JPS582980A - 自動光学検査装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ログラム能力を有した、物品オンライン検査用の自動式
光学検査装置に関する。

高い質のオンライン検査は最近まで製品のうちの欠陥品
を検知し除去する目的で生産ラインの要所に配置された
検査員によって行われてきた。その技能は普通高度のも
のを要しないが、その仕事は高度の注意力を要する。経
費の点から見ると、高い質の検査を行うためには非常に
定式的な仕事であるにもかかわらず大きな人件費が必要
である。

ある種の作業が適切に行なわれるか否かを決定するため
、多くの工業製品が生産工程中、視覚的に検査されてい
る。検査される特性のうちには、形状、寸法、穴の存否
その他の細部状態と、色、仕上表面、つや、製品符号そ
の他の特性の識別特徴と、付随品の完全性および存否と
、方向、ラ〈ル装置、ラベル適性、製品適性、きす跡、
欠損、したたり跡、こぼれしみおよび細片付着等の特性
が含まれる。

一上記のことがらの二、三の特定の例としてはトマトケ
チャツプの色、Ｉ，Ｖ，塩水中の汚染、液体洗剤のラベ
ル配置、半導体グイ（ｄｉｅ）と釦枠の方向、網目エツ
チングの完了、内容薬品を示す薬品包装、嗜好品用ビン
内のとれ，そうな細片と欠陥、磁気テープの均一塗布が
挙げられる。これらはすべて、現在、生産ライン毎に一
人またはそれ以上の人間により検査が行なわれている例
であり、自動化が望まれる場合である。

人間労働量を軽減する試みは数通りの方法、またはそれ
らの組合せによって行なわれて来た。おそらく最も簡単
なものは、必要とされる品質レベル規準を下げること、
または実際に検査される単位数を減少すること、すなわ
ち統計的サンプ」ノング（抜取り検査）を行うことであ
る。これらのいずれかの方法によシ直ちに人件費が軽減
されるが、最終製品が所望の品質規準に適合するかとい
うことになるとその信頼度は相当量低下する。両者のう
ち各生産ラインの物品の中から統計的に意味のある割合
のものがランダムに選択されて解析されるサンプリング
法は全体的品質レベルを高く維持することが出来るが、
時折商品中に劣等製品が混入する危険を伴う。

そのような少々の危険を含む製品に対する多くの例では
この危険は受容可能である。というのは検査を通過した
少ルの劣等製品は生産者の信用を殆ど損わないからであ
る。しかし他の場合、たとえば危険な医薬品とか引火性
の液体の場合には適切なイ意ラベルが欠落していると重
大な結果を招きかねない。そのような場合に１００％未
満の不完全検査をすることは危険すぎる。

人間の検査による高い人件費の投入を伴うことなく、か
つ疲労が起き、注意散漫となり勤勉寧が後退したときに
発生する誤りを起こさずに生産工程全体を検査しようと
する試みの結果、人間検査員にとって代るいろいろの機
械的代替策が考えられるに至った。これらの機械の典型
例は製品の重量、充填レベルまたは存否を検出するもの
である。

適当な検査を行なうために一層のデータ分析が必要であ
る場合には、装置の費用は天文学的に増犬する。さらに
人間検査員の頭脳および感覚が果している迅速かつ時と
して無意識的な既定の作業を近似する場合でさえ、その
ためのデータ分析は高度に複雑さを要するのであるから
、特定の作業に対し同等の機械的装置を適用するに含ま
れる労力はしばしば前の人件費指向の検査方法による費
用をはるかにしのぐ。したがって非常に多量のものを扱
う場合のみその装置および見込み費用が妥当となる。

人的作業者を機械的作業体で置換するため、品質検査の
諸判断を行う際に含まれる業務を初めに分析する。人的
検査業務は非常に一般的に、物体の照明、物体知覚に続
く網膜の前処理、前脳のデータ処理、重要な検査規準の
憶い出し、検知した物体と記憶した検査規準との比較、
記憶されていた規準との比較の結果に基づく判断、およ
びその判断に応じて適切な行動を決定し実行すること、
を含むものと定義される。

これらの各々の部分業務を果す電子的相似体が存在し、
多数の検査業務に対し専業の装置とじて単純化された形
態で用いられて来た。この場合、それら素子のすべてま
たはいくつがが、特定の用途の装置に結合される。

電子的相似体は、前と同様に対物光学器と映像光学器と
を備えた照明、人間作業員の目に代る感知器、人間作業
員の前脳データ処理に対応するアナログ式もしくはデジ
タル式または両方式の信号処理、人間作業員の記憶に対
応するデジタル記憶装置、観察された特徴を検査規準と
比較することに対応するデジタル比較器および相関回路
、および欠陥発見の際に人間作業員によってとられる行
動に対応する出力作動装置を含む。

多くの適用例において適応性あるパターン認識装置が使
用されて利点を発揮しているが、得られる結果に比較し
て装置の費用が高く、複雑である。

さらに、たとえば検査装置に製品寸法の許容１法を加味
する場合は、そのプログラムは極度に複雑となる。

一般用途用のデジタル式プログラムｉＪ能ナマイクロプ
ロセッサの出現によって、人間作業員により行なわれた
論理業務、評価業務、および比較業務をマイクロプロセ
ッサの記憶算術ユニット内で重複し得る。しかし最も単
純な測定についてさえ、マイクロプロセッサに基づく検
査装置を配備するのに必要な適用プログラムの設計には
高度の技能が必要とされる。その結果はプログラム作成
費は、自動化により得られる利益よりも割高になる。

マイクロプロセッサのプログラムを作成するに要する高
い技能と高い費用のかかる作業は、各用途に専用に爪意
された機械を一般用途用機械で置換でき、そのため装置
費用の経済的軽減が行なわれたとしても、全体として見
ればこのような置換えには高い費用がかかる。

在来のパターン認識システムでは検査中の物体の周縁を
包含しかつ重畳するフィールド全体のデータが得られ、
全フィールドのデータとの比較が行なわれる。しかした
いていの場合、与えられた物体の特徴が許容規準内にあ
るか否かを決定するためには、実際上その物体のいくつ
かの特徴を考慮すればよい。したがって、たとえばラベ
ル検査ステーションは、四角形のラベルの四隅のみを選
択することによりラベルの位置と角度変位の可否を決定
することに°よって、十分に実現される。入手データの
フィールドから重要点のみを抽出し、かつこれらの重要
点に関してのみ決定を行うことにより、装置費用および
データスルージット率の両方を最適化し得る。

最後に、在来の・ξターン認識装置の重大な欠点は作業
員が特定の機械の性能に関するプログラムの詳細につい
て「盲目的な」作業を強いられているという事実にある
。たとえば検査ステー／ヨン作業員は機械に対しプログ
ラムづれた位置についての許容限界に関する情報をほと
んど制御することが出来ないか知得しておらず、その結
果その性能についてほとんど確信が無い。これを矯正す
るには、作業員が装置に入力されているデータの形と内
容とを理解し価値を評１価出来る技能プログラマであれ
ばよい。しかし、これでは全体的な検査ステーション単
位時間当シの作業費用が、初めの人間検査員による検査
費に向けて逆戻りの上昇をする。

先行技術による検査装置の前述の問題および他の問題は
、照明され、逐次出現する視覚的に類似した一連の物体
を検査するための、本発明による自動光学検査方法およ
びその装置により克服される。本発明では物体は参照物
体と比較されて検査中の物体を認容するか拒否するかが
決定される。

参照物体または適当な造形物体の選択された部分を光学
的に特定する装置が設けられる。参照物体の光学的に特
定された部分は、その後検査中の物体を調査するに使用
される参照パラメータを導出するために分析される。参
照パラメータに従って検査中の物体の部分的な光学的像
信号が参照パラメータ内の特定参照パラメータと比較さ
れる。

これらの像信号部分は参照パラメータを導出した参照物
体の既特定部分に対応する。上の比較結果がまた参照パ
ラメータにしたがって評価され、認容または拒否の決定
がなされる。

本発明の好ましい実施例においては、本装置は光学的特
定装置と、結像兼ビデオ信号発生装置と、参照データ記
憶装置と、信号処理兼ゲート装置と、比較評価装置と、
知能処理兼制御装置とを含む。

本装置は参照ノξラメータが得られる「訓練」モードと
、物体が検査されて認容または拒否される「検査」モー
ドとを有する。

光学特定装置は参照物体に関するある数の８照特徴部ま
たは参照部分について光学的指定を行なうと共に各参照
特徴の規定位置、各特徴の光学的性質の属性記述、およ
び許容限界情報を含むある数の参照特徴仕様とを与える
。各特徴の光学的性質を特徴づけるのは予期される変化
の型、たとえば明から暗へのまたは暗から明への変化、
および変化の方向等の表示である。

映像兼ビデオ信号発生装置は検査中の物体のビデオ像を
得てその像を等価な電気信号に変換する。

信号処理兼ゲート装置は映像兼ビデオ信号発生装置から
の電気信号を受信してこれら像信号を処理し、その後、
の処理のため、像信号の部分を選択する。選択されたこ
れらの像信号は信号と参照データ記憶装置から得られた
参照データとが比較される比較評価装置に入力される。

知能処理装置兼制御装置は映像兼ビデオ信号発生装置、
信号処理兼ゲート装置、比較評価装置、および参照デー
タ記憶装置と相互作用する。知能処理兼制御装置は参照
特徴および参照特徴仕様に対応する電気的傷信号を受信
し、解析し、その解析に基づいて特定の検査制御および
処理の７−ケンスを選□択し、対応する参照データの組
を指示する。決定規準も導出されるが、これによって、
検査される物体が試験される。

