JPS58501623A - 焼結工具の精密加工法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の名称 メタルボンド非導電性工具の加工法および装置技術分野および背景技術 本発明は、非導電性硬質材料をメタルボンドした工具の加工法および装置に関す る。ここで、加工とは、当該材料の形状または状態を変更することを云う。例え ば、切断、成形または修正（ないし再生）成形、研摩または修正（ないし再生） 研摩などを例として挙げることができる。

非導電性材料をメタルボンドした被加工具（メタフ、ルボンド非導電性工具）は 、合成ダイアモンド、窒化硼素、酸化物系セラミックスなどから成る硬質材料か ら構成した工具またはその部分であってよい。工具は、ノコギリ、バイト、旋削 工具、ノミ、ドリル、フライス、形直し／口直しくトルーイング／ドレッシング ）ブロック、形直し／口直しロール、研削砥石などであってよい。

上記材料の強度は極めて大きいので、上記材料から作製した工具は、別種の工具 に比して、耐用期間が長く且つ所要加工時間が短いと云う利点を有・す−るが、 反面、このように強度が大きいことは、上記工具の作製または修正研摩に際して 問題を生ずる。この種の高級工具を作製または修正加工する場合、使用時にはプ ラスに作用する材料性質がマイナスに作用し、大きな問題を生ずる。従って、常 に経済性および精度に関する条件にも適合する、この種の工具の特殊な作製法お よび修正加工法を開発する試みがなされている。この意味において、特殊な工具 材料（例えば、合成ダイアモンド等）に関して多種多様の成形法が知られている 。

近年、本来は概ね非導電性の高強度材料を電気的に加工する試みが行われている 。例えば、ある事例では、煩瑣な方法で、即ち、例えば穿孔に続いて、放電加工 を行うことにより、非導電性結晶を機械的に加工処理しておシ（米国特許第２， ５５２，５８２号、西独特許第８５６，８７４号）、別の事例では、狭い間隙を 置いて平行に案内した２本のワイヤ電極をダイアモンドに近づけるか或いは接触 させて、ダイアモンドの放電加工を行なっている（米国特許第４，１０３，１３ ７号）。しかしながら、これらの方法は、工具の工業生産には不適である。これ らの方法の使用は、特殊な目的（例えば、宇宙産業）に限定される。

更に、処理時、合成ダイアモンド結、晶の間の金属結合材を電気的に潰食ないし 放電加工する方法も公知である（ＥＰ−Ａ２１０．２７１Ｓ＝ＥＰ−ＡＩ　７９ １０３９４９．８）。この方法は、多結晶合成ダイアモンドから成る刃面の作製 または修正加工に特に有利である。この場合、金属結合材中の硬質材料成分の分 布および粒径に依存して表面粗さが現れる。

この表面粗さは、ある程度の加工品質までは許容できるが、高度の表面品質が要 求される場合は、許容できない。

発明の開示 従って、本発明の目的は、非導電性で高強度のメタルボンド材料から成り、高い 表面品質が要求される作用面を有する、冒頭に例示の種類の工具を作製または修 正（ないし再生）加工する方法および装置を提供することにある。

この目的は、本発明にもとづき、電気的潰食系（ｅｌｅｃｔｒｏ−ｅｒｏｓｉｖ ｅｓ　Ｓｙｓｔｅｍ　）ないし放電加工系における１つの電極としての被加工物 に対して、金属結合材中に高強度の非導電性材料（例えば、ダイアモンド等）を 埋設したメタンルボンド型工具（特に、研削工具）を第２電極として使用するこ とによって、極めて簡単に達成される。

単なる金属材料の加工の場合は、可動の金属部材を１つの電極として使用するこ とは知られているが、多結晶合成ダイアモンドを含む工具を加工する場合は、金 属部分の放電加工のだめ、回転銅電極を使用する。この場合、回転金属部材は、 電気的にのみ作用する。回転によって、アークが分布され、電極の過熱が防止さ れる。電極と被加工物とは、絶対に接触しない。この種の接触は、複雑な制御機 構によって防止して、軟質金属から成る回転電極の破損または変形を防止する。

