JPS5828707A - 光導波路の作製方法 - Google Patents
光導波路の作製方法Info
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- JPS5828707A JPS5828707A JP56126566A JP12656681A JPS5828707A JP S5828707 A JPS5828707 A JP S5828707A JP 56126566 A JP56126566 A JP 56126566A JP 12656681 A JP12656681 A JP 12656681A JP S5828707 A JPS5828707 A JP S5828707A
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- glass
- refractive index
- plate
- optical waveguide
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Links
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B23/00—Re-forming shaped glass
- C03B23/20—Uniting glass pieces by fusing without substantial reshaping
- C03B23/203—Uniting glass sheets
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光集積回路などの製造（こ必要な光導波路の製
造方法に関する。
造方法に関する。
ガラス光導波路の従来の製造方法は、光学研摩されたガ
ラス基板上（こスパッタリングもしくは蒸着を施すこと
により、また石英系の場合にはＯＶＤ法昏こよって実施
されていた。スパッタリング法または蒸着法によって形
成されたガラス膜は、極めて光伝搬損失が大きかった。
ラス基板上（こスパッタリングもしくは蒸着を施すこと
により、また石英系の場合にはＯＶＤ法昏こよって実施
されていた。スパッタリング法または蒸着法によって形
成されたガラス膜は、極めて光伝搬損失が大きかった。
導波路の上部に形成するクラツド膜もスパッタリング、
蒸着、ＣｖＤによるので、導波路とクラツド膜の界面の
凹凸が大きく、このため一般に伝搬損失が／ −！；
ｃｉＢ／ｃｍと極めて大きいという欠点があった。
蒸着、ＣｖＤによるので、導波路とクラツド膜の界面の
凹凸が大きく、このため一般に伝搬損失が／ −！；
ｃｉＢ／ｃｍと極めて大きいという欠点があった。
本発明はこれらの欠点を除去するため、低損失な光導波
路を容易に、かつ大量に得ることを目的としている。以
下図面により本発明の詳細な説明する。
路を容易に、かつ大量に得ることを目的としている。以
下図面により本発明の詳細な説明する。
第１図は導波路用ガラス母材を示し、ｌはコア用母材、
コはクラッド用ガラス母材であり、それぞれ５１０２を
主成分とした多成分ガラスである。コア用ガラス母材の
屈折率は／、！；’ｌ！；、クラッド用ガラス母材の屈
折率は／、！；２１であり約／％の屈折率差を有する。
コはクラッド用ガラス母材であり、それぞれ５１０２を
主成分とした多成分ガラスである。コア用ガラス母材の
屈折率は／、！；’ｌ！；、クラッド用ガラス母材の屈
折率は／、！；２１であり約／％の屈折率差を有する。
またコアおよびクラッド母材の熱膨張率はほとんど差が
なく、約／、ＯＸ ／ｆ” 、変形温度は約ｓｏｏ”ｃ
である。
なく、約／、ＯＸ ／ｆ” 、変形温度は約ｓｏｏ”ｃ
である。
ガラス＋７）組成は５１０２を主成分とし、Ｇｅｍ２．
Ｎａ、Ｏ。
Ｎａ、Ｏ。
ｃａｏ 、Ｌ１２０ ＋ ＭｇＯを数ｍａｔ％から数十
ｍｏ！％含んでいる。寸法はそれぞれコア用母材ｌが〃
×３θ×／（厚さ） ｍｍ、クラッド用母材２が〃×３
０×２（厚さ） ｔｘｍである。
ｍｏ！％含んでいる。寸法はそれぞれコア用母材ｌが〃
×３θ×／（厚さ） ｍｍ、クラッド用母材２が〃×３
０×２（厚さ） ｔｘｍである。
母材ガラスはるつぼを用いた多成分ガラスの作製方法を
用いて作製しく参考文献：高橋志部他Ｐｒｅｐａｒａｔ