次に知能処理兼制御装置は、検査中の物体についての像
信号を得るため、映像兼ビデオ信号発生装置にタイミン
グ信号を与える。信号処理兼ゲート装置には信号処理命
令およびゲート命令と共に読取および書込み命令が与え
られ、参照データ記憶装置には検査物体の評価を制御す
るため参照テークが与えられる。知能処理兼制御装置は
比較評価装置の比較演算結果を受信し、これらの結果に
基づき試験中の物体を認容すべきか拒否すべきかの決定
をする。したがって知能処理兼制御装置は二重の役割、
すなわち第一に「訓練」モードにおいて参照パラメータ
集収を制御すること、第二に検査モードにおいてデータ
収集および評価を制御すること、と全果す。

本発明による作業は二段の過程を含む。第一段では作業
員が他のすべての物体と比較すべき規準物体すなわち参
照物体を選択する。作業員は次に、調査すべき参照物体
の特定の特徴にして認容または拒否をなすための規準と
する特徴を指示する。

本発明の一実施例では光学特定装置は粘着体で裏打ちさ
れた目標体を含み、これら目標体がそれぞれ光学的走査
を行なわしめる窓を有している。各参照特徴部の上に目
標体が置かれ窓から特定の参照特徴が視察し得るように
向けられる。次に目標体および目標体窓内の参照特徴部
からの情報が知能処理兼制御装置に解析のため転送され
るように、作業員が装置に物体を走査きせる。これが情
報をシステムに転送する「訓練」モードであり、目下の
物体の実際の検査に備えてシステムを準備させる。

過程の第二段では検査すべき物・体が逐次、映像兼ビデ
オ信号発生装置に提出される。映像兼ビデオ信号発生装
置は物体の完全なビデオ像信号を収集してこの信号を信
号処理兼ゲート装置に転送する。知能処理兼制御装置の
制御のもとに信号処理兼ゲート装置はビデオ信号を処理
し、ビデオ信号の一定の部分を選択して後の処理に付す
。これらの選択された信号は次にデジタル化されて信号
が［訓練１段で得られた参照データと比較される比較評
価装置に転送される。映像兼ビデオ信号発生装置に与え
られたタイミング信号と信号処理兼ゲート装置に与えら
れた処理信号およびケ゛−ト信号とは「訓練」段にて得
られた情報から導出される。

参照データと検査中の物体の像信号の選択された部分と
の間の比較が一旦行なわれると知能処理兼制御装置がこ
れらの比較結果を受信し、かつ許容限界その他の規準に
照らして認容または拒否の決定を得るべくこれらの結果
を評価する。この決定は次に使用者に対し、警告、作動
信号、またはその他の所望の形の信号として与えられる
。

したがって本発明の実際的な運用にはプログラム技能が
最小限に含まれる。光学的既定プログラム装置の目標体
を用いて、作業員は直ちに、その装置により使用されて
いる決定規準を告知される。

参照物体上に目標を配置することは通常の人間による品
質制御検査員が知能的に行う作業形態、すなわち実際の
精査に当り検査中の物体のある特徴を選択することと非
常に類似している。許容限界の情報は目標体に含まれて
おり、目で見ることが出来、作業量が理解し得る。した
がって高度の技能は本発明を満足に運用する上に必要で
ない。

加うるに光学的特定装置の使用によって、決定を下すた
めに処理しなければならないデータ量を著しく減少する
ことができる。本発明においてはかなりの量の余剰で重
要でないデータが除去されており、重要なデータが保持
されている。その結果、ハードウェア、ンステム解析、
および設備費を太いに軽減し得るが、光学検査装置の全
体的効果は保持される。本発明はまた使用すべき特定の
参照特徴部を指示する点に大きな柔軟性を・与える。

たとえばある特定の特徴の存否が決定を下すに要するす
べてである場合には単一の目標体を使用すればよい。一
方、多数の複雑な特徴が含捷れる場合は決定を下すに当
り装置がすべての重要な特徴を考慮するように多数の目
標体を使用し得る。

さらに一旦、訓練段過程が行なわれるとンステムがその
ｆｉｌ練情軸情報の使用に備えて保持し得る。

したがって本発明の一つの目的は、参照物体に関するあ
る数の参照特徴部を指定し、各参照特徴部についての参
照特徴仕様を指定する光学特定装置が使用されている自
動光学検査の方法およびその装置であってこれにより物
体の検査が制御され、かつ認容または拒否の決定がなさ
れる装置を与えること、である。

品質制御検査活動における人間検査員の思考過程および
活動に密接に類似する自動光学検査の方法および装置を
与えることが本発明のもう一つの目的である。

本発明のさらにもう一つの目的は、自動光学検査方法お
よび装置であって得られた光学データの選ばれた部分が
認容または拒否の決定過程に利用され不方法および装置
を与えることである。

本発明のさらにもう一つの目的は、試験中の物体のある
特徴が選択されて光学的仕様により予め指定された参照
特徴部と比較される自動光学検査方法および装置であっ
て検査中の物体の光学像が得られ、処理され、デジタル
化されて像信号を形成し、その像、信号の部分がその後
、光学的に特定化された情報にしたがって選択され、参
照情報と比較され、解析される、方法および装置を与え
ることである。

本発明のさらにもう一つの目的は参照物体−Ｌに配置さ
れた光学特定装置が知能処理装置に情報を与える自動光
学検査の方法および装置であって、その情報により知能
処理装置が処理段および制御段の７−ケンスを選択し、
検査中の物体からの像信号の受信および処理に際して回
路を制御するのにその処理段および制御段が使用され、
さらに検査中の物体からの像信号の比較を知能処理装置
が制御し解析するのに利用する仕様を上記光学特定装置
が与える、自動光学検査方法および装置・を与えること
である。

本発明のさらにもう一つの目的は、知能処理装置が主プ
ロセツサおよび従プロセツサを含む自動光学検査方法お
よび装置であって、主プロセツサが従プロセツサから与
えられたデータを解析して従プロセツサに制御命令およ
び処理命令を与え、かつ従プロセツサが主プロセツサに
より与えられた命令にしたがい実時間データ収集および
制御業務を行い、かつ得られたデータを主プロセツサに
与える方法および装置を与えることである。

本発明のさらにもう一つの目的は、光学特定装置により
参照特徴部および参照特徴部パラメータを指示する段と
、試験中の物体の像信号を得る段と、参照特徴部および
特徴部仕様データにしたがい像信号の部分を処理し選択
し解析する段とを含む自動光学検査法を与えることであ
る。

前述した本発明の特徴および利点は本発明のいくつかの
好ましい実施例の詳細な説明を添付の図面とともに考察
することによシさらに良く理解されよう。

一般に物体（１０）がコ／−；アベルト（１２）のよう
な移動表面ｊに配置される。物体は適当な光源（１４）
により照明される。コンベアベルト（１２）の移動速度
はタコメータ（１６）のような運動検出器により監視さ
れる。光学マーカー（１８）のような存在検出器が配置
されている結果、ベルト（１２）の通路上の予定の点を
通過した物体（１０）の運動が光学マーカー（１８）に
物体存在信号を出力させる。この物体存在信号と運動検
出器出力信号は、共にベル）（１２）およびその上の物
体（１０）の運動と本発明の作動とを同期させるのに使
用するため、本発明に供される。

第１図を参照すると本発明の一般化された機能路線図が
示されている。目標体（１１）のような装置が、適当に
造形された物体または参照物体（１３）の部分を光学的
に特定するために設けられている。

参照パラメータ導出装置（１５）は参照物体の特定部分
からデータを得、そのデータから参照パラメータを導出
する。

参照パラメータ導出装置（１５）では映像兼ビデオ回路
（１７）により参照物体が光学的に走査されて電気像信
号に変換される。像信号はその後、目標体（１１）によ
ｔ）％定された参照物体部分に対応する像信号を抽出す
るための目標体認識回路（１９）に与えられる。これら
の目標体像信号は処理回路（２１）にて解析されて参照
データと検査制御および処理のシーケンスとを含む参照
パラメータが得られる。

これらの参照ノξラメータは検査中の特定の物体（２５
）を評価する際にデータ処理回路（２３）により使用さ
れる。

データ処理回路（２３）では結像兼ビデオ回路（２７）
が、検査制御および処理のシーケンスにしたがって検査
中の物体（２５）の等価電気像信号を得る。像信号は、
予め指示された物体部分に対応する像信号が像信号全体
から選択される像選択回路（２９）に与えられる。選択
された像信号は対応の参照データと比較回路（３１）で
比較される。比較回路（３１）はまた参照パラメータの
下に比較結果を評価して認容または拒否の決定を下す。

本発明は上に述べた機能領域毎に物理的に配置する必要
はないことを了解されたい。たとえば参照パラメータ導
出回路（１５）中の結像兼ビデオ回路（１υとデータ処
理回路（２６）中の映像兼ビデオ回路（２７）とは用途
毎に異るタイミングと制御とを備えた同一の物理的ユニ
ットでよい。同様に目標体認識回路（１９）および処理
回路（２１）　、並びに比較回路（３１）は、参照パラ
メータ導出モードと物体検査モーφ゛とに対して異なっ
た処理段および異った規準を備えた共用処理回路を以っ
て与えることができる。

本発明の好ましい実施例においては参照パラメータ導出
モード、すなわち「訓練モード」、および物体検査モー
ドは各モード毎に異った処理段および規準を備゛えた共
用回路を以って与えることができる。

