JPS5850333Y2 - 光走査位置検出装置 - Google Patents
光走査位置検出装置Info
- Publication number
- JPS5850333Y2 JPS5850333Y2 JP14388378U JP14388378U JPS5850333Y2 JP S5850333 Y2 JPS5850333 Y2 JP S5850333Y2 JP 14388378 U JP14388378 U JP 14388378U JP 14388378 U JP14388378 U JP 14388378U JP S5850333 Y2 JPS5850333 Y2 JP S5850333Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- position detection
- detection device
- optical scanning
- scanning position
- grating
- Prior art date
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- Expired
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は格子板面で走査し光点の位置信号を検出する光
ビームの断面を長円形に形成し、格子上に存在する塵埃
等の影響を少なくした光走査位置検出装置に関するもの
である。
ビームの断面を長円形に形成し、格子上に存在する塵埃
等の影響を少なくした光走査位置検出装置に関するもの
である。
従来、光ビームを格子板面で走査し光点の位置クロック
信号を検出する際に、格子パターンにパターン欠けや塵
埃等の微小欠陥が存在すると、検出信号に欠落を生じテ
゛−タ座標を誤ってしまう。
信号を検出する際に、格子パターンにパターン欠けや塵
埃等の微小欠陥が存在すると、検出信号に欠落を生じテ
゛−タ座標を誤ってしまう。
第１図は従来のこの種の光走査位置検出装置の１例を示
す。
す。
すなわち、周辺に複数のミラーを取付けた走査用回転ミ
ラー１のミラーに光ビーム２を当て反射光をレンズ３に
より集束して被走査面４上を走査させる。
ラー１のミラーに光ビーム２を当て反射光をレンズ３に
より集束して被走査面４上を走査させる。
この場合走査位置を検出するため、レンズ３と被走査面
４との間に４５°のハーフミラ−６を配置し、走査ビー
ムの１部を反射させて被走査面４の走査位置と１：１に
対応させた格子板７の面を走査させる。
４との間に４５°のハーフミラ−６を配置し、走査ビー
ムの１部を反射させて被走査面４の走査位置と１：１に
対応させた格子板７の面を走査させる。
格子板７はたとえば５部ｍｍ長にピッチ２０μｍで数μ
ｍ幅の格子を２５００本程度故障、この上を光ビームで
走査し格子を透過した光を光検知器８に入射してクロッ
ク信号を発生させ、これが被走査面４の被検査パターン
を検査する際の位置検出クロックとして与えられる。
ｍ幅の格子を２５００本程度故障、この上を光ビームで
走査し格子を透過した光を光検知器８に入射してクロッ
ク信号を発生させ、これが被走査面４の被検査パターン
を検査する際の位置検出クロックとして与えられる。
このように、格子面における光点の位置信号は高分解能
が要求されるから、格子面のパターンに欠けや格子に塵
埃が付着したりすると位置検出の誤りになる。
が要求されるから、格子面のパターンに欠けや格子に塵
埃が付着したりすると位置検出の誤りになる。
第２図は位置検出信号の欠落を示す説明図である。
同面ａは格子板７の１部拡大図である。ここで平行に配
列した複数の格子１１に直交して円形の光ビーム１０で
走査を行なう場合、格子上に黒点で示す塵埃１２が存在
すると、格子からの透過光による光検知器８の光導電信
号は同図すに各格子に対応して示され、塵埃１２の存在
する格子に対応する信号は低く現われる。
列した複数の格子１１に直交して円形の光ビーム１０で
走査を行なう場合、格子上に黒点で示す塵埃１２が存在
すると、格子からの透過光による光検知器８の光導電信
号は同図すに各格子に対応して示され、塵埃１２の存在
する格子に対応する信号は低く現われる。
そこで、閾値電圧Ｖｓでスライスすると同図Ｃで示すよ
うに、塵埃１２の存在する格子に対応する検出信号が欠
落し、位置検出の誤りの原因となる。
うに、塵埃１２の存在する格子に対応する検出信号が欠
落し、位置検出の誤りの原因となる。
またパターンの欠阻等においても同様の誤りを生ずる。
本考案の目的は光ビームで格子板面を走査し光点の位置
信号を検出する場合格子上に存在する塵埃等の影響を少
なくした光走査位置検出装置を提供することである。
信号を検出する場合格子上に存在する塵埃等の影響を少
なくした光走査位置検出装置を提供することである。
前記目的を遠戚するため、本考案の光走査位置検出装置
は光ビームで媒体面と格子板面とを同時に走査し、光点
の媒体面上の位置を対応する格子板の位置信号により検
出する光走査位置検出装置において、前記格子板面での
走査ビームの断面を長円形に形成する手段を具えたこと
を特徴とするものである。
は光ビームで媒体面と格子板面とを同時に走査し、光点
