JPS582701A - 測定台の連結装置 - Google Patents

測定台の連結装置

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JPS582701A
JPS582701A JP10369682A JP10369682A JPS582701A JP S582701 A JPS582701 A JP S582701A JP 10369682 A JP10369682 A JP 10369682A JP 10369682 A JP10369682 A JP 10369682A JP S582701 A JPS582701 A JP S582701A
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JP
Japan
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drive
sample platform
connecting bridge
platform
drive wheel
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Pending
Application number
JP10369682A
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English (en)
Inventor
カ−ル・ジ−・ヴオルク
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SENPURETSUKUSU CORP
Original Assignee
SENPURETSUKUSU CORP
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/24Base structure
    • G02B21/26Stages; Adjusting means therefor

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 従来の画定台には、米国特許@ 4,189,955号
明細書(1980,2,26) (特願昭53−457
52号参照)に開示されたものが會會れ、その技術をこ
の明細書において引用することにする。前記技術におい
ては、駆動装置は駆動ノ(−を備え、各駆動パーは長手
方向のテーノ(端部を有し、測定台のサンプルプラット
ホーム及び基板に可動方向に取付けられると共に1、回
転作P声れ子制御装置に同軸に連結されている〇一方の
制御装置の回転により、プラットホームだけが一軸に沿
って・駆動され、他方の制御装置の回転によシ、ずンプ
ルプラットホームに連−された〒関プレートが、別の軸
に・沿って駆動されゐ。駆動パーの端部に形成された板
ばねが、駆動パーのテーパ端部を駆動輪の溝へ保合させ
て、その関O摩擦係会を強くしている。更に、駆動パー
のテーパ端部の各港は、サンプルプラットホームがいず
れかの軸心に沿って、いずれかの方向にその限界まで駆
動された時、駆動パーを駆動輪から離脱させるような形
状にされている。
前述の従来の測定台における、サンプルプラットホーム
と基板の間の連結は、前記引用@細書第5図に、例えば
210 、211で示されるように、”#F形ボールベ
アリングeレース装置な備える中間プレートによ〕行な
われている。中間も提供している。中間プレートによ)
、測定台0IILさが増大す、ると共に、重量及びコス
トも増大する。
この発明の好ましい実施例においては、基板に対するサ
ンプルプラットホームの連結は、2組の7字溝からなる
ボールベアリング・レースを有する一部片連結ブリッジ
によシ行なわれ、前記レースは前記ブリッジの対向内端
116に沿って配置されて、サンプルプラットホームを
基板に対して、平行面関係で可動に連結しているOこの
発明の連結ブリッジによシ、基板に対するサンプルプラ
ットホームの適5合、した位置決めが行なえる。連結ブ
リッジの一組のレースに対応する端部に沿って、7字溝
からなるl−ルベアリング・レースを有するサンプルプ
ラットホームは、測定台の第1軸心Kaう移動のために
、前記ブリッジの一平面の対向V字#lI#/c包含さ
れ九ボールベアリングに絨置適れる。1ンプルプラツト
ホームと連結ブリッジの組・立体は%1111移動軸心
に直交する第2軸心に沿って移動するグに載置される。
連結ブリッジによL 711を有する駆動輪及び関連手
動制御装置用マウントが提供される。
第1図において、基部12は測定台を利用する顕微鏡又
は他の装置の枠に、固定的11CIIR付けられている
。この取付は構造は、この発明を明瞭に図示するために
