JPS5838684A - 伸長可能なモジュ−ル式真空室 - Google Patents
伸長可能なモジュ−ル式真空室Info
- Publication number
- JPS5838684A JPS5838684A JP57139084A JP13908482A JPS5838684A JP S5838684 A JPS5838684 A JP S5838684A JP 57139084 A JP57139084 A JP 57139084A JP 13908482 A JP13908482 A JP 13908482A JP S5838684 A JPS5838684 A JP S5838684A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- box
- frames
- rectangular
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/16—Vessels; Containers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
- Blow-Moulding Or Thermoforming Of Plastics Or The Like (AREA)
- Actuator (AREA)
- Massaging Devices (AREA)
- Surgical Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、−例として電子ビーム溶接に使用し得る伸長
可能なモジュール式真空室に関する。
可能なモジュール式真空室に関する。
電子ビーム溶接装置において、被溶接物は、一般に気密
室の真空内部におかれる。普通真空室と呼ばれるこの室
の寸法は、被溶接物の全体的寸法より大きくする必要が
あり、また被溶接物を挿入するための開口（内部を真空
にする前に閉ざされる）を真空室に形成する必要がある
。
室の真空内部におかれる。普通真空室と呼ばれるこの室
の寸法は、被溶接物の全体的寸法より大きくする必要が
あり、また被溶接物を挿入するための開口（内部を真空
にする前に閉ざされる）を真空室に形成する必要がある
。
こうした！子ビー。ム溶接装置において高度の真空を得
るには、真空ポンプの操作時間が相当に長くなる。言う
までもなく、真空ポンプの操作時間は、真空室の容積が
大きいほどそれたけ長くなるので、真空室の容積は最小
にすることが望ましい。
るには、真空ポンプの操作時間が相当に長くなる。言う
までもなく、真空ポンプの操作時間は、真空室の容積が
大きいほどそれたけ長くなるので、真空室の容積は最小
にすることが望ましい。
また真空室は、被溶接物の全体としての最大寸法よりも
大きな寸法をもつべきである。これらの条件の下では、
小さい寸法の被溶接物を溶接する場合、真空室の寸法は
過大になり、真空ポンプの操作時間が相当に長くなる。
大きな寸法をもつべきである。これらの条件の下では、
小さい寸法の被溶接物を溶接する場合、真空室の寸法は
過大になり、真空ポンプの操作時間が相当に長くなる。
同一の電子ビーム溶接機械について寸法の異なる複数の
真空室を用意し、被溶接物の大きさに真空室の寸法を適
合させることはできる。一般に真空室は平行六面体の形
状であり、全ての形状の被溶接物に真空室を適合させる
には、長さ、幅及び高さのそれぞれについて異なる寸法
の真空室が必要になり、用意すべき真空室の数は非常に
大きくなる。
真空室を用意し、被溶接物の大きさに真空室の寸法を適
合させることはできる。一般に真空室は平行六面体の形
状であり、全ての形状の被溶接物に真空室を適合させる
には、長さ、幅及び高さのそれぞれについて異なる寸法
の真空室が必要になり、用意すべき真空室の数は非常に
大きくなる。
入れ子穴の真空室も考えられるが、その場合には、強度
及び封止の問題がほとんど解決できない。
及び封止の問題がほとんど解決できない。
また１つの寸法の方向においてのみ伸長可能な点にも難
点がある。
点がある。
従って、いろいろの寸法の真空室を形成するように異な
るしかたで強固に組立て得るモジュール要素の集合体か
ら成り、その７つ以上の寸法方向に伸長させることがで
きる真空室を形成することが望まれている。
るしかたで強固に組立て得るモジュール要素の集合体か
ら成り、その７つ以上の寸法方向に伸長させることがで
きる真空室を形成することが望まれている。
従って本発明は、伸長可能なモジュール式の真空室に向
けられる。
けられる。
本発明による伸長可能なモジュール式の真空室は、分離
可能な同一の２つの部分から成る平行六面体の形状の堅
強な箱体を有し、該箱体の分離面は、該箱体の第１面上
の対角線と、該第１面と平行な面上の対角線とを通り、
更に、その少くとも１つの寸法が上記箱体に比べて大き
な別の堅強な箱体を全体として形成するように、上記箱
体の２つの部分の間に挿置され得る少くとも７つの堅強
なフレームを有する。
可能な同一の２つの部分から成る平行六面体の形状の堅
強な箱体を有し、該箱体の分離面は、該箱体の第１面上
の対角線と、該第１面と平行な面上の対角線とを通り、
