JPS58218605A - レ−ザ光による移動距離測定装置 - Google Patents
レ−ザ光による移動距離測定装置Info
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- JPS58218605A JPS58218605A JP57101736A JP10173682A JPS58218605A JP S58218605 A JPS58218605 A JP S58218605A JP 57101736 A JP57101736 A JP 57101736A JP 10173682 A JP10173682 A JP 10173682A JP S58218605 A JPS58218605 A JP S58218605A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02001—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties
- G01B9/02002—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties using two or more frequencies
- G01B9/02003—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties using two or more frequencies using beat frequencies
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/266—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light by interferometric means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/70—Using polarization in the interferometer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は１例えはＸ−Ｙ方間Ｃユ移動する移動部材の移
動距離なレーザ光線を用いて測定するレーザ光による移
、軸距離測定装置の改良Ｃ二関するＯ 〔発明の技術的背景とその問題点〕 年々、製品の精密化が要求され、その機械部品を加工す
る加工機も年々高精度化が因られている。その例として
、刃物または被加工物を移動させる手段としてのＸ−Ｙ
テーブルの移動距離をレーザ光を用いて高精度Ｃユ測定
して位置決め精度を旨めることが行なわれている。
動距離なレーザ光線を用いて測定するレーザ光による移
、軸距離測定装置の改良Ｃ二関するＯ 〔発明の技術的背景とその問題点〕 年々、製品の精密化が要求され、その機械部品を加工す
る加工機も年々高精度化が因られている。その例として
、刃物または被加工物を移動させる手段としてのＸ−Ｙ
テーブルの移動距離をレーザ光を用いて高精度Ｃユ測定
して位置決め精度を旨めることが行なわれている。
第１図は従来よく知られているレーザ光によって物体の
移動距離を固定座標を基準として測定するレーザドプラ
ー法の原理図である。レーザ光源ｌから出た周波数がｆ
、の水平偏光光線および周波数がｆ、の垂直偏光光線か
干渉計２のハーフミラ−８Ｉ：入射すると周波数ｆ、の
水平偏光光線はハーフミラ−３で反射したのちプリズム
等の反射部月４を介して再びハーフミラ−３に戻されＡ
