マイクロホンなどが実用化されている
。
このうち前者は侵入者監視装置、自動車の】ｎ突防止装
置およびＴＶのリモコン装置などに用いられ、また後者
は振動体の数１００〜数ＫＨｚの撮動による媒体の圧力
変化を検出するものなどに用いられている。
置およびＴＶのリモコン装置などに用いられ、また後者
は振動体の数１００〜数ＫＨｚの撮動による媒体の圧力
変化を検出するものなどに用いられている。
古ころで、これらマイクロホンの基本的な構造は略同じ
であり、第１図に示すように開口部】ａを有する共鳴器
１中に圧力を電気信号に変換する振動板２８よびホーン
（図示せず）を収納したもので表わされる。この１ｓ合
、共鳴器１および振動板２は夫々その構造寸法、材質に
関係した共振周波数ｆｎ、ｆｖを有している。このうち
振動板２の共振周波数ｆｖは厚みｔ、直径ｄ、振動板材
質のヤング率Ｅ、ポアソン比σと下式 で関係ずけられ、また共鳴器１の共振周波数ｆＲは開口
部１ａの面積Ｓ、開口部１３周縁の肉厚ｌ容積Ｗ、音速
Ｃとすると下式 ％式％ したう５って、このような２つの具眼周波数ｆｖ。
であり、第１図に示すように開口部】ａを有する共鳴器
１中に圧力を電気信号に変換する振動板２８よびホーン
（図示せず）を収納したもので表わされる。この１ｓ合
、共鳴器１および振動板２は夫々その構造寸法、材質に
関係した共振周波数ｆｎ、ｆｖを有している。このうち
振動板２の共振周波数ｆｖは厚みｔ、直径ｄ、振動板材
質のヤング率Ｅ、ポアソン比σと下式 で関係ずけられ、また共鳴器１の共振周波数ｆＲは開口
部１ａの面積Ｓ、開口部１３周縁の肉厚ｌ容積Ｗ、音速
Ｃとすると下式 ％式％ したう５って、このような２つの具眼周波数ｆｖ。
ｆｐをもったマイクロホンは一宮２図（こ示すように周
波数に対して双峰性の感度を有すること（こなる。
波数に対して双峰性の感度を有すること（こなる。
このことから各共振周波数ｆ Ｒ，ｆ ｖをｆｘ＝ｆｖ
の関係とすれば第２図中破線に示すように最高の感度が
得られることになる。しかし、このようにすると今度は
帯域が狭くなり特定周波数の圧力変化を検出するにはよ
いが広帯域の圧力変化を検出するのが難しくなる。
の関係とすれば第２図中破線に示すように最高の感度が
得られることになる。しかし、このようにすると今度は
帯域が狭くなり特定周波数の圧力変化を検出するにはよ
いが広帯域の圧力変化を検出するのが難しくなる。
このため帯域を広くする手段としてｆＲとｆｖを一致さ
せないことと振動板の撮動をダンピングすることが考え
られている。このようにすれば広帯域化とともに特に低
域帯を広げることへできる。
せないことと振動板の撮動をダンピングすることが考え
られている。このようにすれば広帯域化とともに特に低
域帯を広げることへできる。
しかし、これｌども限度がある。すなわち４辰動板２の
共振周波数を低下させるためには（１）式から明らかな
ように振動板２の直径ｄを大きくする吉ともに厚みｔを
小さくすればよいが、例えば振動板２に圧醒バイモルフ
を用いた場合Ｉ ＫＨｚ以下の共１辰鳴器１の容積を大
きくし開口部１ａの面積を小さくする゛ことも必要であ
るが、このようにすると開口部１ａから入射する低周波
圧力変化に対して高周波Ｓ＠してしまい信頼性の高い圧
力変化の検出が非常に難しい。
共振周波数を低下させるためには（１）式から明らかな
ように振動板２の直径ｄを大きくする吉ともに厚みｔを
小さくすればよいが、例えば振動板２に圧醒バイモルフ
を用いた場合Ｉ ＫＨｚ以下の共１辰鳴器１の容積を大
きくし開口部１ａの面積を小さくする゛ことも必要であ
るが、このようにすると開口部１ａから入射する低周波
圧力変化に対して高周波Ｓ＠してしまい信頼性の高い圧
力変化の検出が非常に難しい。
ところで、低周波の圧力変化を検出するものには電磁形
のものもあるが、このものも共憑点についての考え方は
