JPS5864229A - 多孔質ガラス膜の製造方法 - Google Patents
多孔質ガラス膜の製造方法Info
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- JPS5864229A JPS5864229A JP16234481A JP16234481A JPS5864229A JP S5864229 A JPS5864229 A JP S5864229A JP 16234481 A JP16234481 A JP 16234481A JP 16234481 A JP16234481 A JP 16234481A JP S5864229 A JPS5864229 A JP S5864229A
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- glass
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- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明Ｌ１ガスの分〜、根板などに用いる多孔實ガラス
換を１ＩＩ５Ｉ４１！に製造する方法に関するものであ
る。
換を１ＩＩ５Ｉ４１！に製造する方法に関するものであ
る。
献体、カスなどを多孔質ガラス中を通過させ、その中の
不純物または坊定の取分のみを分離、抽出する方法は古
くから知られている。このよりな多孔質ガラスの絞迫力
泳として、ｋ米から良く知られている方法は、初木献果
広、および、相分履法などである。
不純物または坊定の取分のみを分離、抽出する方法は古
くから知られている。このよりな多孔質ガラスの絞迫力
泳として、ｋ米から良く知られている方法は、初木献果
広、および、相分履法などである。
前記粉末＃ｌ！＃に法は最も単純なψ孔買体またはガラ
ス体の製造方法であり、涼科初禾をプレス成形恢ｍ尚な
転置で焼結することによって多孔質ガラスＪＩＩＩｔ−
倚る方法でめる。この方法の最も一般的な過用は、陶員
路の製造方法である。即ち粘土質の原料を水で練り、成
形＆焼結して多孔實体を製造する。しかし、この初禾叙
集法によって製造され友多孔實体またヰ多孔買ガラスの
礼拝は、逍富、１０−’−１０’ ｍｍの大きさでめり
、ゴミなどの異物を液体筐良はガス中から堆り除くこと
は口」能であるが、組成分を分離、抽出することは一般
的に不町馳であった。また、多孔質体の製造にあたって
扛孔径の劃＃も山崩と言う欠点がわった。一方、相分離
による製造方法は、５ｉＯｚ Ｂ２（Ｊ３ Ｎａ２ｕな
どの成分からなるガラスを熱処理し、５ｉＵｚ相とＢ
２０５−Ｎ−ａ ２０相に分離させ、酸処理によって、
Ｂ４Ｃ）３ Ｎａ２Ｑ相を浴出、細孔を形成するもので
ある。この力泳によれば、１０−’ｍｍｉ展にまで微小
な孔に＊する多孔質ガラスを製造することができる。し
かしながら、−Ｆ根が複雑であり、此種の均一化、制御
も困もであった。
ス体の製造方法であり、涼科初禾をプレス成形恢ｍ尚な
転置で焼結することによって多孔質ガラスＪＩＩＩｔ−
倚る方法でめる。この方法の最も一般的な過用は、陶員
路の製造方法である。即ち粘土質の原料を水で練り、成
形＆焼結して多孔實体を製造する。しかし、この初禾叙
集法によって製造され友多孔實体またヰ多孔買ガラスの
礼拝は、逍富、１０−’−１０’ ｍｍの大きさでめり
、ゴミなどの異物を液体筐良はガス中から堆り除くこと
は口」能であるが、組成分を分離、抽出することは一般
的に不町馳であった。また、多孔質体の製造にあたって
扛孔径の劃＃も山崩と言う欠点がわった。一方、相分離
による製造方法は、５ｉＯｚ Ｂ２（Ｊ３ Ｎａ２ｕな
