JPS5863A - Heガスを用いる極低温用冷却方法 - Google Patents
Heガスを用いる極低温用冷却方法Info
- Publication number
- JPS5863A JPS5863A JP9936381A JP9936381A JPS5863A JP S5863 A JPS5863 A JP S5863A JP 9936381 A JP9936381 A JP 9936381A JP 9936381 A JP9936381 A JP 9936381A JP S5863 A JPS5863 A JP S5863A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- pressure
- low
- heat exchanger
- cooling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明けH・ガスを用匹る極低温用冷却方法に関し、特
に冷却装着の冷凍能力を低下させることなく、操作圧力
を低下させて操作性および保守性を高めた極低温用冷却
方法忙関するものである。
に冷却装着の冷凍能力を低下させることなく、操作圧力
を低下させて操作性および保守性を高めた極低温用冷却
方法忙関するものである。
極低m液化H6は極低温技術の進歩に伴なって益々重要
性が高まっておpl例えば超電導フイVを使用する磁気
浮上列車、超電導回転11.低温送電体、MiiD発電
機尋に活用されてhる。
性が高まっておpl例えば超電導フイVを使用する磁気
浮上列車、超電導回転11.低温送電体、MiiD発電
機尋に活用されてhる。
これらの装WK採用される極低温用冷却方法としては1
例えば第1m(概略説明図)に示す様な方法が最も一般
的である。即ち第1図にお−て1は極低温発生装置、2
は冷却ボックス、8は負荷部を示し、■のガスは圧縮機
4で加圧された後冷却ボックス!内に送夛込まれる。そ
して!!1〜第1〜熱交換器6a−5・で熱交換により
冷却され液化し良後JT弁cジュールトムソン弁)6で
更に冷却され、負荷1131で被冷却体の熱を奪って昇
温し丸後、再び熱交換器6・〜3aを逆方向に流れて入
p側のHeを冷却した後再び圧縮機4に戻)、この経路
で循環することによって負荷部8で極低温が得られる様
になっている。この場合、負萄部麿からの返fllH・
だけでは入り側H・を十分に冷却することができ1に−
から、入〕側Haの管路の一部を分岐させてH・の一部
を膨張I−ビン7方崗に流し、断熱膨張によ〕冷却した
後返還Heへ合流させることによって、冷却効率の向上
を図ってhる。淘補給Heガスは圧縮機4の直前等から
適宜供給される。
例えば第1m(概略説明図)に示す様な方法が最も一般
的である。即ち第1図にお−て1は極低温発生装置、2
は冷却ボックス、8は負荷部を示し、■のガスは圧縮機
4で加圧された後冷却ボックス!内に送夛込まれる。そ
して!!1〜第1〜熱交換器6a−5・で熱交換により
冷却され液化し良後JT弁cジュールトムソン弁)6で
更に冷却され、負荷1131で被冷却体の熱を奪って昇
温し丸後、再び熱交換器6・〜3aを逆方向に流れて入
p側のHeを冷却した後再び圧縮機4に戻)、この経路
で循環することによって負荷部8で極低温が得られる様
になっている。この場合、負萄部麿からの返fllH・
だけでは入り側H・を十分に冷却することができ1に−
から、入〕側Haの管路の一部を分岐させてH・の一部
を膨張I−ビン7方崗に流し、断熱膨張によ〕冷却した
後返還Heへ合流させることによって、冷却効率の向上
を図ってhる。淘補給Heガスは圧縮機4の直前等から
適宜供給される。
ところでとの植fl?i&JiO方法では、H・ガスを
最終的に極低温の液化H@に変換して負荷部に供給する
ものであ〕、その為には循環系を1b〜20匂/aw2
s度の高圧に保持する必要があり1強力な耐圧機器が要
求されると共に操作性も低く、シかも保守・点検が煩雑