ｉｏｎ ｏｆ Ｌｏｗ Ｌｏｓｓ Ｍｕｌｔｉ−Ｏｏｍ
ｐｏｎｅｎｔ ＧｌａｓｓＦｉｂａｒ英文月報ＶＯ１，
２７、ＮＯ８，ｌ −２、／り７り）、切断および研摩
により所定の寸法とした。
用いて作製しく参考文献：高橋志部他Ｐｒｅｐａｒａｔ
ｉｏｎ ｏｆ Ｌｏｗ Ｌｏｓｓ Ｍｕｌｔｉ−Ｏｏｍ
ｐｏｎｅｎｔ ＧｌａｓｓＦｉｂａｒ英文月報ＶＯ１，
２７、ＮＯ８，ｌ −２、／り７り）、切断および研摩
により所定の寸法とした。
第一図はコアおよびクラッド用ガラスを一体化するため
の工程を示したものである。第一図（ａ）に示すように
、７枚のコア用ガラス／を一枚のクラッド用ガラス２で
挾み込む。形状を保持するため、たとえばちょうど入る
ような寸法を有するカーボンの鋳型３に挿入し、第一図
（ｂ）に示すように、電気炉≠で約≦００°Ｃに加熱し
て一体化する。このとぎコアとクラッドの熱膨張係数が
等しいので、割れは生じない。次にこの光導波路用母材
を第３図に示すように、二つのカーボン抵抗ヒータ５の
間に入れ、約７００″Ｃに加熱するととも（こ、カーボ
ン抵抗ヒータｊに荷重を一様に加えること（こよって、
コアの厚さ１００μｍ１片側クラッドの厚さ、２００μ
ｍの寸法を有する光導波路を作製する。
の工程を示したものである。第一図（ａ）に示すように
、７枚のコア用ガラス／を一枚のクラッド用ガラス２で
挾み込む。形状を保持するため、たとえばちょうど入る
ような寸法を有するカーボンの鋳型３に挿入し、第一図
（ｂ）に示すように、電気炉≠で約≦００°Ｃに加熱し
て一体化する。このとぎコアとクラッドの熱膨張係数が
等しいので、割れは生じない。次にこの光導波路用母材
を第３図に示すように、二つのカーボン抵抗ヒータ５の
間に入れ、約７００″Ｃに加熱するととも（こ、カーボ
ン抵抗ヒータｊに荷重を一様に加えること（こよって、
コアの厚さ１００μｍ１片側クラッドの厚さ、２００μ
ｍの寸法を有する光導波路を作製する。
コアの厚さの測定は圧力を加えるカーボン抵抗炉の上下
の移動量をモニタすればよい。
の移動量をモニタすればよい。
多層化の場合には第グ図に示すように、コア用板ガラス
とクラッド用板ガラスを交互に重ねて前述と同様にこれ
らを加熱一体化した後、カーボン抵抗ヒータによって圧
延する。
とクラッド用板ガラスを交互に重ねて前述と同様にこれ
らを加熱一体化した後、カーボン抵抗ヒータによって圧
延する。
なおこの実施例では母材ガラスとして多成分ガラスを使
用したが、クラッド用母材として石英ガラス、コア用母
材としてチタンを添加した石英ガラスを使用することＱ
こより、コアの屈折率をクラッドの屈折率より高め、か
つ熱膨張係数を等しくして光導波路を作製することもで
きる。
用したが、クラッド用母材として石英ガラス、コア用母
材としてチタンを添加した石英ガラスを使用することＱ
こより、コアの屈折率をクラッドの屈折率より高め、か
つ熱膨張係数を等しくして光導波路を作製することもで
きる。
以上説明したように、本発明による光導波路の作製方法
によれば、導波路構造を有する母材を引き伸ばすことに
より、所定の寸法を有する光導波路を大量に作製するこ
とができ、得られた光導波路は、延伸効果によってコア
とクラッドの界面が極めて平滑になり、伝搬の散乱が小
さいので、低損失化が可能になる。
によれば、導波路構造を有する母材を引き伸ばすことに
より、所定の寸法を有する光導波路を大量に作製するこ
とができ、得られた光導波路は、延伸効果によってコア
とクラッドの界面が極めて平滑になり、伝搬の散乱が小
さいので、低損失化が可能になる。
また多層化による効果は光導波路の立体回路への応用が
平面的なものから立体化になり、素子の高密度な集積化
を図ることができる。
平面的なものから立体化になり、素子の高密度な集積化
を図ることができる。
・第１図はコアおよびクラッド用母材の斜視図、第２図
はコアおよびクラッド用母材を一体化するための工程図
、第３図は光導波路作製のための引ぎ伸ばしの概略図、
第ｑ図は多層化した光導波路を示す斜視図である。 ／−・・コア用母材、２・・・クラッド用母材、３・・
・カーボン鋳型、≠・・・電気炉、５・・・カーボン抵
抗炉。 特許出願人 日本電信電話公社
はコアおよびクラッド用母材を一体化するための工程図
、第３図は光導波路作製のための引ぎ伸ばしの概略図、