→口→（２→Ｄの光路な経てレシーバ５１−入る（内部
反引光）。他方周波数ｆ。
移動距離を固定座標を基準として測定するレーザドプラ
ー法の原理図である。レーザ光源ｌから出た周波数がｆ
、の水平偏光光線および周波数がｆ、の垂直偏光光線か
干渉計２のハーフミラ−８Ｉ：入射すると周波数ｆ、の
水平偏光光線はハーフミラ−３で反射したのちプリズム
等の反射部月４を介して再びハーフミラ−３に戻されＡ
→口→（２→Ｄの光路な経てレシーバ５１−入る（内部
反引光）。他方周波数ｆ。
の垂直偏光光線はハーフミラ−３を通過し、移動部材Ｃ
二取付けられて）Ｙ、１軸の方間Ｃ二移動する平面鏡６
で反射し１周波数かｆ、士Δｆ、（平面ｆ＃６か第１図
≦二おいて左方に移動する場合は十右万へ移動する場合
は−をＩＩＭるＯ以下十を例（ユとって説明する）とな
り円び八−フミラー３に戻ってくるが１／、Ｊ ｔｌ１
女長根７によって偏光方間が変り、水平偏向となってい
るのでノＸ−フミラー３で反射したのち第２の反射部材
８を介して再び八−フミラー３に戻されＡ −＋ Ｇ→
１１→Ｄを経て町び平面鏡６で反射し周波数がｆ□＋２
Δｆ。
二取付けられて）Ｙ、１軸の方間Ｃ二移動する平面鏡６
で反射し１周波数かｆ、士Δｆ、（平面ｆ＃６か第１図
≦二おいて左方に移動する場合は十右万へ移動する場合
は−をＩＩＭるＯ以下十を例（ユとって説明する）とな
り円び八−フミラー３に戻ってくるが１／、Ｊ ｔｌ１
女長根７によって偏光方間が変り、水平偏向となってい
るのでノＸ−フミラー３で反射したのち第２の反射部材
８を介して再び八−フミラー３に戻されＡ −＋ Ｇ→
１１→Ｄを経て町び平面鏡６で反射し周波数がｆ□＋２
Δｆ。
となりハーフミラ−８に戻る。然るｒ′−１／４ 波長
板７によって垂直偏光１−戻っているのでノ１−フミラ
ー３を通過し【／シーム５６１人るＯ周波数ｆ、の水平
偏光と周波数ｆ、＋２Δｆ、の垂直偏光は干渉し、平面
鏡６の移動と共にレシーバ５の受光面（二は明暗が繰り
返し現われるのでこれを計数することｇ二より平面鏡６
の移動量すなわち、移動部材の移動量を精密に求めるこ
とができる。
板７によって垂直偏光１−戻っているのでノ１−フミラ
ー３を通過し【／シーム５６１人るＯ周波数ｆ、の水平
偏光と周波数ｆ、＋２Δｆ、の垂直偏光は干渉し、平面
鏡６の移動と共にレシーバ５の受光面（二は明暗が繰り
返し現われるのでこれを計数することｇ二より平面鏡６
の移動量すなわち、移動部材の移動量を精密に求めるこ
とができる。
第２図および第３図は上記方法を用いて直交するＸ、Ｙ
、２万回に移動する移動部材としてのＸ−Ｙテーブル９
のＹ方向移動距離を測定する場合の構成を示す、平面鏡
６はベースｌＯ【一対して移８ｉｖＩ司能なサドルＩＩ
上にそれと直交する方間≦−移動用能に設けられたＸ−
Ｙテープ／Ｉ。
、２万回に移動する移動部材としてのＸ−Ｙテーブル９
のＹ方向移動距離を測定する場合の構成を示す、平面鏡
６はベースｌＯ【一対して移８ｉｖＩ司能なサドルＩＩ
上にそれと直交する方間≦−移動用能に設けられたＸ−
Ｙテープ／Ｉ。
９Ｉ−固定されており、Ｘ−Ｙテーブル９はＸ方間のみ
ならず、Ｙ方間じも移動するので平面鏡６の長さはＸ−
Ｙテーブル９のＹ方向長さと無関係１−Ｙ方向の移動距
離の長さが必要であるＯそこで、Ｘ−Ｙテーブル９の形
状が小さくて済む場合Ｉｎも、Ｙ方向移動距離が大きい
場合には、 ＩそれＣ１応じた長さの平面鏡が必要
（−なる。平面鏡６の反射面の平面度は１μの数分の１
〜２０分の１程度が背水されるので、加工精度を上げる
ため（二は平面鏡６の１すさを厚くする必要があり（平
