CN100573949C - 压电复合材料及其制造方法 - Google Patents

Abstract

描述一种制造具有预定体积比的复合材料，例如压电复合材料的方法。最初，切割一对基板以形成具有均匀节距间距的槽，使得一个已切割的基板的材料部分可容纳于另一个已切割的基板的槽内。交叉并结合该已切割的基板以形成第一压电复合材料，接着切割该第一压电复合材料以形成与第一槽隔开的、具有均匀节距间距的槽。将两个已切割的第一压电复合材料交叉并结合以形成体积比减小且更精细的节距的第二压电复合材料。

Description

压电复合材料及其制造方法

本申请要求2003年5月14日提交的、题为“制造用于超声波应用的压电复合材料的方法和该复合材料”的美国临时申请第60/470,235号的优先权和利益，该申请通过引用的方式全部纳入本文件中。

发明背景

发明领域

本发明涉及压电复合材料，更具体而言，涉及用于高频超声波应用的压电复合材料以及制造这种复合材料的方法。

背景技术

通常，高质量医学成像使用具有良好灵敏度和宽频带宽性能的超声换能器或者换能器阵列。采用整块压电材料，例如锆钛酸铅(“PZT”)，的常规换能器在换能器和例如水、人体组织及类似物的测试介质之间通常表现出较大的声阻抗失谐。为了克服这个问题，已建议使用由例如像环氧树脂的聚合物基质围绕并隔离的单个小压电单元制成的压电复合材料。这些所建议的小压电单元在用于医学成像的超声换能器的发展中起着越来越重要的作用。最常用的压电复合材料结构由嵌在聚合物材料的主体基质(host matrix)中的PZT小带条或柱构成。带条或柱的高度通常为工作频率下波长的大约一半。

用于制造压电复合材料的常规方法，“切割和填充”方法起始于压电材料的整块板。使用切割锯将槽或切痕切入板内。然后使用例如环氧树脂的主体材料充满槽。通过在两个正交方向切削压电板来制造由柱和主体基质组成的二维压电复合材料。

体积比影响压电复合材料的特性，例如耦合系数、速度、声阻抗以及类似特性，所述体积比是陶瓷体积与整体复合材料的比，在常规的1-3和2-2复合材料的情况下，其通常等于陶瓷宽度与节距尺寸的比。因此，改变体积比使得可定制用于所期望的换能器应用/设计的压电复合材料。遗憾地是，在常规的“切割和填充”方法中，槽/切痕的尺寸由锯条的厚度决定。当节距尺寸需固定时，很难制造特定体积比的复合材料。通常，通过使用不同厚度的锯条来改变体积比，但是体积比仍然受到可供选择的锯条厚度的限制，尤其当待切的槽/切痕是精细尺寸时。

发明内容

一方面，本发明提供一种用于制造任意体积比的复合材料/阵列的切实可行的方法，特别是制造高频应用的均匀的精细尺寸复合材料/阵列的切实可行的方法。

根据本发明的一个方面，通过移位切削方法形成任何任意体积比的压电复合材料/阵列。提供第一片和第二片压电基板。起初，切削每个压电基板的上表面以形成由平行槽的阵列间隔开的平行凸筋阵列。每个槽的宽度和深度是预先确定的。随后将第一和第二基板交叉(interdigitated)并连接在一起。因为每个筋的宽度小于每个槽的宽度，所以当基板交叉时，形成可用聚合物材料充满的第一缝隙。除去一个基板的未切削部分以形成第一交叉压电复合板。

