JPS5858339U - ウエ−ハプロ−バ - Google Patents

ウエ−ハプロ−バ

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Publication number
JPS5858339U
JPS5858339U JP15384481U JP15384481U JPS5858339U JP S5858339 U JPS5858339 U JP S5858339U JP 15384481 U JP15384481 U JP 15384481U JP 15384481 U JP15384481 U JP 15384481U JP S5858339 U JPS5858339 U JP S5858339U
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JP
Japan
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wafer
wafer prober
prober
feeding
support
Prior art date
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Pending
Application number
JP15384481U
Other languages
English (en)
Inventor
藤木　勲
Original Assignee
日本電気株式会社
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS5858339U publication Critical patent/JPS5858339U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来例および本考案のウエーハプローバの動作
を説明するための検査ウェーハの平面図、第２図は本考
案の一実施例のブロック図である。 １１・・・・・・操作兼検出部、１２・・・・・・コン
トロール部、１３・・・・・・Ｘ軸パルスモータドライ
ブ部、１４・・・・・・Ｙ軸パルスモータドライブ部、
１５・・・・・・Ｘ軸パルスモータ、１６・・・・・・
Ｙ軸パルスモータ、１７・・・・・・ウェーハ支持台、
１８・・・・・・検査ウェーハ、１９・・・・・・プロ
ーブヘッド。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. プローブを保持しているプローブヘッドと、検査ウェー
    ハを支持するウエーノ１支持台と、このウェーハ支持台
    の自動送りをするウェーハ送り装置とを備えたウエーハ
    プローバにおいて、前記ウェーハ送り装置には、前記ウ
    エーノ１支持台を予じめ定められた複数種類の送り間隔
    に従って順送りするための制御信号を発生する送り制御
    装置を含むことを特徴とするウエーハプローバ。
JP15384481U 1981-10-16 1981-10-16 ウエ−ハプロ−バ Pending JPS5858339U (ja)

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JP15384481U JPS5858339U (ja) 1981-10-16 1981-10-16 ウエ−ハプロ−バ

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JP15384481U JPS5858339U (ja) 1981-10-16 1981-10-16 ウエ−ハプロ−バ

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Publication Number Publication Date
JPS5858339U true JPS5858339U (ja) 1983-04-20

Family

ID=29946444

Family Applications (1)

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JP15384481U Pending JPS5858339U (ja) 1981-10-16 1981-10-16 ウエ−ハプロ−バ

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