である等の欠点があった。
最終的に極低温の液化H@に変換して負荷部に供給する
ものであ〕、その為には循環系を1b〜20匂/aw2
s度の高圧に保持する必要があり1強力な耐圧機器が要
求されると共に操作性も低く、シかも保守・点検が煩雑
である等の欠点があった。
更にki液体Heへの変換量と負荷部にシける必要等冷
食を一致させる為のコントロールVステムが不可欠であ
p、装置は複雑にならざるを得なかった。またこの様な
装置の性@(動力原単位)を向上させる為には、JT*
@を通るH・のガス量を極力少なくするのが有効と考え
られている。ところが従来の装置では、JT弁を通った
後の流体(気・液混合物)中に金管れる液体■虐は80
〜60嚢にすぎず、負荷部で冷却に消費されるのは該液
体H・の蒸発潜熱のみである。ここで液体H・の蒸発潜
熱は約!OJ/gKであるから、JT弁6を通過した全
流体が保有す為冷却エネルギーは6〜■1/gKと→こ
とKなる。従って冷却効率を高めゐ為には、JT弁6を
出た流体中の液体H・含有率を高め単位流量当pの蒸発
潜熱を増大するのが有効と考えられるが、その為#C#
i操作圧カをI!に高めたp熱交換器の数を増加し或は
その熱交換効率を高める必要かあ〕、装置は更に複雑且
つ大規模[する。
食を一致させる為のコントロールVステムが不可欠であ
p、装置は複雑にならざるを得なかった。またこの様な
装置の性@(動力原単位)を向上させる為には、JT*
@を通るH・のガス量を極力少なくするのが有効と考え
られている。ところが従来の装置では、JT弁を通った
後の流体(気・液混合物)中に金管れる液体■虐は80
〜60嚢にすぎず、負荷部で冷却に消費されるのは該液
体H・の蒸発潜熱のみである。ここで液体H・の蒸発潜
熱は約!OJ/gKであるから、JT弁6を通過した全
流体が保有す為冷却エネルギーは6〜■1/gKと→こ
とKなる。従って冷却効率を高めゐ為には、JT弁6を
出た流体中の液体H・含有率を高め単位流量当pの蒸発
潜熱を増大するのが有効と考えられるが、その為#C#
i操作圧カをI!に高めたp熱交換器の数を増加し或は
その熱交換効率を高める必要かあ〕、装置は更に複雑且
つ大規模[する。
一方超電導技術の進歩に伴なって超電導材料等の改良も
急速〈進んでか〕、最近では必ずしも液体H・程度DI
i低温でな(とも、若干高めの温度(6〜10 @[)
でも十分賽用化し得る様になってきえ。
急速〈進んでか〕、最近では必ずしも液体H・程度DI
i低温でな(とも、若干高めの温度(6〜10 @[)
でも十分賽用化し得る様になってきえ。
本発明者等は上記の皺な伏況をふまえ、必要程度の極低
温を効率良(得ることができ、しかも装置及び操作を簡
素化すると共に動力原単位を向上し褐る様な技術の開発
を期して鋭意研究を進めてきた。その結果、ある温度及
び圧力の状態下におけるH・ガスは高い比熱を有してシ
〕、この比熱を利用し、極低温H・ガス自体の顕熱によ
って冷逓する方法を採用すれば上記の目的が兄事に達成
されることを知〕、対に本発明の完成をみた。
温を効率良(得ることができ、しかも装置及び操作を簡
素化すると共に動力原単位を向上し褐る様な技術の開発
を期して鋭意研究を進めてきた。その結果、ある温度及
び圧力の状態下におけるH・ガスは高い比熱を有してシ
〕、この比熱を利用し、極低温H・ガス自体の顕熱によ
って冷逓する方法を採用すれば上記の目的が兄事に達成
されることを知〕、対に本発明の完成をみた。
即ち本発明に係る極低温用冷却方法とは、閉サイクル内
でHeガスをガス状のままで循環させ。
でHeガスをガス状のままで循環させ。
その循環過程でHe、ガスの圧縮と膨張を行なうことに
よりH・を極低温に冷却させる極低温用冷却方法であっ
て、はぼ常温常圧の低圧H・ガスを圧ItiI411に
よって5〜8SC圧Heガスとし、該加fE)Isガス
を、熱交換器を通して帰還する低圧Heガスと熱交換さ
せて冷却する他、その冷却過程で該加圧H・ガスの一部
を膨張タービンに供給して冷却した後上記低温低圧He
