JPS582701A - 測定台の連結装置 - Google Patents
測定台の連結装置Info
- Publication number
- JPS582701A JPS582701A JP10369682A JP10369682A JPS582701A JP S582701 A JPS582701 A JP S582701A JP 10369682 A JP10369682 A JP 10369682A JP 10369682 A JP10369682 A JP 10369682A JP S582701 A JPS582701 A JP S582701A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drive
- sample platform
- connecting bridge
- platform
- drive wheel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/26—Stages; Adjusting means therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
従来の画定台には、米国特許＠ ４，１８９，９５５号
明細書（１９８０，２，２６） （特願昭５３−４５７
５２号参照）に開示されたものが會會れ、その技術をこ
の明細書において引用することにする。前記技術におい
ては、駆動装置は駆動ノ（−を備え、各駆動パーは長手
方向のテーノ（端部を有し、測定台のサンプルプラット
ホーム及び基板に可動方向に取付けられると共に１、回
転作Ｐ声れ子制御装置に同軸に連結されている〇一方の
制御装置の回転により、プラットホームだけが一軸に沿
って・駆動され、他方の制御装置の回転によシ、ずンプ
ルプラットホームに連−された〒関プレートが、別の軸
に・沿って駆動されゐ。駆動パーの端部に形成された板
ばねが、駆動パーのテーパ端部を駆動輪の溝へ保合させ
て、その関Ｏ摩擦係会を強くしている。更に、駆動パー
のテーパ端部の各港は、サンプルプラットホームがいず
れかの軸心に沿って、いずれかの方向にその限界まで駆
動された時、駆動パーを駆動輪から離脱させるような形
状にされている。
明細書（１９８０，２，２６） （特願昭５３−４５７
５２号参照）に開示されたものが會會れ、その技術をこ
の明細書において引用することにする。前記技術におい
ては、駆動装置は駆動ノ（−を備え、各駆動パーは長手
方向のテーノ（端部を有し、測定台のサンプルプラット
ホーム及び基板に可動方向に取付けられると共に１、回
転作Ｐ声れ子制御装置に同軸に連結されている〇一方の
制御装置の回転により、プラットホームだけが一軸に沿
って・駆動され、他方の制御装置の回転によシ、ずンプ
ルプラットホームに連−された〒関プレートが、別の軸
に・沿って駆動されゐ。駆動パーの端部に形成された板
ばねが、駆動パーのテーパ端部を駆動輪の溝へ保合させ
て、その関Ｏ摩擦係会を強くしている。更に、駆動パー
のテーパ端部の各港は、サンプルプラットホームがいず
れかの軸心に沿って、いずれかの方向にその限界まで駆
動された時、駆動パーを駆動輪から離脱させるような形
状にされている。
前述の従来の測定台における、サンプルプラットホーム
と基板の間の連結は、前記引用＠細書第５図に、例えば
２１０ 、２１１で示されるように、”＃Ｆ形ボールベ
アリングｅレース装置な備える中間プレートによ〕行な
われている。中間も提供している。中間プレートによ）
、測定台０ＩＩＬさが増大す、ると共に、重量及びコス
トも増大する。
と基板の間の連結は、前記引用＠細書第５図に、例えば
２１０ 、２１１で示されるように、”＃Ｆ形ボールベ
アリングｅレース装置な備える中間プレートによ〕行な
われている。中間も提供している。中間プレートによ）
、測定台０ＩＩＬさが増大す、ると共に、重量及びコス
トも増大する。
この発明の好ましい実施例においては、基板に対するサ
ンプルプラットホームの連結は、２組の７字溝からなる
ボールベアリング・レースを有する一部片連結ブリッジ
によシ行なわれ、前記レースは前記ブリッジの対向内端
１１６に沿って配置されて、サンプルプラットホームを
基板に対して、平行面関係で可動に連結しているＯこの
発明の連結ブリッジによシ、基板に対するサンプルプラ
ットホームの適５合、した位置決めが行なえる。連結ブ
リッジの一組のレースに対応する端部に沿って、７字溝
からなるｌ−ルベアリング・レースを有するサンプルプ
