JPS5868627A - 透明体センサおよび透明体センサを用いた光計測方法 - Google Patents
透明体センサおよび透明体センサを用いた光計測方法Info
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- JPS5868627A JPS5868627A JP16774281A JP16774281A JPS5868627A JP S5868627 A JPS5868627 A JP S5868627A JP 16774281 A JP16774281 A JP 16774281A JP 16774281 A JP16774281 A JP 16774281A JP S5868627 A JPS5868627 A JP S5868627A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本兄明は、光透過性があるｉ１明体センサＳよびこの透
明体センサを用いた元ｊｔｔ副方法に関する。
明体センサを用いた元ｊｔｔ副方法に関する。
従来の光針關方法に２６いて、１つの畔副対戚尤から複
数の情報を得る４酋には、ハーフミラ−ｆ特殊光学部品
等を用い、ｔｔ測対家元を複数に分割し、これらの光を
別々にｔＦ（ｊＪ）Ｉする方法が一収に用いられていた
。
数の情報を得る４酋には、ハーフミラ−ｆ特殊光学部品
等を用い、ｔｔ測対家元を複数に分割し、これらの光を
別々にｔＦ（ｊＪ）Ｉする方法が一収に用いられていた
。
第１図は１上配従来の方法の一丙を示すもので、この方
法は訂細対康光である入射光ＢＩの入射位＠Ｓよび入射
角を１測するものである。まず、入射光Ｂ工をハーフミ
ラ−１により反射光ＢＲおよび透過光ＢＴに分割し、反
射光Ｂｆｌは位置検出量ンサ２に導かれ、透過光ＢＴＦ
ｉ凸レンズ３を介して角度センサ４に導かれる。すなわ
ら、泣−検出センサ２による反射光ＢＨの受光位置から
入射光Ｂ工の入射位置を慣出し、角誕センサ４による透
過ｊｆ、ＢＴの受光位置から入射光ＢＩの入射角度を検
出している。
法は訂細対康光である入射光ＢＩの入射位＠Ｓよび入射
角を１測するものである。まず、入射光Ｂ工をハーフミ
ラ−１により反射光ＢＲおよび透過光ＢＴに分割し、反
射光Ｂｆｌは位置検出量ンサ２に導かれ、透過光ＢＴＦ
ｉ凸レンズ３を介して角度センサ４に導かれる。すなわ
ら、泣−検出センサ２による反射光ＢＨの受光位置から
入射光Ｂ工の入射位置を慣出し、角誕センサ４による透
過ｊｆ、ＢＴの受光位置から入射光ＢＩの入射角度を検
出している。
この従来の光学針側方法は、ハーフミラ−４！によりＩ
ｆｆ副対戚光を反射光３よび透過光に分割して櫨々の光
計測を行なうものであるため、分割された各々のＩ！Ｔ
ｔ測対象光の光波は減少し、また分割される各々の＃副
対象光の分割比も任意に遇べなｔ″−尋の不具合があっ
た。さらに、このノ・−フミラー等を用いた元ｔｒｉｍ
装置は他の光学系との多ム反射寺により４１ｍになり、
かつ光学系の賛求檀匿が尚いため高度な製造技術が要求
されること等から価格も浦くなり、装置ｆ＆計上のトラ
ブルも多く生じた。
ｆｆ副対戚光を反射光３よび透過光に分割して櫨々の光
計測を行なうものであるため、分割された各々のＩ！Ｔ
ｔ測対象光の光波は減少し、また分割される各々の＃副
対象光の分割比も任意に遇べなｔ″−尋の不具合があっ
た。さらに、このノ・−フミラー等を用いた元ｔｒｉｍ
装置は他の光学系との多ム反射寺により４１ｍになり、
かつ光学系の賛求檀匿が尚いため高度な製造技術が要求
されること等から価格も浦くなり、装置ｆ＆計上のトラ
ブルも多く生じた。
本茜明は、上述の点に礁４てなされたもので、１つの、
１測対戚光から４１叔の情報を得るのに通した透明体セ
ンチを提供するものである。ｆた、この透明体センサを
用いた光Ｉｔｔ＃ｌ力法を従方法るものである。
１測対戚光から４１叔の情報を得るのに通した透明体セ
ンチを提供するものである。ｆた、この透明体センサを
用いた光Ｉｔｔ＃ｌ力法を従方法るものである。
以ド、本発明について添附図面を８照し、−側に説明す
る。
る。
４２図は本発明の透明体センナの一構ｂＭ、丙を示した
もので、透明体センｔ１０は２つの透明体センサ１０ａ
、１０１）から構成される。透明体センサ１０１Ｌは透
明ガラス基板ＩＩ上にアルミ＃［極からなる電憔１２を
蒸着技術によって生成し、その上に、薄膜化されたアモ
ルノアスシリコン太−４池からなる受光素子１３を蒸着
生成して４成される。ここで、アルミ電ｍ１２′Ｊ６よ
び受光素子１３を十分薄く形成すれば、ａ側体センサ１
０ａの元透過波を十分鳩いものにすることができる。こ
の透明体センｔ１０＆は、２本１組のＳｔ伏アルミ成極
１２を図のように横列に複数組、さらに、この各々の組
の巌伏アルミ電憔１２上に所定ピッチでｍ数個ずつ受光
索子１３が配設され、ｘ＠用検出用センサとして用いら
