JPS583280A - Thyristor - Google Patents

Thyristor

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JPS583280A
JPS583280A JP10156881A JP10156881A JPS583280A JP S583280 A JPS583280 A JP S583280A JP 10156881 A JP10156881 A JP 10156881A JP 10156881 A JP10156881 A JP 10156881A JP S583280 A JPS583280 A JP S583280A
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JP
Japan
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thyristor
layer
turn
electrode
main
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Application number
JP10156881A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiromichi Ohashi
弘通 大橋
Yoshihiro Yamaguchi
好広 山口
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/70Bipolar devices
    • H01L29/74Thyristor-type devices, e.g. having four-zone regenerative action
    • H01L29/7428Thyristor-type devices, e.g. having four-zone regenerative action having an amplifying gate structure, e.g. cascade (Darlington) configuration
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/08Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
    • H01L31/10Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors characterised by potential barriers, e.g. phototransistors
    • H01L31/101Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation
    • H01L31/111Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by at least three potential barriers, e.g. photothyristors
    • H01L31/1113Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by at least three potential barriers, e.g. photothyristors the device being a photothyristor

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Abstract

PURPOSE:To raise the sensitivity of a thyristor without deteriorating the turn-off characteristic by connecting a resistor and a capacitor in parallel with each other between an electrode formed on a base layer between a main thyristor and a pilot thyristor and an emitter electrode of the pilot thyristor. CONSTITUTION:An electrode 12 is formed on a P type base layer 3 between a main thyristor 4 and a pilot thyristor. A resistor 13 and a capacictor 14 are connected in parallel with each other between the electrode 12 and the emitter region 8 of the pilot thyristor as a turn-off current bypass circuit. In this manner, the gate sensitivity can be improved without deteriorating the turn-off characteristic of the main thyristor and the di/dt withstand value can be increased.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はdi/dt酎量の増耐と高感度化を図り九ナイ
リスタに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a 9 Nyristor with increased resistance to di/dt alcohol content and higher sensitivity.

サイリスタは導電蓋を交互に異ならせ、表裏O半導体層
表面にアノード電極とカソード電極とを取付けた4つの
半導体層によシ構成され、アノード電極側より一般El
’工1.タ層、Nペース層、Pベース層、Nエミ、一層
とした構造を有してい石。しかしてこのサイリスタでは
、Pベース層に設妙られ九r−)電極にトリガ信号を印
加することによりて、先ずr−)近傍の小面積がターン
オンし、時間の経過K fF 5てその接合全面積に亘
りてターンオン領域が拡大して導通する。この為、ター
ンオン時の突入電流上昇率dl/dtが大きいと、素子
能力以上Kr−)近傍の限られた導通部分に電流が集中
し、仁の結果、局所的な温度上昇による熱破壊が生じる
ことがある。
The thyristor is composed of four semiconductor layers with alternately different conductive lids and an anode electrode and a cathode electrode attached to the front and back O semiconductor layer surfaces.
'Engineer 1. The stone has a single-layered structure: ta layer, N pace layer, P base layer, and N emium layer. However, in this thyristor, by applying a trigger signal to the 9r-) electrode designed in the P base layer, a small area near r-) is first turned on, and over time K fF 5 turns on the entire junction. The turn-on region expands over the area and becomes conductive. For this reason, if the inrush current increase rate dl/dt at turn-on is large, the current will concentrate in a limited conduction area near the element capacity (Kr-), which will cause thermal damage due to a local temperature rise. Sometimes.

そζで近年では、サイリスタの高耐圧化、大容量化に伴
い、スイッテンダ時Od1/dt耐量が大きく、シかも
r−)制御電流のできるだけ小さいサイリスタの出現が
望會れている。然し乍ら一般的Kadi/dtを大きく
するとr−)制御電流が増大すると云う相反する問題が
あった。
Therefore, in recent years, as the withstand voltage and capacity of thyristors have increased, there has been a desire for the emergence of thyristors that have a large Od1/dt withstand capacity during switch tendering and that have as small a control current as possible. However, there is a contradictory problem in that increasing the general Kadi/dt increases the r-) control current.

