JPS5863848A - 狭隘路路内表面検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は断面形状が一定でなく曲シあるいはねじれのあ
る狭隘絡路内の表面を検査する装置に関するものである
。

近年、産業の発展に伴い各種産業機械を構成する部材に
は、高い応力および著しい腐食壊食等の過酷な条件に耐
える性質が強く要求されている。また、部材形状も大形
化および複雑化が著しい。そして、これらの部材の材質
および品質に対し、高い信頼性が要求されることは言う
までもない。このため、その信頼性’ｅ満たすために、
製造中あるいは運転中の検査点検はよシ厳重なものとな
υつつある。

本発明の対象であるポンプ水車ランナおよびジェットポ
ンプ構成部材等はその一例である。

これらの部材は、製造中には放射線透過試験。

超音波探陽試験等の体積検査、磁粉探傷試験。

液体浸透探１易試験等の表面検査が行なわれている。

これらの検査の水準は、実際の運転で部材の破壊あるい
は腐食壊食による部材の変形による性能低下に対するも
のである。従って、表面に開口している欠陥、例えば製
造中の熱処理割れ、溶接割れあるいは最も危険な運転中
の疲労割れ、キャビテーシ目ンエロージ日ン等は、許容
されない種類のものである。

従来性なわれている検査方法としては、磁粉探傷試験、
液体浸透探傷試験および′１１）−磁気試験が主なもの
である。熟年ら、これらの方法では、手作業が主であシ
作業には特殊技能が必要であるため、人的な制限１人手
が届かないような場所の制約、一度の検査範囲が狭いた
めに全面走査の場合の時間的制約、あるいは磁粉探傷で
は磁粉、液体浸透では浸透液等の廃物の処理の制約等の
問題がある。さらに、検■結果の記録保存方法も人手に
よるイラストかあるいは写真によらなければならない。

表面検査法として、従来よシ超音波表面波法が検討され
ているが、欠陥エコーの評価にもなお研究の余地が残さ
れている。例えば、表面仕上げ状態、水滴、油滴あるい
は擬似欠陥エコーがその例である。また、超音波表面波
法には次のような特徴がある。つまり、迅速であること
、１点からの検査面積が広いこと、欠陥の位Ｉ！　。

方向および大きさの評価が対比可能であること、曲面上
全仏ばすること、コーナ一部では一部反射するが一部伝
ばするため、コーナーによる位置決めあるいはコーナー
の先の面の検査が可能であること等である。

従って、断面が正方形、長方形、平行四辺形。

台形あるいは円形、ダ円形等と、その形状が変化しかつ
曲がっていたりねじれていたシするような狭隘路では、
その−辺を構成する表面に探触子を置き走査することに
よって他の面をも、また手深傷では検査し難いコーナ一
部をも同時に検査可能なことが考えられる。

本発明の目的は超音波表面波法の特徴である前述の性質
を利用し、擬似欠陥エコーｉ　ＩＴＶで直接観察するこ
とによって補い、これらを自在曲面を走行する台車に備
えられた自在アームに取シ付けることにより、手作業に
よっていた検査、人間が入ることが困難な狭い隘路かつ
その表面積が広い面を一度の走査で検査することができ
ると共に、表面波探触子からのエコーが生じた場所のみ
をＩＴＶで観察し記録することにより、精度よくかつ迅
速に検査することができる狭隘路路内表面検査装置を提
供することにある。

本発明では上記目的を達成するため、超音波表面波探触
子およびＩＴＶカメラとを備えた自在アームを有する自
在曲面を走行する台車と、これらの制御装置および前記
超音波表面波探触子とＩＴＶカメラからの信号を受信し
、表示するモニターテレビおよびビデオレコーダ等の記
録装置とから検査装置を構成する。

