JPS5823493A - Method of producing high density printed circuit board - Google Patents

Method of producing high density printed circuit board

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JPS5823493A
JPS5823493A JP12249481A JP12249481A JPS5823493A JP S5823493 A JPS5823493 A JP S5823493A JP 12249481 A JP12249481 A JP 12249481A JP 12249481 A JP12249481 A JP 12249481A JP S5823493 A JPS5823493 A JP S5823493A
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JP
Japan
Prior art keywords
photosensitive resin
holes
pattern
film
hole
Prior art date
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Pending
Application number
JP12249481A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
大木 伸昭
千石 則夫
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS5823493A publication Critical patent/JPS5823493A/en
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、高密度プリント配線板の製造方法に関するも
のであり、更に詳しくは、表両に形成される信号ライン
幅が100μ以下で且つめつきスルーホールを有するプ
リント配線板の製造方法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method for manufacturing a high-density printed wiring board, and more particularly, to a printed wiring board having a signal line width of 100 μm or less and having through-holes formed on both sides of the board. This invention relates to a method for manufacturing a board.

近年プリント配線[Kおける回路密度の高密度化への要
求は益々強くなる傾向にある。プリント回路の高密度化
には、配線板上に形成される回路パターンの細密化、配
線板の多層化、多層化された配線板の同じ格子点におい
てスルーホールのある層とない層が混り合っている多重
スルーホール構造の配線板、の採用というような高度の
技術が不可欠である。特にこの多重スルーホール構造の
採用は、従来の貰通スルーホール方弐に比較して、高多
層化の抑制に役立ち、安定した品質の高密度プリント配
III板を得るための有効な手段であると云える。
In recent years, there has been a growing demand for higher circuit density in printed wiring. The increasing density of printed circuits is accompanied by the miniaturization of circuit patterns formed on wiring boards, the multilayering of wiring boards, and the mixing of layers with through holes and layers without through holes at the same lattice point on multilayer wiring boards. Advanced technology such as the use of a wiring board with a multiple through-hole structure that matches the design is essential. In particular, the adoption of this multiple through-hole structure helps to suppress the increase in multilayers compared to the conventional through-hole method, and is an effective means for obtaining a high-density printed circuit board with stable quality. I can say that.

かかる多重スルーホール構造の多層化配線板の製造に必
要なめつきスルーホールを有するプリント配線板の従来
の製造方法を第1図を参照して説明する。
A conventional method for manufacturing a printed wiring board having plated through holes necessary for manufacturing a multilayer wiring board having such a multiple through hole structure will be described with reference to FIG.

第1図はめつきスルーホールを有するプリント配線板の
従来の製造工程を示す模式図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a conventional manufacturing process of a printed wiring board having plated through holes.

同図を参照する。先ず第1図K)K示す如く、銅張積層
板にスルーホール1を形成する。なお、同図で斜線部が
鋼板を表わしている。次に第1図←)に示す如く、フィ
ルム状感光樹脂2をラミネートしてスルーホールを塞ぐ
。次に第1wJ(ハ)に示す如く、写真法によりフィル
ム状感光1脂に、信号ラインパターン3およびランドパ
ターン4を焼付ケて現像する。その後、エツチング液租
を経て、銅張積層板の表裏面に所望のプリント回路を形
成されて成るプリント配線板5を第1図に)に示す如く
得る。
Refer to the same figure. First, as shown in FIG. 1K), a through hole 1 is formed in a copper clad laminate. Note that in the figure, the shaded area represents the steel plate. Next, as shown in FIG. 1←), a film-like photosensitive resin 2 is laminated to close the through hole. Next, as shown in the first wJ (c), the signal line pattern 3 and the land pattern 4 are printed and developed on the film-like photosensitive resin 1 using a photographic method. Thereafter, by using an etching liquid, a printed wiring board 5 having desired printed circuits formed on the front and back surfaces of the copper-clad laminate is obtained as shown in FIG.

