JPS5839905A - 球面レンズと半導体レ−ザの軸合わせ方法及び装置 - Google Patents
球面レンズと半導体レ−ザの軸合わせ方法及び装置Info
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- JPS5839905A JPS5839905A JP13879181A JP13879181A JPS5839905A JP S5839905 A JPS5839905 A JP S5839905A JP 13879181 A JP13879181 A JP 13879181A JP 13879181 A JP13879181 A JP 13879181A JP S5839905 A JPS5839905 A JP S5839905A
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- semiconductor laser
- spherical lens
- optical axis
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- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
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- G01B11/272—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
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- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は半導体レーザよりの出射ビームを球面レンズ
に１って変換せし・める光学系の球面レンズと半導体レ
ーザ光軸との軸合わせ全行なう方法及び装置に関するも
のである。
に１って変換せし・める光学系の球面レンズと半導体レ
ーザ光軸との軸合わせ全行なう方法及び装置に関するも
のである。
従来球面レンズと半導体レーザ光軸との軸合わせ方法は
０球面し／ズによって変換された半導体レーザの出射ビ
ームを半導体レーザ光軸を合わせて設置した顕微鏡で観
測し、そのファー・オイールドパターンの形状によって
球面レンズと半導体レーず光軸との軸合わせを行なう方
法があるが、顕微鏡の光軸と半導体レーナ光軸との軸合
わせが必要であり、７アーフイールドパターンの形状に
よるための定量的でないという欠点があった。
０球面し／ズによって変換された半導体レーザの出射ビ
ームを半導体レーザ光軸を合わせて設置した顕微鏡で観
測し、そのファー・オイールドパターンの形状によって
球面レンズと半導体レーず光軸との軸合わせを行なう方
法があるが、顕微鏡の光軸と半導体レーナ光軸との軸合
わせが必要であり、７アーフイールドパターンの形状に
よるための定量的でないという欠点があった。
この発明はこれらの欠点を除去するため球面レンズと半
導体レーザ光軸との軸合わせを球面レンズの半導体レー
ザ光軸に対するオフセット量に対して周期的に変動する
半導体レーザ後側出力を検出することによって行なうよ
うにしたもので、以下四面につｉて詳ａＫ睨明する。
導体レーザ光軸との軸合わせを球面レンズの半導体レー
ザ光軸に対するオフセット量に対して周期的に変動する
半導体レーザ後側出力を検出することによって行なうよ
うにしたもので、以下四面につｉて詳ａＫ睨明する。
＋４）第１Ｅｊ！Ｊはこの発明による軸合わせ装置の一
実施例であって球面レンズとして球レンズを用いた場合
を示して＾る。半導体レーザ（以下ＬＤと略すＪは）が
ＬＤの支持部＋２１ Ｋ取り付けられており、 ＬＤ
ｌの前方にＬＤ ｔｌ）の前側出射ビームを変換する球
レンズ（３）が球レンズ支持ｆｆ１ｔ４１に支持されて
配置されており０球レンズ１３）はＬＤｌのへき開面に
平行な面内で移動装置（５ａバ５ｂＪにより移動可能で
ある。ここでは球しンｋ（３）の移動方向ＩＬＤの接合
面に平行な方向ｆｌｌと垂直な万ＬＤ ＋ＩＪの後側に
は７オートダイオード（以下ＰＤと略す）（６１が置か
れており、 ＬＤｔｌｌの後側出力を受光する。ＬＤ
ｌの前方の球レンズ＋３１ｔ−ｒｕ方向及びＢ方向く移
動させたとき、その移動距離が移動装置（５）の出力と
してとり出されレコーダ（７）のＸ軸入力として記録さ
れる。
実施例であって球面レンズとして球レンズを用いた場合
を示して＾る。半導体レーザ（以下ＬＤと略すＪは）が
ＬＤの支持部＋２１ Ｋ取り付けられており、 ＬＤ
ｌの前方にＬＤ ｔｌ）の前側出射ビームを変換する球