ラットホームは、測定台の第１軸心Ｋａう移動のために
、前記ブリッジの一平面の対向Ｖ字＃ｌＩ＃／ｃ包含さ
れ九ボールベアリングに絨置適れる。１ンプルプラツト
ホームと連結ブリッジの組・立体は％１１１１移動軸心
に直交する第２軸心に沿って移動するグに載置される。
ンプルプラットホームの連結は、２組の７字溝からなる
ボールベアリング・レースを有する一部片連結ブリッジ
によシ行なわれ、前記レースは前記ブリッジの対向内端
１１６に沿って配置されて、サンプルプラットホームを
基板に対して、平行面関係で可動に連結しているＯこの
発明の連結ブリッジによシ、基板に対するサンプルプラ
ットホームの適５合、した位置決めが行なえる。連結ブ
リッジの一組のレースに対応する端部に沿って、７字溝
からなるｌ−ルベアリング・レースを有するサンプルプ
ラットホームは、測定台の第１軸心Ｋａう移動のために
、前記ブリッジの一平面の対向Ｖ字＃ｌＩ＃／ｃ包含さ
れ九ボールベアリングに絨置適れる。１ンプルプラツト
ホームと連結ブリッジの組・立体は％１１１１移動軸心
に直交する第２軸心に沿って移動するグに載置される。
連結ブリッジによＬ ７１１を有する駆動輪及び関連手
動制御装置用マウントが提供される。
動制御装置用マウントが提供される。
第１図において、基部１２は測定台を利用する顕微鏡又
は他の装置の枠に、固定的１１ＣＩＩＲ付けられている
。この取付は構造は、この発明を明瞭に図示するために
、省略しである０サンツル用プラツトホーム１０は連結
ブリッジ１１によ〕、基板１２に連結されている０連結
ブリツジ１１は好ましくは一部片からなると共・に、そ
の対向内端３１に沿ってＶ字縛からなるボールベアリン
グ・レース２１が設けられているＯ前記レース２１は端
部！ｉ１に沿って配置されて、サンプル用プラットホー
ム１０と基板１２の外端部２！ｉ、２５に沿って配置さ
れた類似のＶ字溝レース２７が、ボールベアリングの包
囲体を形１１は基板１２１に、それぞｉボールベアリン
グ２２上で載置され“る。
は他の装置の枠に、固定的１１ＣＩＩＲ付けられている
。この取付は構造は、この発明を明瞭に図示するために
、省略しである０サンツル用プラツトホーム１０は連結
ブリッジ１１によ〕、基板１２に連結されている０連結
ブリツジ１１は好ましくは一部片からなると共・に、そ
の対向内端３１に沿ってＶ字縛からなるボールベアリン
グ・レース２１が設けられているＯ前記レース２１は端
部！ｉ１に沿って配置されて、サンプル用プラットホー
ム１０と基板１２の外端部２！ｉ、２５に沿って配置さ
れた類似のＶ字溝レース２７が、ボールベアリングの包
囲体を形１１は基板１２１に、それぞｉボールベアリン
グ２２上で載置され“る。
一実施例において、駆動パー１３は取付は金具１８によ
り、サンプル用プラットホーム１０と基板１２ＫＯＪ動
に取付けられる。取付は金具１８は保持体２８とカム２
９からなり、それぞれ機械ねじによシ取付けられている
。カム２９が回転されると、各駆動パーの板ばね部の引
張υカが調整される０ 駆動パー１５は、前述引用明細書の取付は金具２２０
、２２１と類似の取付は金具１７によシ、サンプル用プ
ラットホーム１０及び基板１２に取付けられる。もし取
付は金具唱９が利用される場合に、連結ブリッジ１１と
駆動パー１ｓの間によシ多くの間隔“か必要な場合は、
両駆動パー１３ｔｊｌＥ付けるために、取付は金具１８
又は ′。
り、サンプル用プラットホーム１０と基板１２ＫＯＪ動
に取付けられる。取付は金具１８は保持体２８とカム２
９からなり、それぞれ機械ねじによシ取付けられている
。カム２９が回転されると、各駆動パーの板ばね部の引
張υカが調整される０ 駆動パー１５は、前述引用明細書の取付は金具２２０
、２２１と類似の取付は金具１７によシ、サンプル用プ
ラットホーム１０及び基板１２に取付けられる。もし取
付は金具唱９が利用される場合に、連結ブリッジ１１と
駆動パー１ｓの間によシ多くの間隔“か必要な場合は、
両駆動パー１３ｔｊｌＥ付けるために、取付は金具１８
又は ′。
１？が利用される。
レース２１はボールベアリング２２を受容すべく、ブリ
ッジ１１０対向する平行内端部５１１Ｉｃ沿りて配置さ
れている。同＊Ｋｓ ｖ字溝レース２７がサンプル用プ
ラットホーム１ｏの外端２５及び基板１２の外端２５に
沿って設けられて、ボールベアリング２２を受容するよ
うになっている。従って、基板１２が第５図に示される
ように、連結ブリッジ１１に組立てられると、ボールベ