更に、単なる金属の加工の場合は、よく知られているように、本質的に銅から成 る細いワイヤをその軸線方向へ高速で移動する形式のワイヤ放電加工機が使用さ れる。この場合も、電極として使用するワイヤと金属被加工物とは接触しない。

これに反して、本発明にもとづき、工具に加工すべき超硬材料（例えば、多結晶 合成ダイアモンド）に対して、通常は被加工物と接触して材料を除去するのに役 立つ、運動する（例えば、回転する）工具を電極として使用し、電極としての上 記工具が、最初は、機械的接触を行わず、所定の小さい間隔を保持して、被加工 物から材料を除去する放電フラッシュオーバを生ずるよう、上記工具を制御する ことによシ、所望の高度の表面品質を工業的規模で経済的に得ることができる。

この際の作用現象は、正確には解明されていない。しかしながら、回転工具の金 属部分と工具に成形すべき通常は静止の被加工物の金属部分との間の放電によっ て、まず、埋設した非導電性硬質材料を囲む金属結合材が所望の深さまで除去さ れると想定される。小さい非導電性結晶粒子は、電荷の作用を受けず、近傍の金 属部分に対する放電作用を間接的に受けるにすぎないので、小さい隆起の形で残 存し、次いで、回転工具によって捕捉され、短時間で機械的に除去される。極め て小さい粒子との上記の短い機械的接触時間の間には、上記個所に放電は生じな い。この場合、場合によっては、金属結合材から露出した上記の非導性隆起部分 の機械的捕捉と同時に、周囲の金属部分に放電が生じ、かくして、機械的除去が 助成または加速されると考えられる。

この限シにおいて、米国特許第４，２３６，９８５号に記載の、単なる金属材料 の表面研削を行う加工法に対して著しい差異が認められる。上記の公知の方法で は、更に、電位を印加した研削砥石が、常に、被加工面に機械的に接触され、従 って、放電が起きるのは、連続的な機械的加工部分の境界範囲に限られる。更に 、導電性研削砥石が、常に、被加工物と短絡的に結合するので、補助的放電効果 は、それ程大きくはない。このことは、機械的放電加工により修正するのに上記 の公知の方法を適用する事例にも云える。何故ならば、この場合、修正加工用電 極は、常に、バネによって研削砥石に押圧されるからである。

公知技術では、固定電極を使用して、いわゆる、切込法（５ｅｎｋｖｅｒｆａｈ ｒｅｎ　）で加工するか、金属加工技術から公知の、電解液中で所定の形状に切 断するワイヤ放電加工法によって加工を行うが、本発明に係る方法では、例えば 多結晶合成ダイアモンドを被覆した被加工面に沿って、回転するまたは高速で運 動する第２電極としての工具を、最初接触させずに、移動させる。

放電加工による除去が時間的にまたは位置的にもはや不可能であることを示す信 号が、放電電流または放電電圧から得られた場合に始めて、同一の工具によって 、機械的摩食が行われる。従って、工具は、一方では、金属的であって導電性で あシ、他方では、機械的摩食能を有する。この工具には、機械的摩食を行う非導 電性部分と、電気的潰食を行う導電性部分とから成る合成材料（例えば、ダイア モンド工具）が好適である。被加工物上を工具を高速運動せしめることによって 、被加工物のすべての部分について、双方の加工方式を迅速に且つ切れ目なく交 互に適用できる。かくして、極めて細かい形状を作製でき、すべての輪郭を得る ことができる。

本方法を実施する場合、加工個所に必要な液が、回転する工具によって飛散され て装置外に出るのを防止するため、全面を閉鎖した槽を使用するのが合目的的で ある。本発明の構成にもとづき、回転する工具が完全に浸漬されるよう、加工個 所を囲むスペースに加工液を一杯に充填できる。