基本的に上述のものと同じであり小型で低周波に感度を
有する検出器を構成するのが大変帷しく、特に１０Ｈｚ
以下の低周波圧力変化を非接触で検知することは非常に
難しい。また、この他に圧力変化を空気等の媒体の流れ
としてこの流れ変化を熱放散の変化乏して自己加熱型サ
ーミスタの抵抗変化に変換して検知する赤外線センサー
を用いる方法や、超音波を特定の静止物体に反射させ、
やはり媒体の流れをドツプラー効果を利用して検出する
超音波センサーを用いる方法があるが前者においては周
囲温度の補償が必要であったり検出器に加わる等方位の
圧力を検出できない欠点があり、後者においては装置が
複雑になったり喝向注があるため検出器の開口方向以外
の圧力変化を入力しないため感度が悪くなる欠点があっ
た。また特ｌこ上述の赤外線センサーや超音波センサー
を侵入者監視装置に用いた場合これらセンサーの有する
個有の視野内に伸大者が入ったとき侵入者からの熱線（
１０μｍ程度の波長を有する赤外線）や反射超音波をセ
ンサーにて検出するが、この種センサーはいずれも個有
の視野角を有し感度を上げようとすると視野がせばまっ
て警戒網が狭くなり、逆に視野角を広げると今度は感度
が下がって曖戒能力が低下してしまい、結局ある程度の
広さの監視をするには数個のセンサーを必要とするなど
経済的に不利な欠点があった。
のものもあるが、このものも共憑点についての考え方は
基本的に上述のものと同じであり小型で低周波に感度を
有する検出器を構成するのが大変帷しく、特に１０Ｈｚ
以下の低周波圧力変化を非接触で検知することは非常に
難しい。また、この他に圧力変化を空気等の媒体の流れ
としてこの流れ変化を熱放散の変化乏して自己加熱型サ
ーミスタの抵抗変化に変換して検知する赤外線センサー
を用いる方法や、超音波を特定の静止物体に反射させ、
やはり媒体の流れをドツプラー効果を利用して検出する
超音波センサーを用いる方法があるが前者においては周
囲温度の補償が必要であったり検出器に加わる等方位の
圧力を検出できない欠点があり、後者においては装置が
複雑になったり喝向注があるため検出器の開口方向以外
の圧力変化を入力しないため感度が悪くなる欠点があっ
た。また特ｌこ上述の赤外線センサーや超音波センサー
を侵入者監視装置に用いた場合これらセンサーの有する
個有の視野内に伸大者が入ったとき侵入者からの熱線（
１０μｍ程度の波長を有する赤外線）や反射超音波をセ
ンサーにて検出するが、この種センサーはいずれも個有
の視野角を有し感度を上げようとすると視野がせばまっ
て警戒網が狭くなり、逆に視野角を広げると今度は感度
が下がって曖戒能力が低下してしまい、結局ある程度の
広さの監視をするには数個のセンサーを必要とするなど
経済的に不利な欠点があった。
この発明は上記欠点を除去するためなされたもので、１
０Ｈｚ以下の低周波の微圧力変化を良好に、しかも広視
野にわたって検出できる気 圧力変化検出装置を提供することを目的とする。
０Ｈｚ以下の低周波の微圧力変化を良好に、しかも広視
野にわたって検出できる気 圧力変化検出装置を提供することを目的とする。
μ下、この発明の一実施例を図面に従い説明する。
第３図はこの発明を侵入者監視装置ζこ適用した例を示
している。図において１１は検出部本体で、この本体１
１は非接触圧力変化検出素子例えば焦電素子１２．この
焦電素子１２を支持する基板１３ぢよび導体１４を有し
ている。この場合、焦電素子１２は微分素子と呼ばれ、
温度変化があって始めて電気信号を出力する特性を有す
るものてｐｚ’ｒＬｉＴａＯ，、ＰＹｆｉ’、 、ｐｂ
’ｒ、ｏ、 、ＴＧＳ、ＺｎＯなどの焦電体の両面にＡ
ｇ、Ａｕ、 Ｎｉ−Ｃｒなどの電極（図示せず）を付し
、これに白金黒、合焦、カーボンブラックなどからなる
熱吸収１１に１２１を設けている。また基板１３はアル