面鏡の長さが長ければ厚さをより厚くする必要がある）
市耐目車くなる。また平面鏡６をＸ−Ｙテーブル９に固
定する際（二も取付面の精良１強度は必曽十分なものと
し、平面鏡６の締付方法も締付力によ−）て平面鏡６ｚ
二歪が出ないよう細心の注意を払う必要がある。
ならず、Ｙ方間じも移動するので平面鏡６の長さはＸ−
Ｙテーブル９のＹ方向長さと無関係１−Ｙ方向の移動距
離の長さが必要であるＯそこで、Ｘ−Ｙテーブル９の形
状が小さくて済む場合Ｉｎも、Ｙ方向移動距離が大きい
場合には、 ＩそれＣ１応じた長さの平面鏡が必要
（−なる。平面鏡６の反射面の平面度は１μの数分の１
〜２０分の１程度が背水されるので、加工精度を上げる
ため（二は平面鏡６の１すさを厚くする必要があり（平
面鏡の長さが長ければ厚さをより厚くする必要がある）
市耐目車くなる。また平面鏡６をＸ−Ｙテーブル９に固
定する際（二も取付面の精良１強度は必曽十分なものと
し、平面鏡６の締付方法も締付力によ−）て平面鏡６ｚ
二歪が出ないよう細心の注意を払う必要がある。
以上の理１１１から、Ｘ−Ｙテーブル９の形状が小さく
て済む場合≦二も、長い平面鏡６を固定するため区二、
Ｘ−Ｙテーブル９を大きく強度を持たせたものとしなけ
ればならず、サーボによる栢１ｆ）なＸ−Ｙテーブル９
の位ｉ′決め等にははなはだ不／ｉｔ＜台となる。
て済む場合≦二も、長い平面鏡６を固定するため区二、
Ｘ−Ｙテーブル９を大きく強度を持たせたものとしなけ
ればならず、サーボによる栢１ｆ）なＸ−Ｙテーブル９
の位ｉ′決め等にははなはだ不／ｉｔ＜台となる。
このような回顧は、ｘ−ｙテーブル９Ｃ−限らず、１つ
の案内部旧上を一次元的６二移動する移動部材の蛇行（
ヨーイング）の測定Ｃ二ついても言える。
の案内部旧上を一次元的６二移動する移動部材の蛇行（
ヨーイング）の測定Ｃ二ついても言える。
本発明は、上記事情Ｃ−もとづきなされたもので、その
目的とするところは、ヨーイングを含めてＸ−Ｙ方向に
移動可能な移動部材が小さく。
目的とするところは、ヨーイングを含めてＸ−Ｙ方向に
移動可能な移動部材が小さく。
かつレーザ光の入出方間と直交するＹ方向の移動距離が
長い場合でも、移動部材に取付ける平面倭な小さくする
ことができ、移動部材を不必要Ｃ二人き（１強力にする
ことなく、その移動距離ないしは変位を精密ｇ二測定で
きるレーザ光による移動距離測定装置を提供しようとす
るものである◎ 〔発明の概要〕 本発明は、かかる目的を達成するため案内部材に対して
直線的に移動可能≦二股けられた移動部材Ｃ二その移動
方間と平行≦１弟１の平面鏡を固定し、これと対向する
位置に該平面鏡に平行かつ反射面を囲い合せて第２の平
面襞を固定的≦二装置するととも（二、これら第１．第
２の平面鏡の闇でかつ前記案内部材側に平ｉ１］］鏡の
反射向と平行な方向からレーザ光源からのレーザ光を入
射し、前記第１．第２の平面鏡間Ｃ二し−ザ光を反射さ
せ、この反射光とこれとは別の内部反射光をレシーバへ
導出させる干渉−Ｆを設け、固足座標ｃ二対する上記移
動部拐の平面俳の面Ｃ二直角な方面の移動を−を測定す
るようＩ−したものである。
長い場合でも、移動部材に取付ける平面倭な小さくする
ことができ、移動部材を不必要Ｃ二人き（１強力にする
ことなく、その移動距離ないしは変位を精密ｇ二測定で
きるレーザ光による移動距離測定装置を提供しようとす
るものである◎ 〔発明の概要〕 本発明は、かかる目的を達成するため案内部材に対して
直線的に移動可能≦二股けられた移動部材Ｃ二その移動
方間と平行≦１弟１の平面鏡を固定し、これと対向する
位置に該平面鏡に平行かつ反射面を囲い合せて第２の平