第ｑ図は多層化した光導波路を示す斜視図である。 ／−・・コア用母材、２・・・クラッド用母材、３・・
・カーボン鋳型、≠・・・電気炉、５・・・カーボン抵
抗炉。 特許出願人 日本電信電話公社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 所定の寸法を有する屈折率の異なる３枚の板状ガ
ラスの互いに合わせる面を光学研摩した後、最も屈折率
の高い板状ガラスを中心とし、両側に屈折率の低いガラ
スを配し、電気炉をこより加熱して一体化せしめ、次に
この板状ガラスを加熱炉の間に挾み、板状ガラスをガラ
スの軟化点以上に加熱すると同時に圧力を加え〈所定の
寸法にガラス板を引き伸ばすことを特徴とする光導波路
の作製方法。 ２、特許請求の範囲第１項記載の光導波路の作製方法に
おいて、前記屈折率の異なる３枚の板状ガラスの代わり
（こ、コアに相当する屈折率の高い板ガラスおよびこれ
より屈折率の低い板ガラスを用い、これらの互いに合わ
せる面を光学研摩した後、前記屈折率の高い板ガラスと
これより屈折率の低い板ガラスを交互に多層化して配し
、電気炉Ｇこより加熱して一体化せしめ、次にこの板ガ
ラスを加熱炉間に挾み、前記多層化した板ガラスをガラ
スの軟化点以上に加熱すると同時に圧力を加え、所定の
寸法に前記多層化した板ガラスを引き伸ばすことを特徴
とする光導波路の作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56126566A JPS5828707A (ja) | 1981-08-14 | 1981-08-14 | 光導波路の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56126566A JPS5828707A (ja) | 1981-08-14 | 1981-08-14 | 光導波路の作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5828707A true JPS5828707A (ja) | 1983-02-19 |
Family
ID=14938327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56126566A Pending JPS5828707A (ja) | 1981-08-14 | 1981-08-14 | 光導波路の作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5828707A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5858051A (en) * | 1995-05-08 | 1999-01-12 | Toshiba Machine Co., Ltd. | Method of manufacturing optical waveguide |
| JPH11125727A (ja) * | 1997-10-22 | 1999-05-11 | Nhk Spring Co Ltd | 光導波路の製造方法 |
-
1981
- 1981-08-14 JP JP56126566A patent/JPS5828707A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5858051A (en) * | 1995-05-08 | 1999-01-12 | Toshiba Machine Co., Ltd. | Method of manufacturing optical waveguide |
| JPH11125727A (ja) * | 1997-10-22 | 1999-05-11 | Nhk Spring Co Ltd | 光導波路の製造方法 |
| US6122934A (en) * | 1997-10-22 | 2000-09-26 | Nhk Spring Co., Ltd. | Hot Isostatic pressing of a planar optical waveguide |
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