更に、その少くとも１つの寸法が上記箱体に比べて大き
な別の堅強な箱体を全体として形成するように、上記箱
体の２つの部分の間に挿置され得る少くとも７つの堅強
なフレームを有する。
本発明の好ましい実施態様によれば、７個以上の堅強な
フレームは、互に平行な矩形の他の２面一により平行六
面体状に連結された互に平行な２面によって、又は台形
の２つの平行面及びこれらの面と直角でそれらを互に連
結する矩形の他の二面によって形成される。
フレームは、互に平行な矩形の他の２面一により平行六
面体状に連結された互に平行な２面によって、又は台形
の２つの平行面及びこれらの面と直角でそれらを互に連
結する矩形の他の二面によって形成される。
本発明のその他の利点は、添付図面に示した限定的でな
い実施例についての以下の説明に呵って一層明らかにさ
れよう。
い実施例についての以下の説明に呵って一層明らかにさ
れよう。
第１図には、真空室の可能な組立て形態の１つを全体と
して形成する３個のピースないし要素１．２．３が図示
されている。要素１は底体を形成し、要素２はふたを形
成する。要素１．２は同じ形状であり、各々が矩形の水
平板６と矩形の垂直板４と、２枚の側板５．７とから成
り、垂直板４は水平板６に縁部に沿い固着され、側板５
．７は直角三角形状であり、直角を挾む２辺を形成する
縁部により板４．６の両側の縁部に固着されている。
して形成する３個のピースないし要素１．２．３が図示
されている。要素１は底体を形成し、要素２はふたを形
成する。要素１．２は同じ形状であり、各々が矩形の水
平板６と矩形の垂直板４と、２枚の側板５．７とから成
り、垂直板４は水平板６に縁部に沿い固着され、側板５
．７は直角三角形状であり、直角を挾む２辺を形成する
縁部により板４．６の両側の縁部に固着されている。
このような構造をもつ要素１．２は、第Ｓ図に示すよう
に組立て、２つの同一の分離可能な要素１．２から成る
平行六面体の堅強な箱体を形成することができる。箱体
の分離面は、２ちの平行な側板５．７上にある対角線上
の縁部１４．１５を通っている。
に組立て、２つの同一の分離可能な要素１．２から成る
平行六面体の堅強な箱体を形成することができる。箱体
の分離面は、２ちの平行な側板５．７上にある対角線上
の縁部１４．１５を通っている。
第１図に示したこの可能な組立ては、堅強なフレームの
形の要素３も含み、要素３は、２つの要素１．２のみに
より形成された箱体に比べて少くとも１つの寸法が大き
い堅強な箱体を全体として形成するようニ、Ωつの要素
１．２の間に介在される。言うまでもなく、要素１．２
．３により形成された組立体ば（要素１．２の縁部１４
．１５が要素３の対応の縁部１６．１７．１８．１９と
それぞれ接触し、要素１．２．３が全体として縁部どう
し接触して気密に組立てられた場合にのみ、真空室を形
成する。
形の要素３も含み、要素３は、２つの要素１．２のみに
より形成された箱体に比べて少くとも１つの寸法が大き
い堅強な箱体を全体として形成するようニ、Ωつの要素
１．２の間に介在される。言うまでもなく、要素１．２
．３により形成された組立体ば（要素１．２の縁部１４
．１５が要素３の対応の縁部１６．１７．１８．１９と
それぞれ接触し、要素１．２．３が全体として縁部どう
し接触して気密に組立てられた場合にのみ、真空室を形
成する。
本発明の目的とするいろいろの寸法の真空室を法及び形
状の複数の中間要素３から成る組立体力ヌ形成される。
状の複数の中間要素３から成る組立体力ヌ形成される。
この組立てに基づいて形成し得るいろいろの寸法の真空
室は、必然的に、底体となる要素１と、ふたとなる要素
２と、組立てに取入れることができる要素３中から選ば
れた成る数及び組合せの中間の要素３から成る。要素３
のいろいろの可能な形状は第２．３、”図に示されてい
る。
室は、必然的に、底体となる要素１と、ふたとなる要素
２と、組立てに取入れることができる要素３中から選ば
れた成る数及び組合せの中間の要素３から成る。要素３
のいろいろの可能な形状は第２．３、”図に示されてい
る。
要素３の第１形状としてのフレームＡは、第２図に示さ
れ、互に平行に配された２つの同一の矩形板１０．１１
と、矩形板１０．１１の側縁部に連結した２枚の平行板
８．９とによって、平行六面体状に形成され、フレーム
Ａのａつの縁部２４．２５Ｆｉ、２つの互いに平行な面
内にある。フレームＡの傾斜角度α件要素１の縁部１４
の傾斜角α（第１図〕に等式しい。
れ、互に平行に配された２つの同一の矩形板１０．１１
と、矩形板１０．１１の側縁部に連結した２枚の平行板
８．９とによって、平行六面体状に形成され、フレーム
Ａのａつの縁部２４．２５Ｆｉ、２つの互いに平行な面
内にある。フレームＡの傾斜角度α件要素１の縁部１４
の傾斜角α（第１図〕に等式しい。
第３図に示した要素３の第２形式としてのフレームＢは
、同様に、互に平行なコ枚の矩形板１０゜１１と、これ
らに連結した２枚の平行板２０．２１によって、平行六
面体状に形成されている。
、同様に、互に平行なコ枚の矩形板１０゜１１と、これ
らに連結した２枚の平行板２０．２１によって、平行六