回転加工工具は、ダイアモンドをも含みうるメタルボンド研削砥石であってよい 。放電加工に加えて、回転工具と被加工工具面との間で研削加工が行われるより 、上記ダイアモンドは、同様に、合成ダイアモンドとすることもできる。このた めに、回転工具は、被加工面の伸展方向に沿って案内する。結合部の導電性部分 が、放電加工によって、加工される間に、通常の研削工程と同様、残存する非導 電性部分を同時に加工できる。かくして、修正加工を必要としない特に良好な加 工結果が得られる。

更に、本発明に係る方法では、電解研摩ではなく、真正の放電加工が行われる。

所要の冷却のため、放電加工に慣用の電解質の代わりに、別のすべての液も使用 できる。即ち、水も使用できる。

水には防錆剤を添加する−のが好都合である。

本方法は、更に、工作物中に切込む（食込む）工具を回転する形式の、金属被加 工物を加工するだめの公知の放電加工切込法（ｅｌｅｋｔｒｏｅｒｏｓｉｖｅｓ Ｓｅｎｋｅｎ　）とも異なる。即ち、この切込法では、放電加工のみが行われ、 電極と被加工物とは接触せず、偶然に接触しても、加工プロセスは改善されない 。これに反して１本方法では、非接触の放電加工と、必要な個所における研削加 工とが組合されている。

更に、回転工具は、被加工物中に食込んで運動せず、被加工物の伸展方向に沿っ て移動する。この限シにおいて、ワイヤ放電加工に対しても差異が認められる。

既述の如く、本発明では、好ましくは研削砥石も使用できる。この場合、研削砥 石は、非導電性硬質粒子を含み、回転される。しかしながら、回転加工中、研削 砥石は、電極と同様、被加工物に対する距離を制御して、被加工物上方に置く。

この場合、距離の制御は、アーク放電の電気的パラメータに依存して自動的に行 うのが好ましい。簡単な加工の場合、例えば、ノコギリ、ドリルまたはフライス の刃面を作成するような場合は、回転工具の下方で被加工物を往復運動させれば よい。

しかしながら、複雑な形状（プロファイル）を加工するため、工具およびまたは 被加工物を別の態様で運動させることもできる。このプロファイル運動は、プロ グラム記憶装置によって自動的に制御できる。

従って、少くとも２つの平面内における送シを制御するため、公知の制御技術を 利用して、電子的に記憶させたならい運動を実施するとともに、放電路の電気的 パラメータに依存して修正を行なって、材料除去加工を最適化することができる 。

更に、放電路の電気的状態量に依存して工具の角速度をも調節または修正して、 特に、表面品質の向上および作製の合理化に関して、材料除去加工を最適化でき る。

放電路の電気的パラメータの走査に際して、電気的にまたは電子評価回路を介し て非導電性部分として解釈される変化が検知された場合は、非導電性部分にも所 望の形状を附与するため、非接触の放電加工操作は、極く短時間の機械的接触除 去操作に自動的に移行する。

通常、被加工物は、加工休止中の割出し運動は除いて、加工中、静止する。しか しながら、本発明の構成にもとづき、被加工物から回転対称の工具を作製する場 合は、上記工作物を回転させることができる。この場合、加工工具に対して同方 向へまたは逆方向へ回転を行うことができる。この場合、相対角速度は、１つの 加工プロセスの間で変更することもできる。例えば、金属部分の強力な放電加工 のため、放電加工に好適ならば、加工個所における相対周速度を減少することが でき、また機械的除去の促進に好適ならば相対速度を増大することもできる。

双方の加工方式の間の移行は、極めて短い時間で完全に自動的に行われ、特殊が 測定を行わなければ検知できないと云うことが、実験から判った。

加工音は変化するが、定常的調整によって、常に、加工方式が切換えられるので 、非接触加工から接触加工への移行または接触加工から非接触加工への移行を加 工音から認識することは不可能である。

