JPS5830701B2 - 電気炉 - Google Patents

電気炉

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Publication number
JPS5830701B2
JPS5830701B2 JP52119326A JP11932677A JPS5830701B2 JP S5830701 B2 JPS5830701 B2 JP S5830701B2 JP 52119326 A JP52119326 A JP 52119326A JP 11932677 A JP11932677 A JP 11932677A JP S5830701 B2 JPS5830701 B2 JP S5830701B2
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JP
Japan
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heating element
electric furnace
electrode body
conductive fluid
reaction chamber
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Expired
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JP52119326A
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English (en)
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JPS5453338A (en
Inventor
実 西沢
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GAKEI DENKI SEISAKUSHO KK
Original Assignee
GAKEI DENKI SEISAKUSHO KK
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Publication date
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  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)
  • Furnace Details (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、発熱手段に特別の工夫を凝らした電気炉に
関する。
炉体内に立設した発熱体の上下端部へ電極を取りつげ、
ジュール熱の発生と共に増大する発熱体の膨張を逃がす
ために、電極自体を長手方向へ滑らかに移動自在となる
ように構成した従来の電気炉は、移動する側の電極の保
持部の機密性を充分に図ることができなL・ので、炉体
内を真空、高圧、或いは特定のガス雰囲気とすることが
困難であると共に二発熱体が電極を押ピて膨張する関係
上、この荷重により発熱体が変型してしまうという問題
があった。
この発明は、これらの問題点を解決したもので図面に依
れば、1は吸気管1a、排気管1゛bを取りつげた例え
ばステンレス製の電気炉体であり、この電気炉体1内に
圧力調節容器2が収納されている。
この圧力調節容器2はAl2O2のような非導電性の材
料で作られた上下開放の円筒状のもので、その上部には
側面凸型の電極体2aを捻子着し、その下部に大径部イ
と小径部口から成る側面凸型の移動電極体2bを機密が
っ摺動可能に押入させて成る。
かくして生じた圧力調節容器2内の反応室3内には、電
極体2aに固着された、例えば黒鉛製中空の発熱体4が
同心状に垂設されており、電極体2aには電気炉体1を
貫通して延びた内部に冷却水を流通させる構造の導電管
5aが接続されている。
移動電極体2bにも電気炉体1を貫通して延びた内部に
冷却水を流通させる構造の導電管5bが接続されており
、その上端面に設けた窪所2c内には例えばガリウム融
液のような導電性に優れ、融点が低く、しかも温度に対
して不活性である導電性流体6が貯溜され、この導電性
流体6内部に発熱体4の自由端4aが浸漬している。
また、移動電極体2bの上面中央部には、ルツボ載置台
7が固着されており、このルツボ載置台7上には、内部
に被熱処理部である目的金属化合物の元素成分9を収用
したルツボ8が載置されることによって、発熱体4内部
に収納されている。
その他10は熱電対、11は反応室3内部を排気させ所
望の不活性ガスを導入させるための通路である。
したがって、電気炉体1内部を加圧すると、その圧力は
移動電極体2bの大径部イの下端面を押圧し、この押圧
力は面積比の逆比によって該移動電極体2bの小径部口
の端面に伝わり、反応室3内は面積比に逆比例する圧力
によって加圧される。
即ち、移動電極体2bの大径部イと小径部口の端面の面
積比を10:1とした場合には、電気炉体1内を10気
圧に加圧すると反応室3内は100気圧に加圧されるこ
とになり反応室3内にたやすく高圧ガス雰囲気を得るこ
とができる。
この点で、従来のかかる化合物の直接溶融合成用の電気
炉は、反応系を100気圧に加圧せんとすれば電気炉体
1内全体を100気圧に加圧しなくてはならなかったの
で、加圧までに時間を要し、かつ、この高圧力に耐え得
るよ′うに電気炉体な頑強に設計しなくてはならなかっ
たが、この電気炉によれば電気炉体1内を例えば10気
圧に加圧するだけで反応系を100気圧に加圧できるか
ら、高圧力を得るまでに時間を要せず、かつ、電気炉体
1をさほどに頑強に設計しなくとも良いという利点があ
る。
次に、発熱体4は一端部6を自由端4aとし、この自由
端4aを移動電極体2bの上面に同心状に設けた寝所2
c内に貯溜させた導電性流体6内に浸漬させているので
