JPS5847886B2 - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
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- JPS5847886B2 JPS5847886B2 JP51014690A JP1469076A JPS5847886B2 JP S5847886 B2 JPS5847886 B2 JP S5847886B2 JP 51014690 A JP51014690 A JP 51014690A JP 1469076 A JP1469076 A JP 1469076A JP S5847886 B2 JPS5847886 B2 JP S5847886B2
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- JP
- Japan
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- crystal
- present
- piezoelectric vibrator
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- disk
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- Expired
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 24
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/56—Monolithic crystal filters
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04F—TIME-INTERVAL MEASURING
- G04F5/00—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards
- G04F5/04—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards using oscillators with electromechanical resonators producing electric oscillations or timing pulses
- G04F5/06—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards using oscillators with electromechanical resonators producing electric oscillations or timing pulses using piezoelectric resonators
- G04F5/063—Constructional details
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は円板状屈曲水晶振動子に関するものであり、特
に周波数一混度特性を改善したものである。
に周波数一混度特性を改善したものである。
従来時計用水晶振動子として使用されているのは音叉型
３ ２．７ ６ ８ ＫＨ ｚのものが主流をなしてい
る。
３ ２．７ ６ ８ ＫＨ ｚのものが主流をなしてい
る。
この周波数は従来のＣ−ＭＯＳＩＣの技術的レベルから
決定され理論的に求められているように周波数一温度特
性が２次曲線で近似できる。
決定され理論的に求められているように周波数一温度特
性が２次曲線で近似できる。
しかし水晶振動子の性質から言っても屈曲タイプではこ
の二次係数が大きく高精妾水晶時計を提供することがで
きないのが現状である。
の二次係数が大きく高精妾水晶時計を提供することがで
きないのが現状である。
即ち周波数一温度特性が改善されねば前記の改善はでき
ない。
ない。
又比較的に周波数一湿度特性の良いＡＴカット水晶振動
子を腕時計用として使う場合小型化にできないという欠
点を有し、同時にＳＯＳＩＣ等が関発されているがまだ
実用的段階でないのが現状である。
子を腕時計用として使う場合小型化にできないという欠
点を有し、同時にＳＯＳＩＣ等が関発されているがまだ
実用的段階でないのが現状である。
音叉型水晶振動子は尻部を固着すればリジツドに支持す
ることが可能であるが落した場合に先端の変位が大きく
破損の原因となり耐環境性に対しても不十分な点を有し
ている。
ることが可能であるが落した場合に先端の変位が大きく
破損の原因となり耐環境性に対しても不十分な点を有し
ている。
以上述べたように従来の音叉型屈曲振動子では周波数一
槁度特性が悪いため高精度の水晶時計を提供することが
できない、本発明は上記の欠点を除去したものである。
槁度特性が悪いため高精度の水晶時計を提供することが
できない、本発明は上記の欠点を除去したものである。
以下本発明を図面に沿って説明する。本発明の一実施例
を第１図に示す。
を第１図に示す。
本実施例では円板形状にしているが多角形状でも良い。
第１図のＣは水晶、Ａ，Ａ’，Ｂ，Ｂ’は各々電極を示
し、Ａ，Ｂ’ば同極、Ａ’ ， Ｂも同電極をなしＡ，
Ｂの電極を一対、Ａ／ ， Ｂ／の電極を一対として励
振を起こさせる。
し、Ａ，Ｂ’ば同極、Ａ’ ， Ｂも同電極をなしＡ，
Ｂの電極を一対、Ａ／ ， Ｂ／の電極を一対として励
振を起こさせる。
通常はＡ，Ｂ’あるいはＡ’ ， Ｂの接続は側面ある
いはスルーホール等を設けて接続する。
いはスルーホール等を設けて接続する。
又電界エネルギーを最高で使用するためＡ，Ａ’，Ｂ，
Ｂ’は通常対称に形成されている。
Ｂ’は通常対称に形成されている。
第２図、第３図は他の実施例を示す。
第４図は不発明の一実施例を示し水晶Ｃの端部に突出部
を設けこの突出部を接着剤，半田等で固着して支持をす
る。
を設けこの突出部を接着剤，半田等で固着して支持をす
る。
即ち支持部でのエネルギー損失を最小限にしている。
第５図は本発明の励振方法とその支持について述べてい
る。
る。
第５図は本発明の円板形状水晶振動子を周辺部で支持し
た図である。
た図である。
支持部材は接着剤あるいは半田等によって固着される。
前記周辺部での支持は、たとえば振動子の輪郭全体をが
っちり支持するか、あるいは複数の支持部材で振動子の
輪郭適所を支持することを意味する。
っちり支持するか、あるいは複数の支持部材で振動子の
輪郭適所を支持することを意味する。
今Ａ，Ｂ’とＡ’，Ｂに各々異電界を加えると第５図に
よって示したように■から○方向に電界が走る、水晶の
中心ａ − ｂの左側と右側とでは電界の方向が逆であ
るため、左側半分が伸びると右側半分が縮むため第５図
に示したような振動をする。
よって示したように■から○方向に電界が走る、水晶の
中心ａ − ｂの左側と右側とでは電界の方向が逆であ
るため、左側半分が伸びると右側半分が縮むため第５図
に示したような振動をする。
又逆も戊り立つ。本発明のαｎｓ
水晶振動子の周波数はｆ− １５；７；によつＲ２
て与えられる。