但し、アークの色の変化が、短時間現れ、加工方式の切換の証左として認識でき る。一方、表面品質に関する実験から、非導電性粒子に帰因する粗さは完全に平 滑化されていることが判った。

アーク発生器の周波数、波形またはパルス形は、任意に調節できる。電圧および 電流も、材料に依存する条件に応じて調節できる。更に、放電路は、金属加工に おいて公知の方法で、可変キャパシタンスによってバイパスできる。

各種の電気的パラメータの調節によって定め得る所望の品質の表面を作成後、同 一装置および同一工具を使用して機械的に処理して、薄い非導電性層を表面全体 に形成することによシ、上記表面をシールできると云うことが実験から判った。

この層は、合成ダイアモンドで加工する場合または合成ダイアモンドを加工する 場合、純カーボンから成る。

実施例を示す図面を参照して以下に本発明の詳細な説明する。

図面の簡単な説明 第１図は、本発明に係る装置の斜視図、第２図は、工具と被加工物との共働作用 を示す詳細図、第３図は、別の工具と別の被加工物との共働作用を示す詳細図、 第４〜８図は、加工操作の連続する５つのステップを示す略断面図、第９図は、 ブロック回路構成図、第９ａ図は、アーク発生器が形成する好ましい波形を示す 図、第１０図は、工作物から作製せる回転対称の工具の形状を例示する図、第１ １図は、飛散防止用または浸漬加工用の槽を有する装置の別の実施例を示す図で ある。

発明を実施するだめの最良の形態 装置架台１０には、通常の態様で、被加工物用スライダ１０．１４が、Ｘ方向へ 相対運動できるよう設けである。図示の実施例では、スライダ１４には、軸線１ ８のまわりに旋回可能なよう被加工物２０を取付けた工具ホルダ１６が上記スラ イダ上をＹ方向へ走行できるよう設けである。図示の実施例では、この被加工物 からフィンガ形フライスを作製する。工具２２は、この工作物２０に対して、Ｘ 方向へ可動である。図示の実施例では、工具は、折曲げた縁２４を有し、電動機 （図示してない）によって第２図の矢印方向へ駆動される研削砥石である。

第３図に、別の応用例を示した。割出しシャフト１８には、多結晶合成ダイアモ ンド・蟲・から成る刃２４を支持する金属製主ボデー２８を有する４刃フライス ２１が設けである、上記刃は、通常、間隙３０を介して、研削面２６を有するカ ップ状砥石２５によって放電加工する。この場合、カップ状砥石２６は、図示の 矢印の方向へ回転運動を行う。工具ホルダ１６は、同時に、Ｙ方向へ往復運動を 行うことができる。送りは、操作盤４０に設定した目標値にもとづき、Ｘ方向へ 自動的に行われる。自動制御機構は、第９図を参照して以下で説明する。

調節自在なノズル４２から加工個所へ送られる高圧媒体流は、加工個所の冷却お よび削除材料の排出に役立つ。ノズル４２は、媒体導管４４を介して媒体クンク ４６に接続してあり、媒体は、加エステーション下方の容器４８に捕集される。

、媒体は、軽い電解質、あるいは、放電を訪客しないよう脱イオン処理し、た嚇 田な水滴さ空気との混合物であってよい。

しかし々から、保護ガス（例えば、アルゴン）も媒体として有利に用いることが できる。

本来の材料除去加工は、第４〜８図にもとづき第２図の線Ｂ−Ｂに関して、とわ までの所未だ完全には解明されてはいないが、下記の如く行われる。

工具２２およびＹ方向へ送られる被加工物２゜は、金属結合材の間の非導電性硬 質材料粒子から成る。即ち、いわば被加工物２Ｄの金属基材５゜中には、非導電 性粒子５２が包含されおり、研削工具２２の導電性部分５４にも、非導電性硬質 材料粒子５６が包含されている。第４図に、アーク６０が、金属部分５４から間 隙３０を介して金属部分５０へと発生し、金属部分５０を除去加工する態様を示 した。Ｘ軸方向の送シ運動は、この時点には行われない。非導電粒子５２のうち 機械的に除去された部分５３は、破線で示してあり、もはや、間隙３０内には存 在しない。Ｙ方向へ更に移動が行われると、アーク発生が弱くなる。何故ならば 、別の非導電性部分５２に達して、電気的パラメータが変化し、場合によっては Ｘ方向の送りが引続き自動的に行われるからである（第５図）。

