JPS5873849A - 結晶方位測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は靜電谷飯型のビデオ・ディスクやデジタル・オ
ーディオ・ディスク等に用いられる接合型ダイヤモンド
針のｉｌ量産磨加工工程において、インラインでダイヤ
モンド結晶軸が設定から太きくａｂた方位をもつものお
よび双晶ダイヤモンド結晶ｔ−排除するための全数検査
用迅速結晶方位測定装置である。

結晶方位測定装置としては、Ｘ線フィルムを検出器とし
たラウェ・カメラや試料結晶が１棟の軸に対して同転可
能な四軸自動回折計等が既に開発され一般ｊＣｔｅ用さ
れている。ところが。

これらの装置を用いてダイヤモンドの結晶方位を決定す
るためには一試料あたシ二十分以上の時間ｔｌ！する。

すなわち、フィルム法では産出時間に少くとも数分を蒙
し、現像時間も約三十分必要である。さらに、回折写真
をグライニンガーチャート等で解析をする必要があり１
人間の視覚的判断力に頼らざるを得ない過程が存在し、
量産ラインの全＃Ｘ慣査に応用するＫは難しい。

四軸自動回折針では、Ｘ線検出器を利用しコンピュータ
ー制御を行なえるため１人間の判断力はあまシ必要とぜ
ず測定精度も高い、ところが、Ｘｌｉ！Ｉ！回折反射を
測定するためには少くとも２ｍ以上の回転軸の角度を少
しずつ独立に動かさねはならないため、＃Ｉ定に要する
時間を二十分程度必要とし、蓋産ラインに組み込み全未
加工品の結晶方位を測定する方法としては不適当であっ
た。

本発明の目的はｍ韮うインにおいて全米加工ダイヤモン
ドチップを検査し、不良品の検出と微細研磨加工性ｔ−
ｆ定化させる情報を得るため。

ダイヤモンドチップｔ＊置するシャンク軸に対するダイ
ヤそンド結晶方位を迅速に決定する結晶方位測定装置ｔ
−提供するにある。

本発明では、対象とする結晶をダイヤモンド等の立方晶
系に限足し、−一のみの回転角度が特定指数群のＸ縁回
折反射全てに一対一対応するように、Ｘ線光学系を工夫
することによって迅速な観測データの収集を可能とした
。また。

研磨加工困難な結晶は所定方位から大巾にずれ九角匿で
保持具に固定されたものか双晶かであることを実験的に
見出したため、データ処理装置に散り込んだ回折Ｘ線の
観測角度データから結晶方位の３パラメータを求めるデ
ータ処理プログラム及び、双晶が単結晶とは異なる角度
間隔でＸ線回折を起すことを利用した判定プログラムに
よシ迅速に双晶結晶の検出と結晶方位が所定値から杵容
値以上のずれを生じているかを判定することを可能とし
た。

以下１本発明の一実施例を図面により説明する。第１図
祉本発明による結晶方位測定装置の主費部の配置を示す
斜視図である。第１図において、Ｘｇ源１から発生し７
ｔＸ線１ａはコリメータ２を通過することに１夛細束化
され、シャンク軸３に接合さ些たダイヤモンドチップ４
を熱射する。ダイヤ若）ドを透過したＸ線１・はビーム
・ストッパー５で吸収される。シャンク軸３はその軸を
中心としてψ回転し、ブラッグの法則が成立する幾何学
的条件が満足する角度に違したときのみＸＩＩＭ回折が
起る。ダイヤモンド４の結晶面で回折した（口）折ＸＩ
Ｍ１ｂのうち、特定の面指数をもつものが半円周状スリ
ット６によシ選択され、Ｘ線検出器７に入射し、出力（
１）を出すように距ｆｌｋＬｔ設定する。ま九半円周状
スリット６とＸ線検出器７の間には必要なときにＸ線検
出器７の一部を閉じるシャッター８を設けである。距離
りはＸ線の波長９回折Ｘ＆ｌの面指数と半円糊状スリッ
ト６０半径Ｒとから決定される。ここでは、Ｘ＠がＭＪ
（Ｄ＠、　　λ＝αｙ１ｏｙＡ。

