JPS583034U - エツチング処理槽 - Google Patents

エツチング処理槽

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Publication number
JPS583034U
JPS583034U JP9567081U JP9567081U JPS583034U JP S583034 U JPS583034 U JP S583034U JP 9567081 U JP9567081 U JP 9567081U JP 9567081 U JP9567081 U JP 9567081U JP S583034 U JPS583034 U JP S583034U
Authority
JP
Japan
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treatment tank
etching treatment
etching
fitting
transparent window
Prior art date
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Pending
Application number
JP9567081U
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English (en)
Inventor
渡辺　修治
下橋　彰
雄一郎 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図は本考案に係るエツチング処理槽の一実施例を示す概
略断面図である。　□ 図において１はエツチング処理槽、１ａは間隔堰、２は
エツチング処理液、３は透明窓、４はバンドルファイバ
嵌合凹部、５はバンドルファイバ、　　　　６は観察装
置、７は照明光源、９は多数枚の半導体ウェハ、９′は
半導体ウェハ、１０はウェハ保持治具を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. エツチング処理液を収容して被処理物をエツチング処理
    する処理槽であって、前記処理槽の一側壁蚤こ透明窓と
    、該透明窓に対して外部からバンドルファイバの先端都
    令嵌着する嵌合凹部とをもうけ、該嵌合凹部に観察装置
    と連結せるバンドルファイバの先端部を嵌装してなるこ
    とを特徴とするエツチング処理槽。
JP9567081U 1981-06-26 1981-06-26 エツチング処理槽 Pending JPS583034U (ja)

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JP9567081U JPS583034U (ja) 1981-06-26 1981-06-26 エツチング処理槽

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JP9567081U JPS583034U (ja) 1981-06-26 1981-06-26 エツチング処理槽

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JPS583034U true JPS583034U (ja) 1983-01-10

Family

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JP9567081U Pending JPS583034U (ja) 1981-06-26 1981-06-26 エツチング処理槽

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