ミナ、ステアタイトなどからなるもので、Ａｇ、 Ａｇ
−Ｐｄなどの電極（図示せず）を有し、この電極上に北
記焦電素子１２を支持するとともをこその電気出力部を
電気的に接続し、この＠極をリードａ１３１を介して導
体１４に接続している。
している。図において１１は検出部本体で、この本体１
１は非接触圧力変化検出素子例えば焦電素子１２．この
焦電素子１２を支持する基板１３ぢよび導体１４を有し
ている。この場合、焦電素子１２は微分素子と呼ばれ、
温度変化があって始めて電気信号を出力する特性を有す
るものてｐｚ’ｒＬｉＴａＯ，、ＰＹｆｉ’、 、ｐｂ
’ｒ、ｏ、 、ＴＧＳ、ＺｎＯなどの焦電体の両面にＡ
ｇ、Ａｕ、 Ｎｉ−Ｃｒなどの電極（図示せず）を付し
、これに白金黒、合焦、カーボンブラックなどからなる
熱吸収１１に１２１を設けている。また基板１３はアル
ミナ、ステアタイトなどからなるもので、Ａｇ、 Ａｇ
−Ｐｄなどの電極（図示せず）を有し、この電極上に北
記焦電素子１２を支持するとともをこその電気出力部を
電気的に接続し、この＠極をリードａ１３１を介して導
体１４に接続している。
このような検出部本体１１は導体１４を介して回路基板
１５上に設けられている。この回路基板１５にはインピ
ーダンス変換用素子例えばＦＥＴ１５を設けている。こ
の場合、回路基板１５は第４図に示ずようｌこ入力抵抗
Ｒｇｓよびソース抵抗１’Ｌｓを有しており、焦電素子
Ｉ２の両端子間ｌこ入力抵抗ｒ（ｇを妾続するとともに
一方端子をＦ’Ｅ’Ｉ”１６のゲートに、他方′端子を
ソース抵抗Ｒｓを介してＦＥ′ｉ’１５のソースに夫々
接続し、 ［’１ＤＴ１５のドレイン、ソースおよび
抵抗Ｒｇ Ｒｓの隆続点より夫々ピン１７１，１７２，
１７３を導出している。これらピン１７１ 、１７２
、１７３は第３図に示すように回路基板１５より垂直に
突設されベース１８を介して外部ｌこ導出している。ベ
ース１８には一定の容積を有するハウジング例えばＴＯ
−５ハウジング１９を設けこのハウジング１９中に上記
検出部本体１１、ＦＥＴ’１６ｊ６よび回路基板１５を
収納している。このＴＯ−５ハウジンク１９は頭部に圧
力伝達用の開口部１９１を有している。
１５上に設けられている。この回路基板１５にはインピ
ーダンス変換用素子例えばＦＥＴ１５を設けている。こ
の場合、回路基板１５は第４図に示ずようｌこ入力抵抗
Ｒｇｓよびソース抵抗１’Ｌｓを有しており、焦電素子
Ｉ２の両端子間ｌこ入力抵抗ｒ（ｇを妾続するとともに
一方端子をＦ’Ｅ’Ｉ”１６のゲートに、他方′端子を
ソース抵抗Ｒｓを介してＦＥ′ｉ’１５のソースに夫々
接続し、 ［’１ＤＴ１５のドレイン、ソースおよび
抵抗Ｒｇ Ｒｓの隆続点より夫々ピン１７１，１７２，
１７３を導出している。これらピン１７１ 、１７２
、１７３は第３図に示すように回路基板１５より垂直に
突設されベース１８を介して外部ｌこ導出している。ベ
ース１８には一定の容積を有するハウジング例えばＴＯ
−５ハウジング１９を設けこのハウジング１９中に上記
検出部本体１１、ＦＥＴ’１６ｊ６よび回路基板１５を
収納している。このＴＯ−５ハウジンク１９は頭部に圧
力伝達用の開口部１９１を有している。
なおこの場合、ハウジング１９の開口部１９１を通して
赤外線が検出部本体１１の焦電素子１２に直接与えられ
るのを防ぐことが検出精度を高める上で必要であり、こ
のため図示例のものでは基板１３の焦電素子１２を設け
た面吉反対側面が上記開口部１９１に対向するようにし
ている。
赤外線が検出部本体１１の焦電素子１２に直接与えられ
るのを防ぐことが検出精度を高める上で必要であり、こ
のため図示例のものでは基板１３の焦電素子１２を設け
た面吉反対側面が上記開口部１９１に対向するようにし
ている。
次にこのように構成した圧力変化検出装置の作用を説明
する。
する。
まず、例えば閉じた部屋すなわち窓やドアが閉まってい
