JPS5840766A - マイクロ波放電光源装置 - Google Patents
マイクロ波放電光源装置Info
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- JPS5840766A JPS5840766A JP13661881A JP13661881A JPS5840766A JP S5840766 A JPS5840766 A JP S5840766A JP 13661881 A JP13661881 A JP 13661881A JP 13661881 A JP13661881 A JP 13661881A JP S5840766 A JPS5840766 A JP S5840766A
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- JP
- Japan
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- microwave
- discharge
- cavity
- light source
- source device
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- Granted
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
- H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
- H01J65/044—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by a separate microwave unit
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、マイクロ波放電による発光を利用した。マ
イクロ波放電光源装置に関するものである。
イクロ波放電光源装置に関するものである。
第１図は従来提案されているマイクロ波放電光源装置で
あ９１図において、（１）はマイクロ波を発生するマグ
ネトロン、（２）はとのマグネトロンのマグネトロンア
ンテナ、（３）はこのマグネト甲ンアンテナから放射さ
れるマ、イクロ波を伝送する導波管、（４）はとの導波
管の端部にマイクロ波給電口輪を介して接続された空胴
壁で１球面部（５）とこれに連らなり、端部が外方に屈
曲された７ランジ部ａ嗜を有する円筒部（６）から構成
され。
あ９１図において、（１）はマイクロ波を発生するマグ
ネトロン、（２）はとのマグネトロンのマグネトロンア
ンテナ、（３）はこのマグネト甲ンアンテナから放射さ
れるマ、イクロ波を伝送する導波管、（４）はとの導波
管の端部にマイクロ波給電口輪を介して接続された空胴
壁で１球面部（５）とこれに連らなり、端部が外方に屈
曲された７ランジ部ａ嗜を有する円筒部（６）から構成
され。
アルミニウム等で形成されたものである。（））は上記
空胴壁（４）のフランジ部顧に、押え７ランジ（８）と
押えネジ（９）とで装着された金属メツシュ板でマイク
ロ波を遮えぎるが光を透過させるものであり、上記空胴
壁（４）とでマイクロ波空胴Ｉを構成するものである。
空胴壁（４）のフランジ部顧に、押え７ランジ（８）と
押えネジ（９）とで装着された金属メツシュ板でマイク
ロ波を遮えぎるが光を透過させるものであり、上記空胴
壁（４）とでマイクロ波空胴Ｉを構成するものである。
ａ騰は上記空胴壁（４）の球面部（５）の中心近傍に配
設された球形の無電極放電灯で９石英ガラス等で形成さ
れ、内部にアルゴン等の希ガス、水銀、鉄等の金属およ
びヨウ素等のハロゲンが封入されている。ａ４はこの放
電灯−の外壁の一部に設けられた突起で、上記空胴壁（
４）の球面部（５）頂部に設けられた放電灯支持部ａη
に一端が挿入支持された石英ガラスのような低損失の誘
電体からなる円筒状の放電灯支持体ａ＃の他端に形成さ
れたフレアー状となった放電灯支持部ａｅに嵌合され、
上記放電灯−を支持するものである。α樽は金属メツシ
ュ板（７）よシ外部へ放射される光を被照射面（図示せ
ず）に集光させるためのレンズである。
設された球形の無電極放電灯で９石英ガラス等で形成さ
れ、内部にアルゴン等の希ガス、水銀、鉄等の金属およ
びヨウ素等のハロゲンが封入されている。ａ４はこの放
電灯−の外壁の一部に設けられた突起で、上記空胴壁（
４）の球面部（５）頂部に設けられた放電灯支持部ａη
に一端が挿入支持された石英ガラスのような低損失の誘
電体からなる円筒状の放電灯支持体ａ＃の他端に形成さ