α。，・・・定数、ρ・・・密度、Ｒ・・・円板の半径
、Ｄ・・・曲げ剛性（ｔの関数）、即ち円板の場合は円
板の径と水晶振動子の厚みｔによって決定される。
、Ｄ・・・曲げ剛性（ｔの関数）、即ち円板の場合は円
板の径と水晶振動子の厚みｔによって決定される。
従って寸法形状によって自由に周波数を選択する事がで
きる。
きる。
同時に本発明の水晶振動子では小型化にする場合には円
板の径を小さくすればよいから小型化が可能であり、Ｃ
−ＭＯＳの技術的進歩に共って数百ＫＨｚの水晶振動子
でも腕時計用として十分使えるようになった。
板の径を小さくすればよいから小型化が可能であり、Ｃ
−ＭＯＳの技術的進歩に共って数百ＫＨｚの水晶振動子
でも腕時計用として十分使えるようになった。
さらに本発明はマスキングの技術を使用することによっ
てエッチングで前記形状を形成することが可能になった
。
てエッチングで前記形状を形成することが可能になった
。
又従来ではエッチングのレジストが不十分であるためエ
ッチングできる厚みも限定されていたが（１００μまで
）本発明ではレジストの最適化によって１５０μ以上の
厚みでもエッチングが可能となった。
ッチングできる厚みも限定されていたが（１００μまで
）本発明ではレジストの最適化によって１５０μ以上の
厚みでもエッチングが可能となった。
腕時計用振動子として使用する場合時計の大きさから１
０ｍｍ以下でないと腕時計として使用不可能である。
０ｍｍ以下でないと腕時計として使用不可能である。
本発明の最犬の効果である周波数一混度特性の改善を第
６図に示した。
６図に示した。
第６図に示したように濡度特性が従来のものと比較して
相当良くなっている。
相当良くなっている。
以上述べたように本発明は円板形状あるいは多角形状の
水晶振動子を提供することによって周波数一淵度特性の
良いものを与え、かつエッチング等の技術導入によって
低コスト水晶振動子を提供するものである。
水晶振動子を提供することによって周波数一淵度特性の
良いものを与え、かつエッチング等の技術導入によって
低コスト水晶振動子を提供するものである。
本発明の実施例として水晶について述べたが、他の圧電
結晶，タンタル酸リチウム，ニオブ酸リチウム等につい
ても言えることは言うまでもない。
結晶，タンタル酸リチウム，ニオブ酸リチウム等につい
ても言えることは言うまでもない。
さらに電極形状をエネルギーとじ込め型にすれば水晶振
動子の特性が上がる事は言うまでもない。
動子の特性が上がる事は言うまでもない。
向、Ｘ１，Ｘ２，Ｘ３，およびＸ１，Ｘ′２，Ｘ′３は
水晶の電気軸を示す。
水晶の電気軸を示す。
第１図イ，口は本発明の実施例を示す。
円板状水晶振動子および電極形状を示す平面図および側
面図。 第２図、第３図は本発明の他の実施例を示す平面図。 第４図は本発明の実施例を示しｄは円板形状に設けられ
た突出部を示す平面図。 第５図は円板の支持と電界の方向と振動方向を示す図。 第６図は従来の淵度特性と本発明による淵度特性図であ
る。 Ａ，Ｂ・・・・・・電極、Ｃ・・・・・・水晶。
面図。 第２図、第３図は本発明の他の実施例を示す平面図。 第４図は本発明の実施例を示しｄは円板形状に設けられ
た突出部を示す平面図。 第５図は円板の支持と電界の方向と振動方向を示す図。 第６図は従来の淵度特性と本発明による淵度特性図であ
る。 Ａ，Ｂ・・・・・・電極、Ｃ・・・・・・水晶。
Claims (1)
- １ 円板形状の圧電振動子上に少なくとも一対の励振用
電極が形戎され、その電極の少なくとも一方は電気軸に
ほぼ垂直になるように配設されるとともに、前記圧電振
動子の周辺部には少なくとも３個の突出支持部が設けら
れ、かつ、前記圧電振動子はエッチングにより一体に形
成されていることを特徴とする圧電振動子。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51014690A JPS5847886B2 (ja) | 1976-02-13 | 1976-02-13 | 圧電振動子 |
| GB3356/77A GB1536066A (en) | 1976-01-29 | 1977-01-27 | Piezo-electric vibrator |
| DE19772703334 DE2703334A1 (de) | 1976-01-29 | 1977-01-27 | Piezoelektrischer schwinger |
| FR7702412A FR2339992A1 (fr) | 1976-01-29 | 1977-01-28 | Vibreur a cristal piezo-electrique |
| US05/763,712 US4112323A (en) | 1976-01-29 | 1977-01-28 | Circular flexural mode piezoelectric vibrator with integral support arms |
| CH113777A CH625389B (fr) | 1976-01-29 | 1977-01-31 | Vibreur a cristal piezo-electrique. |
| HK482/82A HK48282A (en) | 1976-01-29 | 1982-11-18 | Piezo-electric vibrator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51014690A JPS5847886B2 (ja) | 1976-02-13 | 1976-02-13 | 圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5298492A JPS5298492A (en) | 1977-08-18 |
| JPS5847886B2 true JPS5847886B2 (ja) | 1983-10-25 |
Family
ID=11868181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51014690A Expired JPS5847886B2 (ja) | 1976-01-29 | 1976-02-13 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5847886B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6374695U (ja) * | 1986-11-06 | 1988-05-18 |
-
1976
- 1976-02-13 JP JP51014690A patent/JPS5847886B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6374695U (ja) * | 1986-11-06 | 1988-05-18 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5298492A (en) | 1977-08-18 |
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