る部屋に検出装置をハウジング１９の開口部１９１がふ
さがれないように配置する。この場合、装置はどこに置
いても構わないし、また隙間のあいた箱などの中ｌこセ
ラ）・シてもよい。勿論部屋内に人が居ても構わない。
る部屋に検出装置をハウジング１９の開口部１９１がふ
さがれないように配置する。この場合、装置はどこに置
いても構わないし、また隙間のあいた箱などの中ｌこセ
ラ）・シてもよい。勿論部屋内に人が居ても構わない。
この状態で部屋の窓やドアを開けると室内の気圧が変化
する。この気圧変化は圧力変化検出装置にも加わりハウ
ジング１９の開口部１９１を通して気室（ハウジング１
９とベース１８にて形成される空間から検出部本体１１
、 ＦＥＴ１６、回路基板１５などの内容物を除いた
空間）に！云えられる。
する。この気圧変化は圧力変化検出装置にも加わりハウ
ジング１９の開口部１９１を通して気室（ハウジング１
９とベース１８にて形成される空間から検出部本体１１
、 ＦＥＴ１６、回路基板１５などの内容物を除いた
空間）に！云えられる。
この場合圧力変化を△Ｐ、気室の容積をＶとすると周知
のＰＶ＝ＲＴなるボイルシャルノａ法則（こしたがって
芥′４Ｖが一定ならば気室の１「力変化△瞥９温度変化
Δ′Ｆにつながることになる。
のＰＶ＝ＲＴなるボイルシャルノａ法則（こしたがって
芥′４Ｖが一定ならば気室の１「力変化△瞥９温度変化
Δ′Ｆにつながることになる。
これによりこのときの１′品度変化△Ｔは熱吸収１漠１
２１にて効率よく吸収され焦電素子１２での壌′４効果
ｌこよって電気言号に変換され、この′ｄ気倍信号ＦＩ
ＤＴ１６を通りインピーダンス変換されたのちピン１７
１．１７２．１７３より圧力変化演出信号として出力さ
れる。
２１にて効率よく吸収され焦電素子１２での壌′４効果
ｌこよって電気言号に変換され、この′ｄ気倍信号ＦＩ
ＤＴ１６を通りインピーダンス変換されたのちピン１７
１．１７２．１７３より圧力変化演出信号として出力さ
れる。
この１８合、圧力変化の周波数特性は第５図ζこ示すよ
うな焦電型赤外線噴出素子の感度特性に対応する。これ
により部屋の窓やドアの開閉のような比較的緩漫な圧力
変化つまり低周波で微小な１五カ変化も非接触にて良好
に演出できることになる。
うな焦電型赤外線噴出素子の感度特性に対応する。これ
により部屋の窓やドアの開閉のような比較的緩漫な圧力
変化つまり低周波で微小な１五カ変化も非接触にて良好
に演出できることになる。
また、このときの圧力変化検出出力により第６図に示す
ような駆動回１路を用いることにより警報を発したり、
あるいは防犯シャッタを閉じたりするこ吉なともできる
。すなわち、第６図では符づ２０で示すこの発明装装置
からの出力を１曽中４ル２１に与え７０ｄＢ程度増巾す
る吉ともにアクティブフィルタ２２にて０．１〜］、
ＯＨＺ程変のバンドパスヲ行ない不要信号を除去し、こ
ののちダイオード２３を介して直流信号に変換しこれを
コンデンサ２４に充′屈する。そして、このコンデンサ
２４の光′成仏が所定値以−ヒになったききスイッチ回
路２５をオンし警報やシャッタなどの駆動源２６を駆動
するようｌこしている。
ような駆動回１路を用いることにより警報を発したり、
あるいは防犯シャッタを閉じたりするこ吉なともできる
。すなわち、第６図では符づ２０で示すこの発明装装置
からの出力を１曽中４ル２１に与え７０ｄＢ程度増巾す
る吉ともにアクティブフィルタ２２にて０．１〜］、
ＯＨＺ程変のバンドパスヲ行ない不要信号を除去し、こ
ののちダイオード２３を介して直流信号に変換しこれを
コンデンサ２４に充′屈する。そして、このコンデンサ
２４の光′成仏が所定値以−ヒになったききスイッチ回
路２５をオンし警報やシャッタなどの駆動源２６を駆動
するようｌこしている。
したがって、このような構成によればハウジングの開口