この工程は、第６図に示した如く機械的に除去される次の非導電性部分５２に対 して機械的接触が行われるまで続く。この際に、場合によっては導電性部分５４ と導電性部分５０とが直接に接触するまで、非導電性部分と非導電性部分とが相 互に接触するので、Ｘ方向のもどり運動が誘起され（第７図）、所定の間隙３０ を介する純粋々放電加工（第８図）へ移行せしめる電気信号が得られる。電気的 加工方式と短時間の機械的加工方式との切換は、極めて迅速に行われ、工具の回 転数が５００〜８［：］Ｏｒｐｍである場合、直接には認識できない。

第９図に、電気的制御機構を模式的に示した。

アーク発生器７０のパルス形は、被加工材料に応じて、選択レバー７２によって 変更することができる。周波数は、１０〜１００　ＫＪ（Ｚの範囲で変更できる 。電圧は、１００〜３００Ｖの範囲にあり、工具２２と被加工物２０との間の相 対速度に対応する。アーク発生器７０内に発生した電気エネルギは、それぞれ、 リード線７４．７６を介して、相互に絶縁した被加工物２０および工具２２に印 加されるので、上記被加工物と工具との間には、間隙３０を介してアークが発生 する。調整をするため、段階的に調節可能なキャパシタンス６１が、公知の如く 、放電路３０に並列に設けである。

制御回路４０によって、必要な送シおよび目標値設定を行うことができる。上記 操作は、入力キ−８０によって手動で行うことができる。この場合、設定値は、 表示パネル８２（第１図）から読取ることができる。

かくして、信号変換器８６および位置決め装置８８によって、リード線８４を介 して、Ｘ軸方向の運動を誘起しかつ制御できる。本実施例では、このＸ軸方向の 運動は、送シおよび間隙３０の制御に役立つ。調整のため、測定装置１００によ って間隙電圧ＵＳを変更でき、交互にまたは同時に、測定装置１０２によって間 隙電流変化Ｉｓを取出して制御回路４０に送って評価することができる。

工具の送りは電流１０２に依存して調節できる。

放電路３０に送られる電流に比例するパラメータをコンパレータに供給して、調 節可能な目標値と比較することができる。電流値がなお大きく、かつＹ方向の運 動中に強力な加工を行うべき信号がでている場合には、Ｘ方向の送シは行われな い。

流れる電流が十分に小さいことをコンパレータが示した場合に始めて、Ｘ方向の 送シが行われ、従って、工作物内への切込塵が大きくなる。各種の閾値を選択す ることによって、粗から精までの範囲に加工度を設定できる。

制御線路９０および信号変換器９２を介して、Ｙ軸に沿う移動を行うサーボモー タ９４を制御する。このサーボモータ９４は、真直ぐな刃の加工の場合、往復運 動を実施することができる。往復運動の範囲は、制御回路４０を介して、プログ ラム記憶装置１０４から、あるいは、帰還した放電路の電気的数値１００，１０ ２から取出すことができる。

しかしながら、リミットスイッチによって簡単に反転を行うこともできる。

線路１０６を介して２信号が制御回路１０８に伝送され、これによシ被加工物２ ２の高さ調節のだめの位置決め電動機１００を制御する。

更に、工具２２の駆動電動機１１２の回転数は、回路１１４に発生するψ信号に よって、線路１１６を介して印加される信号に依存して調節できる。各加工段階 毎に、割出し運動によって被加工物２０を別の位置に送るべき場合は、電動機１ １８を割出し電動機として配設し、線路１２２に印加されるα信号に対応して制 御回路１２０によって制御する。