随后，在移位切削步骤中，使用与在原压电基板上切削时同样的节距和槽尺寸切削每个第一交叉压电复合板。该移位切削步骤中的切削位置在宽度方向上被移位一段等于筋宽度一部分的距离。剩余的第二筋将由压电材料和聚合物填充材料以某一比率组成，该比率由切削操作的移位距离确定。形成两个所述第一交叉压电复合板，然后通过将他们面对面地放置并将一个第一交叉压电复合板的第二筋插入另一个第一交叉压电复合板的第二槽中使他们交叉。因为每个第二筋的宽度小于每个第二槽的宽度，所以当第一交叉压电复合板交叉时，形成可用聚合物材料充满的第二缝隙。可通过打磨或精磨来除去交叉板的一侧或两侧上的未切削部分。通过上述方法可制造出任意体积比的均匀复合材料/阵列。

在这里公开的本发明提出了一种可行并简单的办法以生产用于低频和高频应用的任意体积比的压电复合材料/阵列。

附图简述

本发明优选实施方案的这些和其他特点在下面的以附图作为参考的具体实施方式中将变得更显而易见：

图1A是根据本发明的一实施方案切割的一个基准压电板的一垂直截面。

图1B是以叠置对准的方式放置的一对基准压电板的一垂直截面。

图1C是根据本发明的一实施方案被交叉的图1B的一对基准压电板的一垂直截面。

图1D是压电基板的一部分被去除的第一交叉压电复合板的一垂直截面。

图2A是图1D的一个第一交叉压电复合板的一垂直截面，显示了板的待去除部分，待去除部分根据本发明的一实施方案移位一段预定距离。

图2B是根据本发明的一实施方案被切割的图2A的一个第一交叉压电复合板的一垂直截面。

图2C是以叠置交叉对准方式被放置的一对已切割的第一交叉压电复合板的一垂直截面。

图2D是根据本发明的一实施方案被交叉的图2C的一对已切割的第一交叉压电复合板的一垂直截面。

图2E是在第二交叉压电复合板的顶面和底面已实施打磨加工后的第二交叉压电复合板的一垂直截面。

图3A是图1D的一个第一交叉压电复合板的一垂直截面，显示了板的待去除部分，待去除部分根据本发明的一实施方案移位一段预定距离。

图3B是根据本发明的一实施方案被切割的图3A的一个第一交叉压电复合板的一垂直截面。

图3C是以叠置对准的方式放置的一对已切割的第一交叉压电复合板的一垂直截面。

图3D是根据本发明的一实施方案被交叉的图3C的一对已切割的第一交叉压电复合板的一垂直截面。

图3E是在打磨中间交叉复合板的顶面后的中间交叉复合板的一垂直截面。

图3F是图3E的一个中间交叉压电复合板的一垂直截面，显示了板的待去除部分，待去除部分根据本发明的一实施方案移位一段预定距离。

图3G是根据本发明的一实施方案被切割的图3F的一个中间交叉压电复合板的一垂直截面。

图3H是以叠置对准的方式放置的一对已切割的中间交叉压电复合板的一垂直截面。

图3I是根据本发明的一实施方案被交叉的图3H的一对已切割的中间交叉压电复合板的一垂直截面。

图3J是在打磨第三交叉复合板的顶面和底面后的第三交叉压电复合板的一垂直截面。

图4A是图1D的一个第一交叉压电复合板的垂直截面，显示了板的待去除部分，待去除部分根据本发明的一实施方案移位一段预定距离。

图4B是根据本发明的一实施方案被切割的图4A中的一个第一交叉压电复合板的一垂直截面。

图4C是以叠置对准的方式放置的一对已切割的第一交叉压电复合板的一垂直截面。

图4D是根据本发明的一实施方案被交叉的图4C的一对已切割的第一交叉压电复合板的一垂直截面。

图4E是在打磨中间交叉的复合板的顶面后的中间交叉复合板的一垂直截面。

图4F是图4E的一个中间交叉复合板的一垂直截面，显示了板的待去除部分，待去除部分根据本发明的一实施方案移位一段预定距离。

图4G是根据本发明的一实施方案被切割的图4F中的一个中间交叉复合板的一垂直截面。

图4H是以叠置对准的方式被放置的一对已切割的中间交叉复合板的一垂直截面。

图4I是根据本发明的一实施方案被交叉的图4H的一对已切割的中间交叉压电复合板的一垂直截面。

图4J是在打磨第三交叉压电复合板的顶面和底面之后的第三交叉压电复合板的一垂直截面。

具体实施方式

本发明将在以下示范实施方案中得到更详细的描述，这些示范实施方案仅拟作为说明性的，因为其中的许多调整和改变对本领域的技术人员来说将是显然的。这里所使用的“a”、“an”、或“the”可以指一个或多个，根据其所处的上下文而定。现在参照附图来描述优选实施方案，其中相同参考符号表示几幅图中的相同部分。