レンズ（３）が球レンズ支持ｆｆ１ｔ４１に支持されて
配置されており０球レンズ１３）はＬＤｌのへき開面に
平行な面内で移動装置（５ａバ５ｂＪにより移動可能で
ある。ここでは球しンｋ（３）の移動方向ＩＬＤの接合
面に平行な方向ｆｌｌと垂直な万ＬＤ ＋ＩＪの後側に
は７オートダイオード（以下ＰＤと略す）（６１が置か
れており、 ＬＤｔｌｌの後側出力を受光する。ＬＤ
ｌの前方の球レンズ＋３１ｔ−ｒｕ方向及びＢ方向く移
動させたとき、その移動距離が移動装置（５）の出力と
してとり出されレコーダ（７）のＸ軸入力として記録さ
れる。
また０球レンズ（３）のｆ１１方向及びｆ１方向のそれ
ぞれの位置におけるＰＤｔ６）の出力はレコーダ（７）
のＹ軸入力として記録される。
ぞれの位置におけるＰＤｔ６）の出力はレコーダ（７）
のＹ軸入力として記録される。
上記の装置でこの発明の方法により球レンズとＬＤ光軸
の軸合わせを行なう方法について述べる。
の軸合わせを行なう方法について述べる。
ＬＤｌをＬＤ駆動回路１８１にエリＤＣ電流で駆動する
。 ＬＤｔｌｌと球レンズ（３）の距離をある距離に設
定する０球レンズ＋３１ｉｒｕ方向に移動させてこのと
きの移動距離とＰＤｉ６１の出力音レコーダ（７）に記
録する。第２図＜ａ）に測定結果例を示す。
。 ＬＤｔｌｌと球レンズ（３）の距離をある距離に設
定する０球レンズ＋３１ｉｒｕ方向に移動させてこのと
きの移動距離とＰＤｉ６１の出力音レコーダ（７）に記
録する。第２図＜ａ）に測定結果例を示す。
ＬＤより出射したビームは球レンズに入射し変換される
が、その一部の光は球レンズ入射面で反射される。ＬＤ
よりの出射ビームのうち球レンズ表面にほば垂直に
入射した光は上記反射に１ってその一部がＬＤへフィー
ドバックされる。
が、その一部の光は球レンズ入射面で反射される。ＬＤ
よりの出射ビームのうち球レンズ表面にほば垂直に
入射した光は上記反射に１ってその一部がＬＤへフィー
ドバックされる。
所でＬＤは一般に上述のような反射光の影響をきわめて
受けやすいのは良く知られており１反射光のＬＤへの入
射位相の正負によってＬＤ出力が増減する。
受けやすいのは良く知られており１反射光のＬＤへの入
射位相の正負によってＬＤ出力が増減する。
球レンズｉＬＤへき一部に平行な面内で移動させたとき
には球レンズの移動とともにＬＤへフィードバックされ
る反射光の径路の距離が変化し。
には球レンズの移動とともにＬＤへフィードバックされ
る反射光の径路の距離が変化し。
反射光の位相が変動するためにＬＤの後側出力が周期的
に変動する。また、この周期は球レンズｏ光軸がＩ、Ｄ
の光軸と合ってくると球レンズの移動距離に対して球レ
ンズからの反射光の径路の距離変化が小さくなるのでゆ
るやかになる。
に変動する。また、この周期は球レンズｏ光軸がＩ、Ｄ
の光軸と合ってくると球レンズの移動距離に対して球レ
ンズからの反射光の径路の距離変化が小さくなるのでゆ
るやかになる。
従って、上記のことからＬＤのへき開面に平行な面内で
球レンズを移動させたときのＬＤの後側出力を検出する
ことにＬりて球レンズとＬＤ光軸との軸合わせができる
。
球レンズを移動させたときのＬＤの後側出力を検出する
ことにＬりて球レンズとＬＤ光軸との軸合わせができる
。
第２ｔ１！Ｊ（ａ）におｉてＰＤ＋６）の出力の変化の
周期がゆるやかになることＩＣよりｒｘｉ方向における
球レンズ（３）とＬＤｌの光軸が合う位置がわかるので
球レンズ＋３）ｔその位置即ち第２図（ａ）において矢
印で示した位置に移動させホールドするａなお、ここで
は球レンズ＋３１ ｋ ：ＬＩ）ｔｉｌの接合面に平行
な方向に移動させているので周期変動が球し７ズ１３）
移動距離に対してはぼ対称に出ている、次に９球レンズ
１３１ｔ−ｒｔ方向に移動させてこのときの移動距離と
ＰＤ（６１の出力をレコーダ（７）に記録する。第２図
（ｂ）に測定結果例ｔホす。＠２図（ｂ）におかて、
ＰＤ（６１の出力の変化の周期がゆるやかになる仁とよ
り１１方向における球し／ズ（３）とｌ１ｌｌ）の光軸
との合う位置がわかるので１球し／ズ（３）をその位置
、叩ち、＠２図（１））において矢印で示した位置に移
動させホールドする。
周期がゆるやかになることＩＣよりｒｘｉ方向における
球レンズ（３）とＬＤｌの光軸が合う位置がわかるので
球レンズ＋３）ｔその位置即ち第２図（ａ）において矢
印で示した位置に移動させホールドするａなお、ここで
は球レンズ＋３１ ｋ ：ＬＩ）ｔｉｌの接合面に平行
な方向に移動させているので周期変動が球し７ズ１３）
移動距離に対してはぼ対称に出ている、次に９球レンズ
１３１ｔ−ｒｔ方向に移動させてこのときの移動距離と
ＰＤ（６１の出力をレコーダ（７）に記録する。第２図