しかしながら、既述の如く、加工時、被加工物２０をその軸線のまわりに回転し て回転体として加工する場合は、電動機１１−８は、定常回転する駆動装置とし て設計できる。特に、回転対称の工具には、プログラム記憶装置１０４に記憶さ せたプログラムによって、例えば、第１０図の形状（プロファイル）を与えるこ とができる。第１０図には、金属結合材１３２に非導電性硬質粒子１５４を埋込 んだ被加工物１３０が模式的に示しであるこの被加工物には、工具１３６によっ てプロファイル１５０を与える。このため、プロファイル１５０について、プロ グラムをアナログ的またはディジタル的に作成する。このプログラムは、被加工 物１３０をシャフト１１８に取付けたならば直ちにプログラム記憶装置１０４か ら読出すことができる。次いで、電動機１１８が、被加工物を駆動し、電動機１ １２が、工具１３６を駆動する。上記工具は、通常、制御信号に対応して、間隙 ３０を置いてプロファイル１５０の上方を案内される。

第９ａ図に、アーク発生器７０から放電路３０に供給される好ましいパルス形状 を示した。周期の１１５の立上りパルス巾を有するパルス列を選択すれば好適で あることが判った。この種のアークは、最適な材料除去加工を行う。

第１１図に、第３図にほぼ対応する工具２１を備えた別の実施例を示した。多結 晶合成ダイアモンドを含むセグメント２４ａは、工具２１の使用目的に応じて、 作動位置における工具２１の回転方向で見て前面２４ｂまたは周面２４ｃまたは 双方の面２４ｂ　、　２４Ｃを同時に使用できる。

本発明にもとづき、例示の上記前面２４ｂまたは周面２４ｃを加工する。以下の 説明は、周面２４ｃの加工に関する。もちろん、装置の各部材を別の位置にセッ トして前面２４ｂも同様に加工することができる。工具２１を加工位置にセット するため、工具２１はシャフト１８に嵌合しである。シャフト１８は、各加工操 作の前に工具を所望の如く正確に位置決めする手動でまたは自動的に調節可能な 管」付は装置１６に結合しである。

て既述の制御回路１２０に接続してあり、従って、自動的に制御される。

図示の位置では、図面の右側の周面２４ｃの放電加工が行われる。放電加工の場 合、従来の固定電極ではなく、回転電極２’２ａを使用する。この回転電極は、 （多結晶）ダイアモンドを含む工具から構成するのが有利である。図示の実施例 では、この工具は、合成ダイアモンドを含むメタルボンド型研削砥石２２ａであ る。この研削砥石２２ａは、電気的駆動装置１１２によって回転されるシャフト に取付けである。この回転の制御、即ち、研削砥石２２ａの回転数の調節は、電 気的駆動装置１１２に、好ましくは、直流電圧を給電する制御回路１１４によっ て行う。直流電圧を選択すれば、装置を小さくでき、調節性を向上できる。更に 、低電圧で作動できるので、絶縁に関する問題点が少くなる。

何故ならば、本実施例では、駆動装置１１２および研削砥石２２ａは、少くとも 部分的にまたは完全に媒体に浸漬した状態で使用す°るからである。

研削砥石２２ａと駆動装置１１２とから成る機械的ユニットは、制御自在な可動 アーム８８に懸架しである。運動可能方向は矢印で示しである。所定の加工運動 または送入・送出運動の推移の調節は、操作アーム８８を接続した制御回路８６ ，９２゜１０８によって行う。