特に第２図を参照して好ましい実施例を説明する。照明
された物体（１０）の像が映像兼ビデオ信号発生装置（
２０）により得られる。像の収集開始時刻と収集速度は
知能処理兼制御装置（２２）から与えられる信号によっ
て制御される。これらの制御信号およびタイミング信号
は光学マーカー（１８）の信号およびタコメータ（１６
）の信号の機能の一部である。

物体（１０）の像は映像兼ビデオ信号発生器（２ｏ）に
より等価なビデオ信号に変換されてから信号処理兼ケ゛
−ト装置（２４）に与えられる。

信号処理兼ゲート装置はアナログ処理、デジタル処理、
および信号選択機能を行なう。映像兼ビデオ信号発生装
置（２０）からのビデオ像信号は通常アナログ状である
。アナログ処理には利得制御機能、緩衝機能、および濾
波機能が含まれる。これらの機能は知能処理兼制御装置
（２２）がら与えられる信号により制御される。デジタ
ル処理機能はアナログからデジタルへの（ＡＤ　）変換
を含み、この変換はまた知能処理兼制御装置（２２）に
よっても制御される。信号処理兼ケ゛−ト装置（２４）
内において本、知能処理兼制御装置の制御のもとにケ゛
−ト機能が与えられて像信号の一定部分が選択され、他
の部分が拒否される。このようにして映像兼ビデオ信号
発生装置（２０）から初めに受信された多量のデータが
比較評価装置（２６）に与えられる前に太いに減少され
る。

この時点で次のこと、すなわちデジタル相関のような付
加的処理および他の算術的機能の行われることが望まし
いならば第２図に点線で示すように、比較評価装置（２
６）に与える前に信号処理兼ゲート装置の出力をデジタ
ル処理装置（２８）に通すことも可能であることに注目
されたい。

比較評価装置（２６）に説明を戻す。ゲ゛−トを通過し
た信号は参照データ記憶装置（３ｏ）から受信した参照
データと比較される。参照データが与えられるタイミン
グ、したがって比較計１ｂ装置（２６）内の比較演算の
タイミングは知能処理兼制御装置（２））により制御さ
れる。

比較演算結果は、データを評価しかつ作業員に決定の出
力を与える知能処理装置（２２）に与えられる。

参照データ記憶装置（３０）内の参照データと、知能処
理兼制御装置（２２）によりいろいろの処理ブロックに
与えられた晶］御信号およびタイミング信号とは、本発
明の「訓練」段階の作業中に得られた情報から導出され
る。この「訓練ｊ段゛階では初めに参照物体が選択され
る。この参照物体は検査すべき物体が比較されるべき比
較規準の役割を果す。

お熱物体はたとえばラベルが適当に方向付けられている
びんであるとか適当な方向に適当に印刷を施された箱と
かである。

次にこの参照物体に光学的特定装置が関連付けられて、
ある数の参照物体部分または参照物体特徴部を指定する
。これらの特徴部はラベルの縁、反射率変化部、等であ
る。光学特定装置はまた指定された参照特徴部の性格、
許容限界、および他のデータについての情報を含むデー
タをも与える。

これらのデータはすべて本システムにより光学的に読取
可能である。本発明の好ましい実施例においては光学特
定装置は後に詳述する目標体（３２）の形を有する。

「訓練」モードは使用者によりスイッチ（３４）を介し
て開始される。このモードではいろいろの信号処理ブロ
ックおよび条件付はブロックに対して。

入力映像信号が目標体（３２）を求めて走査され得るよ
うに、知能あ理兼制御装置（２２）がタイミング信号と
制御信号とを与える。目標体が発見されると知能処理兼
制御装置（２２）が目標位置、具体的にはその目標体に
よシ指定された参照特徴部の規定位置を計算する。さら
に知能処理兼制御装置（２２）は目標体（３２）により
与えられた参照特徴仕様をも処理する。

知能処理兼制御装置（２２）は走査している参照物体上
と見出されるすべての目標体についてこの段を行なう。

このようにして本システムは検査中の物体からの像信号
を検討するよう準備される。これら像信号は一定の特定
な特性に関する検査物体上の一定の特定な規定位置また
は部分に対応している。特定の特性は参照データ記憶装
置（６０）内に保持されており、特定の位置は、実際に
物体を検査している期間中に映像兼ビデオ信号発生装置
（２０）と信号処理兼ケ゛−ト装置（２４）に与えられ
るタイミンク制御信号を決定する。実際の検査中、比較
評価装置（２６）の出力は「訓練」段階で得られた参照
パラメータに従って知能処理兼制御装置（２２）によシ
検討される。その結果、たとえば検査された物体と参照
物体との間のいかなる差異も許容限界内にあるか否かが
決定される。この決定結果は決定出力線（３６）に現れ
る使用者用出力である。

したがって好ましい実施例における本装置は、一定の参
照特徴部を特定すべく目標体が置かれた適当な形状の物
体を走査することにより参照パラメータが得られる「訓
練」モードを具備することが出来ることが了解されよう
。本装置は次に「訓練モード」で得られた参照パラメー
タに合致する検査モードを具備される結果、検査中の物
体の像信号の一定の部分１選択されるその部分を指定す
る参照パラメータ、解析すべき特性、および使用される
規準を解析する。

ここで特に第３図を参照して本発明の一実施例をさらに
詳述する。以下の説明中には本発明の特許請求の範囲を
限定する意図は無いのみならず他にも等しく満足のい〈
実施例が存することを了解されたい。

本実施例においては映像兼ビデオ信号発生装置（２０）
は映像レンズ（３８）、映像レンズ（３８）からの光学
像を等価な電気信号に変換するための列（４０）、およ
びビデオ調整器（４２）を含む。映像レンズ（３８）は
列上に結像する。その後、列は線（４４）を通して知能
処理兼制御装置（２２）から与えられるタイミング信号
および制御信号に従って走査される。

本発明のこの実施例では知能処理兼制御装置（２２）は
マイクロプロセッサ機能を有しており、従マイクロプロ
セッサ（４６）および主マイクロプロセッサ（４８）を
含む。従マイクロプロセッサ（４６）はいろいろの信号
処理ブロックに与えられるタイミング信号および制御信
号の実際の発生を取扱うが、主マイクロプロセッサ（４
８）は、従マイクロプロセッサ（４６）がタイミング信
号および制御信号を形成するに要する命令を与える。従
マイクロプロセッサ（４６）はまた、比較評価装置（２
６）における比較の結果を評価し、これらの結果を主マ
イクロプロセッサ（４８）に与える。次いで主マイクロ
プロセッサ（４８）が検査中の物体を認容するか拒否す
るかの最終決定をする。

「訓練」モードでは従マイクロプロセッサ（４６）は主
マイクロプロセッサ（４８）により「訓練」目標体（３
２）を認識することおよびそこに与えられている情報を
再現することを命令される。主マイクロプロセッサ（４
８）はその後にこの情報を利用して、物体検査モード期
間中にタイミング兼制御およびデータ評価がなされるに
要する特定の命令の組を従マイクロプロセッサ（４６）
に与えるか否かを決定する。従マイクロプロセッサ（４
６）および主マイクロプロセッサ（４８）の相互作用は
後にさらに詳細に述べる。

ビデオ調整器（４２）からのビデオ像信号は信号処理兼
ゲート装置（２４）に与えられる。信号処理兼ゲート装
置（２４）はビデオ受信器およびアナログ−デジタル（
Ａ／Ｄ　）変換器を含む。ビデオ受信器（６０）はビデ
オ調整器（４２）からのビデオ像信号を緩衝し、かつ調
整する。ビデオ受信器（６０）は従マイクロプロセッサ
（４６）からの自動利得制御（ＡＧＣ）信号、アナまた
は一端子入力モードにて作動し得る。この時点で具備し
得る他の信号処理形態には走査線間の相関、対角線上の
素子間相関、未知信号からの規準値の減法、および類似
の算術演算が含まれる。

これらは一般にタップ付き遅延線と組合せた加減増幅器
を用いて行なうことが出来る。

ビデオ受信器（６０）からの出力はＡ／Ｄ変換器（６２
）に与えられる。Ａ／Ｄ変換器（６２）はいろいろの範
囲の変換速度、たとえば毎秒１変換から毎秒１０００変
換まで、にわたり作動するように設計し得る。

また、変換器（６２）の範囲はたとえば２ビツト（ニレ
ベル比較器に等価）から１８ビツトまでの分解能を得る
ように選択できる。ビット数が大きい程、進入してくる
アナログ像信号を分離して得られる分解信号数が大きく
なる。加えて、Ａ／Ｄ変換器（６２）は浮動スケール値
または固定全スケール値で作動し得る。すなわち、　Ａ
／Ｄ変換器のデジタル出力が変換器にとって利用し得る
最大のものとなる入力像信号電圧は可変源かまたは参照
電圧のいずれかから与えることができる。前者の場合に
は参照電圧はたとえばシステムの視界内の光学的目標体
の反射率、可変源の照明、または他の可変目標体もしく
は信号に関連ある参照電圧に対応したアナログ信号によ
り発生することができる。この特徴は。

たとえば作業日に検査ステーションにおける周囲の光の
変化を補償するのに有用である。後者の場合Ａ／Ｄ変換
器（６２）のデジタル出力は信号特性に変化があっても
調節されず、参照電圧は固定されたままに留まる。

Ａ／Ｄ変換器（６２）は付加的な、変換器ゼロ点を−ｒ
降させまたは上昇させる可変性を有することが出来る。

すなわち、ゼロでない像信号入力に対してゼロデジタル
信号を発生することが出来る。これを行うため、上側の
全スケール調節に類似した信号関連性ある電圧を用いて
、固定電圧を与えることによシ、または知能処理兼制御
装置の制御のもとに作動するデジタル−アナログ変換器
により、または目標体からの反射率データにより参照信
号が発生される。