面体状に形成されている。
このフレームＢの傾斜角度βは、要素１の垂直線に対す
る縁部１４の傾斜角度β（第１図）に等しい。
る縁部１４の傾斜角度β（第１図）に等しい。
第９図に示した要素３の第３形式であるフレ′−ムＣは
、垂直におかれた２枚の矩形板１０．１１と、これらの
矩形板を互に連結する台形の平行板２２．２３とから成
っている。要素１上においての台形の角度αは、水平面
に対する縁部１４の傾斜角度αに等しく゛、要素１上に
おいての台形の角度βは、垂直に対する縁部１４の傾斜
角度βに等しい。
、垂直におかれた２枚の矩形板１０．１１と、これらの
矩形板を互に連結する台形の平行板２２．２３とから成
っている。要素１上においての台形の角度αは、水平面
に対する縁部１４の傾斜角度αに等しく゛、要素１上に
おいての台形の角度βは、垂直に対する縁部１４の傾斜
角度βに等しい。
第３−１０図に、真空室の可能な構造のいろいろの例を
示す。第Ｓ図は、要素１．２のみにより形成された最小
容積の真空室を示し、第４図は、第２図に示すフレーム
Ａに対応する形状の中間フレームＡ１を有する、幅を大
きくした真空室を示し１第７図は複数の中間のフレーム
ＡＩ、Ａ２を有する幅を更に大きくした真空室を示し、
第Ｓ図は、第３図に示したフレームＢに従う複数の中間
のフレーム８１．８２により高さのみ大きくした真空室
を示し、第９図は第９図に示したフレームＣに従う複数
のフレームＣ１、Ｃ２、Ｃ３により幅及び高さを大きく
した真空室を示し、第１Ｏ図は、第９図のフレームＣに
対応する形状の中間の７１／−ムＣ４、Ｃ５及び第２図
のフレームＡに対応する形状のフレームＡ３を含み幅と
高さを犬きくした真空室を示す。以上に示したいろいろ
の真空室の構造例によって明らかなように、要素１．２
及び比較的少数の中間の要素３により、おもちゃの積み
木の要領で、幅及び高さについて可変の寸法をもったか
なり多数の真空室が形成される。
示す。第Ｓ図は、要素１．２のみにより形成された最小
容積の真空室を示し、第４図は、第２図に示すフレーム
Ａに対応する形状の中間フレームＡ１を有する、幅を大
きくした真空室を示し１第７図は複数の中間のフレーム
ＡＩ、Ａ２を有する幅を更に大きくした真空室を示し、
第Ｓ図は、第３図に示したフレームＢに従う複数の中間
のフレーム８１．８２により高さのみ大きくした真空室
を示し、第９図は第９図に示したフレームＣに従う複数
のフレームＣ１、Ｃ２、Ｃ３により幅及び高さを大きく
した真空室を示し、第１Ｏ図は、第９図のフレームＣに
対応する形状の中間の７１／−ムＣ４、Ｃ５及び第２図
のフレームＡに対応する形状のフレームＡ３を含み幅と
高さを犬きくした真空室を示す。以上に示したいろいろ
の真空室の構造例によって明らかなように、要素１．２
及び比較的少数の中間の要素３により、おもちゃの積み
木の要領で、幅及び高さについて可変の寸法をもったか
なり多数の真空室が形成される。
第１．２図において角度α、βを全てｑ５°に等１〜く
選ぶと、フレームＡＸＢは同じ性質になり、フレームＢ
は実際上フレームＡを反転したものになり、その場合に
は比較的小数の異なる要素により寸法の異なる多数の真
空室が形成される。
選ぶと、フレームＡＸＢは同じ性質になり、フレームＢ
は実際上フレームＡを反転したものになり、その場合に
は比較的小数の異なる要素により寸法の異なる多数の真
空室が形成される。
しかし言うまでもなく、このように形成された真空室が
気密であるためには、第１１図に示したような封止要素
を、互に接触する要素１．２．３の縁部に配することが
必要になる。−例として、要素１．２．３の縁部の成る
ものに連続する溝１３を形成し、その溝１３中に円環体
のバッキング１２を配装してもよい。
気密であるためには、第１１図に示したような封止要素
を、互に接触する要素１．２．３の縁部に配することが
必要になる。−例として、要素１．２．３の縁部の成る
ものに連続する溝１３を形成し、その溝１３中に円環体
のバッキング１２を配装してもよい。
やはり明らかなように、上述した要素１．２．３が電子
ビーム溶接用の真空室を形成するために用いられる場合
、溶接に必要な全部の装備例えば被溶接物の支持−締着
装置、ポンプの配管並びに真空室内部を電子ビームの作
用に付する装置の配管を要素１．２．３に取付けること
が必要になる。
ビーム溶接用の真空室を形成するために用いられる場合
、溶接に必要な全部の装備例えば被溶接物の支持−締着
装置、ポンプの配管並びに真空室内部を電子ビームの作
用に付する装置の配管を要素１．２．３に取付けること
が必要になる。
本発明は上述した実施例に限定されずその全ての変形を
包含し、本発明の範囲内で細部をいろいろと変更するこ
とができる。
包含し、本発明の範囲内で細部をいろいろと変更するこ
とができる。
組立てに使用可能ないろいろの要素３の中から任意に取
出したどの要素３についても、与えられた７組の要素１
．２．３から１つの真空箱が組立てられるわけではない
ごとに注意すべきである。
出したどの要素３についても、与えられた７組の要素１
．２．３から１つの真空箱が組立てられるわけではない
ごとに注意すべきである。