用于制造压电复合材料的本方法可使操作人员易于选择并制造具有预定的期望体积比的压电复合材料，所述体积比为压电复合材料中的压电材料的体积与复合材料整体体积的比。本发明使用具有预定宽度的常规切削元件的移位切削。

在本发明的一个方面，移位切削和多次交叉方法提供生产压电复合材料和相关声学装置的切实可行且简单的方法，所述压电复合材料和相关声学装置具有宽度为几微米薄的切痕和30微米以下的节距尺寸。该方法还可使人们使用可靠的、硬的并且较厚的切削元件制造极精细的节距。例如，使用80μm的切口和1/4移位交叉可产生20μm节距的复合材料。本发明可生产任意和预定体积比及精细节距的二维复合材料、复合材料换能器、换能器阵列等等。

参考图1A-1D，显示了制作第一交叉压电复合板20的方法。在一个实施例中，制造方法由一对常规的压电基板10开始。根据所期望的应用，所制成的基板可由具有合适的电学及声学性能的任意所期望的材料制成。例如，基板可由压电材料、电致伸缩材料及类似材料制成。每个基板都与另外一个互补，并且如所显示的，其被切割或切削以形成宽度为K和深度为D的第一切痕或第一槽。每个基板10都具有基本平坦的上表面11，并且具有纵轴线。如所显示的，在每个基板10的上表面上实施第一次切削操作，以在基板平坦上表面上限定深度为D且宽度为K的多个纵向延伸的第一槽12。此外，在每个基板的上表面中的多个第一槽的第一槽12二者之间限定具有宽度W的多个纵向延伸的第一筋14。每个筋14与相邻的筋以第一槽的宽度K隔开。在本实施例中，每个第一筋14的宽度W小于相邻第一筋14间的距离K。每个基板的节距P是每个第一筋14的宽度加上相邻第一筋间的宽度K。

图1B和1C显示已切割的一对常规基板10的交叉。每个已切割的基板10的上表面11相互以叠置交叉对准的方式放置，使得第一基板10′的多个第一筋14置于第二基板10″的多个第一槽12之内。因为每个第一筋14的宽度W小于相邻第一筋14间的宽度K，所以可以理解的是，具有宽度K₁的第一缝隙16在被接合的第一和第二基板的对应每个第一筋之间形成。因此，在本实施例中，第一基板的每个第一筋与相邻的第二基板的第一筋以第一缝隙的宽度K₁隔开。

第一缝隙16(和在此提及的其他缝隙)可用填充材料填充。如同复合材料换能器的制造中的惯用操作和标准实践，填充材料可包括例如环氧树脂、聚合物微球、晶键以及类似物的聚合物材料，或者他们也可为至少部分未充满的。在一个实施例中，已切割的板可以是干燥装配的，然后可引入缝隙填充材料。在另一个实施例中，至少一个已切割板可以是预湿的，并且/或他们的槽以所述缝隙填充材料充满。这里，当两个已切割板结合在一起并且第一板的筋与第二板的筋交叉，缝隙填充材料的过剩量可被强制排代。在又一个实施例中，预湿至少一个已切割板，并且通过过剩缝隙填充材料的受控排出引起的毛细力和/或大气压力将已切割板交叉并拉到一起。可以理解的是，当使用常规方法将一些或全部缝隙填充材料除去时，该缝隙可能不是完全充满的或者它们仅是暂时充满。