また近時、ff−)電流に代えて光信号によりスイッチ
ング動作を制御する光サイリスタが開発されているが、
利用可能な光エネルイーに限度力する上、ハイ・f−)
・ドライブが困難な為、di/dt耐量を大きくできな
かった。これ故、d1/dt耐量を損うことなしKf−
)感度の向上を図った高耐圧・大容量のサイリスタの開
発が強く望まれていた。
Recently, optical thyristors have been developed that control switching operation using optical signals instead of ff-) current.
In addition to limiting the available optical energy, high f-)
・Due to the difficulty of driving, it was not possible to increase the di/dt tolerance. Therefore, Kf-
) There was a strong desire to develop a high-voltage, large-capacity thyristor with improved sensitivity.

第1図はこのような問題を解決すべく構成された光サイ
リスタの断面構造を模式的に示した本のである。図にお
いて、Pエミ、り層1、Nイー1層2、Pイー1層3、
N工き、夕層4からなる4つの半導体層からなるサイリ
スクの上記Pエミ、り層1表面にはアノード電極5が、
まえ、エヘ2.層イ。表面にはカッ−2電極。
FIG. 1 is a book that schematically shows the cross-sectional structure of an optical thyristor constructed to solve such problems. In the figure, P Emi, Ri layer 1, N Ei 1 layer 2, P Emi 1 layer 3,
An anode electrode 5 is provided on the surface of the P emitter layer 1 of the SIRISK, which is composed of four semiconductor layers consisting of an N emitter layer and an emissive layer 4.
Mae, eh 2. Layer i. There are two electrodes on the surface.

が配設されており、メインサイリスタが形成されている
。上記N工Z、タ層4は、Pイー1層3の外周側に円環
状に形成され九ものである。
is arranged to form the main thyristor. The N-type Z and T layers 4 are formed in an annular shape on the outer circumferential side of the P-E1 layer 3, and are nine in number.

またこのメインサイリスクのPイー1層1には、複数の
ノ臂イロ、トサイリスタを形成するエミ。
In addition, in the P-E 1 layer 1 of this main thyrisk, there are multiple armpits and emis that form a tothyrista.

り層1が同心固状に形成され、その上面には電極8が形
成されている。そしてこの74イロツトサイリスタの中
央部には受光部9が形成されている。
A layer 1 is formed concentrically and solidly, and an electrode 8 is formed on its upper surface. A light receiving section 9 is formed in the center of this 74-irot thyristor.

しかして今、このサイリスクの受光部9に光トリガ信号
り、を照射すると、これKよって発生する光電流xph
は、Pイー1層3を横方向に流れ、メインサイリスタの
Nエン、り層4に設けられた短絡部10を経由してカソ
ード電極Cに流れる3、このと舞、上記光電流IpkK
よってPイー1層JK発生する横方向電位差は、ノ臂イ
ロ、トサイリスタのNニオツタ層1を順方向にバイアス
する。この順方向バイアスの一番深い部分、つまり受光
部6の電圧がPイー1層3とNエン、り層1との間に形
成される接合部のビルトインポテンシャルの値に近付く
と、Nエン。
Now, when we irradiate the light-receiving part 9 of this Cyrisk with a light trigger signal R, a photocurrent xph is generated by this K.
The photocurrent IpkK flows laterally through the P1 layer 3 and flows to the cathode electrode C via the short circuit 10 provided in the N2 layer 4 of the main thyristor.
Therefore, the lateral potential difference generated in the P1 layer JK biases the N2 layer 1 of the upper arm and torsion resistor in the forward direction. When the deepest part of this forward bias, that is, the voltage of the light receiving section 6, approaches the value of the built-in potential of the junction formed between the P-E layer 3 and the N-E layer 1, the N-E.