上述した従来の製造工1mにおいては、感光樹脂2とし
てフィルム状のものを用いているが、これはスルーホー
ル1の周l!にランドパター/4を形成する際、該フィ
ルムによりスルーホール1を塞ぐことができるので、後
のエッチングエliにおいて、エツチング液がスルーホ
ール内に浸入して一ホール内の銅めつきを損傷すること
を防止できるからである。
In the above-mentioned conventional manufacturing process of 1 m, a film-like material is used as the photosensitive resin 2, but the circumference of the through-hole 1 is l! When forming the land pattern /4, the through hole 1 can be covered by the film, so that in the subsequent etching process, the etching solution will penetrate into the through hole and damage the copper plating in one hole. This is because it can prevent this from happening.

このよう和して製造された両面プリント配線板を複数個
重ね合わせ積層接着した後、穴あけ、銅めっき、 ホト
エツチングをはとこすこと罠より第2図にその断面図を
示す如を多重スルーホールプリント配線板を得ることが
できる。なお第2図において、スルーホール1をもつ中
間層は一つしか示されていないがこれが例えばスルーホ
ールを有しない中間層と交互に複数個ある場合が多いの
で、多重スルーホール構造のプリント配線板と呼ぶので
ある。
After stacking and laminating multiple double-sided printed wiring boards manufactured in this manner, drilling, copper plating, and photo-etching are performed. A wiring board can be obtained. Although only one intermediate layer with through holes 1 is shown in FIG. 2, there are often multiple intermediate layers alternating with, for example, intermediate layers without through holes. It is called.

さて、近年のプリント配線板における回路密度の高密度
化への要求は、上述の如き多重スルーホール構造のプリ
ント配線板においても、プリント回路の一層の細密化を
求めるようになってきた。
Now, the recent demand for higher circuit densities in printed wiring boards has led to demands for further miniaturization of printed circuits even in printed wiring boards having the above-mentioned multiple through-hole structure.

所で、一般にフィルム状の感光樹脂2は膜厚が厚いので
、館1図を参照して説明したように、これを用いて写真
法で回路パターンを焼付は現像すると、膜厚が厚ければ
厚いはと、その間における光の回折や散乱の状態が広が
る結果、出来上った回路パターンの分解能が劣化し、細
密なプリント回路は得難くなるという欠点がある。そこ
でなるべく膜厚の薄い感光樹脂を用いて回路パターンの
分解能を高めようとすると、膜厚の機械的強度が弱くな
るため、エッチングエ@において、膜厚を破ってエツチ
ング液がスルーホール内に浸入することとなり、スルー
ホール内の銅めつきを損傷するという不都合を生じる。
By the way, the photosensitive resin 2 in the form of a film is generally thick, so as explained with reference to Figure 1, if the circuit pattern is printed and developed using the photographic method, the thicker the film. As a result of thicker layers, the state of diffraction and scattering of light spreads between them, resulting in a deterioration in the resolution of the completed circuit pattern, making it difficult to obtain finely detailed printed circuits. Therefore, if we try to improve the resolution of the circuit pattern by using a photosensitive resin with as thin a film as possible, the mechanical strength of the film becomes weak, so during the etching process, the film thickness is broken and the etching solution penetrates into the through-holes. This results in the inconvenience of damaging the copper plating inside the through hole.

このため、市販のもaで17μm11度の厚みの感光樹
脂も存在するが、上述の機械的強度の藺から50声m@
度の厚みの感光樹脂が使用されている。
For this reason, there are commercially available photosensitive resins with a thickness of 17 μm and 11 degrees, but due to the mechanical strength mentioned above,
A photosensitive resin with a thickness of 300 degrees is used.

一方、フィルム状感光樹脂のはかにζ液体感光樹脂が知
られている。この液体感光樹脂を用いると厚み6jm 
@!Kまで薄く塗布することができるので、それだけ回
路パターンの分解能を高め、より細密なプリント回路を
形成することができる。
On the other hand, a ζ liquid photosensitive resin, which is a film-like photosensitive resin, is known. When using this liquid photosensitive resin, the thickness is 6jm.
@! Since it can be applied as thinly as K, the resolution of the circuit pattern can be increased accordingly and a finer printed circuit can be formed.