随后，将想象线17以上延伸的基板10的部分打磨、精磨掉或以其他方式除去以形成第一交叉压电复合板20。这样暴露出了第一和第二基板10两者的第一筋14的一部分和他们之间的第一缝隙16。在除去想象线17以上的压电材料之后，如果期望，可最容易且方便地实现缝隙填充材料的去除。如可以理解的，第一交叉压电复合板20具有比对应的第一和第二基板的节距P小的节距P₁。在本实施例中，节距P₁是宽度W₁(这里，是第一筋14的宽度W)加第一缝隙16的宽度K₁。因此，第一交叉压电复合板20的体积比小于未切割的压电基板的体积比。

本发明进行多次交叉以提供具有精细切痕尺寸的压电复合材料。现参照图2A和2B，提供了一对第一交叉压电复合板20。每个第一交叉压电复合板20具有基本平坦的上表面21和纵轴线。每个第一交叉复合板都与另一个互补，并如所显示地，在移位切削步骤中被切割或切削以形成宽度为K和深度为D的第二切痕或第二槽。在这方面，在每个第一交叉压电复合板20的上表面实施第二次切削操作。第二次切削操作与初次切削间隔距离S₁，该距离S₁是节距P的分数，在本实施例中为1/4节距P。本移位切削步骤中的切削位置在横向尺寸被移位一段等于第一筋宽度的一部分的距离。可以理解的是，节距P的其他分数也可考虑作为第二次切削的移位距离S₁。

第二次切削后，在第一交叉压电复合板20的上表面21上限定深度为D、宽度为K的多个纵向延伸的第二槽22。此外，在每个第一交叉压电复合板20的上表面限定多个纵向延伸的第二筋24，其宽度为W并且以多个第二槽22的相应第二槽22隔开。这里，第二次切削从第一次切削移位的距离S₁小于第二筋的宽度。因此，可以理解的是，多个纵向延伸的第二筋24的至少一个包括可用填充材料充满的第一缝隙16。

因为切削元件具有恒定宽度，所以每个第二筋24都与相邻的第二筋间隔第二槽22的宽度K。在本实施例中，每个第二筋24的宽度W小于相邻的第二筋24间的宽度K。每个已切割的第一交叉压电复合板的节距P为每个第二筋24的宽度加相邻第二筋间的宽度K。

图2C和2D显示了一对已切割的第一交叉压电复合板的交叉。如上所述，每个已切割的第一交叉压电复合板的上表面21相互间以叠置交叉对准方式放置，使得一个已切割的第一交叉压电复合板的多个第二筋24与另一个已切割的第一交叉压电复合板的多个第二槽交叉。在被交叉的已切割的第一交叉压电复合板的每个对应的第二筋之间形成具有宽度为K₂的第二缝隙26。每个第二筋的宽度小于两个相邻的第二筋之间的宽度K。在一个实施例中，第二缝隙的宽度K₂基本等于第一缝隙的宽度K₁。可以理解的是，第二缝隙可用上述聚合物材料充满。

参照图2E，将想象线27以上延伸的已切割的第一交叉压电复合板的一部分打磨、精磨掉或以其他方式除去以形成第二交叉压电复合板30。在进一步的加工中，将想象线29以下延伸的已切割的第一交叉压电复合板的一部分打磨、精磨掉或以其他方式去除以形成第二交叉压电复合板30的又一实施方案。可以理解的是，第二交叉压电复合板30具有比第一交叉压电复合板20的节距P₁小的节距P₂。因此，即使在切削操作中使用相同的切削元件，第二交叉压电复合板30的体积比也小于第一交叉压电复合板20的体积比。在此，节距P₂大于第二筋的宽度W₂，第二筋的宽度W₂大于缝隙宽度K₂。