れる。また、透明体センサ１０ｂはＹ＠位１１検出セン
ナとして用いるもので、基本的にはｊｓ明本体センサ１
０ａ同様に構成される。すｔわ５透明体センサ１（ｌは
２本１組の一状アルミ成億１２倉図のように縦伺に一慎
畝組、さらにこの谷々の線伏アルミ電＠１２上ＫＩｆＴ
足ピッチで偵畝債ずつ受光菓子１３が配設されている。
もので、透明体センｔ１０は２つの透明体センサ１０ａ
、１０１）から構成される。透明体センサ１０１Ｌは透
明ガラス基板ＩＩ上にアルミ＃［極からなる電憔１２を
蒸着技術によって生成し、その上に、薄膜化されたアモ
ルノアスシリコン太−４池からなる受光素子１３を蒸着
生成して４成される。ここで、アルミ電ｍ１２′Ｊ６よ
び受光素子１３を十分薄く形成すれば、ａ側体センサ１
０ａの元透過波を十分鳩いものにすることができる。こ
の透明体センｔ１０＆は、２本１組のＳｔ伏アルミ成極
１２を図のように横列に複数組、さらに、この各々の組
の巌伏アルミ電憔１２上に所定ピッチでｍ数個ずつ受光
索子１３が配設され、ｘ＠用検出用センサとして用いら
れる。また、透明体センサ１０ｂはＹ＠位１１検出セン
ナとして用いるもので、基本的にはｊｓ明本体センサ１
０ａ同様に構成される。すｔわ５透明体センサ１（ｌは
２本１組の一状アルミ成億１２倉図のように縦伺に一慎
畝組、さらにこの谷々の線伏アルミ電＠１２上ＫＩｆＴ
足ピッチで偵畝債ずつ受光菓子１３が配設されている。
このような透明体センサ１０は、例えば第２図に示され
るように、＃を一対象光である入射光Ｂ工がこの透明体
センナ１０に照射された場合、ｘ＠力向の位置検出は透
明本センサ１０ａの受光素子１３により＃測され、！軸
方向の位置検出は透明体センサ１０口の受光菓子により
計測される。
るように、＃を一対象光である入射光Ｂ工がこの透明体
センナ１０に照射された場合、ｘ＠力向の位置検出は透
明本センサ１０ａの受光素子１３により＃測され、！軸
方向の位置検出は透明体センサ１０口の受光菓子により
計測される。
なｇｌよＥＲＡ緬丙で示した透明体センサは２枚１組で
２仄元＃鯛を行なうようにしたものであるが、透明ガラ
ス基板１１面上におい【アルミ４億１２８工び受光索子
１３の配設の仕方を工大することによって１枚で構成す
ることも町Ｈ目である。
２仄元＃鯛を行なうようにしたものであるが、透明ガラ
ス基板１１面上におい【アルミ４億１２８工び受光索子
１３の配設の仕方を工大することによって１枚で構成す
ることも町Ｈ目である。
例えば、１枚の透明ガラス基板面上に複数段にアルミｄ
Ｌ億ｇよび受光菓子を絶縁体を生成しなθ−らム設した
り、また１枚の透明ガラス基板の衣層にアルミ砿億ｇよ
び受光菓子をそれぞｊ′Ｌ配設すること等により、本実
地例で使用した透明体センサ１０と同等の愼龍をもつ透
明体センナができる。名りに、用窩に応じて受光菓子を
慣座標上の満足の位置に配設する構成にしたり、また透
明基板は透明無色のガラス板に限らず透明Ｍ色ガラス板
や一元仮に直さ遺えた透明体セ／すも考えられる。
Ｌ億ｇよび受光菓子を絶縁体を生成しなθ−らム設した
り、また１枚の透明ガラス基板の衣層にアルミ砿億ｇよ
び受光菓子をそれぞｊ′Ｌ配設すること等により、本実
地例で使用した透明体センサ１０と同等の愼龍をもつ透
明体センナができる。名りに、用窩に応じて受光菓子を
慣座標上の満足の位置に配設する構成にしたり、また透
明基板は透明無色のガラス板に限らず透明Ｍ色ガラス板
や一元仮に直さ遺えた透明体セ／すも考えられる。
４３図は、上ｍｌ透明体センサｌＯを用いた本兄例の元
針副方法の一実ルーを示したものである。
針副方法の一実ルーを示したものである。
不実凡例は酊＃ｊ対戚尤の入射位置を透明体センサ１０
により、１を醐し、かつｇｔ測対ム光の入射角度をこの
ａ切体センサ１０を・透過した元かう角度検出センサ４
により針側するものである。第３図に４６いて、ｔ′ｉ
測対尿元である入射光Ｂｌは透明体１０５ｃ透過すると
同時に、この透明体センサｌＯにより入射位置が２次元
的に計測さ〕Ｌる。また、透明体センサ１０を透過して
さた透過光ＢＩは凸レンズ３を介して角度検出センサ４
により計測対戚光の入射角度が計則される。なＨ１本不
実例は入射光ＢＸの入射位置と入射角度を恢出するもの
であるが、他の情報を得る計測にも４１Ｊ用でざる。ま
た、透明体センサを多段に使用して、同−元からａ数の
１＃報を得るようにすることもでざる。
により、１を醐し、かつｇｔ測対ム光の入射角度をこの
ａ切体センサ１０を・透過した元かう角度検出センサ４
により針側するものである。第３図に４６いて、ｔ′ｉ
測対尿元である入射光Ｂｌは透明体１０５ｃ透過すると
同時に、この透明体センサｌＯにより入射位置が２次元
的に計測さ〕Ｌる。また、透明体センサ１０を透過して
さた透過光ＢＩは凸レンズ３を介して角度検出センサ４
により計測対戚光の入射角度が計則される。なＨ１本不