アリング２２は、Ｖ字溝レース２１．２７によ〕形成さ
れた２重Ｖ字溝チャンネルに包含される。
ッジ１１０対向する平行内端部５１１Ｉｃ沿りて配置さ
れている。同＊Ｋｓ ｖ字溝レース２７がサンプル用プ
ラットホーム１ｏの外端２５及び基板１２の外端２５に
沿って設けられて、ボールベアリング２２を受容するよ
うになっている。従って、基板１２が第５図に示される
ように、連結ブリッジ１１に組立てられると、ボールベ
アリング２２は、Ｖ字溝レース２１．２７によ〕形成さ
れた２重Ｖ字溝チャンネルに包含される。
手動制御装置１６を回転することによシ、駆動パー１ｉ
ＳＫ連結された駆動輪（図示しない）に回転トルクが与
えられて、サンプル用プラットホーム１０が軸心４０に
沿って、いずれカ一方向に直−移動される。手動制御装
置１５を回転することＫよシ、第２駆動パーｌｌ５Ｋ連
結された駆動輪３０に回転トルクが与えられ、連結ム１
０が前述のボールベアリング・レース装置によ）％ブリ
ッジ１１に連結されているから、サンプル用プラットホ
ーム１０４軸心４１に沿って、いずれかの方向に移動さ
れる。
ＳＫ連結された駆動輪（図示しない）に回転トルクが与
えられて、サンプル用プラットホーム１０が軸心４０に
沿って、いずれカ一方向に直−移動される。手動制御装
置１５を回転することＫよシ、第２駆動パーｌｌ５Ｋ連
結された駆動輪３０に回転トルクが与えられ、連結ム１
０が前述のボールベアリング・レース装置によ）％ブリ
ッジ１１に連結されているから、サンプル用プラットホ
ーム１０４軸心４１に沿って、いずれかの方向に移動さ
れる。
第６図において、ボールベアリング２’Ｚｔｉ整合装置
２４により、Ｖ字溝レースに圧縮されて、すべてのボー
ルが７字溝内を、そして相互に対して一様に走行し、従
ってサンプル用プラットホーム１０、基板１２、及び連
結ブリッジ１１が滑らかに相対移動するようにしている
。ボールベアリング２２に適用される予め負荷される圧
縮力は、台の移動時Ｏ揺動及びパックラツシエを減少す
る作用も有する。整合装置２４は、実質的に各ｖ！＃溝
の全長にわ九って延びると共に、硬化スチールシートか
らな夛、且つ所望の圧縮力を生じさせるために、ボール
より大きい一率半径を有している。コレット２６は幾つ
かのボールベアリングが、保持装置２４の長手方向軸心
において、相互に移動することを単Ｋｖｄ＝止するよう
になっているＯ Ｖ＃Ｐｔ１ｊｔ備ＪＬｈｇ１１Ｊ輪１手１１１ＪＩＩ”
ｌｌｌｉｍｔ １５ 。
２４により、Ｖ字溝レースに圧縮されて、すべてのボー
ルが７字溝内を、そして相互に対して一様に走行し、従
ってサンプル用プラットホーム１０、基板１２、及び連
結ブリッジ１１が滑らかに相対移動するようにしている
。ボールベアリング２２に適用される予め負荷される圧
縮力は、台の移動時Ｏ揺動及びパックラツシエを減少す
る作用も有する。整合装置２４は、実質的に各ｖ！＃溝
の全長にわ九って延びると共に、硬化スチールシートか
らな夛、且つ所望の圧縮力を生じさせるために、ボール
より大きい一率半径を有している。コレット２６は幾つ
かのボールベアリングが、保持装置２４の長手方向軸心
において、相互に移動することを単Ｋｖｄ＝止するよう
になっているＯ Ｖ＃Ｐｔ１ｊｔ備ＪＬｈｇ１１Ｊ輪１手１１１ＪＩＩ”
ｌｌｌｉｍｔ １５ 。
１６、及び駆動パー１３は、前述引用明細書に開示され
るものと類似のものである。駆動パー１５の端部に形成
され丸板ばね１４は、駆動パーとそれぞれの７字溝を備
える駆動輪との関に抑圧力を生じさせるために、九わま
されている〇板ばねのたわみの調整は、前述のようにカ
ム１８によシ行なわれる。
るものと類似のものである。駆動パー１５の端部に形成
され丸板ばね１４は、駆動パーとそれぞれの７字溝を備
える駆動輪との関に抑圧力を生じさせるために、九わま
されている〇板ばねのたわみの調整は、前述のようにカ
ム１８によシ行なわれる。
前述引用明細書に記載されるのと同様に、サンプル用プ
ラットホーム１０と連結ブリッジ１１０走行を終了させ
るために、停止体が設けられている。移動サンプル用プ
ラットホーム１０又は連結ブリッジ１１が前記停止体に
係合すると、前述引用明細書に開示されるのと同様に追
加トルクが適用されるとき、関連、駆１動パー１８は対
応する駆動輪から離脱事れる。
ラットホーム１０と連結ブリッジ１１０走行を終了させ
るために、停止体が設けられている。移動サンプル用プ
ラットホーム１０又は連結ブリッジ１１が前記停止体に
係合すると、前述引用明細書に開示されるのと同様に追