面指数が（１１１）のときの例を示す。

ダイヤモンド結晶の格子定数はαｏ”Ａ３６８ｊである
から１回折角θはブラッグの法則よシＯ＝よりＬとＲの
関係は一２９＝ｗ１９．ｆ３６°＝Ｒ／Ｌ　　で与えら
れる。スリットの幅は回折Ｘ＠の広かや。

ダイヤモンドの格子定数の変動、距離りや半径Ｒの温匿
変化等ｔ−考慮し、に４’Ｌ５弓に１５−に対して１閤
とした。

ダイヤモンド倣細研腑加工はシャンク軸切り欠き面３α
とシャンク軸３の中心を基準に行なわれるため、ダイヤ
モンド・チップの結晶軸の軸方位とシャンク軸５との関
係は第２図に示すように、シャンク軸切り欠き面ｓａ±
ダイヤモンド結晶軸８１およびシャンク中心軸ｌ）ｉダ
イヤモンド、結晶軸α畠であることが望ましい。

ダイヤモンド結晶がシャンク軸に対してどのような方位
で接合されているかは、第５図に示す５ｍのパラメータ
、α、β、ｒを求めればよい、第３図において、ａ□、
α３．ａ、はダイヤモンドの結晶軸の単位ベク、トルで
あり互いに直交している。また、Ｘ、Ｙ、Ｚはシャンク
軸に附した軸でら９．Ｘはシャンク軸の切り欠き面に垂
直、又はシャンク軸の軸方向と一致し、ＹはＸおよびＺ
Ｋｉｋ５ｅする軸である。第３図において。

αは４Ｂ１のＺに対する傾き、βはα３のＸＹ面内成分
のＸｔ始緑とする角度であり、ｒｕα鳳ＯＸＹ面内成分
のＯＸを始線とする月匿である。

（１１１）１′および（１ｔｒ）＊Ｈダイヤモンド結晶
向の回折ベクトルであシ、それぞれ（１１１）および（
１１匂に画厘である。ａ″１１品゛１１１）？　＜１１
Ｔ）”回折ベクトルのＸＹ平面内への投影であり、始線
凛とａ′１品′　の成す角がそれぞれω１．ωノ゛であ
る。１１図に示し九装置を用いると＃０＋ωＬ、＃０＋
ωノのときＸ線回折が観測される。いま、（１１１）”
−（１１ケベクトルミｒＴ”ｒ２　＝計’　＝＝　２　
ａｓ；＜ｒｔ　Ｏｒ＠　＝７０．５　Ｓ″等の条件が成
夛立つため、　　（１１ｒ）”、　（ｍ）τ（１１げお
よび（１１０に対応する０回転角を測定し、α。

β、ｒの５パラメータを求めることができる。

＃！５図において、ダイヤモンド（１１０而の回転角が
ω２．ω］のとき、ダイヤモンドによるＸ−回折があ夛
、Ｘ！検出器に出力があることを意味する。いま、第５
図中の角度、（ω２．ハ）、（ω、。

ｘ））が判定できると次の式によシ容易に結晶方位の設
定からのずれ角（α、βａｔ）が１其で１耐−ωに一一
勢　　　、−０，−８＋３１Ｔｎ　　ａｓｘ　＆　ｃｏ
ｓｔｌｇ　＋ａｙ：　ｚＣＯＩω＆ここで（８）式のＪ
＆とｘｔの関係はｘｋｍｘＬ＜０　　でなければならな
い、すなわち、　　（１１１ｆ＋　（１１１ル２（１０
Ｇ）”また社（１１１）＊＋（１１１ル２（１００ダの
関係を利用する。

この様に、Ｘ線回折の３つの方位角（ω、Ｊ）が測定で
きると、容易に（α、βｓｒ）が求まる。

ところが、２つの角［１−求めようとすると、結晶ｔ−
２つの独立な軸で回転させねばならず、規定Ｗｃ置がＩ
Ｉ雑になるにかシでなく、測定時間に長時間′ｆｒ要す
る。そこで１本発明では一軸の回転のみで、ずれ角（α
、β、γ）を求める方法を案出適用した。