最後に、ビデオ受信器（６０）から与えられる像信号を
Ａ／Ｄ変換器（６２）がデジタル化するに要するタイミ
ングは線（６４）上の従マイクロプロセッサから与えら
れるタ、イミシグ信号または駆動信号により制動される
。この駆動信号は、ビデオ信号のうち選択された部分の
みをその後の処理を受けるべく通過せしめるゲート制御
を与える。

上の説明から、知能処理兼制御装置（２２）による信号
処理兼ゲート装置（２４）の制御を介して多数の機能が
与えられる結果、高出力のかつ柔軟性のある信号処理が
可能となっていることが了解されよう。

信号処理兼制御装置（２４）の出力信号に、点線で示し
たデジタル処理装置（２８）にてさらにデジタル処理を
受けさせることが出来る。デジタル相関、遅延、減法そ
の他の算術処理などの演算をここで行ない得る。

この時点でさらに別のデジタル処理が必要でなければ、
信号処理兼ゲ−ト装置（２４）から出る信号は比較評価
装置（２６）に直接に与えられる。本発明の一実施例に
おいては比較評価装置は信号処理兼ゲート装置により与
えられる信号メ；参照信号記憶装置（３０）からの対応
の参照データよりも大きいか否かを決定する電圧比較器
を含む。この比較演算の結果は解析のため、知能処理装
置（２２）に与えられる。

上述の比較演算と知能処理兼制御装置（２２）による演
算結果の分析との単純化された一例では、水平点Ｙｏに
沿った高から低への水平方向反射率変化域と±１／Ｂイ
ンチ（０，３１７５ｏ＋＋）の許容限界とを含めること
が可能である。この例では各鉛直走査が１４６　インチ
に及ぶと仮定する。

参照データ記憶装置（３０）に記憶し得る参照データは
Ｙｏより上方のすべての位置座標対に対する高高度デー
タおよびＹｏよシ下方の低高度データを含む。試験中の
物体からの像信号はＹｏ十−上方のす６ ベての位置座標対に対して高高度であり、Ｙｏ十−６ 下方のすべての位置座標対に対して低高度である、と仮
定しよう。

比較器（２６）における比較演算の結果はＹｏ十−に６ 対応する位置に沿って検査中の物体は参照データよシも
高い反射率を有する、ということを示すであろう。参照
データからのこのずれは次に知能処理兼制御装置（２２
）’によシ解析される。「訓練」モードで特定された許
容限度は±１／Ｂインチであるので、かつずれは高々５
６インチであるので、知能処理兼制御装置は試験中の物
体を受理すべきことを決定するであろう。

第３図にはＡ／Ｄデータ記憶装置（６６）の付加的ブロ
ン〉が示されている。これはデジタル化された像信号が
比較評価装置（２６）に与えられると同時に後の評価の
ため記憶装置に記憶されることを可能にする。このよう
にして比較器（２６）を介して予備的評価が可能である
一力、後により詳細な評価がＡ／Ｄデータ記憶装置（６
６）に記憶されたデータを用いて可能である。

ここで知能処理兼制御装置（２２）をさらに詳細に説明
する。知能処理兼制御装置（２２）は従マイクロプロセ
ッサ（４６）、持久プログラムメモリ（５２）用の読取
専用メモリ（ＲＯＭ）　、主マイクロプロセッサ（４８
）からの従マイクロプロセッサ命令を受承するための第
一のランダム呼出メモＩＪ　（ＲＡＭ）、　（５４）％
映像兼ビデオ信号発生装置（２０）を制御すべく従マイ
クロプロセッサによりプログラムを組込み得るタイミン
グ制御装置（５０）　ｓ第二のＲＡＭメモリ（５６）、
および第五のＲＡＭメモＩＪ（５８）を一時的データ記
録用に含んでいる。

ＲＯＭメモ！ｊ（５２）はシステムが確定された入力状
態または初期設定状態を有するように設けられている。

初めに電力が印加されると従マイクロプロセッサ（４６
）は命令を得るためＲＯＭ（５２）を呼出す。

時定のテストシーケンスの間、従マイクロプロセッサ（
４６）は第一のＲＡＭメモリ（５４）に含まれている命
令を読む。主マイクロプロセッサ（４８）によりすでに
ＲＡＭ（５４）中に入れられたこれらの命令は従マイク
ロプロセッサ（４６）により行なわれるべき演算のタイ
ミングおよびシーケンスを指令する。これらの命令は目
標体偉信号の認識および評価に際し従マイクロプロセッ
サ（４６）を指令することが出来る。また、これらの命
令は処理回路の制御に際し従マイクロプロセッサ（４６
）に命令を下して検査中の物体からその後の処理をする
ため像信号の部分を選択する。代表的な演算には映像兼
ビデオ信号発生装置（２０）の制御、Ａ／Ｄデータ記憶
装置（６６）内に記憶されたデータを読取ることとこれ
らの値を主マイクロプロセッサ（４８）に与えること、
および第二ＲＡＭメモ！Ｊ（５６）から参照データ記憶
装置（３０）に参照信号データを転送して比較評価装置
（２６）に利用させることが含まれる。

従マイクロプロセッサ（４６）の演算が簡単な性格のも
のであるがこれらの演算は高速でかつ実時間で、すなわ
ち進入してくるビデオ像信号の速さで行なわれなければ
ならない。

従プロセツサ（４６）および主プロセツサ（４８）の間
の知能処理兼制御装置（２２）内に制御機能を配するこ
との利点のうちに、高速性に加えて従プロセツサがいろ
いろの型式の所望の試験を行ない得る高い適性を有する
点がある。像の評価期間中における従プロセツサ（４６
）の代表的シシケンスは以下の段、すなわち１）第二Ｒ
ＡＭメモリ装置（５６）からの比較データを読取って参
照データ記憶装置（３０）に対し出力すること、２）比
較評価装置（２６）内で比較した結果を検査すること、
３）これらの結果を第三腺メモリ装置（５８）に記憶さ
せて主マイクロプロセッサ（４８）の呼出しに備えるこ
と、すＡ／Ｄデータ記憶装置（６６）の内容を読取シ、
この情報を後に処理する念め第二ＲＡＭメモリ装置（４
８）に入れること、５）像全体の処理が完了したときに
主マイクロプロセッサ（４８）に通知すること、とを含
み得る。この時点で主マイクロプロセッサ（４８）は比
較演算の結果を保持している第二ＲＡＭメモリ（５６）
を呼出し、予め設けられた規準に従ってこれらの結果を
解析する。

主マイクロプロセッサ（４８）により設定および訓練の
期間中に第二ＲＡＭメモリＪ（５４）に記憶された命令
は実際の試験に要求されるものとは大変に異々つている
。このように処理業務を配することは映像化兼処理部お
よび実時間制御部を大変一般的なものとなし得、しかも
最小限のハードウェアのみ必要である。換言すると、第
１図に示した参照パラメータ導出装置と処理装置につい
ての機能ブロックは一組のハードウェアと命を段の変更
とによって与えることが出来る。

信号処理部で行なわれた実効ある決定は主マイクロプロ
セッサ（４８）の制御のもとにあるので、従マイクロプ
ロセッサ（４６）により広範囲のデータ処理試験形式が
容易に設けられる。このようにして主マイクロプロセッ
サ（４日）は、従マイクロプロセッサ（４６）が実時間
の機能を実行している間、自由に長い評価を行ない得る
。従マイクロプロセッサ（４６）により行なわれる実時
間機能は完全に主マイクロプロセッサ（４８）の制御の
下にあシ、かつ実行中の試験の要求に応じて時により変
更可能である。

特に第４図ないし第７図を参照して光学特定装置をより
詳細に述べる。第４図は光学前期プログラム装置の一実
施例を参照物体上に配置する例である。この例では灰色
のびん（６８）がその上に白黒の長方形ラベル（７０）
を有する。う（ル（７０）の繰上のいろいろの位置には
この場合の目標体（７２）であるが目標体（３２）の一
実施例が固定されている。代表的な目標体（７２）が第
５図に、より詳細に示されている。上述したように光学
特定装置は参照物体上における特定の参照特徴部の規定
位置、参照特徴部の性格に関する情報、参照特徴部の検
査に要する許容限界情報、および他の多数の参照特徴部
仕様を指示する。光学特定装置の作動に枢要なことは、
それが検査する製品または物体に通常見られるノミター
ンを識別し得ることである。第５図では目標体の縁に離
隔された歯が並べられている。

歯の幅および歯の間隔は検査する物体上に予想されるい
かなるノミターンとも全く異る光学パターンを与え得る
ように選択されている。

目標体（７２）の特定の縁上に配置された歯（７４）は
いろいろのパターンに配されている点に注目されたい。

目標体（７２）の左側のパターンは多数の等間隔に離隔
された、かつ同一幅の歯とその縁の中間に至ら々いとこ
ろの例外的な２倍幅の歯とを有する。目標体（７２）の
右側にも同一のパターンが具備されている。しかし目標
体の頂部および底部のノミターンは異なることに注目さ
れたい。目標体の頂部では縁上その三分の−および三分
の二の間隔を置いて幅の広い歯が配置されており、他の
歯はより幅の狭いものである。底部では中央に単一の２
倍幅の歯が配置さ・れており、他の歯は幅の狭いもので
ある。このようにして上縁と下縁とを互に識別し得る。