加トルクが適用されるとき、関連、駆１動パー１８は対
応する駆動輪から離脱事れる。
第１図は−この発明０１ｆｆましい実施例による連結ブ
リッジを備える固定ｔｐ＊斜視図、第２図社第１図の測
定台に利用され４連結ブリツジの倒立面図、第５図は第
２図の連結ブリッジの底面図、第４図は第１図の測定台
の底面図、第５図は第１図の測定台の倒立面図、第６′
図はボールベアリング装置を示す丸めの、３１１図の測
定台の基板及び連結ブリッジのＶ字溝レースによシ形成
された、２重Ｖ字溝チャンネルの拡大側立面図である。 １０・・・をンプル用プラットホーム １１・・・連結ブリッジ １２“・・・基板 ２１・・・連結ブリッジ・レース ２２Φ・・ボールベアリング ２７・−基板及びサンプル用プラットホーム・レース 出願人代理人 古 谷 ・ＦＩＯ，４ＦＩ
Ｏ，５
リッジを備える固定ｔｐ＊斜視図、第２図社第１図の測
定台に利用され４連結ブリツジの倒立面図、第５図は第
２図の連結ブリッジの底面図、第４図は第１図の測定台
の底面図、第５図は第１図の測定台の倒立面図、第６′
図はボールベアリング装置を示す丸めの、３１１図の測
定台の基板及び連結ブリッジのＶ字溝レースによシ形成
された、２重Ｖ字溝チャンネルの拡大側立面図である。 １０・・・をンプル用プラットホーム １１・・・連結ブリッジ １２“・・・基板 ２１・・・連結ブリッジ・レース ２２Φ・・ボールベアリング ２７・−基板及びサンプル用プラットホーム・レース 出願人代理人 古 谷 ・ＦＩＯ，４ＦＩ
Ｏ，５
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 対向する平行外端に沿うて配置されたレースを備え
る基板、 対向する千行漬端に沿り スを備えるサンプル用プラットホーム 一平面内で対向する平行内端Ｉｌｃ沿って配置され九レ
ースと、第２平−内で対向する平行内端Ｋｅりて配置さ
れ九レースを備える連結ブリッジ。 前記ｔングル用プラッ 結プカ゛ツジと基板とが、滑らかに相対移動するようも
前記基板及びずングル用プラットホームと前記連結ブリ
ッジとの組合わせによ〕形成され是、包囲体内に配置さ
れ九複数のボールベアリング、からなる測定台。 ２ 前記連結ブリッジに軸心方向に取付けられた溝路を
備える第１駆動輪。 前記サンプル用プラットホームの第１移動軸心において
、前記サンプル用プラットホ一部を備える第１駆動パー
、 前記Ｉ１１駆動バーをζ゛れに適用される回転トルクに
応じて直線゛移動させるべく、前記第１駆動輸に軸心方
向に連結させる第１手動回転制御装置、を含む特許請求
のｍｉｍ第１項に記載の測定台。 ３ 前記第１駆動輪と同軸に前記連結ブリッジに取付け
られた、溝路を備えるＩＩ２駆動輪、前記サンプル用プ
ラットホームの第２移動軸に平行に、前記基板に可動Ｉ
ＩＣ取付けられると共に１前記第２駆動輪（ＤｌｌＩｉ
ｌｌＫｊｌｉｌ係合すべく長手方向テーパ端を備える籐
２駆動パー１第２手動回転制御装置であうで、前記サン
プル用プラットホーム、連結ブリッジ、第１及び第２駆
動輪、及び第１及び第２手動回転制御装置を、前記第２
制御装置に適用される及び第１駆動輪と共に％前記第２
駆動輪に同軸に連結される制御装置を更に含む特許請求
の範Ｓ第１項に記−の画定台。 ４ 板ばねが前記第１及び［２駆動パーの各端部に形成
され。 前記第１及びｊ１１２駆動パーを、それぞれ前記サンプ
ル用プラットホ−−ム及び基板に取付けるための取付は
装置が、前記駆動パーをそれぞれのサンプル用プラット
ホーム又は基板に、可動に固定する保持装置と、前記第
１及び第２駆動パーの各端部に形成された板ばねに適用
される力を調整する装置、を含む、特許請求の範囲第２
又は嬉５項に記載の測定台。 ５ 前記をンプル用プラットホームが、その第１移ｉ軸
心において前記連結ブリッジに対して移動すると共和、
前記ｔ：／″プル用プラットホームがその第２移動軸心
において移動している時は、前記連結ブリッジに対して
静止しムである、特許請求の範囲第４項に記載の測定台
。 ７ 前記レースが７字溝であると共に、前記ボールベア
リングに圧縮力を適用する整合装置を含む、特許請求の
範囲第１項に記載の画定台０ ８ 前記！合装置が前記ボールベアリングより大暑い曲
率半径を有する、特許請求の範囲第７項に記載の測定台
〇
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US27648981A | 1981-06-23 | 1981-06-23 | |
