JPS5835948A - 液冷モジユ−ル - Google Patents
液冷モジユ−ルInfo
- Publication number
- JPS5835948A JPS5835948A JP13518381A JP13518381A JPS5835948A JP S5835948 A JPS5835948 A JP S5835948A JP 13518381 A JP13518381 A JP 13518381A JP 13518381 A JP13518381 A JP 13518381A JP S5835948 A JPS5835948 A JP S5835948A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- cooling
- liquid cooling
- cooling module
- cooling liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/42—Fillings or auxiliary members in containers or encapsulations selected or arranged to facilitate heating or cooling
- H01L23/427—Cooling by change of state, e.g. use of heat pipes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は傾斜実装が可能な沸騰冷却型の液冷モジュール
に関する。
に関する。
固体素子等の発熱素子から発生する熱を放散する丸め不
活性で沸点の低い液体中に発熱素子を浸漬した沸騰冷却
型の液冷モジエールが種々開発されている。
活性で沸点の低い液体中に発熱素子を浸漬した沸騰冷却
型の液冷モジエールが種々開発されている。
第１図は従来の液冷モジュールの側断面図である。本図
において１は固体素子、２は内部フィン、２′は外ｓフ
ィン、３は冷却液、４はセラミック基板、５は金属容器
である。なお破線は液冷モジュールが傾斜し九場合の液
面を示す。
において１は固体素子、２は内部フィン、２′は外ｓフ
ィン、３は冷却液、４はセラミック基板、５は金属容器
である。なお破線は液冷モジュールが傾斜し九場合の液
面を示す。
固体素子ＩＦｉセラｉツク基板番に取り付けられ、不活
性で沸点の低い冷却液３中に浸漬される。固体素子１が
発熱し、その１ｋが冷却液３の沸点を越えると冷却ｇ３
は沸騰し蒸発して固体素子１から熱を奪う。蒸気は金属
容器５に設けられた内部フィン２ｑ部分で凝縮し、再び
冷却液に戻る。以上のサイクルで固体素子上は冷却され
る。
性で沸点の低い冷却液３中に浸漬される。固体素子１が
発熱し、その１ｋが冷却液３の沸点を越えると冷却ｇ３
は沸騰し蒸発して固体素子１から熱を奪う。蒸気は金属
容器５に設けられた内部フィン２ｑ部分で凝縮し、再び
冷却液に戻る。以上のサイクルで固体素子上は冷却され
る。
通常、上記の様な液冷モジ、−ルは水平に取り付けられ
るが１時として傾斜して実装しなければならない場合が
ある。第１図に示す従来の液冷モジ為−ルを傾斜して取
り付けると冷却液３の液面は破線の如くな９．一部の固
体素子が冷却液３から露出して、急激に加熱してしまう
という問題がある。これを防ぐため冷却液３の量を増や
すことも考えられるが同時に蒸気スペースも大きくしな
ければならず液冷モジエール自体が大型化してしまう。
るが１時として傾斜して実装しなければならない場合が
ある。第１図に示す従来の液冷モジ為−ルを傾斜して取
り付けると冷却液３の液面は破線の如くな９．一部の固
体素子が冷却液３から露出して、急激に加熱してしまう
という問題がある。これを防ぐため冷却液３の量を増や
すことも考えられるが同時に蒸気スペースも大きくしな
ければならず液冷モジエール自体が大型化してしまう。
また液冷モジエール内を小さな部屋に区切ることも考え
られるが沸騰、 Ｉ／ｊｌａｔ繰９返すうちに液量の減
ってしまうＳ屋が生じ実用的ではない。
られるが沸騰、 Ｉ／ｊｌａｔ繰９返すうちに液量の減
ってしまうＳ屋が生じ実用的ではない。
本発明は上記の問題点を解消し、傾斜実装の可能な液冷
モジー−ルを提供することを目的とし。
モジー−ルを提供することを目的とし。
発熱素子が取り付けられた基板と内部フィンを有する金
属容器から成り、不活性で沸点の低い液体が封入された
液冷モジー−ルにおいて、該液体中に延び該基板に対し
傾斜した隔壁を該基板上に設けると共に該液冷モジュー
ル内の蒸気スペースへ延びる該内部フィンを該隔壁によ
り仕切られた複数の領域に対して凝縮した該液体を導く
ように配置したことを特徴とするものである。
属容器から成り、不活性で沸点の低い液体が封入された
液冷モジー−ルにおいて、該液体中に延び該基板に対し
傾斜した隔壁を該基板上に設けると共に該液冷モジュー
ル内の蒸気スペースへ延びる該内部フィンを該隔壁によ
り仕切られた複数の領域に対して凝縮した該液体を導く
ように配置したことを特徴とするものである。