ガス帰還流路に供給し。
よりH・を極低温に冷却させる極低温用冷却方法であっ
て、はぼ常温常圧の低圧H・ガスを圧ItiI411に
よって5〜8SC圧Heガスとし、該加fE)Isガス
を、熱交換器を通して帰還する低圧Heガスと熱交換さ
せて冷却する他、その冷却過程で該加圧H・ガスの一部
を膨張タービンに供給して冷却した後上記低温低圧He
ガス帰還流路に供給し。
最終熱交換器において5〜8°に、S〜8’jC圧の極
低温Heガスとし、蒙H・ガスを極低温利用系に供給し
て冷却を行ない、a利用系よシ帰還すゐ昇温したH1l
ガスを、膨張弁に通して低圧Heガスとした後前記最終
熱交換器に供給し、続りて低圧H・ガス帰還流路を通し
て加圧Heガスを冷却しつつ前記圧縮機入口側に帰還さ
せるところに要旨が存在する。
低温Heガスとし、蒙H・ガスを極低温利用系に供給し
て冷却を行ない、a利用系よシ帰還すゐ昇温したH1l
ガスを、膨張弁に通して低圧Heガスとした後前記最終
熱交換器に供給し、続りて低圧H・ガス帰還流路を通し
て加圧Heガスを冷却しつつ前記圧縮機入口側に帰還さ
せるところに要旨が存在する。
以下実施例を示す図面に基づいて本発明の構成及び作用
効果を説明するが、下記は代表例であつて本発明を限定
する性質のものではな(、熱交換器の数や配瞳、膨鰻タ
ービンの取付は位置十数等は極低謳利用系の熱容量や要
求される噂冷の程度等に応じて任意に変芝することがで
き、それらはすべて本発明技術の範囲に含まれる。
効果を説明するが、下記は代表例であつて本発明を限定
する性質のものではな(、熱交換器の数や配瞳、膨鰻タ
ービンの取付は位置十数等は極低謳利用系の熱容量や要
求される噂冷の程度等に応じて任意に変芝することがで
き、それらはすべて本発明技術の範囲に含まれる。
まず本発明者等は、液化H・ガスの蒸発潜熱を利用した
従来の極低温発生技術に代えて、H・ガス自体の顕熱を
冷tlllIK利用するという着想を生かす為、Wi低
温下におけるH・ガスの比熱と圧力の関係を調べた。そ
の結果嬉!図に示す如く極めて特徴的な傾向を示すこと
が分かった。却ち第2図からも明らかな様に、液体li
eの比熱は温度が80に以下で且つ圧力が2〜8gC圧
の範囲で最大の値を示す。従ってH・ガスの顕熱を冷却
に利用するという立場からすれば、前述のIIIな循環
閉回路の負荷部におけるHeガスの温度及び圧力を上記
範囲に設定してやれば、H・ガスをあえて液化させるま
でもなくガス状の1まで効率良く冷却することがで暑、
それに伴なって操作圧力を大幅に低下させることが可能
になる。但し負荷部#!cシける圧力が低すぎると、後
で詳述する如(負荷部で昇温したHeガスの膨張弁通過
時の膨張率が不十分になって十分な寒冷が得られなく1
に、a、熱交換による入シ側H・ガスの冷却が不十分#
C′&るので。
従来の極低温発生技術に代えて、H・ガス自体の顕熱を
冷tlllIK利用するという着想を生かす為、Wi低
温下におけるH・ガスの比熱と圧力の関係を調べた。そ
の結果嬉!図に示す如く極めて特徴的な傾向を示すこと
が分かった。却ち第2図からも明らかな様に、液体li
eの比熱は温度が80に以下で且つ圧力が2〜8gC圧
の範囲で最大の値を示す。従ってH・ガスの顕熱を冷却
に利用するという立場からすれば、前述のIIIな循環
閉回路の負荷部におけるHeガスの温度及び圧力を上記
範囲に設定してやれば、H・ガスをあえて液化させるま
でもなくガス状の1まで効率良く冷却することがで暑、
それに伴なって操作圧力を大幅に低下させることが可能
になる。但し負荷部#!cシける圧力が低すぎると、後
で詳述する如(負荷部で昇温したHeガスの膨張弁通過
時の膨張率が不十分になって十分な寒冷が得られなく1
に、a、熱交換による入シ側H・ガスの冷却が不十分#
C′&るので。
負荷部における圧力は少なくとも5gIC圧以上にしな
ければならない。即ち本発明では負荷部におけるH6ガ
スの温度が5〜8@に、圧力が15〜8gC圧になる様