実例は入射光ＢＸの入射位置と入射角度を恢出するもの
であるが、他の情報を得る計測にも４１Ｊ用でざる。ま
た、透明体センサを多段に使用して、同−元からａ数の
１＃報を得るようにすることもでざる。
以上のように、本発明によれば入射光を直接酎側すると
ともに、その入射光の大部分子ｈｅ遇させることが−で
きる透明体セ／すを提供す゛ることがでざる。また、こ
の透明本センサを用いた光ｇｔ副刀法によれば、同−元
から４１故の情報を得ることができ、かつ光学部品も少
なく取扱いが間車であり、慎砿設６ｔｓよび強匿設針等
も容易に！工り、元計測装置の小形化およびｔ１１１ｇ
格化か−１舵である。
ともに、その入射光の大部分子ｈｅ遇させることが−で
きる透明体セ／すを提供す゛ることがでざる。また、こ
の透明本センサを用いた光ｇｔ副刀法によれば、同−元
から４１故の情報を得ることができ、かつ光学部品も少
なく取扱いが間車であり、慎砿設６ｔｓよび強匿設針等
も容易に！工り、元計測装置の小形化およびｔ１１１ｇ
格化か−１舵である。
１面の量率な説明
第１凶は従来の元ｄｔ測刀法を示す略図、第２図は本兄
明の透明庫センサの−＃Ｉｔ成例を示す斜視図、第３図
は本発明の元、１ｉｄＪ刀法を小す略図である。
明の透明庫センサの−＃Ｉｔ成例を示す斜視図、第３図
は本発明の元、１ｉｄＪ刀法を小す略図である。
１・・・ハーフミラ−１２・・・位１ｆ侠出センサ、３
・・・凸レンズ、４・・・角度構出センサ、ｌＯ・・・
ｘｓ＃ＪＡ体センサ、１１・・・透明基板、１２・・・
透明１Ｌ憶、１３・・・透明受光素子。
・・・凸レンズ、４・・・角度構出センサ、ｌＯ・・・
ｘｓ＃ＪＡ体センサ、１１・・・透明基板、１２・・・
透明１Ｌ憶、１３・・・透明受光素子。
第２図
ｔｏ ＩＩ
／
第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １１） 透明基板面上に＊ａのａ四成極Ｓよシ透明受
光本子を生成させ、ＢｔＪ記透明受光本子による受光偲
号を前記ａ１１１″鑞極を介して取り出すようにしたこ
とを待機とする透明体センナ。 （２） 別記透明基板は透明なガラス板であり、８ｔ
ｌ記％ｅ請求の軛−講（１）項記−の透明体センサ。 １３） Ｕ明基板面上に複数の透明電−ｇよび透明受
光系子を生成させた透明体センｆＫより釘副対戚元をｔ
Ｆ細するとともに、該透明体センｔ′ｆｒ透過した透過
光を再度曲の１１測に利用する透明本センナを用いた光
ｔｉ＃ｌ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16774281A JPS5868627A (ja) | 1981-10-20 | 1981-10-20 | 透明体センサおよび透明体センサを用いた光計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16774281A JPS5868627A (ja) | 1981-10-20 | 1981-10-20 | 透明体センサおよび透明体センサを用いた光計測方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5868627A true JPS5868627A (ja) | 1983-04-23 |
Family
ID=15855267
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16774281A Pending JPS5868627A (ja) | 1981-10-20 | 1981-10-20 | 透明体センサおよび透明体センサを用いた光計測方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5868627A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009107003A1 (en) * | 2008-01-28 | 2009-09-03 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Lighting unit with photosensor |
-
1981
- 1981-10-20 JP JP16774281A patent/JPS5868627A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009107003A1 (en) * | 2008-01-28 | 2009-09-03 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Lighting unit with photosensor |
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