以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。第１図は、本発明を適用するポンプ水車ランナの断
面図を示すものである。図において、１はシャフト、２
はシュラウドリング、３はクラウン、４は羽根と称され
るものである。第２図は第１図のＩ−１断面図を示すも
のであり、羽根４は６枚あり夫々らせん放射状になって
いる。検査対象の狭隘路は、２枚の羽根（例えば４ａと
４ｂ）シュラウドリング２およびクラウン３の４面に囲
まれた部分である。

５− この狭隘路の断面を示すと第３図（ａ）〜（ｃ）のよう
になり、第２図■−■断面では５ｈ、■−１１［断面で
は５ｂ％■−ＩＶ断面では５ｃのような形状である。

第４図は、本発明による狭隘路路内表面検査装置の全体
構成例を示すものである。本装置は、複雑曲面を走行す
る台車６と、この台車６上に搭載した自在に動くアーム
７ａおよびアーム駆動機構７ｂと、アーム７ａに搭載し
たＩＴＶカメラ８と、アーム７ａの先端に取付けられ揺
動する機構を有する表面波探触子９と、走行台車６の後
端に取付けられた距離測定機１０と、アーム角度を示す
角度検出器１１から構成される非破壊検査装置、それを
制御する台車コントローラ１３、及び距離測定機１０の
信号を受は台車コントローラ１３を制御するプリセット
付きリバーシブルカウンタ１５から々る。更に、表面波
探触子９に信号を与え欠陥の有無を判定する超音波探傷
機１６と、ＩＴＶカメラ８を制御するカメラコントロー
ラ１７から成り、超音波探傷６− 機１６の出力およびカメラコントローラ１７の出力は、
文字合成ユニット１Ｂを通してモニタテレビ１９及びそ
の映像を記録保存するビデオテーゾレコーダ２０に接続
している。また、保存内容の後口での照合を容易とする
ための文字入力用タイシライタ２１とから構成している
。

第５図は非破壊検査装置の側面図、第６図は同平面図を
示すものである。

まず、走行台車６の構成を説明する。図において、フレ
ーム２２ｈには減速機付きモータ２３ｈ、２３ｂを２台
取り付けている。この２台のモータ２３ｍ、２３ｂで、
４輪独立にけんかされているマグネットローラ２４＊、
２４ｂ。

２４ａ、２４ｄｆ、モータと傘歯車で連結されているス
プロケット２５から、チェーン２６ａ。

２６ｂでマグネ、トローラ２４ｔＬ、２４ｂと同軸のス
ゾロケッ）２７ｍ、２７ｂへと伝え回転させる。なお、
２台の減速機は左右独立に制御可能なものである。また
、狭隘路の側壁等に添って走行するために、走行台車６
の側にはローラ２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄを取り
付けている。さらに、アームの１駆動機構７ｂは走行台
車６のペース２９に取シ付けている。

第７図及び第８図は、アーム駆動機構７ｂの平面図及び
側面図をそれぞれ示すものである。

図において、ギヤ箱３０にある減速機付きモータ３１の
出力軸３１ａにはスゲロケ、ト３２が取シ付けられ、両
端をラジアル、スラストｗｉｔに耐える軸受で支えられ
たシャフト３４の一端にスプロケット３３を固着し、か
つこのスプロケット３３とスプロケット３２は、チェー
ン３５で回転力伝達可能なように連結している。

更に、シー？７１３４にはウオーム３６　ｍ　、　３６
ｂを固定し、シャフトＪ　７　ａ　ｅ　３７　ｂに固着
されたウオームホイールＪ　８　ａ　ｓ　Ｊ　８　ｂ　
トかミ合っている。シャフト３７ｈ、３７ｂはラジアル
。

スラスト荷重に耐える軸受けで支持され、これらの軸端
はギヤ箱３０の外部に突出してお９、ペース３９　＆　
＃　３９　ｂを固定している。更に、シャフト３７ｂの
軸端にギヤ４０ｆ固着し、シャフト３７ｂの軸端にギヤ
４０ｆ固着し、シャフト揺動角測定用角度検出器１１の
回転軸に取り付けたギヤ４１とかみ合っている。

