JPS58703A - 高精度位置検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はレーザを光源に用いたスキャナ又はライターに
おいて、レーザビーム位置を高精度で検出する装置に関
するものである。

従来この種の装置はレーザビームをスキャンするための
ミラー駆動系、゛例えばガルバノメータ等、に接続され
たエンコーダからの位置出力によってレーザビームの位
置を検出していた。従ってエンコーダからの位置の分割
数についてはおのずと限界があり、特にスキャン幅が広
く高精度に位置を検出しようとするときには、エンコー
ダからの位置出力を一定層期のクロックによって分割す
るという方法しかとれなかった。

このため予測されるビーム位置と実際のビーム位置との
間には誤差が生じて、例えば＠面等における読取に際し
ては読取位置の誤差原因になっていた。

本発明はこれらの欠点を解決するためのものであり１例
えば図面読取等の場合でいえば、実際の読取位置に近い
ところに配したスケールと、周波数逓倍回路を備えるこ
とにより高精度にビーム位置を検出することを可能くし
たものである。

すなわち本発明によれば、レーザ光を用いたスキャナ又
はライターにおいて、レーザビーム走査方向のビーム位
置を検出するためのスケールと、該スケールを介してレ
ーザ光を集光するための集先手段と、集光されたレーザ
光を充電変換するための光電変換素子と、充電変換され
た位置信号からさらに細い位置信号を得るための周波数
逓倍回路と、を備えたことを特徴とする高精度位置検出
装置が得られる。

以下図に従って詳細に説明する。図は本発明の実施例を
示す構成図であり、レーザライターの例である。本実施
例を取り上げるのは説明の便宜であり、これに本発明を
限定するものではない。

この実施例では、レーザ発振部１が発するレーザビーム
は２本あり、それぞれ作画ビーム２と位置検出ビーム３
に分れており、上記作画ビームはレーザ発振部１への外
部信号によってレーザビームの出力レベルを可変できる
ようになっている。

この２つの一定の位置関係を持ったレーザビームは、例
えばガルバノメータなどの偏向手段４により一定幅スキ
ャンする。

位置検出ビーム２は１例えばり四−ム蒸着等の手段によ
って位置を刻んだガラススケール５を透過し、介在する
スケールによって与えられた位置情報をもりて、ライト
ガイド７に入射する。ライトガイド７に入射されたレー
ザ光は１例えばフォト・マルチプライヤ等の光電変換素
子９に集光され、光電変換される。

さらに光電変換された位置信号は２値化回路１０により
て例えば２値化して逓倍回路１１のリファレンス周波数
とする。逓倍回路１１は、逓倍数設定回路１２からの信
号により必要な分割数だけの細い位置信号を出力する。

その出力は位置出力端子１３に出力させると同時にレー
ザ発振部ｌの作画ビーム２の出力レベル変調用のタ四ツ
ク信号として変調制御部１４へ入力させる。一方作画ビ
ーム２は変調制御部１４からの信号で出力レベルの変調
を受け、ミラー６によってレーザ光によって感光するフ
ィルム８０面上に作画することになる。

以上説明したように、本発明によればレーザビームのビ
ーム位置を高精度で検出できるというすぐれた特徴を有
する。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を示す構成図である。図において
１はレーザ発振部、２は作画ビーム、３は位置検出ビー
ム、４は偏向手段としてのガルバノメータ、５はガラス
スケール、・６はミラー％７はライトガイド、８はフィ
ルム、９は光電変換素子、１０は２値化部、１１は周波
微逓倍部、１２は逓倍数設定部、１３は出力端子、１４
は変調制御部、 である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. レーザを光源に用いたスキャナ又はライターにおいて、
   レーザビームの走査方向のビーム位置を検出するための
   スケールと、該スケールを介してレーザ光を集光するた
   めの集光手段と、集光されたレーザ光を光電変換するた
   めの光電変換素子と、光電変換された位置信号からさら
   に細い位置信号を得るための周波数逓倍回路とを備えた
   ことを特徴とする高精度位置検出装置。