ダイヤモンド単結晶によるＸｉＮの（ロ）折は極めて限
られた幾何学的条件が満足されたときに起る。したがっ
て、・、シャンク軸の回転角ψとＸ線検出器の出力（１
）との関係を表わすと紺４図のよ一□。

うに鋭いピークが′観測される。このピークの観測され
る角［ｔ−順番に６．央・・・・・・とすると、単結晶
ダイヤモンドからは６〜角の８つのピークが観測される
。

一万、ダイヤモンドの（１１１Ｊ”回折は次の式で与え
られるブラックの法則に従って起こるため。

入射ｘ４１ビームとダイヤモンドの（１１１）面が０だ
け傾いているとき観測される。

ここで、ダイヤモンドの偽＝ｓ、ｓ６ａ、ｉ、　ＭｏＫ
ａのλ＝０．７１０７ノ　を代入すると０キ９９３５°
である。第１図に示Ｌ７た装置で、ψ、ω、＃の関係は
ψ、＝ω１＃　　　　　　　　　　　　　　　　川・・
曲・・・（５）で表わされる。

第５図において（Ｘ、Ｙ、Ｚ）＠ｔ！に５図と同じ座標
系とし、Ｃμ＋　　ｖｅ　ｗ）’に結晶軸の座標系とす
ると、＠ＩＩだけＸＹ面で回転したときのＸＹｒｋＪと
１Ｌν面の成す角度δは次の式で与えられる。

幽ａニー匹（Ｗ−β）ｍα　　　　　　　　・・・・曲
・・・・（６）（６）式の関係￥ｒ利利用て（１）〜（
３）式の角ｆｘＶ消去することを考える。

第６図において、ｏ　−ｐ　−ｔはｘｙ＠、ｏ−Ｉ−ｑ
はμｖＥｉｉｌｒにそれぞれ含まれるとする。また、ｏ
ｒ、、ｏ−は第３図と同様にＸ線の回折ベクトルを示す
、いま１Ｍ００−ｔ　−ｑ面との交点をｆとすると、立
方晶系の（１１１ｆと（１１ｒ）＊回折の幾何学約関係
から、贋け０−１−　ｑ面と直交し、ｆは病の中点であ
る。′！ｊだ、ダイヤモンドの（１ｔｉ）と（１１１）
との成す角は＜ｒ、　Ｏｒ２中７α５！Ｉ°である。い
ｔ　、　＜　Ｔ＋Ｏｒｇ＝２’７とすると。

＜ｊ　Ｏｒ、　＝　（ｊロナ、＝η＊３５．２６°　　
である。

第５図において ｐｒ、　＝　ｏｒ、幽ｘ、　　　　　　　　　　　　　
　　−曲内・・・・（７１’Ｐ＃　＝　ｏｒ、（２）Ａ
−δ１　　　　　　　　・・四・・・・・（８）ｆｒ１
＝　（’　ｒ＋　ｄｍη’　　　　　　　　−・−−−
−＝−（９１嶋＝匹−戸＝Ｔし値α　　　　・・・・・
・・・・・・・ｔｌ１１７１　、１８１　、　（Ｑｉ式
ｔ−ａｓ式１ｔ７　Ｌ［。

１１めへ−ｏｒ、（２）円鋤δ１＝介１幽Ｖ−α　・・
・・・・・・・・・・（ロ）α１式は一般に成立する式
であるため次の関係式を得る。

ｔｂＪ−鳴Ｚｔａ顕０＝−―η／龜罵α　　　　　　　
　　　　　　　曲・・・・・・リ　　α罎ここで、　ｇ
ｌｎＪについてδ、η、αだけの式で表現できれば、（
α、β＋ｒ）ｔ−ｍだけの関数で表わすことができる。

幽Ｘ＝ξとすると、１ｘ１≦９０°であるから磐式は ξ−Ｆ７戸−δ−ηｉα　　　　　・・・・・・・・・
・（６）′幹式をξについて平方根を消去し、ξについ
て降べきの順に整理すると 斡式ｔξについて解くと ξ（２）α＝幽η（２）２ａ±（２）ηｄｎＪ　　　　
　　・・・・・・・・・・・・Ｏ◆となる。