り層1からPイー1層Jへの電子の注入が急増し、この
結果ノ量イロ、トサイリスタは受光部Cの領域からター
ンオンする。このターンオン電流は電極8を経由して上
記Pペース層Jを流れ、ノ・イf−)ドライ!電流とし
て機能してメインサイリスタをターンオンさせる。この
ノ々イロットサイリスクとメインサイリスタと9間のP
べ一一層3には、ケミカルエツチング等によって溝11
が設けられており、この領域においてPベース層3の横
方向抵抗が部分的に高められている。この溝11によっ
て、ターンオン初期に流れる過電流が上記ンぐイロ、ト
サイリスタに集中することが防止逼れている。つまり、
ターンオン初期時の過大な電力損失を上記メインサイリ
スタ、パイロットサイリスタ、溝11部のPイー1層3
に分散させ、これKよりホットスポットの発生を防止し
て、di/dt耐量の向上が図られている。
The injection of electrons from the layer 1 to the layer J increases rapidly, and as a result, the thyristor is turned on from the region of the light receiving portion C. This turn-on current flows through the P paste layer J via the electrode 8, and the turn-on current flows through the P-based layer J through the electrode 8, and the dry! It acts as a current to turn on the main thyristor. P between this Nonoirot thyrisk, main thyristor and 9
Grooves 11 are formed in the base layer 3 by chemical etching, etc.
is provided, and the lateral resistance of the P base layer 3 is partially increased in this region. This groove 11 prevents an overcurrent flowing at the initial stage of turn-on from concentrating on the above-mentioned resistor. In other words,
Excessive power loss at the initial stage of turn-on is reduced by the main thyristor, the pilot thyristor, and the PE1 layer 3 of the groove 11.
The di/dt tolerance is improved by dispersing the K in the water to prevent the occurrence of hot spots.

ところが、このような従来構造では、溝11部OPペー
ス層3−の抵抗を大きくしてノ臂イロットサイリスタの
ターンオン電流を抑制すると、メインサイリスタに対す
るノ1イr−トドライブ効果が失われ、メインサイリス
タのターンオン特性が劣化する不具合がある。しか4メ
インサイリスタを流れる電流が増大する結果、ターンオ
ン時に発生する過大な電力損失がメインサイリスクに集
中する不都合が生じえ。従って、溝11によって設けら
れる高抵抗によるパイロ。
However, in such a conventional structure, when the resistance of the groove 11 OP space layer 3- is increased to suppress the turn-on current of the arm-arm pilot thyristor, the jet drive effect for the main thyristor is lost, and the main There is a problem in which the turn-on characteristics of the thyristor deteriorate. However, as a result of the increase in the current flowing through the four main thyristors, an inconvenience arises in that excessive power loss that occurs at turn-on is concentrated in the main thyristor. Therefore, the pyro due to the high resistance provided by the groove 11.

トサイリスタのターンオン初期における急激な電力集中
からの保護にも、自づと限界があり九。
There is a limit to the ability to protect against sudden power concentration during the initial turn-on of the tothyristor.

一方、Nエミツタ層1直下のPイー1層1の抵抗値を高
め、これKよりて光電流IphKよる横方向電位差を大
きくして、光感度を高めることが考えられている。とこ
ろが、仁のようkすると、サイリスタ主回路から、急峻
な電圧上昇率dv/dtを持つ電圧ノイズがカソード電
極5とアノード電極6との間に加わると、これによって
生じる変位電流が上記光電流IPkと同じ経路を通って
流れる為、この電圧ノイズによって誤点弧しやすくなる
と云う不具合がある。この誤点弧を防ぐ許容可能な最大
な4マ/dt値をdマ/it耐量と呼ぶが、このdマ/
dt耐量を犠牲にすることなく光感度を高めるKは、上
記Pペース層3の抵抗を高め、且っNニオ、り層10牛
径Rを小さくして、この領域での変位電流の発生を抑制
すればよい。然し乍ら、このようKすると/譬イo、)
サイリスタの初期導通領域が減少し、dl/dt耐量が
減少す石。しかも前記したように溝11部のPペース層
1の抵抗値を大きくジノ臂イEiy)サイリスタへの電
流集中を抑制するKは限界があることから、dマ/dt
耐量、光感度を犠牲にすることな(d1/dt耐量を大
きくすることが困難であった。またこのような問題は、
上述した光サイリスタに限らず、電気) リ/式のサイ
リスタにありても同様に存在した。
On the other hand, it has been considered to increase the resistance value of the P-E1 layer 1 immediately below the N-emitter layer 1, thereby increasing the lateral potential difference caused by the photocurrent IphK, thereby increasing the photosensitivity. However, when voltage noise with a steep voltage increase rate dv/dt is applied from the thyristor main circuit between the cathode electrode 5 and the anode electrode 6, the resulting displacement current increases the photocurrent IPk. Since the voltage flows through the same path as the voltage noise, there is a problem that false ignition is likely to occur due to this voltage noise. The maximum allowable 4ma/dt value that prevents this false firing is called the dma/it tolerance.
K, which increases photosensitivity without sacrificing dt tolerance, increases the resistance of the P paste layer 3 and reduces the diameter R of the N paste layer 10 to prevent the generation of displacement current in this region. Just suppress it. However, if we say K like this/parable i o,)
A stone that reduces the initial conduction area of the thyristor and reduces the dl/dt tolerance. Moreover, as mentioned above, since there is a limit to the amount of K that suppresses current concentration in the thyristor, it is necessary to increase the resistance value of the P space layer 1 in the groove 11.
It was difficult to increase the d1/dt tolerance without sacrificing the tolerance and photosensitivity.
It exists not only in the above-mentioned optical thyristors, but also in electrical type thyristors.