どの成分からなるガラスを熱処理し、５ｉＵｚ相とＢ
２０５−Ｎ−ａ ２０相に分離させ、酸処理によって、
Ｂ４Ｃ）３ Ｎａ２Ｑ相を浴出、細孔を形成するもので
ある。この力泳によれば、１０−’ｍｍｉ展にまで微小
な孔に＊する多孔質ガラスを製造することができる。し
かしながら、−Ｆ根が複雑であり、此種の均一化、制御
も困もであった。
本発明はこのような欠点のない多孔質ガラス験の製造方
法を提供することを目的とする。詳しくｅよ、多孔質ガ
ラス族の礼拝を容易に１ＩｉｌＪ＠シ均一化しえる多孔
質ガラス展の製造方法を提供することを目的とする。
法を提供することを目的とする。詳しくｅよ、多孔質ガ
ラス族の礼拝を容易に１ＩｉｌＪ＠シ均一化しえる多孔
質ガラス展の製造方法を提供することを目的とする。
したがって本発明による多孔゛實ガラス験の線造方法は
、ガラス形成原料のケイ本分を、気相または歌相で、敵
本と化合爆せて、ケイ木敵化物を言むカラス微粒子を合
成し、これをターゲットに堆積させること全特徴とする
ものである。
、ガラス形成原料のケイ本分を、気相または歌相で、敵
本と化合爆せて、ケイ木敵化物を言むカラス微粒子を合
成し、これをターゲットに堆積させること全特徴とする
ものである。
本発明によれは、カラス形成ＪＩＡ科から火炎加水５す
解わるいは熱緻化尋の熱作用婚により、カラス微粒子を
合成し、このガラス＊ｈ：Ｉ−をターゲット上に堆禎さ
せることにより多孔質カラス族をル成させるので、従来
に比して容易に多孔質ガラス績τ製造しえるとビうオリ
点がある。
解わるいは熱緻化尋の熱作用婚により、カラス微粒子を
合成し、このガラス＊ｈ：Ｉ−をターゲット上に堆禎さ
せることにより多孔質カラス族をル成させるので、従来
に比して容易に多孔質ガラス績τ製造しえるとビうオリ
点がある。
本発明を東に旺しく脱明する。
本発明による多孔質ガラス族の製造方法によれば、普ず
熱による作用郷、たとえば火炎加水分解ないし熱緻化等
により、前記ガラス形成原料中のケイ本分を＃を本と化
合させてケイ集線化物を含むガラス蓼粒子を製造する。
熱による作用郷、たとえば火炎加水分解ないし熱緻化等
により、前記ガラス形成原料中のケイ本分を＃を本と化
合させてケイ集線化物を含むガラス蓼粒子を製造する。
一１記ガラス形成鳳科としては、＃Ｉあるいはその他の
作用により敵本と化合し、５ｉ０２を形成するものでお
れはいかなるものでもよい。たとえは、５ｉＣ１４等の
塩化物をはじめとするハロゲン化本あるいは水素化物等
であることができる。
作用により敵本と化合し、５ｉ０２を形成するものでお
れはいかなるものでもよい。たとえは、５ｉＣ１４等の
塩化物をはじめとするハロゲン化本あるいは水素化物等
であることができる。
このガラス形成原料には孔径側−あるいはガラス族の性
質＋％を１崖して、側法的成分、六とえはＰＯＣｌ ｇ
、ＧｅＣｌ４、ＢＣｌ ３ 等を含ませることができ
る。
質＋％を１崖して、側法的成分、六とえはＰＯＣｌ ｇ
、ＧｅＣｌ４、ＢＣｌ ３ 等を含ませることができ
る。
ガラス形Ｍ、腺料は気相ないし液相状らで熱等によやケ
イ素数化物を含むカラス微粒子を形成するが、たとえは
気相の場合、バブラーを）４３い、履体のガラス形＆腺
料を気相状−とし、版水素バーナ寺により火炎加水分解
し、カラス微粒子とすることができる。また、履体のガ
ラス彫戚原ｔ＋ｔ−麺状とし、これを前配喰水木バーナ
寺に込り込み、火炎加水分解してガラス微粒子とするこ
ともできる。
イ素数化物を含むカラス微粒子を形成するが、たとえは
気相の場合、バブラーを）４３い、履体のガラス形＆腺
料を気相状−とし、版水素バーナ寺により火炎加水分解
し、カラス微粒子とすることができる。また、履体のガ