に操作条件を設定すゐととによって。
ければならない。即ち本発明では負荷部におけるH6ガ
スの温度が5〜8@に、圧力が15〜8gC圧になる様
に操作条件を設定すゐととによって。
ガス状H・の顕熱を最大限有効に活用した高い冷却効果
を得ることができる。
を得ることができる。
第8図は本発明の実施例を示す概略説明図であシ、1け
極低温発生装置、2は冷却ボックス、8は負荷部を示し
、Heガスはほぼ常温・常圧の状態で圧!1114に供
給され、この部分でr1〜8[圧程度に加圧した後冷却
ボックス2に送ル込!れる。
極低温発生装置、2は冷却ボックス、8は負荷部を示し
、Heガスはほぼ常温・常圧の状態で圧!1114に供
給され、この部分でr1〜8[圧程度に加圧した後冷却
ボックス2に送ル込!れる。
冷却ボックス2内には複数の熱交換l!Sa〜5eが直
列に配着されてお)、加圧H・ガス#i該熱交換器51
〜5・を順次通過しつつ、負荷部8からJT弁を経て帰
還する低温の低圧H・ガスとの熱交換によって順次冷却
され、負荷s8に送られる。
列に配着されてお)、加圧H・ガス#i該熱交換器51
〜5・を順次通過しつつ、負荷部8からJT弁を経て帰
還する低温の低圧H・ガスとの熱交換によって順次冷却
され、負荷s8に送られる。
爾負荷amでは、前述の如くH・ガスの温度を5〜8°
Kにする必要があ〕、その為には入シ側の加圧H・ガス
が最終熱交換器b6を出る壕での間に所定温度オで冷却
する必要がある。そこで本発明でFi負萄部8で昇1し
たH・がスをJT弁6ではt!常圧塘で断熱膨張させ、
帰還側の低圧Heガスを冷却するが、この低圧H・ガス
だけでは入り側高圧Heガスを十分に冷却させることが
できないから、入〕側管路を適所で分岐させて加圧H・
ガスの一部を膨張タービン7に送プ、はぼ常圧まで断熱
膨張させて冷却し帰還側の低圧H・ガスに合流させる。
Kにする必要があ〕、その為には入シ側の加圧H・ガス
が最終熱交換器b6を出る壕での間に所定温度オで冷却
する必要がある。そこで本発明でFi負萄部8で昇1し
たH・がスをJT弁6ではt!常圧塘で断熱膨張させ、
帰還側の低圧Heガスを冷却するが、この低圧H・ガス
だけでは入り側高圧Heガスを十分に冷却させることが
できないから、入〕側管路を適所で分岐させて加圧H・
ガスの一部を膨張タービン7に送プ、はぼ常圧まで断熱
膨張させて冷却し帰還側の低圧H・ガスに合流させる。
このときの加圧■・ガスの分岐量を調整することによっ
て、最終熱交換器6oから出先後の加圧H6ガス温度(
Eち負荷部8に供給される加圧H・ガス温度)を適宜関
整することがで自る。崗加圧H・ガスの圧力は、熱交換
器群を通過し冷却する過程で圧力損失を生じ、低下する
からこの圧力低下を考慮して圧縮機4では若干高めの圧
力(6〜8気圧以上)Kll!lIする必W11ボある
。
て、最終熱交換器6oから出先後の加圧H6ガス温度(
Eち負荷部8に供給される加圧H・ガス温度)を適宜関
整することがで自る。崗加圧H・ガスの圧力は、熱交換
器群を通過し冷却する過程で圧力損失を生じ、低下する
からこの圧力低下を考慮して圧縮機4では若干高めの圧
力(6〜8気圧以上)Kll!lIする必W11ボある
。
淘加圧H・ガスの圧力が低すぎると、JT弁6による断
熱膨張率を十分に高めることができず、しか4膨張ター
ビン7による断熱膨張率も小さく1に夛、とれらによる
低圧H・ガスの冷却が不十分になる結果、熱交換による
入)側加圧H・ガスの冷却が不十分になる。即ち負荷部
に供給される加圧H・ガスの温度を5〜8°K K@@
する為には。
熱膨張率を十分に高めることができず、しか4膨張ター
ビン7による断熱膨張率も小さく1に夛、とれらによる
低圧H・ガスの冷却が不十分になる結果、熱交換による
入)側加圧H・ガスの冷却が不十分になる。即ち負荷部
に供給される加圧H・ガスの温度を5〜8°K K@@
する為には。
加圧[eガスの圧力をbglc圧以上VC設定し、JT
弁6及び膨張タービン7による低圧H6ガスの冷却を十