本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、そ
の目的とするとζろは、dマ/at耐量等の主要な特性
を犠牲にすることなしにダート感度の向上とdi/dt
耐量の増大を図りた実用性の高いサイリスタを提供する
ことKある。
The present invention was made in consideration of these circumstances, and its purpose is to improve dart sensitivity and di/dt without sacrificing major characteristics such as dma/at tolerance.
It is an object of the present invention to provide a highly practical thyristor with increased resistance.

即ち本発明はメインサイリスタトノ豐イロ、トサイリス
タとの間のペース層上に電極を設け、この電極と上記ノ
臂イH,トサイリスタのエミッタ電極との間に抵抗およ
びコンデンサを並列接続することKよってターンオン電
流のパイ/譬ス回路を設け、これによりメインサイリス
タのターンオン特性を劣化きせることなしに上述した目
的を効果的に達成するようにし九4のである。
That is, the present invention provides an electrode on the space layer between the main thyristor and the main thyristor, and connects a resistor and a capacitor in parallel between this electrode and the emitter electrode of the thyristor. Therefore, a turn-on current pi/parasitic circuit is provided to effectively achieve the above-mentioned object without deteriorating the turn-on characteristics of the main thyristor.

以下、図面を参照して本発明の一実施例につき説明する
Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

第2図は実施例に係るサイリスタの概略構成図で、第1
図に示す従来構造と同一部分には同一符号を付して示し
である。仁のサイリスタ社、メインサイリスタとパイロ
ットサイリスタとの間のPペース層3上に1従来のよう
な溝11を設けることに代えて電極11を配設形成し、
この電極11とI譬イロットナイリスタのエン、り電極
1との間に抵抗13およびコンデンサー4をそれぞれ並
列接続し九構造となっている。この抵抗11およびコン
デンサ14は、/4イロ。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram of the thyristor according to the embodiment, and the first
Components that are the same as those in the conventional structure shown in the drawings are designated by the same reference numerals. Jin's Thyristor Co., Ltd. arranged and formed an electrode 11 on the P space layer 3 between the main thyristor and the pilot thyristor, instead of providing a groove 11 as in the conventional method,
A resistor 13 and a capacitor 4 are connected in parallel between this electrode 11 and the electrode 1 of the I-type Irot Nyristor, respectively, resulting in a nine-layer structure. This resistor 11 and capacitor 14 are /4 iro.

トサイリスタのターンオン電流イのメインサイリスクへ
のパイノ譬ス回路15を形成するものであ6゜ しかしてこのような構造であれば、受光部tKjlll
射し走光トリガ信号によって生起される光電流!、hは
、Pイー1層3を横力向に流れて、メインサイリスタの
短絡部10を介してカソード電極6に流れる。このとき
、Pイー1層3に発生する横方向電位差によって、ノ譬
イロットサイリスタがターンオンする。そして、この/
譬イロvトサイリスタのターンオン電流1pは、エン、
り電極8から上記バイパス回路15を経由してメインサ
イリスタに流れるととKなる。
It forms a pin analog circuit 15 for the turn-on current of the tothyristor to the main thyristor.
Photocurrent caused by the phototaxis trigger signal! , h flow through the PE1 layer 3 in the lateral force direction and flow to the cathode electrode 6 via the short circuit part 10 of the main thyristor. At this time, the lateral potential difference generated in the P1 layer 3 turns on the thyristor. And this/
The turn-on current 1p of the thyristor is en,
When the current flows from the electrode 8 to the main thyristor via the bypass circuit 15, it becomes K.