しかし液体感光樹脂を塗布する方法では、フィルムを用
いた場合と異なり、エツチング液寝においてエツチング
液がスルーホール内に浸入するのを防ぎ得ないので、こ
の頁から液体感光樹脂の使用には難点がある。この難点
を解決する従来技術の一つとしては、銅張積層[K液体
感光樹脂を薄く塗布して分解能の高い回路パターンを形
成した俵、スルーホール内にすずめつきを施すことによ
り、エツチング液が浸入しても損傷が起きないようにす
る工法が発表されている。しかしこの工法を採用すると
、後続の積層接着の段階における接着剤と回路パターン
表面の四着性、ひいてはプリント配線板の耐熱性に問題
が生じる。そこですず皮膜をエツチング後、化学的に除
去することも考えられるが、製造工程がそれだけ複雑と
なる上、品質も不安定になる。上記難点を解決する他の
従来波ばしば採用されるが、特にスルーホールの肩部の
厘め込みに難点があり、これまた安定な品質は得難い。
However, with the method of applying liquid photosensitive resin, unlike the case of using a film, it is impossible to prevent the etching liquid from penetrating into the through hole when the etching liquid is applied. be. One of the conventional techniques to solve this difficulty is to use copper-clad lamination (a bale with a thin coating of K liquid photosensitive resin to form a circuit pattern with high resolution), and a through-hole that is filled with tines to prevent the etching solution. A construction method has been announced to prevent damage from occurring even if water intrudes. However, when this method is adopted, problems arise in the adhesion between the adhesive and the surface of the circuit pattern in the subsequent lamination adhesion stage, and in turn, in the heat resistance of the printed wiring board. Therefore, it may be possible to chemically remove the tin film after etching, but this would complicate the manufacturing process and result in unstable quality. Although other conventional methods are often adopted to solve the above-mentioned problems, there is a particular difficulty in fitting the shoulders of the through-holes, and it is also difficult to obtain stable quality.

本発明は、上述のような従来の技術的事情Kかんがみな
されたものであり、従って本発明の目的は、液体感光樹
脂を用いて回路パターンの分解能を高め、より細密なプ
リント回路の形成が可能であると共に、エツチング工程
においてもエツチング液がスルーホール内に浸入する恐
れのないようKした新規な高密度プリント配ll54[
の製造方法を提供することにある。
The present invention was made in consideration of the above-mentioned conventional technical circumstances, and therefore, an object of the present invention is to improve the resolution of circuit patterns by using a liquid photosensitive resin, thereby making it possible to form more detailed printed circuits. In addition, a new high-density printed layout is used to prevent the etching solution from entering the through-holes during the etching process.
The purpose of this invention is to provide a method for manufacturing the same.

本発明の要点は次の如くである。The main points of the present invention are as follows.

めつ睡スルーホールを有する鋼張積層板において皺積層
板の表面に液体感光剤樹脂を薄く塗布した後、該樹脂に
写真法により所望の信号ラインパターンを高密度Kfi
付は現像し、続いて現像された信号ラインパターンの上
から比較的厚みのあるフィルム状感光樹脂をラミネート
して前記スルーホールを塞ぎ、同じく奪真法により該樹
11にスルーホールを塞ぐ所望のランドパターンを焼付
は現像し、スルーホールが塞がれていることkよりそ)
中にエツチング液が進入しない状態のモトでエツチング
を行な5゜続いて前記液体ならびにフィルム状の感光樹
脂の現像パターンを除去するよ5にして、スルーホール
をエツチング液に浸すことなく、より細密なプリン)1
回路の形成を可能にした点にある。
After applying a thin layer of liquid photosensitive resin to the surface of the wrinkled laminate in a steel-clad laminate having through-holes, a desired signal line pattern is formed on the resin using a high-density Kfi method using a photographic method.
The pattern is developed, and then a relatively thick film-like photosensitive resin is laminated on top of the developed signal line pattern to close the through hole, and the desired through hole is formed in the tree 11 by the same method. Print and develop the land pattern, and make sure that the through holes are closed.
Etching is performed in a state where the etching solution does not enter inside the hole, and then the liquid and the developed pattern of the film-like photosensitive resin are removed. pudding) 1
The point is that it made it possible to form circuits.