分に行なう必要があ〕、第2図で説明したHeガスの比
熱を考慮すると、加圧H・ガスの適正圧力#i5〜8電
圧ということになる。
弁6及び膨張タービン7による低圧H6ガスの冷却を十
分に行なう必要があ〕、第2図で説明したHeガスの比
熱を考慮すると、加圧H・ガスの適正圧力#i5〜8電
圧ということになる。
上記の様に温度及び圧力を設定した加圧H・ガスの比熱
は、tliR図からも明らかな様に約91/gK以上を
示すが、これは従来のHeガスを液化させるときの蒸発
潜熱を利用する方法にほぼ匹敵する冷凍能力を発揮する
。即ち先に説明した様に、従来法でJT弁を通過させ1
LJilW6に供給される電液混合伏麹のH・(8体含
有率は80〜60参程度)が保育する冷却エネルギーは
6〜1 fl 1/gK(液体H・の蒸発潜熱によるも
の)であ)、本発明のH・ガスの比熱が約9VgK以上
であることを考えると1本発明法は従来法に比べて★り
た〈遜色ノない冷凍能力を発揮すゐことが理解される。
は、tliR図からも明らかな様に約91/gK以上を
示すが、これは従来のHeガスを液化させるときの蒸発
潜熱を利用する方法にほぼ匹敵する冷凍能力を発揮する
。即ち先に説明した様に、従来法でJT弁を通過させ1
LJilW6に供給される電液混合伏麹のH・(8体含
有率は80〜60参程度)が保育する冷却エネルギーは
6〜1 fl 1/gK(液体H・の蒸発潜熱によるも
の)であ)、本発明のH・ガスの比熱が約9VgK以上
であることを考えると1本発明法は従来法に比べて★り
た〈遜色ノない冷凍能力を発揮すゐことが理解される。
本発明は概略以上の様に@成されておシ、その効果を要
約すれば下記の通ルである。
約すれば下記の通ルである。
■H・ガスを液化させることなくガス状のttで負荷部
に供給して冷却する方法であ夛、11環系の圧力を大幅
に低下させることができ、装置の設計及び保全が容易i
c&る。t−に圧!I11等の動力も低く抑えることが
でき、極低温を得る為の動力原本位を低減できる。
に供給して冷却する方法であ夛、11環系の圧力を大幅
に低下させることができ、装置の設計及び保全が容易i
c&る。t−に圧!I11等の動力も低く抑えることが
でき、極低温を得る為の動力原本位を低減できる。
■H・をガス状の1まで負荷部に供給する方法であり、
従来例の如く冷却エネルギー所要量と液体H・の組成量
を調整する必要がな(、操作が簡単で且つ冷却エネルギ
ーの調整が容易である。
従来例の如く冷却エネルギー所要量と液体H・の組成量
を調整する必要がな(、操作が簡単で且つ冷却エネルギ
ーの調整が容易である。
■従来法では、JT弁通過後の液化H・生成率によって
冷却能率が支配4され、液化H6生成率はせいぜい60
憾程度であるが1本発明では比熱の大11藝H・ガスを
そのまま冷却エネルギートシテ刊用する方法であシ、冷
却効率はむしろ向上する。
冷却能率が支配4され、液化H6生成率はせいぜい60
憾程度であるが1本発明では比熱の大11藝H・ガスを
そのまま冷却エネルギートシテ刊用する方法であシ、冷
却効率はむしろ向上する。
を図面の簡単1klli!明
第゛1図は従来の極低温発生装置を示す略図、第2図は
H・ガスの温度及び圧力と比熱の関係を示すグラフ、第
8図は本発明の賽施例を示す説明図である。
H・ガスの温度及び圧力と比熱の関係を示すグラフ、第
8図は本発明の賽施例を示す説明図である。
1・・・極低温発生装置 2・・・冷却ボックス8・・
・負荷部 4・・・圧縮機5「4e−熱交換器
6−・1丁弁 7・・・膨張タービン
・負荷部 4・・・圧縮機5「4e−熱交換器
6−・1丁弁 7・・・膨張タービン
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 +11閉サイクル内でP6ガスを循環させ、その循環過
程でHeガスの圧縮と膨張を行なうことによlHeを極
低mVc冷却させる極低温用冷却方法において、はぼ常
温常圧の低圧H・ガスを圧縮機によって6〜8gpc圧