ここで、ａ４式ｉＨ１１１式に代入すると２−α＝ｐ　
Ｉ＊＋　１１　ｃｍ”δ、−画イー１）ａｄδ”−’Ｊ
（ｄｋｒａ。

−幽へ月　　　・・・・・・・・・・・・（２）ここで
、幽す＝１７β、邸η＝ＦＡを（２）に代入すると次式
を得る。

２α−α＝１α−−、＋α■２δｒ暉１（ｍ！１ａ＊−
−ｎδθ　１　　　・・・・・・・・・・・・０時（６
）式をに）弐に代入する。　　・。

−Ｊ＝１−−９＝１−仰２（Ｗ−β）内意α、であるか
ら。

む−α＝　１２−ｇｌｎ”α（ｃｍ”（１１＋１−β）
　４ｃｍ”（Ｗ）＠−β月Ｑｉ　ｍα（ｍ　（ｗ２−１
　）　ｘ（町−β月１　・・・・・・・・・・・・翰一
（−−β）＋ｔｘａ”（ｗｌ−β）＝１　”　２　（ａ
Ｊｓ２（今一β）−２（町−β月　　・・・・・・・・
・・・・に）幅２（鴫−β）−２（ζ−β）；２（２）
（鴫十町−２β）（２）（ｗ、−ｗθ　　　　・・・・
・・・・・・・・（至）ａｌｌ偽−β）−ｃｍ偽−β）
＝−２出（立方−β）、　２ ｔｈ（￥）　　　・・・・・・・・・・・・四を得る。

（２）式、（２）式の右辺をそれぞれ２４２Ｂと表すと
、（至）、（至）、一式ｔ−的式に代入してｈ−α＝１
２−幽”ｃｌ−Ａｔｉｎ冨α±２ｐＢｍα１　・・・曲
面・（ハ）ここで、　　ＩＡＩ　＜　１　、　　ｌＢｌ
　＜　１　、　１ｇｌｎα１＜１よシ。

（２）式は ２−ｂ／ｋｌ（１＝２−ＭＣ１−Ａｔ１ｌ（Ｉｆ：　２
ｉｉＢ幽α　　　・・・・・・・・・・・・（２）′−
′式において、　　１，４１　＜１　、　ｓｈｅ”α〜
０であるから。

１−α神±ｉ（−一β−（％−”ｌ　＞　　　　・・・
・・・・・・・・・■”ｋ”ｔ ２ 同様に ｌｓｍα１１ミ＋２ム＜ｍ４．＋２竺５　、：下β）−
ｎ（竺−１二！１）　　　　　　　　　　　・・・・・
・・・・・・・　ぐ箒′ここで１輪、＠′式よシβにつ
いて解くと（１１号同順） βの値域ｔ−０°≦３６０°で表わすと、に）式からは
４つのβの値が得られる。これら４つのβがら正しいβ
の値を得るには、ψの回転が１８０°のとき。

第１図の１７４円周シャッター８を閉じて得られる＾、
＾のｆＬｔ−用いる。

Ｘ線回折法で鉱結晶の表と裏が区別できないため、φが
１８０°を超えると内；１８０°＋φ１．ψ＠’＝１８
０゜＋φ鵞、ψ７＝１ｓｏ°＋ψ３．ψ７＝１８０°＋
φ、となる、ところが、１７４円周シャッターを閉じて
測定すると。

観測されるφ１紘ψｉあるいはψ６′のいずれか、同様
にφ６はφ７Ｔｏるいはψｌのいずれかとなる。この関
係を利用すると、０≦ψ＜１８０°で測定された４つの
Ｘ＃回折のうち、ψ１．φ、のいずれの回折が正のＸの
ｊｌＮＩをもつか、同様にψ畠、ψ県のいずれの回折が
正のＸの角ｒｉＬｔ−もつかが判定できる。

Ｌ（ψｉ”ｌ’ｓ）−（１ｍ”＄＋Ｄ９０°Ｏｆｔ　メ
、　Ｚｔ　ｅ　Ｊ＊　＃２ Ｊ３　、５４でいずれが正の籠をもつかが判れば、第３
図における２　＠　（Ｄ　ｒｌｒ、の傾きの関係から次
の四つの範囲のうちいずれが正しいか判定できる。