ギヤ箱３０にビンジ冒インド９４で連結されている距離
測定器１０（第５図に示す）は、外局回転形パルス発信
器９２（第６図に示すとその外周に固着されたマグネッ
トローラ９３とから構成してｈる。アーム７＆は、上記
アーム駆動機構７ｂより突出たペース３９ａ、３９ｂの
各々に固着された部材４２ｍ　、４．？ｂ及びそれらに
連結された一対の部材４３＊、４３ｂと、更にその先端
に両端をピング１インドで支持された部材４４とからな
シ、全体で平行四方形リンクを構成している。部材４２
１と４３ａは、圧縮コイルばね４５ａとストツノ’１４
６ｈにより、又部材４２ｂと４３ｂは圧縮コイルばね４
５ｂとストッパ４６ｂによシ夫々連結され、片方向のみ
揺動可能なピンジ曹インドとかっている。

一方、アーム７ａ先端の部材４４には、取付板４７がピ
ンジ冒インドで揺動自在に支持され、９− 圧縮コイルはね４８により一方向に押し付けている。ま
た、取付板４７の先端部には、自由な方向に転動する球
形車輪４９ｈ、４９ｂを支持棒を介して取付けている。

さらに取付板４７０両端には、倣い用センサ１２１Ｌ　
＃　１２　ｂが取υ付けられ、同時にＩ’ｆｆカメラ８
および超音波表面波探触子９を取シ付けてい、る。

次に、本発明の非破壊検査装置の作用を述べる。減速機
付きモータ２３ｍによる回転力は傘歯車へと伝達され、
シャフトの先端に取シ付けたスプロケット２５　ａ　＊
　２５　ｂを回転させる。

更に、チェーン２６＆、２６ｂでスプロケット２７　ｍ
　＊　２７　ｂに回転力を伝え、マグネットローラ２４
　ａ　ｅ　２４　ｂを回転する。マグネットローラ２４
は、独立けんか方式としているため、転勤面が台車６に
対し平行でなくても走行面に密着して吸着走行する。こ
こでマグネットローラ吸着の為、走行面は磁性材でなけ
ればならない。（他の３個のマグネットローラについて
も同様である。） −１（）− 第９図は、マグネットローラ走行面が凸凹のある場合の
マグネットローラの走行面への密着状態を示したもので
ある。図において、フレーム２２ｍ、２２ｂに取シ付け
たローラ２８＆乃至２８ｂは、壁面を４個のマグネット
ローラが走行する場合、床面に接地され角部に沿った走
行が可能である。

次に、アーム駆動機構の作用について説明する。ギヤ箱
３０内の減速機付きモータ３１の回転力は、スジロケッ
ト３２．３３、シャフト３４、ウオーム３６ｍ、３６ｂ
ｓ　　ウオームホイール３８ａｒ３８ｂ、シャフト３７
＊、３７ｂを回転させ、ベース３９　ａ　＋　３９ｂ　
ｋ揺動する。

また、シャフト３７ｂの回転角がギヤ４０゜４１へと伝
達され、角度検出器１１を回転させてぺ−ｙ、、３９ａ
、３９ｂのｈｉｍＪ角を検出する。

距離測定器１０は外周回転形・ｆルス発生器であシ、走
路の凹凸に対してはピンジ冒インド９４で連結され、マ
グネットローラ９３で走路に吸着しているため追従が可
能であり、走行距離を正しく計数する。電源及び信号の
授受は、中心軸９５全介して行なわれプリセット付きリ
バーシブルカウンタ１５に入力される１゜ペース３９ｍ
、、３９ｂに取シ付けたアームは、平行四辺形リンクと
なっているので、ＩＴＶカメラ８、表面波探触子９はア
ーム揺動に対して常に向きを変え々い。したがってＩＴ
Ｖカメラ８は、アーム揺動に対し常に一定方向を監視す
ることが出来る。

第１０図（ａ）は、マグネットローラ走行面が進行方向
に対し凹であり、同図（ｂ）は凸の場合を示すものであ
る。四重たは凸の走行面に従い、球形車輪４９ａ、４９
ｂは圧縮コイルばね４５ａ。