目標体の内部には窓（７６）があるのが見られる。

好ましい実施例ではこの窓は目標体の穴である。

この穴（７６）を通して参照物体の実際の参照特徴部を
走査し得る。目標体の上方部分（７８）は低反射率を有
するが、目標体の下方部分（８０）は高反射率を有する
。暗部と明部の変化域は窓（７６）の左右縁の中央にあ
る。窓（７６）の頂部縁中央には高反射率のストリップ
が配置されであるが、窓の底部縁中央には低反射率のス
トリップが配置されている。このようにして明暗部変化
域と共にこれらの明暗ストリップは参照特徴部が指定さ
れる一種の交差目盛または十字線を生ずる。

目標体の下方部分について見るとそこには幅の広い低反
射率ストリップが配置されているのが見られる。このス
トリップは許容限界情報をシステムに与え、操作員によ
る選択が可能である。

訓練目標体は光学装置の助けによシ次の業務を遂行する
。

１）システムが目標体を目標体として認識し得るための
明確な特徴を呈すること。

２）上記の目標体認識特徴を用いて目標体の方向を与え
ること。

３）その高低反射率特徴パターンの非対称的相互関係に
よって走査窓（７６）の中心を指定すること。

４）光学システムに対し、特徴の性格、すなわち特徴が
明から暗へ、または暗から明への変化のいずれであるか
、またその変化がいずれの方向に向いているか、につい
ての情報を与えること ５）含有するいろいろのパターンの間の幾何学的相互関
係によって絶対的意味のある単位で表わした走査像の較
正を与えること。

６）上記の較正因子を介してシステムに対し特徴部の位
置を検査する際に適用される位置許容限界を通報するこ
と。および ７）所望のビデオ像信号を選択的にゲート通過させるた
め信号処理兼ゲート装置にゲート信号を、知能処理兼制
御装置（２２）に与えさせること。

目標体は以下に示す方法によって本システムにより上述
のように認識される。この説明の目的上、映像兼ビデオ
信号発生器（２０）す々わち走査器は鉛直力向のラスク
走査を目標体の横断方向に発生する鉛直走査ダイオード
列を含むものと仮定しよう。

これにより第５図の底部に示すアナログ電気信号が生ず
る。高信号レベル領域は像の白色または明るい色に対応
し、低信号レベル領域は暗いまたは黒色領域に対応する
。走査（１）は目標体が遭遇する前に発生された信号で
ある。目標体がラベルの上に配置されると、この走査は
おそらくラベルの内容、容器表面、その他の特徴を含む
部分に対応する領域を含むこととなろう。目標体の認識
のために選択されたパターンは実際のいかなる目標体パ
ターンと可能な限り異っているように選択されているこ
とを記憶されたい。

走査（２）は走査列が初めに目標体のパターン縁に遭遇
したときに発生されるパターンである。「訓練」モード
または検査モードのいずれかの作動においては、検査中
の物体は移動台（１２）によシ走査器の視界を横断して
移動される。したがって像は物体の実際の運動とは反対
力向に、鉛直走査列を横断した掃引を行なう。したがっ
て走査列により発生された各鉛直走査はその前の走査線
より少し変位された電気信号を生ずる。

走査（３）は走査（２）から変位されてはいるか縁パタ
ーンについて同一の信号を発生している。これはパター
ンがかなりの水平距離にわたり延びるように構成されて
いるからである。

この電気信号ノミターンは目標体信号として知能処理兼
制御装置（２２）により認識される。発生された特定の
パターンは目標体の方向を知能処理兼制御装置（２２）
に知らせる。パターン幅およびパターン間隔が知能処理
装置に知られているので、システムは、映像兼ビデオ信
号発生器内の光学的および幾何構造的効果に因る歪みに
対して映像装置が示す拡大寸法を自動的に較正できる。

一旦これが行なわれるとシステムは目標体によって占め
られた物体平面内の定められた寸法を測定し得る。

参照物体および目標体が走査器の視界を横断するに伴い
信号の発生が続行される。縁パターンはまたシステムに
窓の中央位置を示す役割を果す。

目標体の黒白の背景はシステムにとって窓の中央位置の
再確認の手段となると共に作業員がか照特徴部と窓中央
と整合′する助けとなるｂ実際上、目標体が参照物体に
固定されているときは目標体は黒い背景に対応して窓部
分内に参照特徴部の黒い側を含むように方向づけられる
。これによりシステムが高から低への変化の方向および
その変化がどこで起きるかを知ることを確実にする。

目標体の方向には無関係に目標体縁パターンを監視する
ことによシシステムは独立に窓部分を同定し得る。縁・
ξターンをケ゛−ト制御に使用することによりシステム
は窓内のラベルとびん表面とからの反射アナログ信号を
デジタル化して記憶し、かつ特定の物体に対応した参照
データとしてこの情報を使用する。

本システムは目標体自体（窓内のｘ／／Ｙ位置情報を除
く）からの信号と訓練目標体の窓によシ囲筐れていない
目標体領域とからの信号を全く記録しない。Ｘ／Ｙ位置
情報はシステムが初めに走査を開始する物体上の地点を
基準とする。

このようにしてシステムは参照物体の重要特徴に対応し
た実際の反射データを記憶し、その特徴の性格と方向お
よびその規定位置に関する情報を得る。

窓（７６）の頂部および底部に隣接した黒と白のストリ
ップ（７７）は作業員が利用する付加的整合手段であり
、使用する必要はない。

システムが目標体を走査すると、システムは白い視界内
にあって窓（７６）の下方の黒い棒に遭遇する。この棒
は当該特徴に特定な全プラス・マイナス許容限界に対応
した幅の一片の黒テープでよい。たとえば許容限界がプ
ラス・マイナス１／１３インチ（３，１７５■）である
ことが所望されるならテープはＡインチ幅である。シス
テムはこの黒ストリップの幅を測定し、その幅を直接用
いて窓内の％徴の規定位置の周囲に境界を設定する。目
標体平面内の寸法を測定するため、システムはそれ自体
すでに自動的に較正されであるので、絶対単位で物理的
許容限界を計算し、彼の表示に備える。

第６図を参照すると光学既定プログラム装置の別の実施
例が示されている。この実施例は円対称の目標体（８２
）を有する。目標体の中心は穴または透明材料製でよい
。窓（８１）と共心的に、半分が黒く半分が白い環（８
４）が配置されている。窓には別のもつと大きな半径の
同心環（８３）が配置されている。目標体の外縁に向か
って半径方向に延びた棒（８５）が配置されている。こ
の半径方向パターンは目標体が検査システムと遭遇しか
つ走査された場合にその方向に関係なく同一型式の指標
を確実に発生する。鉛直に方向づけられた線走査列によ
って走査されると生じた等価電気信号の周波数が第７図
のグラフに従って変化する。第７図の線（Ａｌは目標体
の最外殻の走査かち生ずる鉛直走査に対応する。−力、
線（Ｆ）は走査が目標体の同心円領域を含む場合に鉛直
方向走査で生ずる等価ビデオ信号である。

第７図に示す周波数指標は、遭遇することが予想される
いかなる図表的特徴や印刷物・ラベルの特徴によっても
発生される可能性は乏しく、シかしすべての目標体につ
いてすうでの方向において同ｉである。

目標体の半径方向の棒（８５）が狭くて長いことにより
目標体周波数の位相効果を最小にし、可能な限り多くの
認識走査数を与える。

指標のスケーリングは二つの方法で行ない得る。

その第１は大きなうＲルについては大きな目標体を使用
することによって視界高さの目標体高さに対する比を妥
当に制御する。第二は特定の信号を同定するのに使用さ
れた認識業務が当該周波数領域にあるように、かつ信号
処理兼ゲート回路（２４）の部分的制御により、与えら
れる。周波数空間におけるその相対的な形は特定の一周
波数に限定されていないが、その形を認識を旧約として
検査することが出来る。

特徴的な目標体指標が認識されるやいなや、目標体（８
２）は初期時刻における棒の幾何学的配置を外挿するこ
とにより視界内に大略的に配置される。

このためには信号処理回路（２４）を認識に必要な周波
数変換モードから幾何学的配置を行なうに必要な空間解
析モードに変更することが必要である。

システムの走査が半径力向棒領斌から目標体同心環部分
中に進むに伴い、システムは早暁、半径方向棒領域の内
側縁に位置する黒い部分の一つに遭遇する。システムは
目標体窓の透明領域を走査する前にこれらのうち少くと
も二つに遭遇する。

これらの点部分（８７）は十字線および最も内側の同心
環の黒白部分の方向をシステムに予知させることにより
、明暗の変化域および目標体中心位置の認識を簡単化す
る。

同心環領域が目標体に含まれている結果、環の幅に付加
的な情報を符号化して含め得る。この付加的情報は許容
限界データ、等級レベル、しきい値情喉、または他のパ
ラメータデ÷り等であり、ノｆａＪｌｉＬって本装置に
入力。される。

円形目標体の別の実施例は同心環領域を除外することで
ある。これは付加的情報が不要である場合に行ない得る
。そのときは半径方向棒をさらに目標体中心に向けて延
長しｉる結果、目標体中心付近の水平方向構造変化につ
いて多量の情報を与える。そのような形状によって目標
体中心は一層容易に位置付けされる。

ここで特に第８図ないし第１０図を参照しつつ本発明の
代表的作動を説明する。

第１０図は本発明の「訓練」モードを例示する。

使用者がスイッチ（３４）を入れるとシステムは第８図
に示した「訓練」モードに入り、システムは参照物体の
走査を開始する。例示の目的上、第５図の目標体形状が
走査されるものと仮定する。