ラス彫戚原ｔ＋ｔ−麺状とし、これを前配喰水木バーナ
寺に込り込み、火炎加水分解してガラス微粒子とするこ
ともできる。
また火炎加水分解ばかりでなく熱誠化晦によってもカラ
ス微粒子を甘酸でさる。卸も、ガラス形成原料をカラス
微粒子とする具体的方法は、本発明において限犀される
もので鉱ない。
ス微粒子を甘酸でさる。卸も、ガラス形成原料をカラス
微粒子とする具体的方法は、本発明において限犀される
もので鉱ない。
ところで製造される多孔質ガラス験の孔径は、１す配ガ
ラス倣粒子の粒径及びこのカラス微粒子のＪＩＪ：軸し
たカラス微粒子集合体のかさ布置により伏にされるが、
このカラス微粒子の粒径ないしカラス像粒子集合体のか
さ重度はガラス形成原料の反応ｋＡ薇（ガラス倣板子合
底温鵬）ないしカラス微粒子集合体の祉槓面（ガラス偉
粒子が堆積する囲）の温度により決定される。したがっ
て、たとえは献水素バーナをカラス微粒子合成に用いる
場合は、＋ｉｉｆ配バーナの敵本ガス及び水系ガスのｔ
ＡＬｌｌＬを制御することにより、繭配反応蔽度ないし
ガラス似滞Ｍ子堆ａｌ［図の６腿の内力、符に反応温良
を自効に制御しえる。また、ガクス倣靭子来合体堆積圓
の６区を１罐に制（２）するために、削配堆執囲を加熱
するための補助用バーナを１けることができる。ｙｐち
カラス微粒子集合体の堆＆向の６匿を、たとえｔｉ２次
元赤外ｍ度釘などをルｊいて紬建し、堆積面龜叢の！！
！間的均−性を向上させるため柚助用バーナで力ｌ熱す
ることもできる。
ラス倣粒子の粒径及びこのカラス微粒子のＪＩＪ：軸し
たカラス微粒子集合体のかさ布置により伏にされるが、
このカラス微粒子の粒径ないしカラス像粒子集合体のか
さ重度はガラス形成原料の反応ｋＡ薇（ガラス倣板子合
底温鵬）ないしカラス微粒子集合体の祉槓面（ガラス偉
粒子が堆積する囲）の温度により決定される。したがっ
て、たとえは献水素バーナをカラス微粒子合成に用いる
場合は、＋ｉｉｆ配バーナの敵本ガス及び水系ガスのｔ
ＡＬｌｌＬを制御することにより、繭配反応蔽度ないし
ガラス似滞Ｍ子堆ａｌ［図の６腿の内力、符に反応温良
を自効に制御しえる。また、ガクス倣靭子来合体堆積圓
の６区を１罐に制（２）するために、削配堆執囲を加熱
するための補助用バーナを１けることができる。ｙｐち
カラス微粒子集合体の堆＆向の６匿を、たとえｔｉ２次
元赤外ｍ度釘などをルｊいて紬建し、堆積面龜叢の！！
！間的均−性を向上させるため柚助用バーナで力ｌ熱す
ることもできる。
このようなカラス微粒子はターゲットに堆積され前記ガ
ラス９！粒子集合体を形成するわけであるが、このター
ゲットの形状は基本的に駆足されるものではなく、釉型
、板状、性状吟任慧のル状であることができる。また、
製造される多孔質ガラス展よりも大きな孔ａｔ櫓するタ
ーゲットも用いることができる。このターゲットにカラ
ス微粒子を堆禎させた一合には、ターゲットより多孔質
カラス族を取り外すことなくその筐ま１史用に供するこ
とができ、憔めて製造上有利である。
ラス９！粒子集合体を形成するわけであるが、このター
ゲットの形状は基本的に駆足されるものではなく、釉型
、板状、性状吟任慧のル状であることができる。また、
製造される多孔質ガラス展よりも大きな孔ａｔ櫓するタ
ーゲットも用いることができる。このターゲットにカラ
ス微粒子を堆禎させた一合には、ターゲットより多孔質
カラス族を取り外すことなくその筐ま１史用に供するこ
とができ、憔めて製造上有利である。
このようにターゲットに堆積されたカラス値粒子東合体
はそのまま多孔質ガラス腺として用いら２するか、一般
には、このガラス叡粒子集合体を塊状、板状、内筒仏寺
に形成し、これ？ターゲットより夕ｔし、スライスして
多孔質ガラス族とする。