れたフレアー状となった放電灯支持部ａｅに嵌合され、
上記放電灯−を支持するものである。α樽は金属メツシ
ュ板（７）よシ外部へ放射される光を被照射面（図示せ
ず）に集光させるためのレンズである。
この様に構成されたマイクロ波放電光源装置において、
電源を投入すると、マグネトロン（１）によってマイク
ロ波が発生され、この発生されたマイクロ波が、マグネ
トロンアンテナ（２）を通じて導波管（３）中に放射さ
れる。そしてこの放射されたマイクロ波は、導波管（３
）を伝播し、給電口ａ３を通してマイクロ波空胴恒り内
に放射され。
電源を投入すると、マグネトロン（１）によってマイク
ロ波が発生され、この発生されたマイクロ波が、マグネ
トロンアンテナ（２）を通じて導波管（３）中に放射さ
れる。そしてこの放射されたマイクロ波は、導波管（３
）を伝播し、給電口ａ３を通してマイクロ波空胴恒り内
に放射され。
マイクロ波空胴■内にマイクロ波電磁界を形成する。こ
のマイクロ波電磁界によシ、放電灯Ｕ中の希ガスが放電
して放電灯（１ｍの内壁が熱せられ、放電灯Ｉ内の水銀
、鉄等がハロゲン化物となって蒸発し、放電は金属ガス
の放電が主となり、封入金属の種類に応じた特定の発光
スペクトルを持つ光が放射される。この時の放電は放電
灯軸の管壁近傍で起こる。すなわち放電灯０からの発光
は球面状になりている。したがって。
のマイクロ波電磁界によシ、放電灯Ｕ中の希ガスが放電
して放電灯（１ｍの内壁が熱せられ、放電灯Ｉ内の水銀
、鉄等がハロゲン化物となって蒸発し、放電は金属ガス
の放電が主となり、封入金属の種類に応じた特定の発光
スペクトルを持つ光が放射される。この時の放電は放電
灯軸の管壁近傍で起こる。すなわち放電灯０からの発光
は球面状になりている。したがって。
空胴壁（４）の球面部（５）を光反射面にしておけば。
放電灯Ｉが球面部（５）の中心近傍にあるため１反射光
は再び放電灯口近傍を通過することになる。
は再び放電灯口近傍を通過することになる。
この反射光と放電灯Ｉの直接光が金属メツシュ板（７）
を通して外方へ放射される。外方へ放射された光は集光
レンズ員で必要表被照射面に集光される。
を通して外方へ放射される。外方へ放射された光は集光
レンズ員で必要表被照射面に集光される。
このように構成されたマイクロ波放電光源装置にあって
は、マイクロ波エネルギーをより多く放電灯（２）の放
電エネルギーに変換するため。
は、マイクロ波エネルギーをより多く放電灯（２）の放
電エネルギーに変換するため。
マイクロ波空胴■内におけるマイクロ波損失はできる限
シ少なくする必要がある。これには。
シ少なくする必要がある。これには。
７ランジ部ａＩと金属メッシニ板（７）の接触面α１に
おける接触抵抗を下げるため、接触面部の平面精度を高
める必要がある０また。給電日収［有］は。
おける接触抵抗を下げるため、接触面部の平面精度を高
める必要がある０また。給電日収［有］は。
放電灯Ｑ３の放電が定常状態の時に導波管（３）内のマ
イクロ波電磁界とマイクｉ波空胴Ｉ中のそれとが最も良
好に結合するよう設計されている。
イクロ波電磁界とマイクｉ波空胴Ｉ中のそれとが最も良
好に結合するよう設計されている。
し・かじ、マグネトロン（１）に駆動電圧が印加された
直後から、放電灯−内における放電（以下単に放電と訪
う）が定常状態になるまでの間は。
直後から、放電灯−内における放電（以下単に放電と訪
う）が定常状態になるまでの間は。
給電口（２）におけるマイクロ波電磁界の結合状態が変
化し、結合が良好でない期間では、給電口ａ■付近での
マイクロ波電磁界の乱れが大きくなり極部的に電界が強
く力る。このような状態では、しばしば給電日輪近傍で
気中放電（スパーク）が起こり１時にはスパークが金属
メツシュ板（７）Ｋまで達し、これを破壊することがあ
った０この発明は、上記従来の欠点の解消を目的として
なされたもので、空胴壁（４）の内面にマイクロ波吸収
体を配設するととによシ、スノ（−りの起シ離いマイク
ロ波光源装置としたものである。
化し、結合が良好でない期間では、給電口ａ■付近での
マイクロ波電磁界の乱れが大きくなり極部的に電界が強
く力る。このような状態では、しばしば給電日輪近傍で
気中放電（スパーク）が起こり１時にはスパークが金属
メツシュ板（７）Ｋまで達し、これを破壊することがあ
った０この発明は、上記従来の欠点の解消を目的として
なされたもので、空胴壁（４）の内面にマイクロ波吸収
体を配設するととによシ、スノ（−りの起シ離いマイク
ロ波光源装置としたものである。
第２図はこの発明の一実施例の断面図で、鱈は円筒部（
６）の内面に設けられたマイクロ波損失層で９例えばカ
ーボン粉末を混和した耐熱性塗料の塗布層である。
