JPS5860204A - 磁気軸受における回転体の位置検出器 - Google Patents

磁気軸受における回転体の位置検出器

Info

Publication number
JPS5860204A
JPS5860204A JP15832381A JP15832381A JPS5860204A JP S5860204 A JPS5860204 A JP S5860204A JP 15832381 A JP15832381 A JP 15832381A JP 15832381 A JP15832381 A JP 15832381A JP S5860204 A JPS5860204 A JP S5860204A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
radial direction
electromagnets
position detectors
electromagnet
position detector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15832381A
Other languages
English (en)
Inventor
Hirotsugu Tanaka
裕嗣 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
Priority to JP15832381A priority Critical patent/JPS5860204A/ja
Publication of JPS5860204A publication Critical patent/JPS5860204A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は磁気軸受における回転体の位置検出器に関する
ものである。
従来、磁気軸受に用いられる位置検出器、特に半径方向
位置検出器は、磁極にコイルを巻き回転体とU字型磁極
との間に、コイルに高周波電流を流すことによって高周
波磁界を作り、回転体の位置変化による高周波磁界の強
さの変化を検出するものであった。したがって、磁気軸
受制御の為に電磁石に電流を流すと、電磁石より磁界が
発生し近くに磁気式位置検出器があると、位置検出信号
に電磁石の磁界の影響を受けるという欠点があった。ま
た、電磁石と位置検出器を完全に分離しなければならな
い為、回転体の位置検出の場所と、電磁石の発生する力
の作用する場所が興り、制御精度向上、小型、軽量化の
さまたげになっていた。
従来の方式を第1図に示す。半径方向電磁石105.1
07は半径方向位置検出器104゜108と完全に分離
された状態にあり、回転体100の半径方向位置検出の
場所と半径方向電磁石の力の作用する場所が一致してい
ない。また軸方向に半径方向位置検出器の長さ分だけ長
くなっている。
第2図に本発明の方式による磁気軸受装蓋を示す。半径
方向位置検出器204,208は光源と受光装置を備え
た光学式位置検出器で構成され、半径方向電磁石205
,207の一部として組み込まれている。半径方向電磁
石は第3図に示すように突出した磁極を有するリング状
のコア301と、コイル302〜309で構成されるが
、突出した磁極と磁極の間に光学式半径方向位置検出器
310〜317を半径方向電磁石に対応した、あるいは
制御回路と対応した必要個数少なくとも2個を半径方向
電磁石のX軸、Y軸に対応させて固定する。またB/x
を考慮すれば、X、Y各軸の直径方向に対向させて2組
の位置検出器を用いてそれらの差動出力を得ることによ
り、 8 / Mの向上もできる。さらに位置検出器を
X、Y軸に関して対称な位置に増設して配置することに
より、回転体の回転により発生する検出しては困る高調
被成分を除くことも可能である。
以上述べたように本発明による方式を用いれば電磁石と
位置検出器を磁気的な干渉をすることなく一体構造に組
み込むことができ、回転体の位置検出と電磁石の力の作
用する場所を一致することができるので制御精度を向上
させることができる。
さらに、軸方向に半径方向位置検出器を積み重ねること
かない為その分長さを短くでき小型、軽量化が可能とな
る。
なお以上に述べたものは本発明の一実施例であり、半径
方向電磁石の分割数、その配置、磁気軸受装置における
配置等、これに限るものではない。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の方式による磁気軸受装置の断面を示す図
、第2図は本発明による磁気軸受装置の断面を示す図、
第5図は本発明による半径方向電磁石の横断面を示す図
である。 100・・・回転体   101川固定部102・・・
軸方向電磁石 )03・・・磁気式軸方向位置検出器 104.108・・・磁気式半径方向位置検出器105
.107・・・半径方向電磁石 106・・・モー1’200・・・回転体201・・・
固定部   202・・・軸方向電磁石203・・・光
学式軸方向電磁石 204.208・−・光学式半径方向位置検出器205
.207・・・半径方向電磁石 206・・・モータ    3Ω0・・・回転体301
・・・リング状コア 302〜309・・・コイル 310〜317・・・光学式位置検出器以  上 出願人  株式金社第二精工舎 代理人  弁理士 最上  務 第1図 第2図 02

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 電磁石と、位置検出器と、制御回路と、回転体から成る
    磁気軸受装置で、前記位置検出器の内少なくとも半径方
    向位置検出器を光源と受光装置を備えた光学式位置検出
    器で構成し、前記電磁石の半径方向電磁石の中に前記光
    学式位置検出器を組み込んだことを特徴とする前記磁気
    軸受装置。
JP15832381A 1981-10-05 1981-10-05 磁気軸受における回転体の位置検出器 Pending JPS5860204A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15832381A JPS5860204A (ja) 1981-10-05 1981-10-05 磁気軸受における回転体の位置検出器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15832381A JPS5860204A (ja) 1981-10-05 1981-10-05 磁気軸受における回転体の位置検出器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5860204A true JPS5860204A (ja) 1983-04-09

Family

ID=15669122

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15832381A Pending JPS5860204A (ja) 1981-10-05 1981-10-05 磁気軸受における回転体の位置検出器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5860204A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6850053B2 (en) Device for measuring the motion of a conducting body through magnetic induction
CA1110306A (en) Axial electromagnetic bearing for smooth shafts of large diameter
JPS60208630A (ja) 軸の位置安定化のための磁石軸受
JPS5833935B2 (ja) マグネットベアリング、特にマグネットスラストベアリング
GB1485290A (en) Magnetic bearing apparatus
US5804899A (en) Miniature magnetic bearing with at least one active axis
JPS6146683B2 (ja)
CN111043156A (zh) 新结构交叉齿四极混合磁轴承
JPH0530716A (ja) 誘導電動機における回転子の軸方向変位検出装置
JPS5860204A (ja) 磁気軸受における回転体の位置検出器
US5062307A (en) Strain detector
US4507607A (en) Angular accelerometer
JPH1164354A (ja) 回転速度検出器
JPS5854221A (ja) 5軸制御磁気軸受の軸方向位置ドリフト補償法
GB2231161A (en) Improvements relating to rotary position transducers
JPH01318901A (ja) 磁気誘導式センサ
JPH02102919A (ja) 磁気軸受装置
JP2557480Y2 (ja) 磁気軸受装置
JPS6053959B2 (ja) 電磁型ピツクアツプカ−トリツジ
JP2608377B2 (ja) 回転可能なキュベットを備えた常磁性ガス検出器
JP2004159449A (ja) 車両用回転電機
JPS5884220A (ja) 磁気軸受
JPS5854285B2 (ja) 五軸制御型磁気軸受
JPS6211219B2 (ja)
JPS6041826Y2 (ja) ブラシレスモ−タの回転子位置検出装置