以下に図を用いて本発明の詳細な説明する。
４２図は本発明の第１の実施例の側断面図、ｌｓ３図社
本社本発明１の実施例の平面図及び側面図である。なお
第３図においては金属容器５は図示していない。第２，
３図において６は隔壁であり。
本社本発明１の実施例の平面図及び側面図である。なお
第３図においては金属容器５は図示していない。第２，
３図において６は隔壁であり。
第１と同−着号は同一部位を示す。
本実施例においても冷却作用は第１図と同じであり、沸
騰、蒸発、凝縮のサイクルの繰り返しによ抄冷却が行な
われる。
騰、蒸発、凝縮のサイクルの繰り返しによ抄冷却が行な
われる。
本実施例において従来と異なるのはセラミック基板上に
＄２． ３図の如く隔壁６を傾斜して設けた点である。
＄２． ３図の如く隔壁６を傾斜して設けた点である。
この様々隔壁を設けることにより冷却液３は隔壁６によ
り仕切られた各領域に保持されるので傾斜して実装して
も固体素子１は露出することはない。
り仕切られた各領域に保持されるので傾斜して実装して
も固体素子１は露出することはない。
を九隔壁６で仕切られた各領域に対応するように内部冷
却フィン２を配置して、内部冷却フィン２で蒸気を凝縮
すると同時に凝縮した冷却液をそれぞれの領域へ導くよ
うにして、各領域の冷却液の量の均一化を図りている。
却フィン２を配置して、内部冷却フィン２で蒸気を凝縮
すると同時に凝縮した冷却液をそれぞれの領域へ導くよ
うにして、各領域の冷却液の量の均一化を図りている。
なお隔壁６の傾斜角は実装する傾斜角に応じて決めれば
よい。
よい。
第４図は本発明の第２の実施例の側断面図である。本図
において６′は隔壁であり、第１図と同一番号は岡一部
位を示す。なお破線は第２図の如く平板状の隔壁を使用
した場合の液面である。
において６′は隔壁であり、第１図と同一番号は岡一部
位を示す。なお破線は第２図の如く平板状の隔壁を使用
した場合の液面である。
本実施例において第２図と異なるのは隔壁６′を湾曲さ
せた点である０この様にすることにより第２図の場合と
同じ液面の高さを維持すると共に、冷却モジュール自体
を大型化することなく第２図より大きな傾斜に対して冷
却液の深さを保持できるので冷却効率の向上を図ること
が可能である。
せた点である０この様にすることにより第２図の場合と
同じ液面の高さを維持すると共に、冷却モジュール自体
を大型化することなく第２図より大きな傾斜に対して冷
却液の深さを保持できるので冷却効率の向上を図ること
が可能である。
第５図は本発明の第３の実施例の平向図及び側叩図であ
る。本図において６′、フは隔壁で６９゜第１図と同一
番号は同一部位を示す。なお本図においては金属容器５
は図示していない。
る。本図において６′、フは隔壁で６９゜第１図と同一
番号は同一部位を示す。なお本図においては金属容器５
は図示していない。
本実施例において第２図と異なるのは隔壁を縦横交差す
るように設けた点である。第２図に示した実施例では一
方向の傾斜しか許されないが、第５図の如く隔壁を縦横
に形成することによ抄実装の自由度は良に増加する。な
お第５図において社湾曲した隔＊ｅ’ａ’ｙを使用した
がｆｇ２図に示す平板状の隔１１６を縦横に形成しても
よいことは首うまでもない。
るように設けた点である。第２図に示した実施例では一
方向の傾斜しか許されないが、第５図の如く隔壁を縦横
に形成することによ抄実装の自由度は良に増加する。な
お第５図において社湾曲した隔＊ｅ’ａ’ｙを使用した
がｆｇ２図に示す平板状の隔１１６を縦横に形成しても
よいことは首うまでもない。
以上説明し九ように本発明によれば、液冷モジネールを
傾斜して堰９付けても発熱素子を富に一定量の冷却液中
に浸漬させゐことが可能となり。
傾斜して堰９付けても発熱素子を富に一定量の冷却液中
に浸漬させゐことが可能となり。
液冷モジ為−ルの実装の自由度が大幅に向上する。
第１＠は従来の液冷モジエールの側断面図、第２図は本
発明の第１の実施例の側断面図、第３図は本発明０１１
１の実施例の平面図及びｉｌ１面図、第４図は本発明の
第２の実施例の側断面図、第５図は本発明の第３の実施
例の平面図及び側面図である０ １・・・・・・固体素子、２・・・・・・内部フィン、
２′・・・・・・外Ｗフィン、３・・・・・・冷却液、
４・・・・・・セラミック基板。 毛１ 図 ８２図 禿３図 ５
発明の第１の実施例の側断面図、第３図は本発明０１１
１の実施例の平面図及びｉｌ１面図、第４図は本発明の
第２の実施例の側断面図、第５図は本発明の第３の実施
例の平面図及び側面図である０ １・・・・・・固体素子、２・・・・・・内部フィン、
２′・・・・・・外Ｗフィン、３・・・・・・冷却液、
４・・・・・・セラミック基板。 毛１ 図 ８２図 禿３図 ５
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｌ）発熱素子が取り付けられた基板と内ｓフィンを有す
る金属容器から成り、不活性で沸点の低い液体が封入さ
れた液冷モジー−ルにおいて、該液体中に延び該基板に
