JPS5836281B2 - コウデンテキニアラインメント オ オコナウ コウデンケンビキヨウ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、静止している物体の位置を検出し、アライメ
ント平行出し及び位置の検出も光電的に行なう光電顕微
鏡に関する。

従来の光電顕微鏡は第１図に示す如く構威されている。

その作動について以下に説明する。被検出物体１に印加
された線状マーク２を対物レンズ３でスリット４上に結
像し、このスリット４の後方に置かれた光電変換器５に
受光する。

スリット４の前方には、発振器７で駆動される走査部６
があり、マーク２の像を、スリットに対して、あるいは
スリットを光束に対して正弦的に振動走査している。

この走査部６には、具体的には例えば交流磁界を利用し
てガラス板を軸まわりに回転振動させることにより実現
出来る。

光電変換器５の出力は、走査部６の走査周波数に等しい
周波数で変調された信号であるから、この信号をプリア
ンプ８で増巾した後、同期整流回路９を介して走査周波
数と等しい周波数で同期整流する（プリアンプ８からの
出力信号のうち走査周波数に等しい周波数或分を取り出
す）。

また、スリット走査の振動中心に対するマークの像の位
置（変位）と、同期整流回路の出力との関係は、第２図
に示される。

同図では、横軸に変位、縦軸に同期整流回路の出力をと
ってある。

つまり、変位がゼロのときは、出力もゼロであり、変位
の小さい付近では出力は変位にほぼ比例するから、出力
がゼロとなる位置をメータ１０にて読取ればマークの位
置を検出することが出来、したがって物体の位置を検出
することが出来る。

しかし、従来の光電顕微鏡では、スリットとマークとの
配置方向（線状になっているその線の方向）を一致させ
るために、第１図の破線枠内のように、光束の一部をハ
ーフミラー１１で取り出し、スリット４と共役な位置に
目盛線をもつ焦点鏡１２の上にマーク２の像を作り、接
眼レンズ１３により肉眼で観察して、スリットとマーク
とのアライメントを行っている。

そのためアラインメントは大変煩らわしかった。

本発明｝よ、上記欠点を解決するために、スイッチを設
けてこのスイッチの切換で平行出しと位置の検出を行う
光電顕微鏡を提供することを目的とする。

以下、添付図面を参照して本発明の実施例を詳述する。

第３図は、被検出物体１上の線状に印されたマク２がス
リット４上に対物レンズ３により結像する光学配置とな
っているが、説明の都合上マーク２及びスリット４を紙
面内の方向に長いものとする。

スリット４の前方には発振器７により駆動される走査手
段としての走査部６がありマーク２の像（光束）をスリ
ット４に対して垂直方向（紙面に垂直方向）に正弦的に
振動走査している。

スリット４の後方には、分割プリズム１４を配置し、ス
リット４の右半分を通過する光束と、左半分を通過する
光束とを分割させている。

スリット４からの右半分、左半分の光束を夫々、光電変
換器１５．１６で受光する。

光電変換器１５，１６の出力を入力とする差動増巾回路
１７と、光電変換器１５，１６の出力の和をとる回路１
８とを設けている。

差動増巾回路の出力と、和をとる回路の出力とを選択す
るスイッチ１９を設け、このスイッチ１９により選択さ
れた信号を入力とし、発振器７からの信号を受ける同期
整流回路９を設けている。

この同期整流回路の出力は指示メータ１０に接続されて
いる。

以下に作用について述べる。

第４図ａにおいて、スリット４の開口部４′に対してマ
ーク２の像τが傾いて置かれた場合について考えてみる
。

開口部ｌは分割プリズム１４の陵線２０により左右に２
分されており、右半分、左半分を通過した光束が光電変
換器１５，１６で受光される。

したがって、それぞれの光電変換器１５，１６に対して
はマーク像１は第４図ｂのように右半分では右半分の平
均的な位置７Ｂ 、左半分では左半分の平均的位置２’
Ａにあるのと同じである。

そして、この位置２’Ａと２’Ｂとの距離δは、スリッ
トの長さを２ｌ１スリットに対するマーク像の傾きをθ
とすると、δ＝ｌ・θに等しい。

したがって、光転変換器１５及び１６の出力信号を、差
動増巾回路１７で差動増巾し、スイッチ１９を経て（図
ではスイッチ１９は差動増巾回路と係接していない。

）同期整流回路９で走査周波数（発振器７の周波数に等
しい。

）と等しい周波数で同期整流される。

この同期整流により得られる出力は、第２図から明らか
な如く、距離δに対してＡＶの電圧となる。

，｛Ｖがゼロになるようにマークの方向を調整すればθ
＝０となり、スリットとマークの平行出しができたこと
になる。

また、スイッチ１９を第３図の如き位置にして、光電変
換器１５，１６の出力和をとる回路１８により和をとり
、同期整流回路９にて、同期整流して指示メータ１０を
ふらせれば位置の検出が出来る。

本実施例では、平行出し終了後にスイッチ１９を切換え
て位置の検出を行う際、２個の光電変換器１５，１６の
出力の和をとり、それを同期整流回路９に導いたが、ど
ちらか一方の光電変換器の出力のみを同期整流回路に導
いても同様の効果を得ることが出来る。

以上述べた実施例では、スリットに対して光束を振動さ
せる走査部を用いたが、スリットを光束に対して、振動
させる走査部を用いても、同様の効果を得る。

以上述べた如き構戊の本発明によれば、従来の如く肉眼
によるアラインメントを要せず、この代りに光電的に行
うので、操作等が容易になる。

すなわち平行出しと位置の検出はスイッチ１９の切換で
行う。

また、アラインメントの際には、検出時に使用する発振
器、同期整流回路、指示メータを使用出来る、すなわち
同一特性の器具を使用できるから精度を極めて高く出来
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来の光電顕微鏡の構或図、第２図は第１図
の場合の変位一出力特性曲線図、第３図は本発明に係る
アラインメント光電顕微鏡の一実施例を示す構成図、第
４図ａ＋ｂは、第３図の場合りスリットとマークとの関
係を説明する説明図である。 主要部分の符号の説明、１・・・・・・被検出物体、２
・・・・・・マーク、４・・・・・・スリット、６・・
・・・・走査部、７・・・・・・発振器、１４・・・・
・・分割プリズム、１５，１６・・・・・・光電変換器
、１７・・・・・・差動増巾回路、１９・・・・・・ス
イッチ、９・・・・・・同期整流回路、１０・・・・・
・指示メータ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 被検出物体１のマーク２を投影する対物レンズ３と
   、該対物レンズ３の結像面に設けたスリット４と、該ス
   リット４の後方に設けた光電変換器（１５或は１６）と
   、 前記対物レンズ３によって結像したマーク像とスリット
   ４とを相対的にスリットの長手力向と直交する方向で振
   動する走査千段６と、該走査手段６を駆動する発振器７
   と、該発振器７からの出力信号で前記光電変換器（１５
   或は１６）からの出力信号を同期整流する同期整流回路
   ９とから或り、被検物体１の位置を決定する所謂アライ
   メント光電顕微鏡において、 前記スリット４と光電変換器（１５或は１６）との間に
   その陵線２０をスリット４の長手力向と直交せしめた分
   割プリズム１４を設けると共に、分割した２つの光路の
   夫々に前記光電変換器（１５或は１６）を設け、更に該
   ２つの光電変換器（１５或は１６）と前記同期整流回路
   ９との間に２つの光電変換器からの出力を入力とする差
   動増巾回路１７を設け、マーク像とスリットとの平行出
   しを行なうことを特徴とする光電顕微鏡。