６）の内面に設けられたマイクロ波損失層で９例えばカ
ーボン粉末を混和した耐熱性塗料の塗布層である。
一般に、マイクロ波が放射されて放電が開始したのち定
常状態に達するまでの５ＥＬは、放電によるマイクロ波
損失は、小から大へ変化する。
常状態に達するまでの５ＥＬは、放電によるマイクロ波
損失は、小から大へ変化する。
マイクロ波空胴ｌｔＪ内におけるマイクロ波損失は放電
によるもの、空胴壁（４）や金属メツシュ板（７）の内
面を流れる壁面電流による抵抗損失、壁面電流がフラン
ジ部員と金属メツシュ板け）の接触面を横切る時に生ず
る接触抵抗損失等が考えられる。これらのうち、放電に
よるもの以外はマイクロ波エネルギーが直接熱エネルギ
ーに変換されてしまうものである。放電開始前の損失は
この熱エネルギーに変換される損失だけであ〕。
によるもの、空胴壁（４）や金属メツシュ板（７）の内
面を流れる壁面電流による抵抗損失、壁面電流がフラン
ジ部員と金属メツシュ板け）の接触面を横切る時に生ず
る接触抵抗損失等が考えられる。これらのうち、放電に
よるもの以外はマイクロ波エネルギーが直接熱エネルギ
ーに変換されてしまうものである。放電開始前の損失は
この熱エネルギーに変換される損失だけであ〕。
この損失が放電による損失より小さいはど放電開始前と
放電が定常状態に達した時とで給電口ａりでの結合状態
の変化が大きくなる。給電口ｏり付近における電磁界は
、定常状態になったとき良い結合状態になるように設計
されているから放電開始前の給電口ａｚ付近でのマイク
ロ波電磁界の乱れが大きい。しかしながら、この実施例
の装置では、空胴壁（４）の円筒部（６）内面にマイク
ロ波損失層が形成されているので放電開始前のマイクロ
波空胴Ｉ内のマイクロ波損失が７ランジ部（Ｉ鋳の近傍
で大きくなる。したがって、放電開始前と放電が定常状
態に達した時とで給電口αのでの結合状態の変化の割合
が小さくなるので放電開始前の給電口ａり付近でのマイ
クロ波電磁界の乱れが小さくなって、スパークが起り難
くなる。なお、放電が定常状態となった時のマイクロ波
損失層（１’ｌＫおける損失は放電による損失に比して
十分小さいので、マイクロ波損失層鱈を設けたことによ
るマイクロ波エネルギーの利用効率の低下は少ない〇 なお、マイクロ波吸損失層鱈は１円筒部（６）の内面に
限らず、空胴壁（４）の内面のいずれの位置に設けても
同様の効果が得られるものである。
放電が定常状態に達した時とで給電口ａりでの結合状態
の変化が大きくなる。給電口ｏり付近における電磁界は
、定常状態になったとき良い結合状態になるように設計
されているから放電開始前の給電口ａｚ付近でのマイク
ロ波電磁界の乱れが大きい。しかしながら、この実施例
の装置では、空胴壁（４）の円筒部（６）内面にマイク
ロ波損失層が形成されているので放電開始前のマイクロ
波空胴Ｉ内のマイクロ波損失が７ランジ部（Ｉ鋳の近傍
で大きくなる。したがって、放電開始前と放電が定常状
態に達した時とで給電口αのでの結合状態の変化の割合
が小さくなるので放電開始前の給電口ａり付近でのマイ
クロ波電磁界の乱れが小さくなって、スパークが起り難
くなる。なお、放電が定常状態となった時のマイクロ波
損失層（１’ｌＫおける損失は放電による損失に比して
十分小さいので、マイクロ波損失層鱈を設けたことによ
るマイクロ波エネルギーの利用効率の低下は少ない〇 なお、マイクロ波吸損失層鱈は１円筒部（６）の内面に
限らず、空胴壁（４）の内面のいずれの位置に設けても
同様の効果が得られるものである。
第３図はこの発明の他の実施例の断面図で。
（２）はマイク１波吸収体、（２）は石英ガラス等で構
成されたマイクロ波吸収体（２）の支持棒、（２）はカ
ットオフパイプ、（２１は支持棒（財）を介してマイク
ロ波吸収体（２）を空胴ａＤ内に出入れする駆動装置。
成されたマイクロ波吸収体（２）の支持棒、（２）はカ
ットオフパイプ、（２１は支持棒（財）を介してマイク
ロ波吸収体（２）を空胴ａＤ内に出入れする駆動装置。
ｒ２４ｔｉ駆動装置を支承する取付は板である。
この様に構成された装置にあっては、放電灯員の放電開
始前はマイクロ波吸収体（２）は（２０１）の破線で示
すマイクル波空胴Ｉ内に挿入されておシ、この時のマイ
クロ波空胴ａカ全体のマイクロ波損失はマイクロ波吸収
体（２）の損失が主となる。放電灯ａ場が放電を開始し
た後は駆動装置（至）によってマイクロ波吸収体（社）
はマイクロ波空胴Ｉ内に突出しない位置まで引き込まれ
、マイクロ波空胴Ｉ内の損失は放電によるものが主とな
る。したがって、放電開始前と放電が定常状態に達した
時とで給電口ａりでの結合状態の差が。