はそのまま多孔質ガラス腺として用いら２するか、一般
には、このガラス叡粒子集合体を塊状、板状、内筒仏寺
に形成し、これ？ターゲットより夕ｔし、スライスして
多孔質ガラス族とする。
また、このように製造した＋＋ｍ記カラス蝕々Ｊ子東打
体を任意に不活性雰囲気中で熱処理し、さらに幀密な孔
径を有するガラス族とするへこともできる。
体を任意に不活性雰囲気中で熱処理し、さらに幀密な孔
径を有するガラス族とするへこともできる。
この熱処理はＲｆましく Ｆｉ１０００〜１６００”Ｃ
Ｏｍｍテ朽なう。１０００”Ｃ未満であると熱地Ｉｌ！
９ｊＪ来がなく、また１６００℃を起えると、沿解し多
孔７ｊＬカ２ス族でなくなるからである。
Ｏｍｍテ朽なう。１０００”Ｃ未満であると熱地Ｉｌ！
９ｊＪ来がなく、また１６００℃を起えると、沿解し多
孔７ｊＬカ２ス族でなくなるからである。
以下、本発明の実施例について説明する。
実施例１
第１図は本＠明によるガラス線の製造方法を実施するた
めの概略脂であり、１にガラス形成原料、２Ｕバブラー
、３Ｌ酸水累バーナ、４はガラス微粒子、５Ｆｉガラス
値粒子集合体、６Ｆｉ火炎、７はターゲット、８は多孔
質ガラス膜、Ａはガラス替粒子集合体堆槓面堆積す。
めの概略脂であり、１にガラス形成原料、２Ｕバブラー
、３Ｌ酸水累バーナ、４はガラス微粒子、５Ｆｉガラス
値粒子集合体、６Ｆｉ火炎、７はターゲット、８は多孔
質ガラス膜、Ａはガラス替粒子集合体堆槓面堆積す。
ガラス形ｔｌｔ原料１として用い・た５ｔｃｔ４ は
冨編で祉散体であり、これをバブラー２などを用いて気
相にし、絃水索バーナ３に込）込む。叡水本バーナ３中
に杜、敵本ガスおよび水素ガスが配官糸（凶ボせず）か
ら分離尋人されており、畝水素バーナ３の出口（ｊ）／
Ｉでガラス形成原料ｌと共に素焼する。これによりガラ
ス微粒子４は一ト配（１）式の化学式で、火炎６中で発
生し、ターゲット７に吹きつけられ、＠粒子と値粒子筒
の和合によって次第にガラス倣粒子集合体５に成長する
。
冨編で祉散体であり、これをバブラー２などを用いて気
相にし、絃水索バーナ３に込）込む。叡水本バーナ３中
に杜、敵本ガスおよび水素ガスが配官糸（凶ボせず）か
ら分離尋人されており、畝水素バーナ３の出口（ｊ）／
Ｉでガラス形成原料ｌと共に素焼する。これによりガラ
ス微粒子４は一ト配（１）式の化学式で、火炎６中で発
生し、ターゲット７に吹きつけられ、＠粒子と値粒子筒
の和合によって次第にガラス倣粒子集合体５に成長する
。
５ｉＣ１４＋２）ｉｚＯ−＊ ５ｉＯｚ ＋４！ｉｃ１
−・（１）この実施１’ｌＪにおけるターゲット７は箱
型であり、その中にカラス値教子集合体５ｉＪ％ｆ：槓
させた。箱型のターゲット７＃′ｉららかじめ分解でき
るように設置ｔされており、ガラス倣粒子来合１４−５
はターゲット７から容易ＫＭＭり出すことが口ＪＮにで
める。堆り出されたガラス債粒子集合体５Ｆｉ所定の厚
さ、大きさ、形状に切断法などで、成形され、多孔質カ
ラス膜８とした。
−・（１）この実施１’ｌＪにおけるターゲット７は箱
型であり、その中にカラス値教子集合体５ｉＪ％ｆ：槓
させた。箱型のターゲット７＃′ｉららかじめ分解でき
るように設置ｔされており、ガラス倣粒子来合１４−５
はターゲット７から容易ＫＭＭり出すことが口ＪＮにで
める。堆り出されたガラス債粒子集合体５Ｆｉ所定の厚
さ、大きさ、形状に切断法などで、成形され、多孔質カ
ラス膜８とした。
この゛実施りにおける＃本ガスの流１ｌＩｔは７ｔ、イ
分、水素カスの流ｉｌは３ｔ／分でめった。またターゲ
ット７の表−（堆積１ｍ）の銀鼓は２次冗赤外龜度酎で
１３００″ｔｋ株持した。＃１１紀堆槙而Ａの編腿抹持
のため一助用酸水索バーナを用い／ｃ０このようにして