如上所示，复合板的反复移位切削能生产可变预定体积比的压电复合材料。可以理解的是，各已切割的复合板上的切削操作可按照希望进行移位以生产具有所期望体积比的交叉复合板。在一个实施例中，并如图3A到4J所示，可重复循环移位切削步骤和交叉步骤以生产精细节距的压电复合板。

参考图3A和3B，提供了一对第一交叉压电复合板20。每个第一交叉压电复合板都与另一个互补，并如图所示，在移位切削步骤中切割或切削以形成宽度为K和深度为D的第二切痕或槽。每个第一交叉压电复合板20都具有基本平坦的上表面21。在这方面，第二次切削操作在每个第一交叉压电复合板20的上表面实施，第二次切削操作与初次切削间隔距离S₁，该距离S₁是节距P的分数。在本实施例中，第二次切削操作被移位节距P的1/8。在该移位切削步骤中，切削位置在横向尺寸移位一段等于第一筋宽度一部分的距离。

在第二次切削操作之后，在已切割的第一交叉压电复合板20的上表面21上限定深度为D、宽度为K的多个纵向延伸的第二槽22。此外，在每个已切割的第一交叉压电复合板20的上表面上限定多个纵向延伸的第二筋24，其宽度为W并且以多个第二槽22的相应的第二槽22隔开的。第二次切削操作从第一次切削操作移位的距离S₁小于第二筋的宽度。因此，可以理解的是，并如图3B所示，第二筋24中的至少一个包括第一缝隙16，该缝隙16可用缝隙填充材料充满。

因为切削元件具有恒定宽度，所以每个第二筋24都与相邻的第二筋间隔第二槽22的宽度K。在本实施例中，每个第二筋24的宽度W都小于相邻第二筋24间的宽度K。每个已切割的第一交叉压电复合板20的节距P为每个第二筋24的宽度加相邻第二筋间的宽度K。

图3C和3D显示了一对已切割的第一交叉压电复合板的交叉。如上所述，每个已切割的第一交叉压电复合板的上表面21以相互叠置交叉对准的方式放置，使得一个已切割的第一交叉压电复合板的多个第二筋24与另一个已切割的第一交叉压电复合板的多个第二槽交叉。因为每个第二筋的宽度小于相邻第二筋间的宽度K，所以在被交叉的已切割的第一交叉压电复合板的每个对应第二筋之间形成具有宽度为K₂的第二缝隙26。在一个实施例中，第二缝隙的宽度K₂基本等于第一缝隙的宽度K₁。可以理解的是，第二缝隙可用上述聚合物材料充满。

参照图3E，将想象线27以上延伸的已切割的第一交叉压电复合板的一部分打磨、精磨掉或以其他方式去除以形成中间交叉复合板30。在下一步骤中，现参照图3F和3G，提供了一对中间交叉复合板30。每个中间交叉的复合板都与另一个互补，并且具有基本平坦的上表面31，在移位切削步骤中切割或切削该上表面31以形成宽度为K和深度为D的第三切痕或第三槽。在这方面，在每个中间交叉复合板30的上表面实施以距离S₂与第二次切削操作间隔开的第三次切削操作，该距离S₂是节距P的分数。在这个实施例中，该第三次切削操作被从第二操作移位节距P的1/8。该移位切削步骤中的切削位置在横向尺寸被移位一段等于第二筋宽度一部分的距离。

在第三次切削操作之后，在已切割的中间交叉复合板30的上表面31上限定深度为D且宽度为K的多个纵向延伸的第三槽32。此外，在每个已切割的中间交叉复合板30的上表面上限定多个纵向延伸的第三筋34，其宽度为W并且以多个第三槽32相应的第三槽32隔开。第三次切削从第二次切削移位的距离S₂小于第三筋的宽度。因此，可以理解的是，多个纵向延伸的第三筋34中的至少一个包括第一缝隙16和第二缝隙26，第一缝隙16和第二缝隙26可用缝隙填充材料充满。