、省略しである0サンツル用プラツトホーム10は連結
ブリッジ11によ〕、基板12に連結されている0連結
ブリツジ11は好ましくは一部片からなると共・に、そ
の対向内端31に沿ってV字縛からなるボールベアリン
グ・レース21が設けられているO前記レース21は端
部!i1に沿って配置されて、サンプル用プラットホー
ム10と基板12の外端部2!i、25に沿って配置さ
れた類似のV字溝レース27が、ボールベアリングの包
囲体を形11は基板121に、それぞiボールベアリン
グ22上で載置され“る。
一実施例において、駆動パー13は取付は金具18によ
り、サンプル用プラットホーム10と基板12KOJ動
に取付けられる。取付は金具18は保持体28とカム2
9からなり、それぞれ機械ねじによシ取付けられている
。カム29が回転されると、各駆動パーの板ばね部の引
張υカが調整される0 駆動パー15は、前述引用明細書の取付は金具220 
、221と類似の取付は金具17によシ、サンプル用プ
ラットホーム10及び基板12に取付けられる。もし取
付は金具唱9が利用される場合に、連結ブリッジ11と
駆動パー1sの間によシ多くの間隔“か必要な場合は、
両駆動パー13tjlE付けるために、取付は金具18
又は    ′。
1?が利用される。
レース21はボールベアリング22を受容すべく、ブリ
ッジ110対向する平行内端部511Ic沿りて配置さ
れている。同*Ks v字溝レース27がサンプル用プ
ラットホーム1oの外端25及び基板12の外端25に
沿って設けられて、ボールベアリング22を受容するよ
うになっている。従って、基板12が第5図に示される
ように、連結ブリッジ11に組立てられると、ボールベ
アリング22は、V字溝レース21.27によ〕形成さ
れた2重V字溝チャンネルに包含される。
手動制御装置16を回転することによシ、駆動パー1i
SK連結された駆動輪(図示しない)に回転トルクが与
えられて、サンプル用プラットホーム10が軸心40に
沿って、いずれカ一方向に直−移動される。手動制御装
置15を回転することKよシ、第2駆動パーll5K連
結された駆動輪30に回転トルクが与えられ、連結ム1
0が前述のボールベアリング・レース装置によ)%ブリ
ッジ11に連結されているから、サンプル用プラットホ
ーム104軸心41に沿って、いずれかの方向に移動さ
れる。
第6図において、ボールベアリング2’Zti整合装置
24により、V字溝レースに圧縮されて、すべてのボー
ルが7字溝内を、そして相互に対して一様に走行し、従
ってサンプル用プラットホーム10、基板12、及び連
結ブリッジ11が滑らかに相対移動するようにしている
。ボールベアリング22に適用される予め負荷される圧
縮力は、台の移動時O揺動及びパックラツシエを減少す
る作用も有する。整合装置24は、実質的に各v!#溝
の全長にわ九って延びると共に、硬化スチールシートか
らな夛、且つ所望の圧縮力を生じさせるために、ボール
より大きい一率半径を有している。コレット26は幾つ
かのボールベアリングが、保持装置24の長手方向軸心
において、相互に移動することを単Kvd=止するよう
になっているO V#Pt1jt備JLhg11J輪1手111JII”
lllimt 15 。
16、及び駆動パー13は、前述引用明細書に開示され
るものと類似のものである。駆動パー15の端部に形成
され丸板ばね14は、駆動パーとそれぞれの7字溝を備
える駆動輪との関に抑圧力を生じさせるために、九わま
されている〇板ばねのたわみの調整は、前述のようにカ
ム18によシ行なわれる。
前述引用明細書に記載されるのと同様に、サンプル用プ
ラットホーム10と連結ブリッジ110走行を終了させ
るために、停止体が設けられている。移動サンプル用プ
ラットホーム10又は連結ブリッジ11が前記停止体に
係合すると、前述引用明細書に開示されるのと同様に追
加トルクが適用されるとき、関連、駆1動パー18は対
応する駆動輪から離脱事れる。
【図面の簡単な説明】
第1図は−この発明01ffましい実施例による連結ブ
リッジを備える固定tp*斜視図、第2図社第1図の測
定台に利用され4連結ブリツジの倒立面図、第5図は第
2図の連結ブリッジの底面図、第4図は第1図の測定台
の底面図、第5図は第1図の測定台の倒立面図、第6′
図はボールベアリング装置を示す丸めの、311図の測
定台の基板及び連結ブリッジのV字溝レースによシ形成
された、2重V字溝チャンネルの拡大側立面図である。 10・・・をンプル用プラットホーム 11・・・連結ブリッジ 12“・・・基板 21・・・連結ブリッジ・レース 22Φ・・ボールベアリング 27・−基板及びサンプル用プラットホーム・レース 出願人代理人  古  谷     ・FIO,4FI
O,5