（ｂ）に測定結果例ｔホす。＠２図（ｂ）におかて、
ＰＤ（６１の出力の変化の周期がゆるやかになる仁とよ
り１１方向における球し／ズ（３）とｌ１ｌｌ）の光軸
との合う位置がわかるので１球し／ズ（３）をその位置
、叩ち、＠２図（１））において矢印で示した位置に移
動させホールドする。
以上のように球レンズｔ−ＬＤのへき開面に平行な面内
の用方向及び！！方向に移動ζせてそのときのＬＤの後
悔出力を検出することに工り球レンズとＬＤ光軸との軸
合わせが行なえる。また、上記の軸合わせ方法によれば
第２１Ｖ（ａＪ（ｂ）に測定結果例を示したごと（球レ
ンズとＬＤ光軸とが合ってきてＦＤ比出力周期的変動の
周期が最もゆるやかになるところのｔｌぼ中央で、その
左右の周期変動の現われ万が＃１は対称となるところｔ
球し／ズとＩ４軸とが合った位置とするので１両者の軸
合わせ精度は５ ＪＩＪＩＩ以下である。
の用方向及び！！方向に移動ζせてそのときのＬＤの後
悔出力を検出することに工り球レンズとＬＤ光軸との軸
合わせが行なえる。また、上記の軸合わせ方法によれば
第２１Ｖ（ａＪ（ｂ）に測定結果例を示したごと（球レ
ンズとＬＤ光軸とが合ってきてＦＤ比出力周期的変動の
周期が最もゆるやかになるところのｔｌぼ中央で、その
左右の周期変動の現われ万が＃１は対称となるところｔ
球し／ズとＩ４軸とが合った位置とするので１両者の軸
合わせ精度は５ ＪＩＪＩＩ以下である。
以上のようにこの軸合わせ方法及び装置によればＬＤの
後側出力の変動を検出することにより定量的に軸合わせ
ができ、軸合わせ装置も複雑でなく操作が容易で、しか
も精度の良い軸合わせができるという利点がある。
後側出力の変動を検出することにより定量的に軸合わせ
ができ、軸合わせ装置も複雑でなく操作が容易で、しか
も精度の良い軸合わせができるという利点がある。
なお９以上は球レンズと半導体レーザ光軸との軸合わせ
を行なう場合に、つ％（ｈで説明したが。
を行なう場合に、つ％（ｈで説明したが。
この発明による軸合わせ方法及び装置によれば球レンズ
のｆｉｌ及び１１ 方向への移動距離及び位置が明確
であり再現性もあるので９球レンズを半導体レーザ光軸
に対して自由なオフセット位置に設足することができる
。
のｆｉｌ及び１１ 方向への移動距離及び位置が明確
であり再現性もあるので９球レンズを半導体レーザ光軸
に対して自由なオフセット位置に設足することができる
。
また９以上は球レンズを半導体レーザのへき開面に平行
な面内で半導体レーザの接合面に平行な方向と垂直な方
向へ移動させて軸合わせを行なう場合につ−て説明した
か、この発明は球し／ズに限らず球面レンズに適用でき
０球面レンズ全半導体レーザのへき開面に平行な面内の
適当な方向に移動させても工い。
な面内で半導体レーザの接合面に平行な方向と垂直な方
向へ移動させて軸合わせを行なう場合につ−て説明した
か、この発明は球し／ズに限らず球面レンズに適用でき
０球面レンズ全半導体レーザのへき開面に平行な面内の
適当な方向に移動させても工い。
以上のように、この発明に係る球面レンズと半導体レー
ザの軸合わせ方法及び装置では０球面レンズの半導体レ
ーザ光軸に対するオフセットｔＫ一対して周期的に変動
する半導体レーザ後側出力を検出することによって球面
レンズ光軸と半４本レーザ光軸のオフセットｔ’ｔ−検
出でき球面レンズと半導体レーザ光軸との軸合わせがで
き＃簡単な装置で定量的に容易に？！度の良い球面レン
ズと半導体レーザ光軸との軸合わせが行なえるとｉう効
果を有する。
ザの軸合わせ方法及び装置では０球面レンズの半導体レ
ーザ光軸に対するオフセットｔＫ一対して周期的に変動
する半導体レーザ後側出力を検出することによって球面
レンズ光軸と半４本レーザ光軸のオフセットｔ’ｔ−検
出でき球面レンズと半導体レーザ光軸との軸合わせがで
き＃簡単な装置で定量的に容易に？！度の良い球面レン
ズと半導体レーザ光軸との軸合わせが行なえるとｉう効
果を有する。
第１図はこの発明の軸合わせ装置の一実施例を示す図、
第２図は第１図の軸合わせ装置によりこの発明の方法を
行なったときの測定結果例を示す図である。 図中、（１１は半導体レーザ、（２）は半導体レーザの
支持部、（３）は球レンズ、（４）は球レンズ支持部。 （５）は移動装置、＋６１ｔｉ７オトダイオード、（７
）はレコーダ、（８）は半導体レーザ駆動回路である。 代理人 葛 野 信 − Ｉｌ１図
第２図は第１図の軸合わせ装置によりこの発明の方法を
行なったときの測定結果例を示す図である。 図中、（１１は半導体レーザ、（２）は半導体レーザの
支持部、（３）は球レンズ、（４）は球レンズ支持部。 （５）は移動装置、＋６１ｔｉ７オトダイオード、（７
