JPS5849094B2 - 真空雰囲気内で作動する回転電極への高周波大電力の供給装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は真空雰囲気内で作動する回転電極への高周波
大電力の供給装置に関するものである。

イオンプレーテイング、プラズマエッチング、スパッタ
リング装置において真空雰囲気内で作動する回転電極に
高周波電力（ＩＭＨｚ以上）を供給する方法としては従
来ブラシ法や回転軸受への接続法のような直接接触法等
が用いられているが、このような方法では接触抵抗の変
化による負荷インピーダンスの変化が無視できなくなり
、接触法を採用する限り大電力の供給は困難であった。

また接触子は機械的摩耗を考えて定期的に変換する必要
があった。

そこでこの発明の目的は上記の欠点を解消し、安定した
状態で永久的に高周波大電力を回転電極へｅできるよう
にすることにアル。

この目的で、この発明によれば、真空雰囲気内で作動す
る回転電極の回転軸に一つまたはそれ以上の回転極板を
所定の間隔を置いて取付け、これらの回転極板に対向さ
せかつ回転極板との間に間隔を保って一つまたはそれ以
上の固定極板を設け、回転および固定の両極板による間
接結合すなわちエアギャップコンデンサを介して高周波
電源から回転電極へ給電するよ・うに構或される。

以下この発明を添付図面を参照して説明する。

図面にはこの発明の一実施例を概略的に示し、１は真空
容器、２は回転ドラム電極、３は回転ドラム電極２の軸
、４，５はシールド部材である。

軸３の一端部３ａには図示したように３枚の円板状回転
極板６が間隔を置いて取付けられている。

これらの回転極板６に対向してかつそれらとの間に所定
の間隙すなわちエアギャップ保ってドーナツ状固定極板
７が設けられており、この固定極板７は図示してない高
周波電源に接続される。

回転極板６および固定極板７は結合コンデンサを構成し
ている。

固定極板７はアースから絶縁されて図示してない固定支
持部材により回転極板６に対して所定の位置関係に固定
される。

このように構成したこの発明による装置の一例について
説明すると、直径６００ｕ＋，長さ７００ＭＡＩＬ，放
電部５ ０ ０ ０ｉの回転ドラム電極において、エア
ギャップ５ｍへ直径３００７ｎｒＩＬの羽根を組合せて
構成した容量１６５０ｐＦの結合コンデンサおよび２０
ＫＷの高周波電源を使用した場合８時間の連続運転でＶ
ＳＷＲ（１．５の状態で±５％以内の出力安定度が得ら
れた。

以上説明してきたように、この発明による装置は従来の
ブラシ等による直接触構造の代りに結合コンデンサによ
る間接結合を用いているので、接触抵抗の変化や接触子
の機械的摩耗の問題がなく、安定して高周波大電力を回
転電極へ供給することができ、結合コンデンサにおける
電力損失を考慮しても従来の直接接触型のものに勝る効
果がもたらされ特にイオンプレーテイング、プラズマエ
ッチング、スパッタリング装置において有利に応用され
得る。

なお、図示実施例では回転電極はドラム形であるが、円
板形のものにおいて全く同様に実施できる。

また回転極板６および固定極板７の大きさおよび数並び
にエアギャップは使用電力の大きさに応じて適当に選定
され得る。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明の一実施例を概略的に示す部分断面平面
図である。 図中、１は真空容器、２は回転電極、３は回転軸、６は
回転極板、７は固定極板である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 真空雰囲気内で作動する回転電極の回転軸の一端に
   少なくとも一つの回転極板を取付け、上記回転極板との
   間に所定の間隙を保ちかつ上記回転極板に対向させて少
   なくとも一つの固定極板を設け、上記固定極板を高周波
   電源に接続し、上記回転極と固定極板との間接結合を介
   して回転電極へ高周波大電力を供給することを特徴とす
   る真空雰囲気内で作動する回転電極への高周波大電力の
   供給装置。