| US276489 | 1981-06-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS582701A true JPS582701A (ja) | 1983-01-08 |
Family
ID=23056852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10369682A Pending JPS582701A (ja) | 1981-06-23 | 1982-06-16 | 測定台の連結装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS582701A (ja) |
| DE (2) | DE3249661C2 (ja) |
| GB (1) | GB2100879B (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS615139U (ja) * | 1984-06-15 | 1986-01-13 | 祐二 福島 | 歯ブラシ |
| US4726806A (en) * | 1984-08-14 | 1988-02-23 | Hiroshi Hukuba | Electric tooth-brush |
| JPH03118401A (ja) * | 1989-09-30 | 1991-05-21 | Elmo Co Ltd | 位置決め装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5415761A (en) * | 1977-04-15 | 1979-02-05 | Semprex Corp | Drive mechanism wherein measuring stand and others be improved |
-
1982
- 1982-01-25 DE DE19823249661 patent/DE3249661C2/de not_active Expired
- 1982-01-25 DE DE19823202197 patent/DE3202197C2/de not_active Expired
- 1982-05-19 GB GB08214564A patent/GB2100879B/en not_active Expired
- 1982-06-16 JP JP10369682A patent/JPS582701A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5415761A (en) * | 1977-04-15 | 1979-02-05 | Semprex Corp | Drive mechanism wherein measuring stand and others be improved |
| US4189953A (en) * | 1977-04-15 | 1980-02-26 | Semprex Corporation | Drive system for mensuration stages or the like |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS615139U (ja) * | 1984-06-15 | 1986-01-13 | 祐二 福島 | 歯ブラシ |
| JPS6331641Y2 (ja) * | 1984-06-15 | 1988-08-23 | ||
| US4726806A (en) * | 1984-08-14 | 1988-02-23 | Hiroshi Hukuba | Electric tooth-brush |
| JPH03118401A (ja) * | 1989-09-30 | 1991-05-21 | Elmo Co Ltd | 位置決め装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2100879B (en) | 1985-10-02 |
| DE3202197C2 (de) | 1985-06-27 |
| DE3249661C2 (de) | 1985-06-27 |
| DE3202197A1 (de) | 1983-01-05 |
| GB2100879A (en) | 1983-01-06 |
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