（１）　Ｔ（町鳩）内（’ｓ”％）：ら〉へら〉０１　
　　　　　　　　・　　　１ ０ｖ）ｉ（％＋１％）＋１８０　　≦β（３−（”＋　
十ｗ？　　）　：　”＋＞　０９％　）　。

さらに勢式の伽号向順による２種の４からの選択を行う
、第５図、第６図においてｅｎｄ、　ｗｉがβあるいは
と１８０°に近い儀のときは、（６）式における１幽Ｊ
、ｌキ１−δ、１となシ、第６図におけるｒ市＝一定の
ため、　〈ｔｅｐ＝ｗ、−ｗ６０〉ｉ）の籠が小さくな
る。従−て、上記（ｉＪ　−１１ｖ）の範囲が求められ
た際。

鴫−鴫の値と鴫−町の伽を比較して、鴫−ｗｘ＜ｓ−＊
ならば、／ｌｈのうちΣ（町十鴫）あるいはｉ（崎十＠
）＋１８０”Ｋ近い麺をβとすることができる。

一式から求めたβは近似値であるため１次に正確なβを
求める。＠′式より Ｆ（ロ）＝　Ｆ＄ｈ　Ｆ直β　　　　　　　　・・・・
曲面（２）（２）式を用いて、四式から求めたβを出発
値としテ＝、−）ン法によりβを精密化する。

このようにして、βの正確な値を求めた後。

（２４−１）あるいは（２４−２Ｘからαを求めること
ができる。０４式の両辺を自乗して Ｍ＝（―η−δ境ηｓｉｎす＝　与４ａ±ｌ−３３５ ＋〆一　　　・・・・・・・・・・・・（２）いｔ　１
ｍα１＜１　であるから一式はξすαキＹ±２９−６　
　　　　　　　　　　　　・・・・・・・・・・・・（
ロ）（至）式ｔψ）式に代入することによシ４１１のｒ
ｏ値が得られる。

ここで第３図と第６図において、ｌαｌが小さなＩ［を
とるから。

、、　ｒｔ　＝　Ｗ、＋Ｊ　−４５６＝−・・−（２９
−１）ｒ＊ｒ冨＝！仁シーＩ　Ｓ　５　’　　：、ｌ’
、！、’、１１．　　　・・・・・・・・・（２９−２
）とまる、ところで、第６図において７ＴＬｏｉｌ離が
短い８ｉケは＜ｐａｆ　の２等分−に近い位置となる。

従って、鴫−町＝８３．鴫−鴫＝りとすると６．くりな
らはＩＴ−ｒｔ　Ｋｌｒ−ｒｔ　ｌとなるため、＠式と
（３）式から得られた４ａＩのｒのうちγ、に最も近い
ものがｒと判定できる。このようにしてα、β。

γの全ての値が決定される。

立方晶系結晶の性質として−Ｃｗ＆十ｗｓ）−＞（ｗｘ
＋哨）キ９０°であるから、（２４−１）、　（２４−
２）式において２−（−！ｃ′）である、これはε□＝
忙町１ｇ１＝−鳴とすると、町〉７°または〜〉７°な
らば少くともα〉６°であシ、結晶方位が設定より大き
く傾いたダイヤモンド・チップであると一義的に判断で
き、不良品として排除するのが望ましい。

ダイヤモンド・チップが単結晶のとき、（ζ＋ｗｓ）−
（Ｍｋ　”Ｍｌｌ　）は１８０°に近い値をとる。とこ
ろが稀にこの籠が６０であるいは１２０°に近い麺をと
るダイヤモンドがある。これらのダイヤモンドに□゛・
１ ついて光学顯黴鏡“やラウェＸ線回折写真撮影を行なっ
たところ、双晶のダイヤモンドであることが明らかとな
った。双晶ダイヤモンド・チップは方位が異なる検数の
結晶から構成されている丸め、研磨加工が困難でＴｏシ
、不良品として排除するのがＷｉましい。