部を通して気室に伝えられる低周波圧力変化をボイルシ
ャルルの法則に基ずいて温度変化としてとらえ、これを
演出部本体の焦′賀素子で検出するようにしたので検出
空間に生じた１ｏＴＴｚ以下の低周波の微少圧力変化を
無接触で、しかも、味指向で広視腎ζこわたって良好に
検出できることになる。また焦電素子には熱吸収膜を付
しているので圧力変化にともなう温度変化を高感度でと
らえることができ、検出精度を著しく高めることもでき
る。
部を通して気室に伝えられる低周波圧力変化をボイルシ
ャルルの法則に基ずいて温度変化としてとらえ、これを
演出部本体の焦′賀素子で検出するようにしたので検出
空間に生じた１ｏＴＴｚ以下の低周波の微少圧力変化を
無接触で、しかも、味指向で広視腎ζこわたって良好に
検出できることになる。また焦電素子には熱吸収膜を付
しているので圧力変化にともなう温度変化を高感度でと
らえることができ、検出精度を著しく高めることもでき
る。
な８、この発明は上記実崩例にのみ限宝されず安旨を変
更しない範囲で適宜変形して実！血できる。
更しない範囲で適宜変形して実！血できる。
例えば第７図に示すように検出部本体１１は焦電素子１
２の全周を熱吸収膜１２１にて覆いこれを導体１４に直
接設けるとともに回路基板１５上に設けるようにしても
よい。この場合も、虫型素子１２がハウジング１９の開
口部１９１に直接対向しないように開口部１９１よりわ
ずかにずらして１配置青する必要がある。
２の全周を熱吸収膜１２１にて覆いこれを導体１４に直
接設けるとともに回路基板１５上に設けるようにしても
よい。この場合も、虫型素子１２がハウジング１９の開
口部１９１に直接対向しないように開口部１９１よりわ
ずかにずらして１配置青する必要がある。
μＬ述べたようにこの発明によれば１０Ｈｚ［ｄ下の低
周波で微圧力変化を良好にしかも広視野？こわたって険
出し得る圧力変化検出装置を世（Ｉｔ−できる。
周波で微圧力変化を良好にしかも広視野？こわたって険
出し得る圧力変化検出装置を世（Ｉｔ−できる。
パδ１図は従来の圧力変化検出装置の一例を示す概略的
？ｌＶ成図、′Ｘ２図は同装置ａを説明するための特性
図、哨３図はこの発明の一実施例を示す概略略図、第５
図は同実施例を【１５１明するための特性図、第６図は
同実〕血例に（ｄ加される駆動回路の一例を示すブロッ
ク図、第７図はこの発明の他実施例を示す概略的構蜘図
である。 １・・・共鳴器 １ａ・・・開口部２・・・撮
動板 １１・・・検出部本体１２・・・焦心素
子 １２１・・・熱吸収膜１３・・・基板
１３１・・・リ −ド腺１４・・・導体
１５・・・回路基板１６・・・Ｆ’ＥＴ
１７１，１７２，１７３・・・ピン］８・・・
ベース １９・・・Ｔｏ−５ハウジング１９
１ ・・開口部 ２０・・・圧力変化検出装
置２１・・・増巾器 ２２・・・アクティブフィル
タ２３・・・ダイオード ２４・・・コンデンサ２
５・・・スイッチ回路 ２６・・・駆動源第１図 第２図 第３図 第４図 ２
？ｌＶ成図、′Ｘ２図は同装置ａを説明するための特性
図、哨３図はこの発明の一実施例を示す概略略図、第５
図は同実施例を【１５１明するための特性図、第６図は
同実〕血例に（ｄ加される駆動回路の一例を示すブロッ
ク図、第７図はこの発明の他実施例を示す概略的構蜘図
である。 １・・・共鳴器 １ａ・・・開口部２・・・撮
動板 １１・・・検出部本体１２・・・焦心素
子 １２１・・・熱吸収膜１３・・・基板
１３１・・・リ −ド腺１４・・・導体
１５・・・回路基板１６・・・Ｆ’ＥＴ
１７１，１７２，１７３・・・ピン］８・・・
ベース １９・・・Ｔｏ−５ハウジング１９
１ ・・開口部 ２０・・・圧力変化検出装
置２１・・・増巾器 ２２・・・アクティブフィル
タ２３・・・ダイオード ２４・・・コンデンサ２