４５ｂまたは４８のばね力で走行面を倣い接触している
。この時走行面が凹の局舎は、軸心Ｙを関節として走行
面を倣い、凸の場合はＸを関節として走行面を倣う。こ
の為ＩＴＶカメラ８及び表面波探触子９は、走行面とほ
ぼ一定距離を保つ事が出来る。

次に、走行台車６の制御を第１図に基づいて説明する。

減速機付き七−夕２３ａ及び２３ｂは、速度制御ユニッ
ト９６ａ及び９６ｂで駆動される。速度制御ユニット９
６ａ及び９６ｂは、外部可変抵抗ｖｒｔ１．ｖｔｔ２の
指令で制御される。即ち、外部可変抵抗の指令値が同一
の場合は、両モータ２３ａ、２３ｂは同一回転数となり
走行台車６は直進する。しかしながら、ＶＲＪ。

ＶＢ２の指令が異なる場合は、両モータの回転数に差が
生じ、走行台６ｔま回転数の、遅い方の車輪を内輪とし
て回転する。走行距離を示すパルス発生器９２は可逆検
出形であり、例えばＬｌｌｌ＋／１・♀ルスに選択すれ
ば基準点（最初の設置点をＯとする）からのパルス数が
リバーシブルカウンタ９７に入力され、外部可変抵抗Ｖ
Ｒ１゜ＶＢ２の指令により走行台車６が前進時には加算
、後退時には減算され、リバーシブルカウンタ９７で走
行距離が組単位で計数される。ノリセット付きカウンタ
１５のノリセットスイッチ９８を、基準点からの希望す
る数ｋに設定しておけば、リバーシブルカウンタ９７の
計数量が１３− プリセット値と同一となったとき、外部出力信号によシ
接点９９が開く。即ち、リバーシブルカウンタ９７の計
数量がシリセット値と一致しないときは、接点９９は閉
じておシ外部可変抵抗ＶＲｆ、ＶＩ’Ｍ’に電源Ｅ４−
供給する。計数量がプリセット値と一致すれば、外部可
変抵抗ＶＲＪ、ＶＲ，？に電源Ｅは供給されず両モータ
２３　ａ　ａ　２３　ｂは停止することになる。このよ
うに、リバーシブルカウンタ９７のプリセットによシ、
基準点から任意の位置に移動台車を停止することができ
る。

次に、アーム駆動用倣い制御器１４を第１２図に基づい
て説明する。減算機付きモータ３１は、速度制御回路１
００に接続され速度可変抵抗器ＶＲＪで制御される。更
に速度制御回路１００は、外部からモータ３１の回転方
向を反対にするための端子（同図に＋・−で示す）を備
えている。倣い検出用検出器１２ｈ、１２ｂを使用する
場合、スイッチ８ＷｆをＡ側に接触させることによシ、
電源Ｅが検出器１２ｍに供１４− 給される。アームに任意の角度をもたせて、走行台車を
走行させた場合、狭隘部流路の壁上下の而からの距離が
刻々と変化する。壁上面に検出器１２ａが接触しないと
き、検出器１２ａのスイッチはＣ側に接続され、速１１
　ｉｌｌ、制御回路１００の」−側瑞子に電源Ｅが供給
され、藏汁機伺きモータ３ノはＶ　Ｒ、？で与えらＪｌ
、た指・９で回転しアームが上昇する。アームが上昇し
壁」二面ＶＣ検出器１２ａが接触すれば、検出器１２ａ
のスイッチはＤ側に接続され速度制御回路１００の一側
端子に′α源Ｅが供給され、モータ２１全逆転しアーム
は下降する。