このとき、ターンオン電流1は、先ずコンデン914を
介して流れる。このコンデンサー4を介して流れる電流
のピーク値は、メインサイリスクのターンオン特性が劣
化しない程度K、例えば前記第1図に示す従来構造のサ
イリスタにおいて、溝11によって調整されるPペース
層1の抵抗値を最適化し九場合と同程度になるように定
められる。一方、このとき、このコンデンt140両端
電圧は、Nニオ、夕層1を逆方向に/セイアスするから
、メインサイリスクが上記ターンオン電流によってター
ンオンするに従って、上記ターンオン電流は急激に減少
する。
At this time, the turn-on current 1 first flows through the capacitor 914. The peak value of the current flowing through this capacitor 4 is a level K that does not deteriorate the turn-on characteristics of the main thyristor. For example, in the thyristor of the conventional structure shown in FIG. The value is optimized and determined to be about the same as in the case of 9. On the other hand, at this time, since the voltage across the capacitor t140 reverses/seiaths the nitrogen layer 1, the turn-on current sharply decreases as the main silice is turned on by the turn-on current.

そして、ターンオン電流が流れ表くなると、コンデンサ
14に充電寧れ九電荷は抵抗IJを介して放電されるこ
とKなる。
When the turn-on current starts to flow, the charges charged to the capacitor 14 are discharged via the resistor IJ.

第3図はこのターンオン電流波形を示したもので、特性
ムは第1図に示す従来構造のもの、また特性Bは本サイ
リスタのものをそれぞれ示している。この両特性を対比
しても明らかなように1本サイリスクでは、メインサイ
リスタのターンオン特性を犠牲にすることなしに1ター
ンオン電流の適正化を図ることができる。
FIG. 3 shows this turn-on current waveform, where characteristic B shows the conventional structure shown in FIG. 1, and characteristic B shows the present thyristor. As is clear from comparing these two characteristics, with a single thyristor, it is possible to optimize the one turn-on current without sacrificing the turn-on characteristics of the main thyristor.

以上のように本サイリスタによれば、メインサイリスタ
の所l!特性を犠牲にすることなく、・量イμットサイ
リスタの電力損失分担を軽減することができるので、パ
イロットサイリスタのエン、り層1の半径Rを容aK小
さくすることができる。しかも、このNニオ、り層1直
下のPペース層Sの抵抗を大きくする仁とが可能となる
ので、dv/dt耐量を損うことなしにr−)感度(光
感度)の高感度化を図ることができる。
As mentioned above, according to this thyristor, the main thyristor is l! Since the power loss share of the pilot thyristor can be reduced without sacrificing the characteristics, the radius R of the pilot thyristor layer 1 can be made smaller by the capacity aK. Moreover, since it is possible to increase the resistance of the P paste layer S directly under the N layer 1, the sensitivity (photosensitivity) can be increased without impairing the dv/dt tolerance. can be achieved.

ちなみに、Pペース層30層抵抗を2000Q/[1゜
R悶l■、C= O,SμF、R=250と選定した場
合、di/dt耐量を従来のものに比して2倍以上に向
上できることが確認された。
By the way, if the resistance of the 30 layers of the P space layer is selected as 2000Q/[1°R*1■, C=O, SμF, R=250, the di/dt withstand capacity is more than doubled compared to the conventional one. It was confirmed that it can be done.

第4図は電気トリを式のサイリスタの構造を示す亀ので
、受光部9のPペース層3露出部に?−)電極16を配
設した構造を示す。このような電気トリガ式のサイリス
タでhりても、上述した光サイリスタと同様な効果が奏
せられることは云う壕で4ない。
Figure 4 shows the structure of an electric thyristor, so the P paste layer 3 of the light receiving section 9 is exposed? -) Shows the structure in which the electrode 16 is provided. It goes without saying that even with such an electrically triggered thyristor, the same effects as the above-mentioned optical thyristor can be achieved.