段（９０）（９１）では目標体が検出されるまでシステ
ム、は各鉛直方向走査のループを繰返す。目下の走査が
完了されるとその走査から得られたデータが検査され、
走査と同時には検査されないことに注目されたい。この
ことによシ目標体のある領域が遭遇されるまでシステム
の迅速な走査が可能であり、走査過程が速くなる。目標
体の縁パターンがいくつかの鉛直方向走査幅の距離にわ
たり延びていることを思い出されたい。したがってシス
テムは迅速に目標体の存在を走査し、かつ目標体検出に
伴って直ちに実際にデータ収集のための低速走査速度に
切換えられる。縁パターンのほとんどの部分は依然、走
査のために残されている。

目標体に遭遇すると、段（９３）においてシステムはそ
れが新しい目標であるか否か、そしてもしもそうであれ
ば段（９４）において新しい目標体についての新しいデ
ータブロックを開設しかつ目標体位置情報を記録する。

システムはその後、走査が完了するまでその新しい目標
体に対する鉛直方向走査を段（９５）　（９６）にて監
視し続ける。

その鉛直方向走査が完了したとき、システムは段（９７
）において前の走査で得られた目標体走査パターンとの
差異を求めて、得られたばかりの目標体パターンを検査
する。目標体パターンの差異は非反復性データブロック
、すなわち走査が目標体の新しい部分に入ったことを指
す。その位置は段（９８）で記録される。段（９７）で
全く差異が検出されなければシステムは段（９９）で参
照物体がシステムの視界（Ｆ、Ｏ，Ｖ、　）を去るまで
、システムは鉛直方向走査を続行し、非反復性データブ
ロックの位置を記録する。物体全体の走査が完了すると
直ちに、すべての変化位置を見出して保存する段（１０
０）が行なわれる。

段（１０２）においては窓限界位置が計算され保存され
る。この計算は検出された目標体の縁パターンおよび目
標体の内側反射率データに基づいて行なわれるが、これ
らはすべて本装置が参照物体の走査を開始した点を基準
としている。

段（１０４）では知能処理兼制御装置（２２）が段（１
０２）で得られた寸法データと使用目標体の型に対して
予め特定されてい友規定寸法とを比較する。この比較か
ら本装置は拡大補償を行うためのスケーリング係数を導
出し得る。このようにして知能処理兼制御装置（２２）
は許容限界棒を検査して検査物体を視察する窓を変化し
得るためひ許容限界を決定する。段（１０４）でスケ−
リン、グ係数が得られた後、知能処理兼制御装置（２２
）は「劃−線」モードからの出口である段（１０６）に
進む。

したがって「訓練」モードではシステムは参照物体を視
察して「訓練」目標体の存在を検出する。

これらの「訓練」目標体から、本装置は窓位置データ、
窓許容限界データ、反射率変化情報を得てスケーリング
係数を算出する。

特に第９図を参照して、本発明装置の一実施例における
知能処理兼制御装置（２２）の従マイクロプロセッサ部
分（４６）の作動を説明する。簡単に言うと従マイクロ
プロセッサ（４６）は予定のかつ予め特定されたシーケ
ンスの段を遂行し、主マイクロプロセッサがこれらの股
肉の小段を特定する。本装置が「訓練」モードにあるか
検査モードにあるかに応じて、従マイクロプロセッサ（
４６）は以下のシーケンスの段を実行する。

段（１１０）では物体が映像兼ビデオ信号発生器（２０
）の視界に入るまでループを続ける。視界入りが始まる
と、従マイクロプロセッサ（４６）は段（１１２）でＲ
ＡＭメモリ、たとえば第−ＲＡＭメモリ（５４）を呼出
して主マイクロプロセッサ（４８）によりそこに置かれ
た命令を検索する。従マイクロプロセッサはそれから処
理回路（２０）　（２４）　（２６）を介して得られた
像信号の処理とゲート通しを行うに際してこれらの命令
を実行する。像信号が完全に得られると従マイクロプロ
セッサは段（１１４）に進み、主マイクロプロセッサに
対して得られたデニタがそろったことを知らせる。この
情報は「訓練」モードまたは物体検査モードからのデー
タでよい。

段（１１６）では従マイクロプロセッサは主マイクロプ
ロセッサ（４８）にデータを転送する。段（１１８）で
は従マイクロプロセッサが新しい物体が視界内にあるか
否かを決定する。もし無ければ段（１１０）に進み、新
しい物体を持つ。段（１１６）が処理された後、新しい
物体が視界内にあれば、これは得られたデータが誤りで
あることを示す。その理山は従プロセツサは、次の検査
物体が映像兼ビデオ信号発生装置（２０）の視界に入る
前に、像データの処理を完了していることを仮定されて
いるからである。段（１２０）ではこの誤りは主プロセ
ツサ（４８）に報告されており、従マイクロプロセラｖ
　ハ段（１１２）に進み、像データを再び得る試みがな
される。

ここで特に第１０図を参照して主マイクロプロセッサの
作動を説明する。主プロセツサは入力された彼、段（１
２２）で「訓練」モードが要、求されているか検査モー
ドが要求されているかを決定する。

「訓練」モードが要求されていれば主マイクロプロセッ
サは段（１２４）に進み、従マイクロプロセッサ（４６
）の作動を停止する。段（１２６）では主マイクロプロ
セッサは、［訓練Ｊ命令すなわち参照抽出信号、をたと
えば第−ＲＡＭメモ’Ｊ（５４）中に命令を入れること
により、従マイクロプロセッサに転送する。段（１２８
）では従マイクロプロセッサ（４６）が上述したように
再起動されてデータが得られる（第９図参照）。

従マイクロプロセッサ（４６）によるデータ収集の間、
従マイクロプロセッサ（４６）からのデータがそろうま
で主マイクロプロセッサ（４８）は段（１３０）にあっ
てループを続ける。「訓練」データが利用可能となると
主マイクロプロセッサは段（１３２）で従マイクロプロ
セッサ（４６）の作動を停止し、従マイクロプロセッサ
ＲＡＭ　、たとえば第二ＲＡＭメモリ（５６）から段（
１３４）にて「訓練」像データを読取る。像データ転送
が完了すると段（１３６）で従マイクロプロセッサが再
起動される。段（１３６）の後、主マイクロプロセッサ
は第８図に示すように段（１３８）で像データを解析す
る。段（１４０）では主マイクロプロセッサは像データ
の解析に基づいて物体検査のなめ一組の試験命令、すな
わち検査制御および処理のシーケンスを選択し、これら
の試験命令を従マイクロプロセッサＲＡＭたとえば第−
ＲＡＭメモリ（５４）％　中に挿入する。段（１４０）
の後、主マイクロプロセッサは段（１２２）に進み、装
置が「訓練」モードにあるかあるいはまた物体検査が要
求されているかを決定する。

物体検査が要求されていれば主マイクロプロセッサは従
プロセツサ（４６）からの試験データが準備されている
か否かを決定する段（１４２）に進む。段（１４０）で
一旦命令が転移されていれば従マイクロプロセッサ（４
６）は物体検査を遂行し得る。したがって段（１４０）
の後にもしも映像兼ビデオ信号発生器（２０）の視界に
物体が入れば従マイクロプロセッサ（４６）によシ映像
データが得られる。段（１４２）ではそのようなデータ
収集が起こったか否かを主マイクロプロセッサ（４８）
が決定し、もしも収集が起きていればその過程が完了し
たか否かを決定する。

もしも従マイクロプロセッサ（４６）が依然としてデー
タを収集していれば主マイクロプロセッサ（４８）はル
ープを続行して段（１２２）に戻る。

従マイクロプロセッサによるデータ収集が完了したとき
は、段（１４４）で主マイクロプロセッサ（４８）が従
マイクロプロセラ７　（４６）の作動を停止する。

それから主マイクロプロセッサ（４８）は像データの収
集の期間にデータの誤シが起きたか否かを段（１４６＞
で決定する。もしもそのような誤シが起きていれば主マ
イクロプロセッサ（４８）は段（１４８）に進み、ここ
で拒否が作業員に報告される。段（１４８）で拒否が報
告されたときは主マイクロプロセッサ（４日）は段（１
２２）に戻り、過程を新たに開始する。

段（１４６）でデータ誤りが全く無ければ主マイクロプ
ロセッサはＲＡＭ　、たとえばメモリ（５６）、内に記
憶されている像データを読取る段（１４Ｂ）に進む。

段（１５０）では主マイクロプロセッサ（４８）は従マ
イクロプロセッサ（４６）に対し、データ転送が完了し
たことを譲信する。段（１５２）では主マイクロプロセ
ラ？（４８）は従マイクロプロセッサ（４６）の作動ヲ
再起動する。段（１５４）では主マイクロプロセッサ（
４８）は得られたばかりの像データを解析し、段（１５
６）では「訓練」像データおよび解析に従って像が認容
可か不可かを決定する。もしも認容可であれば主マイク
ロプロセッサ（４８）は段（１２２）に進み、次の物体
に対して過程を開始する。もしも像が認容不可であれば
主マイクロプロセッサは段（１４８）に進み拒否を報告
する。