因为切削元件具有恒定宽度，所以每个第三筋34都与相邻的第三筋间隔第三槽32的宽度K。在本实施例中，每个第三筋34的宽度W小于两个相邻的第三筋34之间的宽度K。每个已切割的中间交叉复合板的节距P为每个第三筋34的宽度加相邻第三筋间的宽度K。

图3H和3I显示了一对已切割的中间交叉复合板30的交叉。如上所述，每个已切割的中间交叉复合板的上表面31以相互叠置交叉对准的方式放置，使得一个已切割的中间交叉复合板30′的多个第三筋34与另一个已切割的中间交叉复合板30″的多个第三槽交叉。因为每个第三筋的宽度小于相邻第三筋间的宽度K，所以在交叉的已切割中间复合板30的每个对应的第三筋之间形成具有宽度为K₃的第三缝隙36。在一个实施例中，第三缝隙的宽度K₃与第二缝隙的宽度K₂基本等于第一缝隙的宽度K₁。可以理解的是，第三缝隙可用上述聚合物材料充满。

参照图3J，将想象线37以上延伸的已切割的中间交叉复合板的一部分打磨、精磨掉或以其他方式除去以形成第三交叉压电复合板40。在进一步的加工中，将想象线39以下延伸的已切割的中间交叉复合板的一部分打磨、精磨掉或以其他方式除去以形成第三交叉压电复合板40的又一实施方案。可以理解的是，第三交叉压电复合板40具有的节距P₃小于第二交叉压电复合板的节距P₂。因此，第三交叉压电复合板40的体积比小于第二或第一交叉压电复合板的体积比。

图4A到4J示出了另一个循环进行多次交叉的实施例。这里，第二次切削操作移位约1/6节距P的距离S₁，中间交叉复合板按如上所述方式形成。在中间交叉复合板30的上表面进行第三次切削操作。第三次切削移位约1/6节距P的距离S₂。然后将已切割的中间交叉复合板交叉，并将未切削的压电材料部分除去以形成第三交叉压电复合板40。

可以理解的是，可实施移位切削和交叉的连续循环以提供连续的更精细切痕尺寸的交叉压电复合板。因此，本发明提供一种用于生产具有所期望体积比的压电复合板的方法。所以，可以认可的是，已经提供制造用于高频应用的具有极精细节距的压电复合材料的方法。该方法使用移位切削和多次交叉。

对本领域内的普通技术人员显然的是，在不脱离本发明范围或主旨的前提下，可对本发明进行多种调整或改变。通过对在此公开的说明书的描述和发明的实践，对本领域内的普通技术人员来说，本发明的其他实施方案将变得显然。其旨在将说明书和实施例仅视为示例性的，本发明的真实范围和主旨由以下的权利要求指出。

Claims (16)

1.一种制造压电复合材料的方法，包括：

提供一对基板，每个基板具有基本平坦的上表面；

通过切割每个基板的上表面以在其上限定多个纵向延伸的第一槽和多个纵向延伸的第一筋来形成一对已切割的基板，其中每个第一槽具有深度D和宽度K，其中每个第一筋具有宽度W，其中第一筋的宽度W小于第一槽的宽度K，并且其中每个邻接的第一槽和第一筋具有等于宽度W和宽度K之和的节距P；

以相互叠置交叉对准的方式放置该对已切割的基板，使得一个已切割的基板的多个第一筋置于另一个已切割的基板的多个第一槽内；

接合该对已切割的基板以限定多个第一缝隙，每个第一缝隙形成于被接合的该对已切割的基板的每个对应的第一筋之间；

除去一个已切割的基板的一部分以形成第一交叉压电复合板，该第一交叉压电复合板具有基本平坦的上表面，该上表面由被接合的该对已切割基板的第一筋的部分以及多个第一缝隙的部分形成；