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、簡易
にして、dv/dt耐量およびr−)感度を犠牲にする
ことなしに、di/dt耐量の大幅な向上を図り得、緒
特性に優れた絶大なる効果を奏するサイリスタを提供す
ることができる。
As is clear from the above description, according to the present invention, it is possible to greatly improve the di/dt tolerance without sacrificing the dv/dt tolerance and the r-) sensitivity. It is possible to provide a thyristor that exhibits excellent and tremendous effects.

冑、本発明は上記実施例に限定されるものではない。例
えば/譬イロ、トサイリスタの構成段数を1に増すこと
4可能である。またコンデン+14の容量C等は、仕様
に応じて定めればよいものであり、要するに本発明はそ
の要旨を逸脱しない範囲で種々変形して*施することが
できる。
However, the present invention is not limited to the above embodiments. For example, it is possible to increase the number of stages of the tothyristor to one. Further, the capacitance C of the capacitor +14, etc. may be determined according to the specifications, and in short, the present invention can be modified in various ways without departing from the gist thereof.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来構造の一例を示す図、第2図は本発明の一
実施例構造を示す図、第3図はターンオン電流の波形特
性を示す図、第4図は本発明の他の実施例構造を示す図
である。 3・・・p−’t−スML  4・・・Nエン、夕層(
メインサイリスタ)、6・・・カソード電極、1・・・
Nエミツタ層(ノダイロットナイリスタ)、8・・・エ
ミッタ電極、9・・・受光部、10・・・短絡部、11
・・・溝、12・、・電極、13・・・抵抗、14・・
・コンデンサ、15・・・パイノ臂ス回路、1g・・・
ダート電極出願人代理人  弁理士 鈴 江 武 門弟
1図 第3図 第4図
FIG. 1 is a diagram showing an example of a conventional structure, FIG. 2 is a diagram showing an example structure of the present invention, FIG. 3 is a diagram showing waveform characteristics of turn-on current, and FIG. 4 is a diagram showing another embodiment of the present invention. FIG. 3 is a diagram showing an example structure. 3...p-'t-sML 4...Nen, evening layer (
main thyristor), 6... cathode electrode, 1...
N emitter layer (Nodairot Nyristor), 8... Emitter electrode, 9... Light receiving part, 10... Short circuit part, 11
...Groove, 12..., Electrode, 13...Resistance, 14...
・Capacitor, 15...Pinos arm circuit, 1g...
Dart Electrode Applicant Representative Patent Attorney Takeshi Suzue Disciple 1 Figure 3 Figure 4

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)導電型を交互に異ならせて積層畜れた4つの半導
体層からなるメインサイリスタのペース層中に上記メイ
ンサイリスタのエミ、り層を除く他の3つの半導体層を
共有する/臂イ四、)サイリスタの工之、一層を前記メ
インサイリスタのエンツタ層から分離し、且つこのメイ
ンサイリスクのニオ、り層と同導電型に形成してなるサ
イリスタにおいて、前記メインサイリスタのエイツタ層
と/fイロットサイリスタの工(ツタ層との間のベース
層上に金属膜を設け、この金属膜と上記)譬イロットサ
イリスタのエミツタ層上に設けた工2.タ電極との間に
抵抗およびコンデンサを1列接続してなることを特徴と
するサイリスタ。
(1) The space layer of the main thyristor, which is composed of four semiconductor layers stacked with alternating conductivity types, shares the other three semiconductor layers except for the emitter and rear layers of the main thyristor. 4.) Thyristor construction: In a thyristor in which one layer is separated from the main thyristor layer and formed to have the same conductivity type as the main thyristor layer, the thyristor layer is separated from the main thyristor layer. 2. Process of f-Irot thyristor (a metal film is provided on the base layer between it and the ivy layer, and this metal film and the above) are provided on the emitter layer of the Irot thyristor. 1. A thyristor comprising a resistor and a capacitor connected in a row between a thyristor and an electrode.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60152064A (en) * 1983-11-21 1985-08-10 ウェスティングハウス ブレイク アンド シグナル ハウルディングス リミテッド Amplifying gate thyristor
US4939564A (en) * 1988-05-13 1990-07-03 Kabushiki Kaisha Toshiba Gate-controlled bidirectional semiconductor switching device with rectifier
US4994884A (en) * 1987-03-31 1991-02-19 Kabushiki Kaisha Toshiba Gate-controlled bi-directional semiconductor switching device

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