仁れら２Ｗｋ（双晶および傾き大）のダイヤモンド−チ
ップのシャンク軸の回転に対するＸ線回折による検出器
の出力との関係は第７図に表わすような形になる。

本発明の実施例では双晶による不良品、傾き大による不
良品、良品の結晶方位（α、βｓｒ）決定ｔ−第８図に
示すフローチャートに従って行なった。フローチャート
に従い１本発明による結晶方位測定鉄酸の一実施例の動
作を説明する。

試料載置後、Ｘ＠を試料にｈ射し、データの入力を開始
する。４個のＷ、（ＩＩｌｌ、鴫ＨＩＩＩＩ＋　”！６
　）を測定し、（ζ＋”ｕｓ）−（町＋ｗ、　））１６
０°ならば双晶は無いと判断できる丸め次のステップに
進む、　　（ｗ４＋＃、）−（ｗ、　＋ｓａ、　）≦１
４０°ならばダイヤモンド・チップが双晶で６９不良品
と判定し、この試料の測定を終了する。

次のステップに進んたものについて一−ＷＩ＜７゜かつ
〜−鴫く７について調べ１条件を満足しているものは次
のステップに進み、満足しないもの社傾き大の不良と判
定し、この試料の測定を終了する。

次にＷが１８０°を超したところで１７４円周シャッタ
を閉じ、鴫ｅｗ＠１！ｌ”入力する。入力終了後へβ、
ｒについて計算し、αく６°かつｒ＜６°について調べ
る１条件を満足していないものについては不良品と判定
しα、β、ｒの亀を出力し。

この試料の測定を終了する０条件１満足するものは良品
と判定し、α、β、ｒの麹を出力し。

この試料の測定を終了する。

第９図に本発明による結晶方位測定装置全体のｆａツク
φダイアグラムを示す、ｆＩｉ！９図においてＸ！Ｉ源
１から発生したＸ線はＸ線源シャッター１０．コリメー
タ２ｋｉｌｌダイヤモンド・チップ４を熱射する。夕′
イヤモンド・チップを透過したＸ線社ビームストッパー
５で吸収され。

回折ｘａｍａ検出器７に入射する。ダイヤモンド・チッ
プ鉱炉−回転用モーター１１によ多回転し。

モーターに直結したエンコーダー１２が角度パルスを発
生する。角度パルスはインターフェース１５を、検出器
出力はカウント回路１４を通シ、マイクロ・コンビエー
タ−を内蔵し九データー処理装置１５に入力される。デ
ータ処理後の出力祉ＣＫＩ′１６．プリンタ１７とデー
ター収録用Ｍｒ１８に出力される。

実施例の装置においてＸ線源として為Ｘ！ｌ管球（Ｍｏ
Ｋｇ＝ａ、ｙ　１ｏ　ｙＡ　）を４０ｊ！Ｊ’−２０ｍ
Ｊにて用いＸ線源検出器間ｆ　１５０罵講として１回折
Ｘ！ｉｉ！Ｏｎ縦！中１０１カウント／秒、ψ−回転速
［を２０°廓として動作させ、約２０秒でダイヤモンド
・チップの良不良判定およびずれ角（α、βｅｒ）の決
定を行うことができた。

本発明によれば、試料の回転軸を唯−軸にすることがで
きるため、従来め四軸自動回折鉄蓋等に比ベデータ収集
時間１−常に殻〈でき、また試料載置機構の構造が極め
□て単純・小型化できるため、Ｘｌｌ１ｌ源検出器間距
離【１７４以下にできたためＸ線が有効に利用でき、２
０°／秒　という高速走査の測定が可能とな−た。その
結果。