このようにして、アームはＩＩ＆上向にならうことがで
きる。スイッチＳＷＩをＢ（川に］長）強させると、壁
下面倣い検出器１２ｂが動作し同様の倣い動作を行なう
。倣い動作の必要が彦い場合は、速度制御回路１００の
＋・一端子に外部スイッチを接続し、可変抵抗器Ｖｔｔ
Ｊとアームを所定の位置に移動させることができる。こ
のときアーム角度は、角度検出器１１で表示されている
。

次に、表面波探触子９とその支持機構について説明する
。第１３図及び第１４図は、その平面図及び正面図を示
すものである。図において、減速機付きモータ５０を回
転することにより、ギヤ箱５１の出力軸５２は、ギヤ５
３．ギヤ５４、リンク５５及びクランク５６を介して揺
動する。出力軸５２には、板ばね５７が固着され、その
先端には探触子５８を保持するリング状部材５９がビン
ジヨイントされている。

以下、以上述べた表面波探触子９の支持機構の使用法に
ついて説明する。第１３図及び第１４図に示すように、
表面波探触子９をアーム７ａの先端の取付板５７の被検
査面と相対した面に取シ付ける。減速機付きモータ５０
を回転させると、板ばね５７の弾性とリング状部材５９
に設けられたビンジヨイントの働きによシ、被検査面の
起状に常に追従し接するように探触子５８は支持され被
検査面を走査する。この時、走行台車６を定速で前進又
は後退させることによシ、探触子５８は被検査面上を直
行しコーナをも含め帯状の領域を探触することが出来る
。

第１３図及び第１４図中に示した矢印の如く走査させた
り、アーム７ａを漸次揺動させ同様に動かすことにより
、走行台用６０走行軌跡に限られず広範な被検査面を検
査することができる。

次に、表面波探触子を用いる超ト′ｆ波深喝法にて、表
面の検査を行なう場合について具体的に説明する。

超音波表面波探触子は市販されており、ここでは探触子
の構造についての説明は省略する。

超音波表面波は弾性体の表面に沿って伝わる波で、表面
から少しでも中へ入った場合には急速に振幅が減衰する
波である。縦波とか横波とかは、３次元の場合は距離の
２乗に反比例して減衰するのに対して、表面波は距離の
１／２乗に反比例して減衰する波で、遠方では一番強く
伝わる波であるとされている。

本装置では、Ｉ　ＭＨｚの振動の表面波探触子を装備す
る。表面探触子から超音波表面波の入射方向は特に制限
されるものではなく、表面波探触子（支持装置）９及び
アーム７の揺動によっ１７− て、揺動しながらあるいは第１５図のように台車６の進
行に伴い検査する羽根付根部と適当な角度を保つように
設定することも可能である。

例えば第１５図には、羽根４ｂのシーラウドリング２及
びクラウン３との付根を検査する場合の例を示している
。この場合の超音波表面波は第１６図のように、表面波
探触子５８より入射された表面波は図示矢印の方向に、
シュラウドリング２表面、シュラウドリンク２と羽根２
ｂとの付根のコーナーを廻り、羽根４ｂの表面を通って
羽根４ｂとクラウン３の付根のコーナーを廻シクラウン
３の表面に至る。夫々の羽根付根部のコーナーは、Ｒ２
Ｏ程度であるため反射波は発生しない。未仕上げの水車
ランナーで、シェラウドリング２と羽根４ｂの付根のコ
ーナー及び羽根４ｂとクラウン３の付根のコーナーに欠
陥のある場所を検査したところ、超音波探傷機１６のモ
ニターＣＲＴでは第１７図のように表示される。第１７
図において、Ｆｌはシュラウドリング２と羽根４ｂの付
根のコーナ一部の１８− 欠陥からの反射エコーであＪ）、ＦＺは羽根４ｂとクラ
ウン３との付根のコーナ一部の欠陥からの反射エコーで
ある。１１１１１１２はそれぞれのエコーの強さを表わ
しておシ、欠陥の大きさ等によって異なるものである。