要素１〜・３を組、立てて真空箱を形成しようとする操
作者は、組′立てに当り、互に接触する要素３の各々の
縁部１６〜１９が同じ寸法をもつように、また要素３の
各々の縁部が、その縁部と接触する要素１．２の縁部と
同じ寸法をもつように、中、間の要素３を取合わせるこ
とになる。
作者は、組′立てに当り、互に接触する要素３の各々の
縁部１６〜１９が同じ寸法をもつように、また要素３の
各々の縁部が、その縁部と接触する要素１．２の縁部と
同じ寸法をもつように、中、間の要素３を取合わせるこ
とになる。
また、中間の要素３が全てフレームＡ又はＢの形式であ
れば、組立体中においての要素３の最小数は／（第６図
）であり、要素３が全てフレームＣの形式であれば、組
立体中においての要素３０最小数は、！（第９図）であ
り、中間の要素３がフレームＡ又はＢとフレームＣとの
２種であれば、組立体中のその最小数は、フレームＣを
少くともλつとフレームＡを少くとも７つの合計３であ
る（第７０図）。
れば、組立体中においての要素３の最小数は／（第６図
）であり、要素３が全てフレームＣの形式であれば、組
立体中においての要素３０最小数は、！（第９図）であ
り、中間の要素３がフレームＡ又はＢとフレームＣとの
２種であれば、組立体中のその最小数は、フレームＣを
少くともλつとフレームＡを少くとも７つの合計３であ
る（第７０図）。
第１図は本発明による真空室の分解斜視図、第２図は堅
強なフレームの第１形式を示す斜視図、第３図は堅強な
フレームの第２形式を示す斜視図、第９図は堅強なフレ
ームの第３形式を示す斜視図、第５〜１０図は真空室の
いろいろの組立体の端面図、第１／図は第Ｓ図のＤ−Ｄ
線に沿゛った断面図である。 符号の説明 １．２・・・要素（部分〕、３・・・要素（フレーム）
、５、・、側板（第１面）、７・・・側板（平行な面）
、１４．１５・・・縁部（対角線）。 ４３２−
強なフレームの第１形式を示す斜視図、第３図は堅強な
フレームの第２形式を示す斜視図、第９図は堅強なフレ
ームの第３形式を示す斜視図、第５〜１０図は真空室の
いろいろの組立体の端面図、第１／図は第Ｓ図のＤ−Ｄ
線に沿゛った断面図である。 符号の説明 １．２・・・要素（部分〕、３・・・要素（フレーム）
、５、・、側板（第１面）、７・・・側板（平行な面）
、１４．１５・・・縁部（対角線）。 ４３２−
Claims (6)
- （１）イノ 分離可能な同一の２つの部分１．２から成
る平行六面体の形状の堅強な箱体を有し、該箱体の分離
面は、該箱体の第１面５上の対角線１４と、該第１面５
と平行な面７上の対角線１５とを通り、 口〕 更に、その少くとも１つの寸法が上記箱体に比べ
て大きな別の堅強な箱体を全体として形成するように、
上記箱体のコつの部分１．２の間に挿置され得る少くと
も７つの堅強なフレーム３を有して成ることを特徴とす
る特に電子ビーム溶接用の伸長可能なモジュール式真空
室。 - （２） 互に平行な矩形形状の他のλつの面１０゜１
１により平行六面体状に連結された互に平行な一つの面
８．９により、１個以上の堅強なフレーム３が各々形成
され次ことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載
の真空室。 - （３） 少くとも２つの堅強なフレームを有する特許
請求の範囲第（１）項記載の伸長可能なモジュール式真
空室であって、台形の一つの平行面２２．２３及びこれ
らの面と直角でそれらを互に連結する矩形の他の２つの
面１０．１１により、各各の堅強なフレームを形成した
ことを特徴とする真空室。 - （４） 少くとも３つの堅強なフレームを有する特許
請求の範囲第（１１項記載の伸長可能なモジュール式真
空室であって、堅強なフレ１−ムのうち少くとも７つは
、矩形の互に平行な他の２面に平行六面体状に連結され
た互に平行なコ面により形成し、堅強なフレームのうち
少くとも２つは、互に平行な台形の２面及びこれらの面
を連結し、収面に対し直角の矩形の他の２ｒＲｉにより
形成したことを特徴とする真空室。 - （５）堅強な箱体の分離可能なａつの同一の部分１．２
が二等辺三角形状の側板５．７を備えたことを特徴とす
る特許請求の範囲第（１）〜（４）項のいずれかに記載
の真空室。 - （６） 互に対し組立てられ得る要素の接触箇所に封
止バッキング１２を配装したことを特徴とする特許請求
の範囲第（１１〜（５）項のいずれかに記載の真空室。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8115671A FR2511265A1 (fr) | 1981-08-13 | 1981-08-13 | Chambre a vide modulaire extensible |
| FR8115671 | 1981-08-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5838684A true JPS5838684A (ja) | 1983-03-07 |
| JPS6258829B2 JPS6258829B2 (ja) | 1987-12-08 |
Family