図示の例では、回転研削砥石２２ａによって工具２１の周面２４ｃを放電加工す る間、研削砥石２２ａの回転に加えて、駆動装置１１２へ向く軸線方向運動も行 う。

研削砥石２２ａと周面２４ｃとの間にアークを発生するため、他の部材に対して 絶縁したシャフトに至る線路７４を接続したアーク発生器７０が設けである。か くして、シャフトは、放電加工のための１つの電極をなす研削砥石２２ａに電流 を供給する。アーク発生器７０の別の線路７６は、シャフト１８と、このシャフ トに電気的に接続してあって第２電極をなす工具２１とから成りかつ他の部材に 対して絶縁したユニ、トに至っている。放電路３０のフラッシュオーバは、金属 結合材の間の非導電性部分に作用する回転研削運動と共働して、迅速且つ正確な 加工を行う。

放電周波数、回転数、回転電極２２＆と被加工面隔 ２４ｃとの間の間簿、シャフトの軸線方向運動量および向きは、プログラム化で き、最適値または所望値に自動的に調節できる。このため、制御回路１２０．１ １４，４２，１６，８６，９２，１０８とアーク発生器７０とは、プロセス制御 装置４０を介して相互に接続しである。従って、放電路３０の放電周波数は、発 生器７０から装置４０を介して駆動装置１１２の制御回路１１４に接続させるこ とができるので、駆動装置１１２０回転数、放電周波数および電圧は、相互に最 適に調和される。放電周波数は、回転工具２２ａの種類および円周に依存する。

駆動装置１１２の回転数は、アークが引裂かれないよう、或いは再点弧しないよ う、調節しなければならない。

本実施例では、放電加工は、液体１６２内で行われる。従って、被加工工具２１ および加工工具２２ａを含む加工ステージョンは、液体１６２を充填した槽１６ ４内に設置する。調節可能な供給導管４４は、加工個所への直接的給液および放 熱を行う。

完全に浸漬してない状態で加工を行う場合は、回転工具２２ａによって液滴が飛 散されるので、槽□ １６４は蓋１６６で閉鎖する。槽１６４内には、被加工工具２１、回転加工工具 ２２ａおよびその駆動装置１１２を設置することができる。割付は装置１６は、 槽１６４の外部に設けることができる。槽１６４の壁および蓋１６６の通路は、 絶縁しなければならない。

蓋１６６には、操作アーム８８の突出部分を密封状態で囲むがその運動を訪客し ないベロー状密封部材を設けることができる。液体１６４は、慣用の電解質、任 意の潤滑剤または任意の冷媒であってよい。更に、単なる水を使用することもで きる。装置の保護のため、防錆剤を水に添加すれば好都合である。