の加圧Heガスとして熱交換器に通し1w!熱交換器を
通って帰還する低温低回・ガスと熱交換させて冷却する
他、その冷却過程で該加圧Heガスの一部を膨張タービ
ンに供給して冷却した後上記の低温低圧Heガス帰還流
路に合流させ、最終熱交換器においてb〜8°に、 f
s〜8[圧の極低温H・ガスとし、−Heガスを極低温
利用糸に供給して冷却を行ない、該利用系より帰還する
昇温したH・ガスを膨張弁を通して低圧Heガスとし九
後前記最終熱交換Hに供給し、更に低圧H・ガス帰還流
路を通して加圧H6ガスを冷却しつつ前記圧縮機入口側
に帰還させることを特徴とするHeガスを用いる極低温
用冷却方法。 (2、特許請求の範囲第1項において、加圧H・ガスを
直列に配着し九m!1〜第6の熱交換器を通して冷却し
、第5熱交換器出口側において5〜8°K。 6〜8就圧とすると共に、膨張弁を出た低圧Heガスを
第6〜嬉1熱交換器のIIjiに通して圧縮機入口側ぺ
帰還させる他、第1熱交換器及び第8熱交換器出口側の
加圧H6ガスの一部を夫々膨張タービンに供給して冷却
した後、該各タービンからのaロガスを低圧H・ガス帰
還流路の第2熱交換器及び第4熱交換器入口側に夫々供
給する極低温用冷却方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9936381A JPS5863A (ja) | 1981-06-25 | 1981-06-25 | Heガスを用いる極低温用冷却方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9936381A JPS5863A (ja) | 1981-06-25 | 1981-06-25 | Heガスを用いる極低温用冷却方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5863A true JPS5863A (ja) | 1983-01-05 |
JPS6246786B2 JPS6246786B2 (ja) | 1987-10-05 |
Family
ID=14245480
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9936381A Granted JPS5863A (ja) | 1981-06-25 | 1981-06-25 | Heガスを用いる極低温用冷却方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5863A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5788867B2 (ja) * | 2010-03-19 | 2015-10-07 | 住友重機械工業株式会社 | 蓄冷器、gm冷凍機およびパルスチューブ冷凍機 |
-
1981
- 1981-06-25 JP JP9936381A patent/JPS5863A/ja active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5788867B2 (ja) * | 2010-03-19 | 2015-10-07 | 住友重機械工業株式会社 | 蓄冷器、gm冷凍機およびパルスチューブ冷凍機 |
US9488390B2 (en) | 2010-03-19 | 2016-11-08 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Regenerator, GM type refrigerator and pulse tube refrigerator |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6246786B2 (ja) | 1987-10-05 |
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