、この導電性流体6を通して通電がなされ、昇温に基づ
(発熱体4自身の長手方向の膨張は、自由端が導電性流
体6内を移動することによって何ら無理なく逃がすこと
ができる。
また、導電性流体6にガリウム融液を用いた場合には、
GaAs 、GaP、CdSといった化合物の融点にお
いてτ蒸発することがないので、液量が減少したり、蒸
発により目的化合物の組成に変化を及ぼす心配は全くな
い。
尚、導電性流体6にガリウム融液を用いた場合には、該
ガリウム融液は、比抵抗27.2X10’Ωcm(30
,3゜C液体)と導電性に優れており、かつ融点が29
.78±0.005°Cと抵いので、これを融解させた
後、移動電極体2bを圧力調節器2内部へ挿入させ、発
熱体4の自由端4aを浸漬させるようにしても良いし、
移動電極体2bの寝所2C内へ発熱体4の自由端4aを
押入させた後、図示してない注入手段でガリウム融液を
該寝所2C内へ注入させてやっても良い。
次に、実施例では電極体2−a、2bのうち一方の2b
を移動電極体としたものを示したが、これは電気炉体1
内に満たされる気体の圧力によって強制移動させられる
構造のものであるので、発熱体4の膨張を逃がすための
ものよりも電極体の移動がスムーズでなくても良い。
したがって、電極体を移動自在としてもその機密性を充
分に図ることができるのである。
他方において、電気炉体1内に圧力調節容器2を設けな
い構造のものにおいては、電極体を電気炉体1へ機密に
固着しても良いことは云うまでもない。
次に、この電気炉を用いてCaAs 、GaP 。
CdSといった金属間化合物を合成するには、一方にお
いて発熱体4の保護のため、他方においては金属間化合
物への不純物の混入を防ぐために、反応室3内を繰り返
えし真空排気させた後、アルゴン、窒素のような不活性
ガスを導入させてやらなくてはならないが、この排気及
び不活性ガスの導入は通路11を介してなされる。
この際にも繰り返えし真空排気させる反応室3の容積が
極めて小さいので、時間を要しない。
また、加熱につれて、揮発性成分が示すところの、温度
の上昇と共に指数関数的に上昇する蒸気圧によって、発
熱体4内部に生ずる高圧状態は、気体が黒鉛製の発熱体
4を通過して反応室3内全体に充満するので、これによ
り発熱体4が破壊されてしまうことがない。
以上詳細に説明したようにこの発明に依れば、電極体を
必ずしも移動自在に構成しなくとも発熱体の熱膨張を無
理なく逃がすことができると共に、仮に電極を移動自在
に構成したとしても、その移動手段は機密性を充分に保
持し得る構造とすることが可能であることの他、反応室
内を真空、高圧或いは任意のガス雰囲気とすることがで
き、さらに、反応室内に高温度が得やすく、導電性流体
にガリウム等の融点が低く、温度に対して不活性なもの
を用いた場合には、炉体内を高温にしても、これが蒸発
してし1つたり或いは反応室内にガス雰囲気を乱す心配
がない等々の作用効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
図面はこの発明を説明するために概略的に示した電気炉
の側断面図である。 1・・・・・・電気炉体、2・・・・・・圧力調節容器
、2a・・・・・・電極体、2b・・・・・・移動電極
体、2c・・・・・・寝所、3・・・・・・反応室、4
・・・・・・発熱体、6・・・・・・導電性流体、8・
・・・・・ルツボ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 機密構造の電気炉本体内に上下方向から一対の電極
    体を対向して設け、このうち上部の電極体へ発熱体の固
    着手段を設け、上部の電極体の先端部に窪所を設け、こ
    の窪所内へ例えばガリウムのような融点が低く温度に対
    して不活性な導電性流体を貯溜させると共に、上部の電
    極体へその一方を密着固定させた中空の発熱体の下端部
    を前記導電性流体内に浸漬させ、発熱体の内部へ被熱処
    理物を収納させたことを特徴とする、電気炉。
JP52119326A 1977-10-04 1977-10-04 電気炉 Expired JPS5830701B2 (ja)

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JP52119326A JPS5830701B2 (ja) 1977-10-04 1977-10-04 電気炉

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JP52119326A JPS5830701B2 (ja) 1977-10-04 1977-10-04 電気炉

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Publication Number Publication Date
JPS5453338A JPS5453338A (en) 1979-04-26
JPS5830701B2 true JPS5830701B2 (ja) 1983-06-30

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ID=14758688

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5234673U (ja) * 1975-09-01 1977-03-11

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5234673U (ja) * 1975-09-01 1977-03-11

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JPS5453338A (en) 1979-04-26

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