JPS5851161A - 液体噴射装置のマルチノズルプレ−ト及びその製造方法 - Google Patents
液体噴射装置のマルチノズルプレ−ト及びその製造方法Info
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- JPS5851161A JPS5851161A JP14982781A JP14982781A JPS5851161A JP S5851161 A JPS5851161 A JP S5851161A JP 14982781 A JP14982781 A JP 14982781A JP 14982781 A JP14982781 A JP 14982781A JP S5851161 A JPS5851161 A JP S5851161A
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Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
-
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、マルチインクジェット記録装置等の液体噴射
装置において使用するのに好適なマルチノズルプレート
及びその製造方法に係り、特に、一方の面に複数本の■
溝が異方性エツチングによ（１） ２２１ つて形成された１枚の単結晶基板を準備し、この単結晶
基板を前記Ｖ溝に対して直角方向ｌこ切断して２分割し
、この２分割された単結晶基板を前記Ｖ溝を対向して接
合し、次いで、該Ｖ溝ｔこ対して直角方向にスライスし
てマルチノズルプレ−トヲ製造するようにし、もって、
高密度配列が可能で、かつ、寸法精度、噴射方向精度に
優れたマルチノズルプレートを生産性よく、かつ、安価
ｌこ提供できるようｔこしたものである。
装置において使用するのに好適なマルチノズルプレート
及びその製造方法に係り、特に、一方の面に複数本の■
溝が異方性エツチングによ（１） ２２１ つて形成された１枚の単結晶基板を準備し、この単結晶
基板を前記Ｖ溝に対して直角方向ｌこ切断して２分割し
、この２分割された単結晶基板を前記Ｖ溝を対向して接
合し、次いで、該Ｖ溝ｔこ対して直角方向にスライスし
てマルチノズルプレ−トヲ製造するようにし、もって、
高密度配列が可能で、かつ、寸法精度、噴射方向精度に
優れたマルチノズルプレートを生産性よく、かつ、安価
ｌこ提供できるようｔこしたものである。
マルチノズルインクジェット記録装置等の液体噴射装置
ｌこおいては、周知のように、多数個のインクジェット
噴射ノズル孔を有するマルチノズルプレートが使用され
るが、このマルチノズルプレートの製造方法として、従
来より、 （１）、化学エツチングによるマルチノズル加工法。
ｌこおいては、周知のように、多数個のインクジェット
噴射ノズル孔を有するマルチノズルプレートが使用され
るが、このマルチノズルプレートの製造方法として、従
来より、 （１）、化学エツチングによるマルチノズル加工法。
（２）、エレクトロフォーミングによるマルチノズル加
工法。
工法。
（３）、マイクロドリルによるマルチノズル加工法。
等が提案されている。しかし、
（りの化学エツチングによって金属板にノズル孔（２）
−
をあける方法は、
■、ノズル径と同程度の厚さの金属板にしか加工できす
、ノズルテレ−１・の機械的強度が不足する。
、ノズルテレ−１・の機械的強度が不足する。
■、ノズル断面が第１図に示すように摺鉢状になり、ノ
ズル孔径のコントロールが帽ｔかしい。
ズル孔径のコントロールが帽ｔかしい。
等の欠点があり、
（２）のエレク］・ロフオーミンクによる加工方法は、
■、ノズル内壁がさらさらしている。
■、ノズル内壁がさらさらしている。
■、できたノズルプレー１・に、第２図に示すように電
着歪が残っている。
着歪が残っている。
■、できたノズルプレー１・は薄状で、機械的強度がな
い。 。
い。 。
等の欠点があり、また、
（３）のマイクロトリルによる加工方法は、■、ノズル
孔を１蘭ずつあけていくため、生産性が悪い。
孔を１蘭ずつあけていくため、生産性が悪い。
■、マイクロドリルの消耗が激しく、コスト高になる。
等の欠点があった。
本発明は、上述のごとき従来技術の欠点を解消するため
になされたもので、以下、図面を参照しながら詳細に説
明する。
になされたもので、以下、図面を参照しながら詳細に説
明する。
第３図乃至第６図は、本発明によるマルチノズルプレー
トの製造方法の一例を説明するための工程図で、最初、
第３図に示すように、一方の面に複数本のＶ溝が形成さ
れた基板１（）を準備する。この基板１０としては、例
えば、Ｓｌ、ＧａＡｓ 等の半導体を利用するが、こ
れは必すしも半導体制材に限定されるものではなく、金
属の単結晶を利用してもよい。また、溝の形成は、（Ｉ
Ｏ’Ｏ）面から異方性エツチングをすることによって
両壁面が（］１１）面に囲まれた寸法精度のよいＶ字形
の溝が得られる。なお、異方性エツチングの技術は周知
であるので、ここでは詳しい工程の説明は省略するが、
異方性エッチャントとしては、Ｓｉ 基板に対しては
ＮＨ２（Ｃ１２） ２ＮＨ２、Ｃ６Ｈ４（０■（）２、
Ｈ２０の混液（ＡＰＷエツチング液）を、また、Ｇａ、
ＡＢ基板に対しては１ｉｕ４ｃ＋Ｈ，Ｈ２Ｏ２、Ｈ２０
の混液を用いるとよい。次いで、上述のようにして■溝
が形成された基板１０を第４図に示すように該ｖａｑに
対して直角方向に切断して２分割し、この２分割された
基板を第５図に示すように該Ｖ溝を対向して接合する。
トの製造方法の一例を説明するための工程図で、最初、
第３図に示すように、一方の面に複数本のＶ溝が形成さ
れた基板１（）を準備する。この基板１０としては、例
えば、Ｓｌ、ＧａＡｓ 等の半導体を利用するが、こ
れは必すしも半導体制材に限定されるものではなく、金
属の単結晶を利用してもよい。また、溝の形成は、（Ｉ
Ｏ’Ｏ）面から異方性エツチングをすることによって