Ｋｌ＊Ｘ１は探触子５８から夫々の欠陥までの距離を示
しており、具体的には第１８図に示す如くである。

本実施例では、Ｉ　ＭＨｚの超音波を使ったために減衰
が比較的大きく、第１６図のように、クラウンの表面１
でしか到達しないが、０．５　ＭＨｚあるいはよシ低い
周波数の超音波を用いることによシ、４つのコーナーを
すべて検査することが可能である。

なお、上記実施例では特に記述しなかったが、表面波探
触子５８の接触媒質にはマシン油を用い、探触子の先に
自動的に滴下するようにしている。また、超音波探傷機
１６の出力及び入力の感度水準は、別途に準備した人工
欠陥参照供試材で合わせるようにしている。

一方、走行台車６を移動させながら表面波探触子５８を
揺動すると、狭隘路内のすべての表面について自動的に
検査を行なうことができる。

超音波探傷機１６の出力と、走行距離を示すリバーシブ
ルカウンタ１５の出力と、アーム角度を示す検出器１１
の出力とを記録計に入力すれば、異常個所の位置及び不
良状況が容易に判定できる。

アーム７ａの先端取付板４７に取付けられたＩＴＶカメ
ラ８は、視野方向の切換と視野回転及び焦点調整の機能
を有している。第３図（ａ）　、　（ｂ）。

（Ｃ）に示すような流路５ｈｅ５ｂ、５ｃの中を進行す
る場合、第５図に示すＩＴＶカメラ８内の照明ランプ８
３が点灯され、視野方向はモータ９０で駆動される反射
鏡８１をたおし前方視野８５を見る。走行台車６の移動
は、操縦者によシモニタテレビ１９（第４図に示す）を
見て行なわれ、表面波探触子９の信号の異常又は適当な
位置で走行台車６を停止し、モータ９０で駆動される反
射鏡８１は４５°傾斜し、側視方向８６となる。従って
、流路５ａ、５ｂ、５ｃの壁面を見ることができ、壁面
の１易等はレンズ８２全通して撮像管８０に入り、モニ
タテレビ１９に映し出される。この時、照明ランプ８４
が点灯し壁面を明かるくする。捷た、壁面の全周を見る
ため、撮像管８０とレンズ８２と反射鏡８１を含む受光
部８７がモータ８８で回転される、即ち視野を回転する
ことができる。前方視野８５と側視方向８６の切換と壁
面までの距離の差のため、モータ８９で撮像管８０を動
かして焦点を合わせる機能をも有している。モータ８Ｂ
、８９．９０の制御及び照明ラング８３゜８４の切換は
、第４図に示すカメラコントローラ１７で行なわれ、撮
像管８０のビデオ信号もカメラコントローラ１７で制御
され、文字合成ユニット１８を経由してモニタテレビ１
９に映し出される。検査中のテレビ映像は、ビデオテー
プレコーダ２０に記録されるが、後日のデータとしてタ
イプライタ２１で日付、場所等の必要データが入力され
、第５図の受光部８７０回転位置を検出する検出器９１
の出力と、距離側−２１＝ 定器１０の出力値とアーム角度を示す検出器１１の出力
を、ビデオ信号と合成させる文字合成ユニット１８に入
力される。従ってモニタテレビ１９には、壁面の位置、
　ＩＴＶカメラ８の視界位置１日付、場所１機械名称等
の全てのデータが同時に映し出され、ビデオテープレコ
ーダ２０に録画される。また、表面波探触子９゜５８の
出力は、超音波探傷機１６を通してカメラコントローラ
１７及びモニタテレビ１９に送られ、ビデオテープレコ
ーダ２０に記録される。

さらに、欠陥部を更に詳細に観察するため、超音波探傷
機から与えられた欠陥位置信号を基に、カメラコントロ
ーラ１７で撮像管を移動して欠陥を写し出すとともに、
電気的に画像を拡大することもできる。