提供一对第一交叉压电复合板；

通过切割每个第一交叉压电复合板的上表面以在第一交叉压电复合板上的上表面限定多个纵向延伸的第二槽和多个纵向延伸的第二筋，来形成一对已切割的第一交叉压电复合板，其中每个第二槽具有深度D和宽度K，其中每个第二筋具有宽度W，其中第二筋的宽度W小于第二槽的宽度K，并且其中第二槽与第一筋的边缘间隔移位距离S₁，该移位距离S₁是节距P的分数；

以相互叠置交叉对准的方式放置该对已切割的第一交叉压电复合板，使得一个已切割的第一交叉压电复合板的多个第二筋置于另一个已切割的第一交叉压电复合板的多个第二槽内；

接合该对已切割的第一交叉压电复合板以限定多个第二缝隙，每个第二缝隙形成于被接合的该对已切割的第一交叉压电复合板的每个对应的第二筋之间；

除去一个已切割的第一交叉压电复合板的在想象线以上延伸的一部分以形成具有上表面的中间交叉复合板；

提供一对中间交叉复合板；

通过切割每个中间交叉复合板的上表面以在中间交叉复合板的上表面上限定多个纵向延伸的第三槽和多个纵向延伸的第三筋，来形成一对已切割的中间交叉复合板，其中每个第三槽具有深度D和宽度K，其中每个第三筋具有宽度W，其中第三筋的宽度W小于第三槽的宽度K，并且其中第三槽与第二筋的一部分间隔一段移位距离S₂以使第三槽与第二槽隔开，该移位距离S₂是节距P的分数；

以相互叠置交叉对准的方式放置该对已切割的中间交叉复合板，使得一个已切割的中间交叉复合板的多个第三筋置于另一个已切割的中间交叉复合板的多个第三槽内；

接合该对已切割的中间交叉复合板以限定多个第三缝隙，每个第三缝隙形成于已接合的该对已切割的第一交叉压电复合板的每个对应的第二筋之间；

除去一个已切割的中间交叉复合板的在想象线上方延伸的一部分以形成第三交叉压电复合板，该第三交叉压电复合板具有的体积比小于第一交叉压电复合板和中间交叉复合板的体积比。

2.权利要求1的方法，其特征在于，第一缝隙、第二缝隙和第三缝隙尺寸大致相同。

3.权利要求1的方法，其特征在于，使用机械砂轮锯切、激光切割、超声切割、放电加工、湿蚀刻和干蚀刻中的任意组合来完成切割步骤。

4.权利要求1的方法，还包括在交叉之前对至少一个已切割的基板用可固化的聚合物材料进行预湿的步骤，该聚合物材料在随后的交叉中粘合该对已切割的基板。

5.权利要求4的方法，其特征在于聚合物材料基本充满第一缝隙。

6.权利要求4的方法，还包括在交叉之前对至少一个已切割的第一交叉压电复合板用可固化的聚合物材料进行预湿的步骤，该聚合物材料在随后的交叉中粘合该对已切割的第一交叉压电复合板。

7.权利要求6的方法，其特征在于聚合物材料基本充满第二缝隙。

8.权利要求1的方法，还包括在交叉之前对至少一个已切割的中间交叉复合板用可固化的聚合物材料进行预湿的步骤，该聚合物材料在随后的交叉中粘合该对已切割的中间交叉复合板。

9.权利要求8的方法，其特征在于聚合物材料基本充满第三缝隙。

10.权利要求1的方法，其特征在于将每个已切割的基板、每个已切割的第一交叉压电复合板和每个已切割的中间交叉复合板按P＞K＞W切割。

11.权利要求1的方法，其特征在于该移位距离S₁基本等于1/8P。

12.权利要求11的方法，其特征在于该移位距离S₂基本等于1/8P。

13.权利要求1的方法，其特征在于该移位距离S₁基本等于1/6P。

14.权利要求13的方法，其特征在于该移位距离S₂基本等于1/6P。

15.权利要求1的方法，其特征在于该第一缝隙与该第二缝隙具有大致相同的尺寸。

16.权利要求1的方法，其特征在于该移位距离S₁基本等于1/4P。

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