の媒体面上の位置を対応する格子板の位置信号により検
出する光走査位置検出装置において、前記格子板面での
走査ビームの断面を長円形に形成する手段を具えたこと
を特徴とするものである。
以下本考案を実施例につき詳述する。
第３図は本考案の実施例の要部の構成を示す説明図であ
る。
る。
本考案で第１図と異なる点は第３図に示す格子板７の前
に板面を走査する光ビームの断面形状を長円形とするた
めのレンズ１３を設けたことである。
に板面を走査する光ビームの断面形状を長円形とするた
めのレンズ１３を設けたことである。
すなわち、カマボッ形の凸レンズを用いて焦点を用いて
焦点をレンズの前方におくことにより、また凹レンズを
用いて焦点をレンズの後方におくことにより、この目的
を達することができる。
焦点をレンズの前方におくことにより、また凹レンズを
用いて焦点をレンズの後方におくことにより、この目的
を達することができる。
他の構成は第１図のとおりである。第４図は第２図の従
来例に対応する本考案の検出信号の状態を示す説明図で
ある。
来例に対応する本考案の検出信号の状態を示す説明図で
ある。
同図ａにおいて、第２図ａと同様の状態で格子１１上に
塵埃が存在した場合、本考案の長方形の光ビーム２０で
走査すると、たとえ塵埃１２上を走査しても長方形の光
ビームの上部、下部から十分な透過光が得られるから、
同図すの光導電信号に示すように、他の格子に比し余り
低くならないレベル信号が得られ、閾値電圧Ｖ、でスラ
イスすることにより、同図Ｃで示すような欠落のない検
出信号が得られる。
塵埃が存在した場合、本考案の長方形の光ビーム２０で
走査すると、たとえ塵埃１２上を走査しても長方形の光
ビームの上部、下部から十分な透過光が得られるから、
同図すの光導電信号に示すように、他の格子に比し余り
低くならないレベル信号が得られ、閾値電圧Ｖ、でスラ
イスすることにより、同図Ｃで示すような欠落のない検
出信号が得られる。
以上説明したように、本考案によれば、格子板面での走
査ビームの断面を前述のレンズ等により長円形に形成す
ることにより、格子上の塵埃や格子パターンの欠陥等に
もとづく検出信号の欠落をなくすることができ、被走査
面の検出パターンに対する正確な位置検出クロックが得
られる。
査ビームの断面を前述のレンズ等により長円形に形成す
ることにより、格子上の塵埃や格子パターンの欠陥等に
もとづく検出信号の欠落をなくすることができ、被走査
面の検出パターンに対する正確な位置検出クロックが得
られる。
第１図は従来例の構成を示す説明図、第２図は従来例の
問題点の説明図、第３図は本考案の実施例の要部の構成
を示す説明図、第４図は本考案の効果を示す説明図であ
り、図中、１は回転ミラー、２は光ビーム、３はレンズ
、４は被走査面、６はハーフミラ−１７は格子板、８は
光検知器、１３はレンズ、２０は長円形ビームを示す。
問題点の説明図、第３図は本考案の実施例の要部の構成
を示す説明図、第４図は本考案の効果を示す説明図であ
り、図中、１は回転ミラー、２は光ビーム、３はレンズ
、４は被走査面、６はハーフミラ−１７は格子板、８は
光検知器、１３はレンズ、２０は長円形ビームを示す。
Claims (1)
- 光ビームで媒体面と格子板面とを同時に走査し、光点の
媒体面上の位置を対応する格子板面の位置信号により検
出する光走査位置検出装置において、前記格子板面での
走査ビームの断面を長円形に形成する手段を具えたこと
を特徴とする光走査位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14388378U JPS5850333Y2 (ja) | 1978-10-19 | 1978-10-19 | 光走査位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14388378U JPS5850333Y2 (ja) | 1978-10-19 | 1978-10-19 | 光走査位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5560107U JPS5560107U (ja) | 1980-04-24 |
| JPS5850333Y2 true JPS5850333Y2 (ja) | 1983-11-16 |
Family
ID=29121986
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14388378U Expired JPS5850333Y2 (ja) | 1978-10-19 | 1978-10-19 | 光走査位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5850333Y2 (ja) |
-
1978
- 1978-10-19 JP JP14388378U patent/JPS5850333Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5560107U (ja) | 1980-04-24 |
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