ビデオテープのデータは、被検査物の製造中や稼動後の
定期点検、異常発生時の解析等に利用することもでき、
表面波探傷機からの出力をＡスコープのみならず数値デ
ータとしてビデオテープレコーダに収録することも容易
に可能で２２− ある。１だ、走行台車６の運転停市をプリセット付きレ
バーシブルカウンタのみで行なうのではなく、位置サー
フ１？方式によるプログラム制御や文字入力タイプライ
タからの指令やビデオテーゾレコーダの収録データから
も行なうこともでき、欠陥部に再度走行台車を移動させ
る等の繰返し作業も容易に行なわせることができる。

以上実施例を挙げて説明してきたように、本発明によれ
ば壁面にマグネットローラで吸着する走行台車に揺動自
在なアームを取付け、アームにはＩＴＶカメラと表面波
方式の超音波探傷機を取り付けた非破壊検査装置が複雑
曲面を有する狭隘流路部の如何なる場所をも走行し、表
面波探触子による非破壊検査とＩ’ｆｆカメラによる非
破壊目視検査が同時に行なわれ、欠陥の種類の判定と解
析が容易に行なわれると共に、そのデータの記録保存が
行ない得る装置を提供し、製造時から定期点検毎の相対
的変化も記録の比較によって容易に判定することができ
る。更に、狭隘路内での非人間的作業も排除でき、遠隔
制御を可能としていることは本発明の極めて重要な効果
の一つである。さらにまた、記録方式。

データ解析等に電子計算機等を利用すること等、本発明
の要旨に変更のない範囲で利用できることはもちろんで
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を適用するポンプ水車の水車ランナの断
面図、第２図は第１図のＩ−Ｉ線に沿って矢印方向に見
て一部切断した平面図、第３図（ａ）　−（ｅ）は水車
ランナの流路の断面形状の変化を示す説明図、第４図は
本発明の一実施例を示す構成図、第５図は本発明の非破
壊検査装置の正面図、第６図は本発明の非破壊検査装置
の平面図、第７図は本発明のアーム駆動機構の一部切断
平面図、第８図は第７図のＸＩ−ＸＩ線に沿って矢印方
向に見た断面図、第９図（、）〜（ｃ）は本発明の台車
の走行状態を説明する説明図、第１０図（ａ）　、　（
ｂ）は本発明の非破壊検査装置の走行状態を説明する説
明図、第１１図は本発明の台車の制御回路図、第１２図
は本発明のアームの倣い制御回路図、第１３図は本発明
の表面波探触子の支持機構を示す平面図、第１４図は第
１３図の朝来′ｆｊｔ方向に見た正面図、第１５図は本
発明の検査装置の一実施例を示す平面図、第１６図は第
１５図のＩＩＩ　−ＩＩＩ断面の断面図、第１７図は本
発明の装置によってイ１１られる欠陥検出例を示す図、
第１８図は第１７図を得た時の具体的実施例を示す図で
ある。 ６・・・台車、７ａ・・・アーム、８・・・ＩＴＶカメ
ラ、９・・・超音波表面波探触子（機構）、１２・・・
角度検出器、１６・・・超音波探傷機、１９・・・モニ
ターテレビ、２０・・・ビデオレコーダ、２８・・・マ
グネットローラ。 出願人代理人　　弁理士　鈴　江　武　彦２５− 第９図 （ａ）　　　　　（ｂ） 第１０図 （Ｃ） 第１１図 第１３図 ２ａ 第１５図 ４ｂ 第１６図 第１７図 ヒ１　　　　　　　　ｂ６　　　２

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）超音波表面波探触子およびＩＴＶカメラとを備え
   た自在アームを有する自在曲面を走行する台車と、これ
   らの制御装置および前記超音波表面波探触子とＩＴｖカ
   メラからの信号を受信し表示するモニターテレビおよび
   ビデオレコーダ等の記録装置とを具備して成る狭隘路路
   内表面検査装置。
2. （２）表面波探触子からの信号とＩＴＶカメラが同期し
   て揺動し、表面波探触子からの信号の発生位置をモニタ
   ーテレビ画面上に写し出すようにした特許請求の範囲第
   （１）項記載の狭隘路路内検査装置。