５・・・スイッチ回路 ２６・・・駆動源第１図 第２図 第３図 第４図 ２
Claims (5)
- （１）一部に開口部を有するハウジングと、このハウジ
ング内ｔこ設けられ計つ上記開口部を介してハウジング
内に伝えられる圧力変化を温度変化としてとらえ出力を
発生する焦電素子を有する検出部本体とを具備したこと
を特徴きする圧力変化検出装置。 - （２） 上記検出部本体は焦電素子、この焦電素子を
支持する基板および焦電素子の出力を導出する導体を有
することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の圧力
変化検出装置。 - （３）上記検出部本体はインピーダンス変換素子を有す
る回路基板上ｌこ設けられることを特徴とする特許請求
の範囲第１項又は第２項記載の子方変化検出装置。 - （４） 上記検出部本体は焦電素子の少なくとも一部
に熱吸収膜を設けたことを特徴とする特許請求の範囲第
１項乃至＠３＠のいずれかに記載の圧力変化検出装置。 - （５） 上記検出部本体は焦電素子がハウジングの開口
部と直接対向しないように配置されることを特徴とする
特許請求の範囲第１頃乃至嬉４項のいずれかに記載の圧
力変化検出装置凌。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17786581A JPS5879127A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | 圧力変化検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17786581A JPS5879127A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | 圧力変化検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5879127A true JPS5879127A (ja) | 1983-05-12 |
Family
ID=16038421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17786581A Pending JPS5879127A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | 圧力変化検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5879127A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62115333A (ja) * | 1985-11-14 | 1987-05-27 | Yukio Ogawa | 超微圧応答型多機能センサ−装置 |
| JP2010169512A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Nippon Soken Inc | 圧力変化検出装置 |
-
1981
- 1981-11-06 JP JP17786581A patent/JPS5879127A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62115333A (ja) * | 1985-11-14 | 1987-05-27 | Yukio Ogawa | 超微圧応答型多機能センサ−装置 |
| JP2010169512A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Nippon Soken Inc | 圧力変化検出装置 |
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