始前はマイクロ波吸収体（２）は（２０１）の破線で示
すマイクル波空胴Ｉ内に挿入されておシ、この時のマイ
クロ波空胴ａカ全体のマイクロ波損失はマイクロ波吸収
体（２）の損失が主となる。放電灯ａ場が放電を開始し
た後は駆動装置（至）によってマイクロ波吸収体（社）
はマイクロ波空胴Ｉ内に突出しない位置まで引き込まれ
、マイクロ波空胴Ｉ内の損失は放電によるものが主とな
る。したがって、放電開始前と放電が定常状態に達した
時とで給電口ａりでの結合状態の差が。
マイクロ波吸収体（２）゛を設けない場合に比して小さ
くなシ、スパークが起り難く々る。さらｋ。
くなシ、スパークが起り難く々る。さらｋ。
マイクロ波吸収体銖のマイクロ波損失を、材質や形状あ
るいは設ける位置等によって自由に遺べ、ｆＦに放電が
定常状態の時の損失と等しくなておけば、放電開始前の
給電口ａ３付近でのマイクロ波電磁界の乱れが小さいた
めスパークがよシ起シ難く、マイクロ波空胴ａｆＪ中へ
のマイクロ波電力の入射も多くなシ、放電始動が容易と
々る効果もある。マイクロ波吸収体−の材質としては、
マイクロ波損失が大きく、マイクロ波を吸収して瞬時に
発熱、昇温しても耐え得るものが望ましく９例えばＺｎ
Ｏ’ｐ ８１０が最適である。
るいは設ける位置等によって自由に遺べ、ｆＦに放電が
定常状態の時の損失と等しくなておけば、放電開始前の
給電口ａ３付近でのマイクロ波電磁界の乱れが小さいた
めスパークがよシ起シ難く、マイクロ波空胴ａｆＪ中へ
のマイクロ波電力の入射も多くなシ、放電始動が容易と
々る効果もある。マイクロ波吸収体−の材質としては、
マイクロ波損失が大きく、マイクロ波を吸収して瞬時に
発熱、昇温しても耐え得るものが望ましく９例えばＺｎ
Ｏ’ｐ ８１０が最適である。
なお、カットオフパイプ（２）をとおして出入れされる
ため、マイクロ波空胴ａη内より外部へマイクロ波が漏
洩する恐れはなり０ この発明はマイクロ波が導入される給電口を有し、少な
くとも一面が開口せる空胴壁と、上記開口を塞ぐ金属メ
ツシュ板とで構成されたマイクロ波空胴と、このマイク
ロ波空胴内に配設され、内部に希ガスと水銀とが封入さ
れている無電極放電灯とを備えたものにおいて、上記マ
イクロ波空胴内に配設されたマイクロ波吸収体を備えた
ことを特徴とするもので、給電口近傍で発生し易いスパ
ークが抑えられ金属メツシュ板が破壊される恐れが解消
する効果がある。
ため、マイクロ波空胴ａη内より外部へマイクロ波が漏
洩する恐れはなり０ この発明はマイクロ波が導入される給電口を有し、少な
くとも一面が開口せる空胴壁と、上記開口を塞ぐ金属メ
ツシュ板とで構成されたマイクロ波空胴と、このマイク
ロ波空胴内に配設され、内部に希ガスと水銀とが封入さ
れている無電極放電灯とを備えたものにおいて、上記マ
イクロ波空胴内に配設されたマイクロ波吸収体を備えた
ことを特徴とするもので、給電口近傍で発生し易いスパ
ークが抑えられ金属メツシュ板が破壊される恐れが解消
する効果がある。
第１図は従来のマイクロ波放電光源装置の縦断面図、第
２図はこの発明の一実施例の縦断面図、第３図はこの発
明の他の実施例の縦断面図である。 図において、（４）は空胴壁、（６）は円筒部、（７）
は金属メツシュ板、ａＤはマイクロ波空胴、αりは給電
口、ａｓは放電灯、鱈紘マイクロ波損失を有する塗料層
、ａＩはマイクロ波吸収体である。 なお、各図中同一符号はそれぞれ同一、又は相当部分を
示す。 代理人 葛 野 信 − （外１名） 手続補正書（自発） 特許庁長官殿 １、事件の表示 特願昭 ｌｌ−１１＠・１号２
、発明の名称 マイクル波放電光源装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号
名 称（６０１） 三菱電機株式会社代表者片山仁
八部 ４、代理人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号
５、 補正の対象 明細書の特許請求の範囲および発明の詳細な説明の欄。 ６、 補正の内容 （１）明細書の特許請求の欄を別紙のとおり訂正する。 （２）明細書、の第８頁第２行の［マイクロ波数損失層
Ｊを「マイクロ波損失層」と訂正する。 Ｌ 添付書類の目録 （１）補正後の特許請求の範囲を記載した書面１通 以上
２図はこの発明の一実施例の縦断面図、第３図はこの発
明の他の実施例の縦断面図である。 図において、（４）は空胴壁、（６）は円筒部、（７）
は金属メツシュ板、ａＤはマイクロ波空胴、αりは給電
口、ａｓは放電灯、鱈紘マイクロ波損失を有する塗料層
、ａＩはマイクロ波吸収体である。 なお、各図中同一符号はそれぞれ同一、又は相当部分を