両壁面が（］１１）面に囲まれた寸法精度のよいＶ字形
の溝が得られる。なお、異方性エツチングの技術は周知
であるので、ここでは詳しい工程の説明は省略するが、
異方性エッチャントとしては、Ｓｉ 基板に対しては
ＮＨ２（Ｃ１２） ２ＮＨ２、Ｃ６Ｈ４（０■（）２、
Ｈ２０の混液（ＡＰＷエツチング液）を、また、Ｇａ、
ＡＢ基板に対しては１ｉｕ４ｃ＋Ｈ，Ｈ２Ｏ２、Ｈ２０
の混液を用いるとよい。次いで、上述のようにして■溝
が形成された基板１０を第４図に示すように該ｖａｑに
対して直角方向に切断して２分割し、この２分割された
基板を第５図に示すように該Ｖ溝を対向して接合する。
この接合方法としては、エポキシ系接着剤を利用する方
法、静電接合する方法等種々考えられるが、いずれにせ
よ、最後にノズル孔となるべき溝をつぶさないように注
意する必要がある。次いで、上述のようにして接合され
た基板を第６図に示すようにＶ溝に対して直角方向にス
ライスしてマルチノズルプレート２０を完成する。第７
図は、上述のようにして製作されたマルチノズルプレー
トの拡大正面図で、ノズル孔の形状は図示のように（１
００）面、’： （１，、］ １ ）面のなす角度θが
５４・７ で規定された■溝を対向させてできた菱形と
なる。
法、静電接合する方法等種々考えられるが、いずれにせ
よ、最後にノズル孔となるべき溝をつぶさないように注
意する必要がある。次いで、上述のようにして接合され
た基板を第６図に示すようにＶ溝に対して直角方向にス
ライスしてマルチノズルプレート２０を完成する。第７
図は、上述のようにして製作されたマルチノズルプレー
トの拡大正面図で、ノズル孔の形状は図示のように（１
００）面、’： （１，、］ １ ）面のなす角度θが
５４・７ で規定された■溝を対向させてできた菱形と
なる。
以上の説明から明らかなように、本発明によると、高密
度配列可能で、かつ、寸法精度、噴射方向精度に優れた
マルチノズルプレー１・を安価に提供することができる
。
度配列可能で、かつ、寸法精度、噴射方向精度に優れた
マルチノズルプレー１・を安価に提供することができる
。
第１図は、金属板にエツチングによってノズル孔を形成
した場合の断面図、第２図は、エレクトロフォーミング
によってノズル孔を形成した場合の断面図、第３図乃至
第６図は、本発明によるマルチノズルプレートの製造工
程の一例を説明するための斜視図、第７図は、本発明に
よるマルチノズルプレー１・の拡大正面図である。 １０・・・■溝が形成された基板、２０・・・マルチノ
ズルプレー１・０
した場合の断面図、第２図は、エレクトロフォーミング
によってノズル孔を形成した場合の断面図、第３図乃至
第６図は、本発明によるマルチノズルプレートの製造工
程の一例を説明するための斜視図、第７図は、本発明に
よるマルチノズルプレー１・の拡大正面図である。 １０・・・■溝が形成された基板、２０・・・マルチノ
ズルプレー１・０
Claims (2)
- （１）、複数本のＶ溝が異方性エツチングを利用して形
成されている単結晶基板を有し、該単結晶基板が２枚前
記Ｖ溝を対向して接合されていることを特徴きする液体
噴射装置のマルチノズルプレート。 - （２）、複数本のＶ溝が形成されている１枚の単結晶基
板を前記Ｖ溝に対して直角方向ｌこ切断して２分割し、
次いで、この２分割された基板を前記Ｖ溝を対向して接
合し、その後、前記Ｖ溝に対して直角方向にスライスす
ることを特徴とする液体噴射装置のマルチノズルプレー
ト製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14982781A JPS5851161A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 液体噴射装置のマルチノズルプレ−ト及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14982781A JPS5851161A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 液体噴射装置のマルチノズルプレ−ト及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5851161A true JPS5851161A (ja) | 1983-03-25 |
Family
ID=15483545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14982781A Pending JPS5851161A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 液体噴射装置のマルチノズルプレ−ト及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5851161A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108472773A (zh) * | 2015-11-13 | 2018-08-31 | 阿坎工具服务有限公司 | 用于制造工具或对应产品的方法 |
-
1981
- 1981-09-21 JP JP14982781A patent/JPS5851161A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108472773A (zh) * | 2015-11-13 | 2018-08-31 | 阿坎工具服务有限公司 | 用于制造工具或对应产品的方法 |
| EP3374125A4 (en) * | 2015-11-13 | 2019-07-17 | Akaan Työvälinepalvelu Oy | METHOD FOR PRODUCING A TOOL OR A CORRESPONDING PRODUCT |
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