倚られ九多孔實ガラス族８の孔径は、 ５ＧＯＡの直径
で均一なものでめった。また除氷ガス、水素ガスの九童
通択により孔径ｌＯ〜ｘｏ、ｏｏｏＸの範囲で任意の多
孔質ガラス膜を親電することができた。
分、水素カスの流ｉｌは３ｔ／分でめった。またターゲ
ット７の表−（堆積１ｍ）の銀鼓は２次冗赤外龜度酎で
１３００″ｔｋ株持した。＃１１紀堆槙而Ａの編腿抹持
のため一助用酸水索バーナを用い／ｃ０このようにして
倚られ九多孔實ガラス族８の孔径は、 ５ＧＯＡの直径
で均一なものでめった。また除氷ガス、水素ガスの九童
通択により孔径ｌＯ〜ｘｏ、ｏｏｏＸの範囲で任意の多
孔質ガラス膜を親電することができた。
実施例２
第２図Ｆｉ第１図のターゲット７の上に実施Ｆ＋ １と
同じ条件で角筒状にガラス倣粒子集合体５を堆積、成長
させた？ｌ＋″′ｒ：あり、９は多孔質ガラス微粒子で
ある。カラス像粒子集合体５は、グラファイトの加熱炉
などにより、１３５０°ＣＫて不活性雰囲気中で熱処理
され、多孔質ガラス微粒子９とされた。多孔質カラス母
体９ｔ；Ｅガラス値粒子集合体５よりも緻密で、孔径は
１５０Ａであった。これｔ薄くスライスすることによっ
て多孔質ガラス膜を得ることができた。第２区の実施例
２においては、孔径の制御は前記熱処理条件によって任
意に行うことが口Ｊ詫であり％ＩＮＩＭＩ鞘度、均一性
は烏かった。
同じ条件で角筒状にガラス倣粒子集合体５を堆積、成長
させた？ｌ＋″′ｒ：あり、９は多孔質ガラス微粒子で
ある。カラス像粒子集合体５は、グラファイトの加熱炉
などにより、１３５０°ＣＫて不活性雰囲気中で熱処理
され、多孔質ガラス微粒子９とされた。多孔質カラス母
体９ｔ；Ｅガラス値粒子集合体５よりも緻密で、孔径は
１５０Ａであった。これｔ薄くスライスすることによっ
て多孔質ガラス膜を得ることができた。第２区の実施例
２においては、孔径の制御は前記熱処理条件によって任
意に行うことが口Ｊ詫であり％ＩＮＩＭＩ鞘度、均一性
は烏かった。
以上説明したように、本帖明によれば、多孔質カラス族
の１！１！逍工枚が従来法よりも大輪に短−されるのみ
でなく、これまで倚られなかった極めて細孔の多孔質ガ
ラス族が制御性良く得られ、また生組材が８１０２ガラ
スであるため、使用口Ｊ舵１Ｍ度転囲が従来のものより
も広くなる利点がろる。さらに原料粉末を砕いたり、溶
成混合などの工程がないため、極めて畠純度の多孔質ガ
ラス膜が得られる利点かあり、物質の梢矢用フィルタと
して最通でわる。
の１！１！逍工枚が従来法よりも大輪に短−されるのみ
でなく、これまで倚られなかった極めて細孔の多孔質ガ
ラス族が制御性良く得られ、また生組材が８１０２ガラ
スであるため、使用口Ｊ舵１Ｍ度転囲が従来のものより
も広くなる利点がろる。さらに原料粉末を砕いたり、溶
成混合などの工程がないため、極めて畠純度の多孔質ガ
ラス膜が得られる利点かあり、物質の梢矢用フィルタと
して最通でわる。
４１兜明によシ裟殖された多孔質ガラス族は、各悔気俸
、液体分子の大きさの差を４０月４した分隔、梢製展と
して元ファイバ製造、半導体、Ｃ１化学などの工業的分
剰において、筐だ、万（Ｅ字の分１ｔにおいてもその利
用＠咄は極めて広く分離、精製能力の効果、およびＭ済
的効果大なるものかめる。
、液体分子の大きさの差を４０月４した分隔、梢製展と
して元ファイバ製造、半導体、Ｃ１化学などの工業的分
剰において、筐だ、万（Ｅ字の分１ｔにおいてもその利
用＠咄は極めて広く分離、精製能力の効果、およびＭ済
的効果大なるものかめる。
第１図は本発明を実施するための装置の一例を不す拉詰
１であり、第２図は他の実施例の簡明するための凶でめ
る◇ １・・・ガラス形ｈ１．ｓＬ科、２・・・バフラ−１３