示す。 代理人 葛 野 信 − （外１名） 手続補正書（自発） 特許庁長官殿 １、事件の表示 特願昭 ｌｌ−１１＠・１号２
、発明の名称 マイクル波放電光源装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号
名 称（６０１） 三菱電機株式会社代表者片山仁
八部 ４、代理人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号
５、 補正の対象 明細書の特許請求の範囲および発明の詳細な説明の欄。 ６、 補正の内容 （１）明細書の特許請求の欄を別紙のとおり訂正する。 （２）明細書、の第８頁第２行の［マイクロ波数損失層
Ｊを「マイクロ波損失層」と訂正する。 Ｌ 添付書類の目録 （１）補正後の特許請求の範囲を記載した書面１通 以上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１１マイクロ波が導入される給電口を有し、少なくと
も一面が開口せる空胴壁と、上記開口を塞ぐ金属メツシ
ュ板とで構成されたマイクロ波空胴と、このマイク日波
空胴−内に配設され、内部に希ガスと水銀とが封入され
ている無電極放電灯とを備えたものにおいて、上記マイ
クロ波空胴内に配設されたマイクロ波吸収体を備えたこ
とを＊＊とするマイクロ波放電光源装置。 （２） マイクロ波吸収体が空胴壁の内面に形成され
たマイクロ波損失を有する塗料層である特許請求の範囲
第１項記載のマイクロ波放電光源装置。 （３）空胴壁の一部にカットオフパイプを接続し。 このカットオフパイプを通してマイクロ波空胴内にマイ
クロ波吸収体を出し入れ可能に構成とした特許請求の範
囲第１項記載のマイクロ波放電光源装置。 （４） マイクロ波吸収体をｚｎｏまたはｓｌｏで形
成した特許請求の範囲第３項記載のマイクロ波放電光源
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13661881A JPS5840766A (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | マイクロ波放電光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13661881A JPS5840766A (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | マイクロ波放電光源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5840766A true JPS5840766A (ja) | 1983-03-09 |
| JPH023265B2 JPH023265B2 (ja) | 1990-01-23 |
Family
ID=15179507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13661881A Granted JPS5840766A (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | マイクロ波放電光源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5840766A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9618885B2 (en) | 2014-03-28 | 2017-04-11 | Kyocera Document Solutions Inc. | Fixing device and image forming apparatus including the same |
-
1981
- 1981-08-31 JP JP13661881A patent/JPS5840766A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9618885B2 (en) | 2014-03-28 | 2017-04-11 | Kyocera Document Solutions Inc. | Fixing device and image forming apparatus including the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH023265B2 (ja) | 1990-01-23 |
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