したがって本発明のこの実施例では従および主マイクロ
プロセッサが利用されることが了解されよう。主マイク
ロプロセッサが過程中のほとんどの決定を下し、従マイ
クロプロセッサが制御およびデータ収集の段を扱う。像
データ収集に際し従マイクロプロセッサは命令を求めて
主マイクロプロセッサに対向し、主マイクロプロセッサ
ハ解析すべき像データを与えるべく従マイクロプロセッ
サに対向する。主マイクロプロセッサはデータ収集に際
して広範な条件のもとて従マイクロプロセッサに命令を
与えることが出来る。主マイクロプロセッサにより従マ
イクロプロセッサに与えられた命令は「訓練Ｊモードに
対するデータ収集に際して従マイクロプロセッサを監督
するための命令、あるいは検査すべき物体からデータを
収集するための命令等である。従マイクロプロセッサは
実際の処理兼制御信号をいろいろの信号処理回路、たと
えば映像兼ビデオ信号発生器（２０）　、信号処理兼ケ
゛−ト装置（２４）　、および比較評価装置（２６）に
与える。しかしこれらの処理兼制御信号は、主マイクロ
プロセッサによシ与えられる命令に従って従マイクロプ
ロセッサにより形成される。

上述の装置は特定の事物を光学的に検査する方法を与え
る。その方法は多数の像データを収集し、かつデータの
不要にして重要でない余剰の部分を除去することによシ
、決定を下すためのデータが少量にされる方法を使用す
る。このことによりより一層高速の処理速度、それらデ
ータに実時間で信号増補を実行する能力、およびその実
行に要する回路量の減少が可能となる。

本発明による方法はシステムに「訓練」目標体の使用に
よる参照像データを与える段を含む。これらの「訓練」
目標体は参照物体上に置かれて調査すべき参照物体の特
徴を指定し、参照特徴部の位置、許容限界その他の情報
を与える。「訓練」モードの完了と共に本方法は検査中
の物体の等価な電気儂信号、を収集し、「訓練」モード
で得た情報に従ってこの像信号を処理し、ゲート通しさ
せる段を含む。ゲート通しおよび信号処理の段に続いて
、との傷信号は「訓練」モードで得られた参照信号と比
較される。比較結果は知能処理兼制御装置により評価さ
れる。この稜者装置は検査中の特定の物体を認容するこ
とまたは拒否することの決定を下す。

本明細書に使用した用語および表現は説明のために使用
されたのであり、限定のためではなく、またそれら用語
および表現の使用には例示し説明した特徴とそれらの部
分とに同値なものを除去する意図も無い。本発明の請求
範囲内でいろいろの設計変更が可能であることを了解さ
れたい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の機能ブロック路線図、第２図は本発明
の単純化されたブロック路線図、第３図は本発明の一実
施例について機能ブロックを含めたより詳細なブロック
路線図、第４図は参照物体上に目標体を置く例を示す図
、第５図は目標体の一実施例を示す図、 第６図は目標体の別の実施例を示す図、第７図は第５図
の円形目標体を走査したときに得られる代表的なビデオ
信号を示す図、参照パラメータ導出装置・・２２．３０
データ処理装置・・２０　、２２　、２４　、２６　、
３０光学既定プ、ログラム装置・・・３２　、７２　、
８２映像兼ビデオ信号発生装置・・・２０ 信号処理兼ケ゛−ト装置・・・２４ 比較評価装置・・・２６ 相似性の表示を検討する制御装置・・・２２特許出願代
理人 弁理士山崎行造 訳・龜／稼ｔ Ｐ工ＵＴノ↓− ］＝工ＵＦｘ−−５− １Ｆ工［ｒ−−６ １＝１５−＋７＋ １徊帽ｔ−１−”＋＝ｘも