次に図を参照して本発明の一実施例を説明する。Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

1113図は本発明の一実施例としての製造工程を示す
模式図である。さて、厚さQ、1mmのガラスエポキシ
基材の両面に18μmの銅箔を積層して成る銅張積層板
6の所定の位置に0.4mmφの小孔をあけた後鍋めつ
きを該基板の全面に20〜25μmの厚みで施しスルー
ホール7を形成し、その後該基板の両面罠一般に市販さ
れている液体感光樹脂8を1〜3μm厚で塗布し、第3
図(イ)に示す如き構造を得る。
FIG. 1113 is a schematic diagram showing a manufacturing process as an example of the present invention. Now, after drilling a small hole of 0.4 mmφ at a predetermined position in a copper-clad laminate 6 made by laminating 18 μm copper foil on both sides of a glass epoxy base material of thickness Q and 1 mm, pot plating is applied to the substrate. A through hole 7 is formed in a thickness of 20 to 25 μm on the entire surface of the substrate, and then a commercially available liquid photosensitive resin 8 is applied to a thickness of 1 to 3 μm on both sides of the substrate.
A structure as shown in Figure (a) is obtained.

次に従来から一般的に採用されでいる写真法により所望
のプリント回路パターンのうち、該プリント回路な構成
する巾100μmの信号ラインパターン9を該感光樹脂
に対する焼付は現像により形成し第3図(ロ)に示す如
き構造を得る。次に前記信号ラインパターン9を有する
基11[*に一般に市販されている厚さ18〜50μm
のフィルム状感光樹111Oをラミネートしスルーホー
ルを塞いで第3図(ハ)に示す如き構造を得、更に従来
から一般に採用されている写真法により所望のプリント
回路パターンのうちの0.7 mm平方のランドパター
ン11をフィルム状感光樹脂に対する焼付けll俸によ
りスルーホール7の上下に形成し第3図に)に示す如き
構造を得る。その後一般に採用されているエツチング法
により前記感光樹脂パターン9,11以外の部分の銅を
溶解し、更に周知の方法、例えばメチレンクロライドに
より前記感光−脂を除去することにより所望の高密度プ
リント回路を有するスルーホール付きプリント配線板を
第3図(ホ)に示す如く得る。
Next, a signal line pattern 9 with a width of 100 μm constituting the printed circuit is formed by printing and developing on the photosensitive resin out of the desired printed circuit pattern using a commonly used photographic method. A structure as shown in b) is obtained. Next, the base 11 having the signal line pattern 9 has a thickness of 18 to 50 μm, which is generally commercially available.
A film-like photosensitive resin 111O is laminated and the through holes are closed to obtain a structure as shown in FIG. A square land pattern 11 is formed above and below the through hole 7 by baking a film of photosensitive resin to obtain a structure as shown in FIG. Thereafter, the copper in the areas other than the photoresist patterns 9 and 11 is dissolved by a commonly used etching method, and the photoresist is removed by a well-known method such as methylene chloride to form a desired high-density printed circuit. A printed wiring board with through holes is obtained as shown in FIG. 3(E).

本與Jl1例により製造されたプリント配線板における
回路の密度は、格子状に配置されたスルーホールの間隔
1.27 mm、ランド径0.7平方mm、信号ライン
巾0. l mm、回路導体間隔はランド対信号ライン
間で0.1mn1、信号ライン対信号ライン間で0.1
7mm、スルーホーk % 0.35 mm (銅めつ
き後→と従来のプリント回路と比較して大巾に細密化が
進み、今後の回路細密化に対しても、本発明による製造
方法は充分に安定な品質を得られる性能を有している。
The circuit density of the printed wiring board manufactured by Honyo Jl1 Example was as follows: the spacing between the through holes arranged in a lattice pattern was 1.27 mm, the land diameter was 0.7 mm2, and the signal line width was 0.7 mm. l mm, the circuit conductor spacing is 0.1 mmn1 between land and signal line, and 0.1 between signal line and signal line.
7 mm, through-hole k % 0.35 mm (after copper plating →) Compared to conventional printed circuits, the manufacturing method of the present invention is sufficient for future circuit miniaturization. It has the ability to obtain stable quality.