従来２０分以上必要とした結晶方位が約１７６０の２０
秒で測定できるようになｐ、ｔａミラインの全数検査装
置として組み込むことが可能点なった。

また、小屋化できたため、散乱Ｘ線に対する防御も行な
い易くなり安全の面でも向上した。

本発明による結晶方位測定装置上用いることによ＃）、
不良ダイヤモンド・チップの選別および結晶方位のずれ
角（α、βｅ　ｒ）ｔ−出力することができるため、＆
工程である精密研暦加工工程にこのデータを厄用するこ
とにより、試料ごとの研磨特性の安定化が促進され、ス
ループットの向上が企れると共に歩留りｔ−１０１８！
［向上させる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図線本発−による結晶方位測定装置の主要部配置を
示す糾ｖｔ図、第２図はダイヤモンド１゜ ・チップのシャン多軸への取シ付は状態を示す斜視図、
第５同社本発明で用い九結晶方位と結晶によるＸ＠回折
ベクトルの関係を示す説明図。 第４図は本発明による結晶方位測定装置で得られるＸｌ
１１回析出、カバターンの例を示す図、第５、図はシャ
ンク軸の座標系とダイヤモンドのチップ結晶軸の座標軸
との関係ｔ−表わす説明図、第６図はダイヤモンド・チ
ップの回転角ψが近い値をもつ２つの回折Ｘ線の幾何学
的関係を示す説明図、第７（ｌＮＦｉ双晶、傾き大およ
び良品のダイヤモンド・チップの回転角ψに対する回折
Ｘ線の出カバターンの例を示す図、第８図は本発明によ
る実施例装置の双晶、傾き大による不良品および良品ダ
イヤモｙ　）’　ｅチップの設定に対する結晶軸の傾き
を決定するため０７１：Ｉ−チャート、第９図は本発明
の結晶方位測定装置のブロック・ダイヤグラムである。 ｉ：Ｘ＠源　　　　　　２：コリメータ３：シャンク軸
　　　　　４：ダイヤモンド・チップ５：ビーム・スト
ッパ　６：半円崗状スリット７：Ｘ線検出器　　　　８
　二１７４円胸シャッタ９：試料戦置台兼マイクロスイ
ッチ １０：Ｘ＠線源ャッタ　　１１：ψ−向回転モータ１２
：ψ−回転用エンコーダ １６：インターフェース　１４：Ｘ線カウント回路１５
：データ処理装置　　１６：表示用−ＣＲＹ’１７：表
示用プリンタ　　１８：データ収録用ＭＴ代理人弁理士
　薄　１）利１、専７．１ｊ！８１図 Ｍ２図 躬４図 ￥５５　図 暗７図 ＜ａ）３３−晶の±−合　　　　　　　（ｂ星貝き大の
１号合（Ｃ）罠品の場合 ψ（Ｊり 第８　図 躬９図 手続補正書（方式） 事件の表示 昭和５６　　年特許願第　１７１５９９号発明の名称　
結晶方位測定装置 補正をする者 名　！４　　　’：ｌｌ　Ｑノ材式会ｋｌ　　１１　　
立　製　作　所で・　表　ｔ　　三　　　ｆｉｌ　　　
勝　　茂代　　理　　人 居　　所　　〒則東京都千代田区丸の内−丁目５番１号
株式会ン！日立製作所内　電話　リ・・・・　４３５−
４２２１補正の内容 （１）　　ｌＳｍ１ｉｉ’ｔ”、　第７　ｔｇｖｉｏｌ
ａ　ｏ　ａ　ｓ７．＞ｅ−５；−７６０？′７図 （α）　　　　　　　　　　　　（ト）（Ｃ） φ（庚）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 特定波長のｘｍが得られるＸ線源、Ｘ線源から放射され
   るＸ＊ｔｔ細束化するコリメータ、特定面指数群の回折
   λ−のみ音検出する半円周状スリットおよび必要なとＩ
   ＫＸ＃検呂器の一部を閉じるシャッターとをもつＸｌ１
   １１検出系と試料結晶をコリメータ・検出器と同一軸上
   の中間点に設置し、試料結晶′ｆｔ照射Ｘ線に対して直
   角な唯−軸で任意の返良で（ロ）転する機構ｔ−備え、
   Ｘ＆ｌ照射しながら結晶を前記の軸を中心に回転させ、
   特定結１面に対するブラッグ条件が成立し、その結果得
   られる回折Ｘ線を前記Ｘｌ／Ｍ検出−で検出したときの
   試料結晶回転角を測定できる機構を伽え、１ｇ１転角の
   髄から試料結晶の双晶の有無と結晶方位を決定すること
   【特徴とする結晶方位測定展１１゜