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 山　照明された一連の物体を自動検査する装置であって
   、 適当に造形された物体の選択された部分を光学的に特定
   する装置と、 該特定された選択部分から参照パラメータを導出する装
   置と、 該参照パラメータに従ってデータを評価し認容または拒
   否の決定を導くためのデータ処理装置にして該データは
   該適当に造形された物体の該特定部分に対応した後続の
   物体の部分から発生されるデータである、データ処理装
   置と、を含む自動検査装置。 （２、特許請求の範Ｉ！ｌ第１１）項に記載の自動検査
   装置においで、該光学特定装置が該適当に造形された物
   体に固定され得る目標体を含み、該目標体が光学的に読
   取り可能な複数の見出しと該物体の該選択された部分が
   光学的に走査できる窓とを含んでいる、自動検査装置。 （３）特許請求の範囲第ｉ２Ｊ項に記載の自動光学検査
   装置において、該参照パラメータ導出装置が、視界内の
   物体の完全なビデオ像を得るための選択された視界を有
   し、力１つ該ビデオ像を等価な電気像信号に変換する第
   一の映像兼ビデオ信号発生装置と、 該像信号に呼応して目標体から得られた像信号の該部分
   を抽出する装置と、 該目標体像信号を解析し、かつ該適当に造形された物体
   の各特定部分についての参照パラメータを導出する処理
   装置と、 を含んでいる、自動光学検査装置〇 （４）　　特許請求の範囲第（２）項に記載の自動光学
   検査装置において、該データ処理装置が 視界内の物体の完全なビデオ像を得るための視界を、有
   し、力）つ該ビデオ像を等価な電気像信号に変換する第
   二の映像兼ビデオ信号発生装置と、 後続の物体の部分の１ら発生した、ｆＪ）つ該適当に造
   形された物体の特定部分に対応した、像信号から部分を
   選択するための装置にして該像信号に呼応する装置と、 該選択された像信号を該参照パラメータと比較して認容
   または拒否の決定を導出する装置と、を含んでいる、自
   動光学検査装置。 （５７特許請求の範囲第（３）項または第（４）項に記
   載の自動光学検査装置において該第−および第二の映鐵
   兼ビデオ信号発生装置が同一であり、かつ該第−および
   第二映像兼ビデオ信号発生装置が光学像ヲ結像するため
   のレンズｇＩｊｔと、該結像された光学像に応答して該
   光学１１！を等価電気像信号に変換する光学感知装置と
   を含む、自動光学検査装置。 （６）特許請求の範囲第（５）項に記載の自動光学検査
   装置において該光学感知装置が光学感知器の列を含む、
   自動光学検査装置。 （７）　　＃許請求の範囲第（６）項ｌこ記載の自動光
   学検査装置において該感知器列が複数の行と列とを有し
   、さらに検査中の物体の完全な光学像が瞬時に得られる
   ように物体の照明をストロボ化する装置を含んでいる、
   自動光学検査装置。 （８）　　特許請求の範囲第（６）項に記載の自動光学
   検査装置において、検査中の物体が走査されるに伴い、
   一定順（シーケンス）の列像信号が生成されるように該
   光学感知器列が単一の鉛直列状に配置されており、該列
   信信号シーケンスの全体が検査中の物体の完全な像信号
   を与える、自動光学検査装置。 （９）特許請求の範囲第ｔａ＋項に記載の自動光学検査
   装置において、目標体の像信号を抽出するため該処理装
   置に参照抽出信号を与える第一の主プロセツサを該処理
   装置が含んでおり、該第−の主プロセツサがその後、目
   標体像信号を解析し、かつその後その解析に基づいて後
   続の物体検査に使用される特定の検査制御および処理の
   シーケンスと一組の参照データとを含んだ参照パラメー
   タを導出する。自動光学検査装置。 〇〔特許請求の範囲第（９１項に記載の自動光学検査装
   置において、該第−主プロセツサからの該参照抽出信号
   に応答する第一の従プロセツサを該目標体信号抽出装置
   が含んでおり、該従プロセツサが該映像無信号処理装置
   に制御信号を与え、かつ該映像兼信号処理装置から受信
   した像信号を該参照抽出信号に従って解析する、自動光
   学検査装置。 αυ　％許請求の範囲第（４）項に記載の自動光学検査
   装置において、該参照パラメータが検査制御および処理
   のシーケンスと一組の参照データとを含み、かつさらに
   該選択された像信号を該参照パラメータと比較する該装
   置が 該選択された像信号を指定の参照データに比較する比較
   器と、 該検査制御および処理のシーケンスに呼応して該参照テ
   ークおよび制御信号を該比較器装置に与える第二の従プ
   ロセッサ装置ト、 該比較結果を受信し、かつ該結果を該参照パラメータに
   従って評価して認容または拒否の決定を得る第二の主プ
   ロセツサと、 を含んでいる、自動光学検査装置。 α２＊許請求の範囲第αＤ項に記載の自動光学検査装置
   において、該像信号部分選択装置が該等価′域気１象信
   号に応答して該像信号の緩衝と利得制御とを行なうアナ
   ログ処理装置と、該処理された像信号に応答して該像信
   号をデジタル慮信号に変換する変換器にしてその作動速
   度、分離能、全縮尺、およびゼロオフセットは走査中の
   後続物体部分が該適当に造形された物体の特定部分に対
   応するときは該第二の従プロセツサにより可変に保たれ
   る変換器と、を含んでいる、自動光学検査装置０ ０３１　　％許請求の範囲第凹項または第００項に記載
   の自動光学検査装置において、該第−および第二主プロ
   セツサが同一の王プロセッサであり、かつ該第−および
   第二従プロセツサが同一のプロセッサである自動光学検
   査装置。 ■　一連の照明された逐次出現する実質上相似な物体を
   検査する自動光学検査装置であって、該物体が参照物体
   から得られるある数の参照特徴と比較されて試験中の物
   体を認容するか拒否するかの決定がなされる自動光学検
   査装置にして、該参照物体上の該参照特徴を指定し、か
   つある数の参照特徴パラメータを光学的に指示する光学
   既定プログラム装置と、 視界内の物体の完全なビデオ像を得るための特定な視界
   を有し、かつ該ビデオ像を等価電気像信号に変換する映
   １象兼ビデオ信号発生装置と、該像信号に応答して該像
   信号を処理し、かつ後の処理のため該像信号の部分を選
   択する信号処理兼ゲート装置と、 試験中の物体からの該像信号の該選択された部分を対応
   の参照信号と比較して該選択された像信号および対応の
   参照信号の間の相似性の表示を与える比較評価装置と、 該比較評価装置により示された相似性を検討して検査中
   の物体を認容するか拒否するかを決定する制御装置と、 を含む自動光学検査装置。 ｔｔＳ　　特許請求の範囲第０４項に記載の自動光学検
   査装置にしてさらに、該信号処理兼制御装置からの像信
   号が将来解析のために呼出しできるように実時間に該像
   信号を記憶するための像信号記憶装置を含む自動光学検
   査装置。 αｅ　特許請求の範囲第０４１項に記載の自動光学検査
   装置において、該参照物体に固定され得る目標体を該光
   学既定プログラム装置が含んでおり、該目標体は該参照
   特徴パラメータを与える光学的に読取可能な複数の見出
   しと該参照特徴が光学的に走査され得るための窓とを含
   んでいる、自動光学検査装置。 ＋１７）　　特許請求の範囲第１項に記載の自動光学検
   査装置において、該光学既定プログラム装置によって指
   定された該参照特徴パラメータのうちに各参照特徴の規
   定位置と、各参照特徴の光学的特性と、各特徴が検討さ
   れるときの許容限界に関する情報とが含まれている自動
   光学検査装置。 ａ８　　特許請求の範囲第ａｅ項に記載の自動光学検査
   装置において、該目標体が長方形であり、さらに光学的
   に読取り可能な見出しが 該目標体の外縁に沿って配置された複数の離隔された歯
   にしているいろの歯幅と予定のパターンに配置された間
   隔とを有している歯と、該目標体表面上における光学的
   反射率変化域の組合せと、 を含んでいる、自動光学検査装置。 〇９　　特許請求の範囲第ｕ項に記載の自動光学検査装
   置において、該目標体の平行な縁上の歯のパターンが同
   一である自動光学検査装置。 囚　特許請求の範囲第賭項に記載の自動光学検査装置に
   おいて、該目標体表面上の光学変化域が該参照特徴限界
   情報を与えるための限界域を含んでいる自動光学検査装
   置。 Ｑυ　特許請求の範囲第ａ４項に記載の自動光学検出装
   置において、該目標体表面上の該光学変化域が低反射率
   領域と高反射率領域とを有し、該領域が該目標体の幅に
   沿って存在する低反射率から高反射率への変化を有して
   おり、該変化は該窓の仮想的な水平二等分線に一致して
   おり、かつ該光学変化域は該窓の仮想的な鉛直二等分線
   上に中心づけられた複数の信頼片を含んでおり、高反射
   率領域にある該信頼片は低反射率を有するが低反射率領
   域にある該信頼片は高反射率を有している、自動光学検
   査装置。 勝　特許請求の範囲第０８項に記載の自動光学検査装置
   において、該窓が長方形である自動光学検査装置。 ｃ！３１　　特許請求の範囲第００項に記載の自動光学
   検査装置において、該目標体が円形であり、かつさらに
   該光学的に読取可能な見出しが 該目、標体の表面上に配置された、かつ半径方向に延び
   る複数の離隔された棒にして該目標体の外縁から中心に
   向って予定の第一距離だけ延びている棒と、 該目標体中心から外方へ予定の第二距離だけ延びる複数
   の同心的かつ離隔された環と、を含んでいる、自動光学
   検査装置。 Ｑ４　　特許請求の範囲第（ハ）項に記載の自動光学検
   査装置において、該窓が円形であり、かつ該目標体の中
   心に配置されている、自動光学検査装置。 四　特許請求の範囲第０４１項に記載の自動光学検査装
   置において、該映像装置が 映像レンズと、 複数の光学−電子感知器にして該映像レンスが一つの像
   を該感知器上に結像すると該感知器が該像を等価電子信
   号に変換する光学−電子感知器と を含んでおり、さらに該知能処理兼制御装置により与え
   られるタイミング信号によって該感知器が制御される、
   自動光学検査装置。 ０６）特許請求の範囲第四項に記載の自動光学検査装置
   において、該光学−電子感知器が光学的感知器列を含ん
   でいる自動光学検知装置。 （２、特許請求の範囲第（２５１項に記載の自動光学検
   査装置において、該光学−電子感知器が光学的感知器の
   鉛直列を含む自動光学検査装置。 賭　特許請求の範囲第（１４＋項に記載の自動光学検査
   装置において、該信号処理兼ゲート装置が該電気像信号
   の緩衝および利得制御を与えるためのアナログ信号処理
   装置と、 該電気像信号を等価なデジタル像信号に変換するための
   可変アナログ−デジタル変換装置にして該知能処理兼制
   御装置により与えられる作動速度信号、分解能信号、全
   スケール値信号、およびゼロ値信号に応答する変換器と
   、該参照物体上の該参照特徴に対応する等価ナノタル１
   象信号部分を後の処理のため選択的にゲート通しをする
   信号選択装置と、 を含んでいる、自動光学検査装置。 （ハ）特許請求の範囲第（１４１項に記載の自動光学検
   査装置において、該知能処理兼制御装置が該映像兼ビデ
   オ信号発生装置と該参照信号記憶装置と、該信号処理兼
   ゲート装置と該比較評価装置とを制御するための、かつ
   該比較評価装置から得られた相似性の表示を処理するた
   めの従処理兼制御装置と、 該従処理兼制御装置に命令を与えて参照特徴および参照
   パラメータデータを処理することおよび試験中の物体か
   らのデータを処理することを監督するための、かつ相似
   性データの処理済み表示を受信するための、かつそれに
   関して認容または拒否を決定するための主プロセツサ装
   置と、 を含んでいる、自動光学発生装置。 圓　特許請求の範囲第αを項に記載の自動光学検査装置
   にしてさらにゲート通過済みデジタル像信号の質を増補
   するためのテジタ？し処理装置を含み、該テソタル処理
   装置が該信号処理兼制御装置からのゲート通過済みデジ
   タル像信号を受信し、かつ、該比較評価装置に対し該増
   補されたデジタル像信号を与える、自動光学検査装置。 ６υ　一連の照明された視覚的に相似な物体が検査され
   、認容され、または拒否される自動光学検査法であって
   、 適当に造形された物体の選択された部分を特定する段と
   、 該適当に造形された物体の該選択された部分からのデー
   タを解析して各選択された部分について参照パラメータ
   を導出する段と、 後続の物体からの選択されたデータを該参照パラメータ
   と比較する段にして該選択されたデータが該適当に造形
   された物体の該選択された特定部分に対応した各後続物
   体部分から発生しているデータである比較段と、 該比較結果を評価して認容または拒否の決定をする段と
   、 を含む自動光学検査法。 Ｃ（３特許請求の範囲第６υ項に記載の自動光学検査法
   において、適当に造形された物体上の部分を特定する段
   が 検査すべき各物体部分上に目標体を置く段を含み、該目
   標体が光学的に読取可能な見出しを該物体部分を光学的
   に走査し得る窓とを有している、 自動光学検査法Ｏ 關　特許請求の範囲第６υ項に記載の自動光学検査法に
   おいて、該データ解析段が 後続物体からのデータ収集を制御するための一組の命令
   を指定する段を含む、 自動光学検査法０ 図　一連の照明された逐次出現する視覚的に相似な物体
   が参照物体と比較され、かつ検査中の物体を認容すべき
   か拒否すべきかの決定がなされる自動光学検査法であっ
   て、 該参照物体から光学的にある数の参照特徴およびこれら
   に対応の参照特徴の仕様と位置とを指定する段と、 該指定された光学的参照特徴および参照パラメータを等
   価電気デジタル参照信号に変換する段と、 該デジタル参照信号を知能処理兼制御装置にて処理する
   ことにより該参照特徴について位置、許容限界、および
   光学的表現可能な情報を得る段と、 検査中の物体の完全なビデオ像から等価な電気像信号を
   得る段と、 該像信号がデジタル型式に変換されるように、かつ該参
   照特徴の位置に対応した該像信号部分が後の処理に備え
   て選択されるように、該像信号を処理しゲート通しさせ
   る段と、 該選択されたデジタル像信号を対応のデジタル参照信号
   に比較して該二つの信号間の相似性を得る段と、 該参照特徴パラメータに従って該相似性を解析して認容
   または拒否の決定を得る段と、を含む自動光学検査法。 ８つ　一連の照明された逐次出現する視覚的に相似な物
   体が検査されて認容されまたは拒否される自動光学検査
   法であって、 一つの物体を参照物体としこれに対して他のすべての物
   体が比較されるように該一つの物体を選択する段と、 該参照物体上の特定の特徴を光学的に特定する段にして
   各該参照特徴部上に該目標体を置くことにより検討がな
   され、かつ該目標体が該特定の特徴を光学的に走査し得
   る窓とさらに光学的に符号化された情報とを有している
   、光学的特定段と、 該参照物体を走査して各目標体窓内の各目標体および参
   照特徴から情報を得る段と、該目標体情報および該参照
   特徴情報を解析する段と、 検査中の物体を評価するに際して使用すべき−組のタイ
   ミング命令、制御命令、および処理命令と、−組の参照
   データとを指定する段と、各物体のビデオ像の等価電気
   像信号が得られるように該命令の組に従って検査すべき
   物体を走査する段と、 各目標体窓により指定された参照物体の部位に対応した
   検査物体部位から発生される該像信号の部分が選択され
   るように、該命令の組に従って該電気像信号を処理する
   段と、 該物体像の該選択された部分を該参照データの組と比較
   する段と、 該比較結果を該命令の組に従って計画して認容または拒
   否の決定を得る段と、 を含む自動光学検査法。