）はレコーダ、（８）は半導体レーザ駆動回路である。 代理人 葛 野 信 − Ｉｌ１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 山 半導体レーザエリの出射ビームを球面し７ズにより
て交換せしめる光学系の０球面レンズと半導体レーザ光
軸との軸合わせ方法において９球面レンズの半導体レー
ザ光軸に対するオフセット量に対して周期的に変動する
半導体レーザ後側出力を検出することによって球面レン
ズ光軸と半導体レーザ光軸のオフセット量を検出して両
者の軸合せ上行なう球面レンン皐導体し−ｆ％の軸合わ
せ方法。 （２）半導体レーザの支持部及び駆動回路、半導体レー
ザの後備出力モニタ用受光素子、半導体レーザの前方の
ある一定距Ｊ１に球面レンズを支持するための支！！＃
部、半導体し−ずと球面レンズの相対位ａｌｔ−半導体
レーザのへき開面に平行な面内で動かし、かつ移動距離
に封子出力と移動距離に対応する移動装置の出力の関係
を記録装置をそなえ０球面レンズの半導体レーザ光軸に
対するオフセット量に対して周期的に変動する半導体レ
ーザ後側出力を検出することによって９球面しンズ光軸
と半導体レーザ光軸のオフセット貴重検出して両者の軸
合わせ上行なう球面レンズと半導体レーｆ東の軸合わせ
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13879181A JPS5839905A (ja) | 1981-09-03 | 1981-09-03 | 球面レンズと半導体レ−ザの軸合わせ方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13879181A JPS5839905A (ja) | 1981-09-03 | 1981-09-03 | 球面レンズと半導体レ−ザの軸合わせ方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5839905A true JPS5839905A (ja) | 1983-03-08 |
| JPH033176B2 JPH033176B2 (ja) | 1991-01-17 |
Family
ID=15230294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13879181A Granted JPS5839905A (ja) | 1981-09-03 | 1981-09-03 | 球面レンズと半導体レ−ザの軸合わせ方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5839905A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5897008A (ja) * | 1981-12-04 | 1983-06-09 | Hitachi Ltd | 半導体レ−ザとコリメ−タレンズの位置決め方法 |
| JPH01280729A (ja) * | 1988-05-06 | 1989-11-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光波長変換装置 |
| CN103727902A (zh) * | 2014-01-15 | 2014-04-16 | 西安电子科技大学 | 多段圆柱舱段激光检测对准装置 |
-
1981
- 1981-09-03 JP JP13879181A patent/JPS5839905A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5897008A (ja) * | 1981-12-04 | 1983-06-09 | Hitachi Ltd | 半導体レ−ザとコリメ−タレンズの位置決め方法 |
| JPH0517528B2 (ja) * | 1981-12-04 | 1993-03-09 | Hitachi Ltd | |
| JPH01280729A (ja) * | 1988-05-06 | 1989-11-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光波長変換装置 |
| CN103727902A (zh) * | 2014-01-15 | 2014-04-16 | 西安电子科技大学 | 多段圆柱舱段激光检测对准装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH033176B2 (ja) | 1991-01-17 |
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