対し傾斜した隔壁を該配板上に設けると共に該液冷モジ
エール内の蒸気スペースへ延びる該内部フィンを該隔壁
により仕切られた複数の領域に対して凝縮した該液体を
導くように配置したことを特徴とする液冷モジ＾−ル。 ２）上記隔壁を湾曲させたことを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の発明。 ３）上記隔壁を縦横に交差するように形成したことを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の液冷モジエール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13518381A JPS5835948A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 液冷モジユ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13518381A JPS5835948A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 液冷モジユ−ル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5835948A true JPS5835948A (ja) | 1983-03-02 |
Family
ID=15145769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13518381A Pending JPS5835948A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 液冷モジユ−ル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5835948A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6110017A (ja) * | 1984-06-23 | 1986-01-17 | Nippon Steel Chem Co Ltd | 黒鉛電極の製造方法 |
| JP2009041645A (ja) * | 2007-08-08 | 2009-02-26 | Kyoritsu Gokin Co Ltd | 逆止弁 |
| DE102012111489A1 (de) * | 2012-11-27 | 2014-05-28 | Dr. Ing. H.C. F. Porsche Aktiengesellschaft | Kühlvorrichtung für eine Leistungselektronik zum Einsatz im Kraftfahrzeugbereich |
| JP2017101888A (ja) * | 2015-12-03 | 2017-06-08 | 健治 大沢 | 放冷用熱伝達器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5578555A (en) * | 1978-12-08 | 1980-06-13 | Fuji Electric Co Ltd | Boiling and cooling type semiconductor device |
-
1981
- 1981-08-28 JP JP13518381A patent/JPS5835948A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5578555A (en) * | 1978-12-08 | 1980-06-13 | Fuji Electric Co Ltd | Boiling and cooling type semiconductor device |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6110017A (ja) * | 1984-06-23 | 1986-01-17 | Nippon Steel Chem Co Ltd | 黒鉛電極の製造方法 |
| JP2009041645A (ja) * | 2007-08-08 | 2009-02-26 | Kyoritsu Gokin Co Ltd | 逆止弁 |
| DE102012111489A1 (de) * | 2012-11-27 | 2014-05-28 | Dr. Ing. H.C. F. Porsche Aktiengesellschaft | Kühlvorrichtung für eine Leistungselektronik zum Einsatz im Kraftfahrzeugbereich |
| JP2017101888A (ja) * | 2015-12-03 | 2017-06-08 | 健治 大沢 | 放冷用熱伝達器 |
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