ＦＩＧ、２ ＦＩＧ、３ ＦＩＧ、１０ ＦｆＧ、１１

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．　非導電性硬質材料（例えば、合成ダイアモンド、窒化ホウ素）を−メタル ボンドして成る被加工物、または工具または工具部分を電気的潰食によって加工 （例えば、切断、成形、修正成形、研摩、修正研摩）する方法であって、運動す る第２の電極の作用を受ける被加工部材を電気的潰食系の１つの電極として使用 する形式のものにおいて、メタルボンドしたダイアモンドから成シ、回転して機 械的作用も行う工具（２２，２５，１３６）を第２電極として使用することを特 徴とする方法。 ２、　研削砥石（２２，２３，１３６）を回転電極として３、　非導電性硬質材 料（例えば、合成ダイアモンド、窒化ホウ素）をメタルボンドして成る被加工物 、または工具または工具部分を電気的潰食（放電加工）によって加工（例えば、 切断、成形、修正成形、研摩、修正研摩）する装置において、工具（２２，２３ ，１３６）および被加工物（２０，２１゜１３０）カ、５つの軸線（Ｘ、Ｙ、Ｚ ）（７）方向へ相互に調節可能なよう配設してあシ、工具（２２，２３゜１３６ ）の回転運動が調節自在であることを特徴とする装置。 ４、　放電電圧（Ｕｓ）の変化およびまたは放電電流（Ｉ８）の変化に対応して 放電間隙（至）の大きさを修正する制御回路−が設けであることを特徴とする請 求の範囲第３項記載の装置。 ５、　アーク発生器ＣＱの放電電圧特性が、任意に設定できることを特徴とする 請求の範囲第３項およびまたは第４項記載の装置。 ６、　形状（プロファイル）の作成のためおよびまたは反覆される加工運動の制 御のため、プロ４グラム記憶装置（１０４）が設けであることを特徴とする請求 の範囲第３〜５項の１つに記載の装置。 ｌ　プログラム記憶装置（１０４）には、ならい加工のための制御運動を記憶さ せ得ることを特徴とする請求の範囲第６−項記載の装置。 ａ　被加工物（１３０）と工具（１３６）とが、相対運動を行うことを特徴とす る請求の範囲第３〜７項の１つに記載の装置。 ９　該相対運動の方向が、同方向または逆方向であることを特徴とする請求の範 囲第８項記載の装置。 １０　加工個所に媒体流θつを放射することを特徴とする請求の範囲第３〜９項 の１つに記載の装置。 １１　該媒体として保護ガス（例えば、アルゴン）を使用することを特徴とする 請求の範囲第１０項記載の装置。 １２　工具（２２，２３，１３６）は、被加工物（２ｏ。 ２７．１３（］）の被加工面（２４ｂ、　２４ｃ　）に沿って案内できることを 特徴とする請求の範囲第３〜１１項の１つに記載の装置。 １３、加工方向に対して直角な方向の送シを放電路の電流（１０２）に対応して 行うことを特徴とする請求の範囲第１２項記載の装置。 １４、アーク発生器９０によって、周期の１４の継続時間を有するアーク（１） を発生できることを特徴とする請求の範囲第３〜１３項の１つに記載の装置。 １５、全面を閉鎖し液体（１６２）を充填した槽（１６４）内で、割付は装置ａ 峠によって被加工面（２４ｃ）を加工位置に送り、所定の加工時間の間、回転加 工工具（２２ａ）と関連の駆動装置（１１２）とから成り縦方向へ可動のユニッ トに対して上記被加工面を上記加工位置に固定できることを特徴とする請求の範 囲第１４項記載の装置。 １６　すべての部材が、槽（’１６４）内に完全に浸漬しであることを特徴とす る請求の範囲第１５項記載の装置。 １７　駆動装置（１１２）と回転工具（２２ａ）とから成るユニットが、操作ア ーム（ハ）に懸架して６り、回転工具（２２ａ）は、操作アーム岐によって、制 御回路（８７，９２，１０８）に対応して送入、送出でき、被加工面（２４ｃ　 ）の輪郭に平行な所定軌道に沿って案内できることを特徴とする請求の範囲第１ ５項又は第１６項記載の装置。 １ａ　制御アームが、槽（１６４）の蓋（１６６）の可撓性部分を介して上記槽 内に突出していることを特徴とする請求の範囲第１７項記載の装置。 １９、回転工具（２２＆）の駆動装置（１１２）の制御回路（１１４）とアーク 発生器（ハ）とが相互に接続してあシ、アークに）の変化する電気量が、駆動装 置（１１２）の回転数の調節操作および／または修正操作の基準であることを特 徴とする請求の範囲第３項記載の装置。 ２０、アーク発生器ｆＯが、制御回路に）に接続してあり、アーク（至）の変化 する電気量（１００，１０２）が、加工案内軌道の修正操作の基準であることを 特徴とする請求の範囲第６項記載の装置。 ２１、アーク（１）の変化する電気量（１００，１０２）が、回転工具（イ）の 送り操作およびまたは接続せる制御回路に）による割付は装置ＣＩ峰の作動の基 準であることを特徴とする請求の範囲第２０項記載の装置。 ２２、充填液（１６２）が、電解質または、場合によっては防錆剤を添加した、 水であることを特徴とする請求の範囲第１５項又は第１６項記載の装置。