・・・散水本バーナ、４・・・ガラス微粒子、５・・・
カラス餉峯Ｊ子東合棒、６・・・火炎、７・・・ターゲ
ット、８・・・多孔實ガラス腕、９・・・多孔實ガラス
秋母体、Ａ・・・カラスリ！粒子集合体堆積開。 出願人代理人 −１冨 正 季 刊 第２図 ２
１であり、第２図は他の実施例の簡明するための凶でめ
る◇ １・・・ガラス形ｈ１．ｓＬ科、２・・・バフラ−１３
・・・散水本バーナ、４・・・ガラス微粒子、５・・・
カラス餉峯Ｊ子東合棒、６・・・火炎、７・・・ターゲ
ット、８・・・多孔實ガラス腕、９・・・多孔實ガラス
秋母体、Ａ・・・カラスリ！粒子集合体堆積開。 出願人代理人 −１冨 正 季 刊 第２図 ２
Claims (1)
- ガラス形成涼科中のケイ本分を、気相またｉｉ献相状塾
で、ｔｌｔ木と化合させ′てガラス値粒子を合成し、こ
れをターゲットに堆積させることｔｅａとする多孔質ガ
ラス換の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16234481A JPS5864229A (ja) | 1981-10-12 | 1981-10-12 | 多孔質ガラス膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16234481A JPS5864229A (ja) | 1981-10-12 | 1981-10-12 | 多孔質ガラス膜の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5864229A true JPS5864229A (ja) | 1983-04-16 |
Family
ID=15752763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16234481A Pending JPS5864229A (ja) | 1981-10-12 | 1981-10-12 | 多孔質ガラス膜の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5864229A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52151312A (en) * | 1976-06-04 | 1977-12-15 | American Optical Corp | Production of photochromic silicate glass film |
| JPS53143623A (en) * | 1977-05-23 | 1978-12-14 | Toshiba Ceramics Co | Production of glass for photoconductive fiber |
-
1981
- 1981-10-12 JP JP16234481A patent/JPS5864229A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52151312A (en) * | 1976-06-04 | 1977-12-15 | American Optical Corp | Production of photochromic silicate glass film |
| JPS53143623A (en) * | 1977-05-23 | 1978-12-14 | Toshiba Ceramics Co | Production of glass for photoconductive fiber |
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