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 対向する平行外端に沿うて配置されたレースを備え
    る基板、 対向する千行漬端に沿り スを備えるサンプル用プラットホーム 一平面内で対向する平行内端Ilc沿って配置され九レ
    ースと、第2平−内で対向する平行内端Keりて配置さ
    れ九レースを備える連結ブリッジ。 前記tングル用プラッ 結プカ゛ツジと基板とが、滑らかに相対移動するようも
    前記基板及びずングル用プラットホームと前記連結ブリ
    ッジとの組合わせによ〕形成され是、包囲体内に配置さ
    れ九複数のボールベアリング、からなる測定台。 2 前記連結ブリッジに軸心方向に取付けられた溝路を
    備える第1駆動輪。 前記サンプル用プラットホームの第1移動軸心において
    、前記サンプル用プラットホ一部を備える第1駆動パー
    、 前記I11駆動バーをζ゛れに適用される回転トルクに
    応じて直線゛移動させるべく、前記第1駆動輸に軸心方
    向に連結させる第1手動回転制御装置、を含む特許請求
    のmim第1項に記載の測定台。 3 前記第1駆動輪と同軸に前記連結ブリッジに取付け
    られた、溝路を備えるII2駆動輪、前記サンプル用プ
    ラットホームの第2移動軸に平行に、前記基板に可動I
    IC取付けられると共に1前記第2駆動輪(DllIi
    llKjlil係合すべく長手方向テーパ端を備える籐
    2駆動パー1第2手動回転制御装置であうで、前記サン
    プル用プラットホーム、連結ブリッジ、第1及び第2駆
    動輪、及び第1及び第2手動回転制御装置を、前記第2
    制御装置に適用される及び第1駆動輪と共に%前記第2
    駆動輪に同軸に連結される制御装置を更に含む特許請求
    の範S第1項に記−の画定台。 4 板ばねが前記第1及び[2駆動パーの各端部に形成
    され。 前記第1及びj112駆動パーを、それぞれ前記サンプ
    ル用プラットホ−−ム及び基板に取付けるための取付は
    装置が、前記駆動パーをそれぞれのサンプル用プラット
    ホーム又は基板に、可動に固定する保持装置と、前記第
    1及び第2駆動パーの各端部に形成された板ばねに適用
    される力を調整する装置、を含む、特許請求の範囲第2
    又は嬉5項に記載の測定台。 5 前記をンプル用プラットホームが、その第1移i軸
    心において前記連結ブリッジに対して移動すると共和、
    前記t:/″プル用プラットホームがその第2移動軸心
    において移動している時は、前記連結ブリッジに対して
    静止しムである、特許請求の範囲第4項に記載の測定台
    。 7 前記レースが7字溝であると共に、前記ボールベア
    リングに圧縮力を適用する整合装置を含む、特許請求の
    範囲第1項に記載の画定台0 8 前記!合装置が前記ボールベアリングより大暑い曲
    率半径を有する、特許請求の範囲第7項に記載の測定台
JP10369682A 1981-06-23 1982-06-16 測定台の連結装置 Pending JPS582701A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US27648981A 1981-06-23 1981-06-23
US276489 1981-06-23

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS582701A true JPS582701A (ja) 1983-01-08

Family

ID=23056852

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10369682A Pending JPS582701A (ja) 1981-06-23 1982-06-16 測定台の連結装置

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JPS582701A (ja)
DE (2) DE3249661C2 (ja)
GB (1) GB2100879B (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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US4726806A (en) * 1984-08-14 1988-02-23 Hiroshi Hukuba Electric tooth-brush
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JPS5415761A (en) * 1977-04-15 1979-02-05 Semprex Corp Drive mechanism wherein measuring stand and others be improved

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Also Published As

Publication number Publication date
GB2100879B (en) 1985-10-02
DE3202197C2 (de) 1985-06-27
DE3249661C2 (de) 1985-06-27
DE3202197A1 (de) 1983-01-05
GB2100879A (en) 1983-01-06

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