ID=9261448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57139084A Granted JPS5838684A (ja) | 1981-08-13 | 1982-08-10 | 伸長可能なモジュ−ル式真空室 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4454407A (ja) |
| EP (1) | EP0072740B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5838684A (ja) |
| AT (1) | ATE12438T1 (ja) |
| DE (1) | DE3262794D1 (ja) |
| FR (1) | FR2511265A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007119248A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-05-17 | Nke Corp | ピッキングシステム |
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| US5753161A (en) * | 1996-08-14 | 1998-05-19 | Owens-Corning Fiberglas Technology, Inc. | Vacuum extrusion system and method |
| US8557884B2 (en) | 2002-05-31 | 2013-10-15 | Owens Corning Intellectual Capital, Llc | To enhance the thermal insulation of polymeric foam by reducing cell anisotropic ratio and the method for production thereof |
| JP2004335743A (ja) * | 2003-05-08 | 2004-11-25 | Ulvac Japan Ltd | 真空処理装置用真空チャンバー |
| DE102019208435A1 (de) * | 2019-06-11 | 2020-12-17 | Christof-Herbert Diener | Erweiterbare Vakuumkammer und Verfahren zur Herstellung einer erweiterbaren Vakuumkammer |
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| FR2063958A1 (ja) * | 1969-10-10 | 1971-07-16 | Secasi |
-
1981
- 1981-08-13 FR FR8115671A patent/FR2511265A1/fr active Granted
-
1982
- 1982-07-06 US US06/395,377 patent/US4454407A/en not_active Expired - Fee Related
- 1982-08-06 DE DE8282401493T patent/DE3262794D1/de not_active Expired
- 1982-08-06 EP EP82401493A patent/EP0072740B1/fr not_active Expired
- 1982-08-06 AT AT82401493T patent/ATE12438T1/de not_active IP Right Cessation
- 1982-08-10 JP JP57139084A patent/JPS5838684A/ja active Granted
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007119248A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-05-17 | Nke Corp | ピッキングシステム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2511265B1 (ja) | 1983-11-10 |
| EP0072740B1 (fr) | 1985-03-27 |
| DE3262794D1 (en) | 1985-05-02 |
| FR2511265A1 (fr) | 1983-02-18 |
| JPS6258829B2 (ja) | 1987-12-08 |
| EP0072740A1 (fr) | 1983-02-23 |
| US4454407A (en) | 1984-06-12 |
| ATE12438T1 (de) | 1985-04-15 |
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