以上の如く、本発明によれば従来一般に使用されている
フィルム状感光樹脂を使用し写真法のみでスルーホール
付きプリント回路を形成するという従来法の1徊が複雑
でないという利点を生かすと共に、従来のフィルム状感
光樹脂ではその解像力の点で安定な品質を得ることの困
難であったプリント回路の細密化方法を解像力の優れた
液体感光樹脂の採用により解決し、従って本発明は、容
易に信号ライン巾100μm以下、導体間隔100μm
以下の高細密化スルーホール付きプリント回路を安定し
た品質にて提供出来るという利点を有する。
As described above, the present invention takes advantage of the fact that one step of the conventional method of forming a printed circuit with through-holes using only a photographic method using a commonly used film-like photosensitive resin is not complicated. The present invention solves the difficulty of achieving stable quality of printed circuits using a film-like photosensitive resin due to its resolution by employing a liquid photosensitive resin with excellent resolution. Line width 100μm or less, conductor spacing 100μm
It has the advantage of being able to provide the following printed circuits with high-density through holes with stable quality.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はめつきスルーホールを有するプリント配線板の
従来の製造1獅を示す模式図、112図は多重スルーホ
ールプリント配線板の断面図、第3図は本発明の一実施
例としての製造1狽を示す模式図、である。 符号説明 l・・・スルーホール、2・・・フィルム状感光樹脂、
3・・・信号ラインパターン、4・・・ランドパJ−7
、)−v、、、、 ::、  5 °2“′)ffil
・6−111151111M−11jL・°°°“−ホ
ール、8・・・液体感光樹脂、9・・・信号ラインパ$
−7,10・・・フィルム状11s’Jt@M、  1
1・・・2ンドパターン 代理人 弁理士 並 木 昭 夫 #11 図 112図
FIG. 1 is a schematic diagram showing a conventional manufacturing method of a printed wiring board having through-holes, FIG. 112 is a cross-sectional view of a multi-through-hole printed wiring board, and FIG. FIG. Symbol explanation 1...Through hole, 2...Film-like photosensitive resin,
3... Signal line pattern, 4... Land pattern J-7
,)-v,,, ::, 5 °2"')ffil
・6-111151111M-11jL・°°°“-Hole, 8...Liquid photosensitive resin, 9...Signal line pad $
-7,10...Film-like 11s'Jt@M, 1
1...2nd pattern agent Patent attorney Akio Namiki #11 Figure 112

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1)高密度プリント配線板の製造方法であって、めっき
スルーホールを有する鋼張積層板において該積層板の表
両に液体感光剤樹脂を薄く塗布した後、該樹脂に写真法
により所望の信号ラインパターンを高密度に焼付は現像
する第1の工程と、現像された信号ラインパターンの上
から比較的厚みのあるフィルム状感光樹脂をライネート
して前記スルーホールを塞ぎ、同じく写真法により#樹
脂[スに−ホールを塞り所望のランドパターンヲ焼付は
現像する第2の工程と、スルーホールが塞がれているこ
とによりその中にエツチング液が進入しない状態のもと
てエツチングを行なう館3の工程と、続いて前記液体な
らびにフィルム状の感光樹脂の稿偉パターンを除去する
第4の工程とを含んで成ることを特徴とする為密度プリ
ント配線板の製造方法。
1) A method for manufacturing a high-density printed wiring board, in which a liquid photosensitive resin is applied thinly to both surfaces of a steel-clad laminate having plated through holes, and then a desired signal is applied to the resin using a photographic method. The first step is to develop the line pattern with high density, and then to line the developed signal line pattern with a relatively thick film-like photosensitive resin to close the through holes. [In order to close the holes and print the desired land pattern, there is a second step of development, and etching is carried out in a state where the etching solution does not enter into the through holes because they are blocked. A method for manufacturing a high-density printed wiring board, comprising the steps of step 3 and then a fourth step of removing the liquid and the draft pattern of the film-like photosensitive resin.
JP12249481A 1981-08-06 1981-08-06 Method of producing high density printed circuit board Pending JPS5823493A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60152047U (en) * 1984-03-21 1985-10-09 マツダ株式会社 engine cylinder block
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