JPS5828708B2 - 質量分析装置 - Google Patents

質量分析装置

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JPS5828708B2
JPS5828708B2 JP55076186A JP7618680A JPS5828708B2 JP S5828708 B2 JPS5828708 B2 JP S5828708B2 JP 55076186 A JP55076186 A JP 55076186A JP 7618680 A JP7618680 A JP 7618680A JP S5828708 B2 JPS5828708 B2 JP S5828708B2
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JP
Japan
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magnetic field
circuit
mass spectrometer
analysis
signal
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JP55076186A
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English (en)
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JPS573360A (en
Inventor
純一郎 庄田
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Jeol Ltd
Original Assignee
Nihon Denshi KK
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02—Details
    • H01J49/20—Magnetic deflection

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は分析用磁場を発生する電磁石装置を備えた質量
分析装置に関し、特に外部から到来する外来磁力線によ
り生じる分析用磁場の変動に基づく悪影響を除くことの
できる質量分析装置に関するものである。
質量分析装置の分析用磁場は装置が高分解能になる程強
度の変動が小さいことが要求される。
そこで従来から磁場内にボール素子等の磁場強度検出素
子を配置し、該素子からの検出信号を基準信号と比較し
、その差が零になる様に励磁電流を制御し、磁場強度が
常に一定になる様にしている。
この様な従来方法では比較的大きなゆっくりした磁場変
動を打消すことはできる。
ところが例えば電源トランス等分析磁場外から分析用磁
場を発生する電磁石のヨーク、励磁コイル等に飛びこむ
外来磁力線による分析磁場の微小な変動を打消すために
は制御系のループ利得を増加させる必要があり、系の発
振を招く恐れがあるため限界がある。
本発明はこの点に鑑みてなされたものであり、分析用磁
場を発生する電磁石の磁気回路中に検出コイルを、又磁
気回路外のイオン通路上に補正用磁場発生手段を夫々配
置し、検出コイルの出力信号を積分して補正用磁場発生
手段に供給することにより、イオンが分析用磁場の変動
により受けた悪影響を除（ことのできる質量分析装置を
提供することを目的としている。
以下図面を用いて本発明を詳述する。
図面は本発明の一実施例を示す構成図である。
同図において１，２は分析用磁場を発生するための磁極
、３，４はポールピース、５，６は励磁コイル、１は磁
場制御電源である。
ポールピース３゜４間に形成される分析用磁場には図示
しないイオン源からのイオン■が入射し、質量電荷比に
応じて偏向されて磁場外へ出射する。
又該磁場内にはホール素子等の磁場強度検出素子８が配
置され、該素子８から得られる検出信号は増巾器９を介
して前記磁場制御電源Ｉへ送られる。
該制御電源１は検出信号と基準信号との差信号に基づい
てコイル５，６へ供給する励磁電流を制御するため、ポ
ールピース間に形成される分析用磁場は一定強度に保持
されることになる。
この様な制御系では外来磁力線等に起因する分析磁場の
微小な変動を打消すことができないことは先に述べた通
りである。
そこで本発明では以下の様な構成を付加している。
即ち１０は分析磁場を発生する電磁石の磁気回路中に配
置され、分析磁場の変動を検出するための検出コイル、
１１は上記分析磁場の後方イオン通路上に配置され、該
分析磁場と同−又は反対方向の補正磁場を発生するため
の補助コイルである。
上記検出コイル１０から得られた検出信号は増巾器１２
を介して積分回路１３へ送られる。
そして該積分回路１３の出力は移相回路１４を介して上
記補助コイル１１へ電流を供給するための駆動回路１５
へ送られる。
斯かる構成において検出コイル１０から得られｄφ る検出信号は分析磁場φの変化率−に対応したｔ ものであり、該信号を積分した積分回路１３の出力とし
ては磁場φの変化に対応した信号が得られる。
該信号は厳密には７積分回路１３、増巾器１２等により
磁場φの変化とは位相ずれが発生しているため、位相回
路１４により位相ずれが零となる様に調整された後駆動
回路１５を介して補助コイル１１へ供給される。
該補助コイル１１は該信号に基づいて、分析磁場の変動
によりイオンが受けた誤った偏向を打消す方向の（逆相
）の磁場を発生するため、該補助コイル１１を通過した
イオンは上記誤った偏向が打消されたものとなる。
尚コイル１１の巻回方向が逆の場合は駆動回路１５又は
増巾器１２で信号を反転させるか、或いは移相回路の移
相量を更に１８００ずらせば良い。
父上記実施例では補助コイル１１を分析磁場の後方に配
置したが、前方に配置するようにしても良いし、検出コ
イル１０の位置も電磁石の磁気回路中であればどこに配
置しても良い。
以上詳述した如く本発明によれば分析用磁場の変動を別
個に設けた補助コイルで打消すため、微小変動を早い応
答速度で打消すことができる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の一実施例を示す構成図である。 １．２：磁極、３，４：ボールピース ５，６：励磁コ
イル、１０：検出コイル、１１：補助コイル、１３：積
分回路、１４：移相回路。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ イオンを質量電荷比に応じて分離するための分析用
    磁場を発生する電磁石装置を備えそ質量分析装置におい
    て、上記電磁石装置の磁気回路中に配置される検出コイ
    ルと、該電磁石装置の磁気回路外のイオン通路に配置さ
    れる補正磁場発生手段と、上記検出コイルからの検出信
    号を積分し、上記補正磁場発生手段へ供給するための積
    分回路とを設けたことを特徴とする質量分析装置。
JP55076186A 1980-06-06 1980-06-06 質量分析装置 Expired JPS5828708B2 (ja)

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JPS573360A JPS573360A (en) 1982-01-08
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60121253U (ja) * 1984-01-23 1985-08-15 日本電子株式会社 質量分析装置
JPS63127423A (ja) * 1986-11-17 1988-05-31 Hosokawa Katsupanshiyo:Kk 磁気記録媒体

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JPS573360A (en) 1982-01-08

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