面襞を固定的≦二装置するととも（二、これら第１．第
２の平面鏡の闇でかつ前記案内部材側に平ｉ１］］鏡の
反射向と平行な方向からレーザ光源からのレーザ光を入
射し、前記第１．第２の平面鏡間Ｃ二し−ザ光を反射さ
せ、この反射光とこれとは別の内部反射光をレシーバへ
導出させる干渉−Ｆを設け、固足座標ｃ二対する上記移
動部拐の平面俳の面Ｃ二直角な方面の移動を−を測定す
るようＩ−したものである。
以下１本発明の−Ｗ Ｍｌｉ例を第４図および第５図を
参照して説明する。なお、従来例である第１図ないし第
３肉と同切部祠は同一符号を付して詳しい説明を省略す
る。
参照して説明する。なお、従来例である第１図ないし第
３肉と同切部祠は同一符号を付して詳しい説明を省略す
る。
第４■１１ユおいて、レーザ光ｌＮＩ；Ｉｔから出た周
波数カｌ ＋の水平偏光光線：１ｄよｃト周波数がｆ、
の垂直偏光光線が干渉Ｈ１″２′のハーフミラ−３Ｉ−
入射すると周波数ｆ、の垂直偏光光線は第１図の場合と
同様にハーフミラ−３を通過したのちプリズム等の反射
部祠４を介して再びハーフミラ−３に戻されＡ −＋
１３−＋ Ｃ−） Ｉ）の光路な経てレシーバ５に入る
ρ 一方、第１の平面鏡６の移動に伴って反射光はｆ１士Δ
ｔｒ （平面−６が第４図において左方へ移動する場
合１；Ｊ、 −１−、右方へ移動する場合は−を取る、
以下十を（ダ１にとって説明する）だけ周波数か変る。
波数カｌ ＋の水平偏光光線：１ｄよｃト周波数がｆ、
の垂直偏光光線が干渉Ｈ１″２′のハーフミラ−３Ｉ−
入射すると周波数ｆ、の垂直偏光光線は第１図の場合と
同様にハーフミラ−３を通過したのちプリズム等の反射
部祠４を介して再びハーフミラ−３に戻されＡ −＋
１３−＋ Ｃ−） Ｉ）の光路な経てレシーバ５に入る
ρ 一方、第１の平面鏡６の移動に伴って反射光はｆ１士Δ
ｔｒ （平面−６が第４図において左方へ移動する場
合１；Ｊ、 −１−、右方へ移動する場合は−を取る、
以下十を（ダ１にとって説明する）だけ周波数か変る。
第２の平面ｍｔｚは固定鏡であり反射光の周波数は不斐
である一１／４波長板２を往きと帰りの２度通過した光
は偏量方間が垂面から水平（或は水平から垂直）へ変る
。ハーフミラ−３は垂直偏向光線ｆ、を通過させ、水平
偏光光線ｆｌは反射する。以上のことは第１肉の場合と
全く同様であり、これらのことがら干渉計２′ｇ二人射
した周ｍ数ｆ、の水平偏光光線ハＡ−＋ＦＡ −＋ Ａ
−＊ Ｆ −＋ Ａ −＋ Ｂ−＋ Ｃ−＋ Ｄ −
＋ Ｇ →Ｄ −＋Ｈ−＋Ｄの経路を経てレシーバ５へ
入り、受光向上に周波数ｆ！の垂直偏光光線との干渉ｌ
：よる明暗を生ずるのでこれを計数すること（二より。
である一１／４波長板２を往きと帰りの２度通過した光
は偏量方間が垂面から水平（或は水平から垂直）へ変る
。ハーフミラ−３は垂直偏向光線ｆ、を通過させ、水平
偏光光線ｆｌは反射する。以上のことは第１肉の場合と
全く同様であり、これらのことがら干渉計２′ｇ二人射
した周ｍ数ｆ、の水平偏光光線ハＡ−＋ＦＡ −＋ Ａ
−＊ Ｆ −＋ Ａ −＋ Ｂ−＋ Ｃ−＋ Ｄ −
＋ Ｇ →Ｄ −＋Ｈ−＋Ｄの経路を経てレシーバ５へ
入り、受光向上に周波数ｆ！の垂直偏光光線との干渉ｌ
：よる明暗を生ずるのでこれを計数すること（二より。
第１図の場合と同一の精度で第１の平面鏡６の移動距離
すなわちＸ−Ｙテーブル９のＸ方向の移動距離を測定す
ることができる。
すなわちＸ−Ｙテーブル９のＸ方向の移動距離を測定す
ることができる。
第５肉は平面鏡６をＸ−Ｙテーブル９（二固定し干渉計
２′をサドルＩＩ上に自足し、平面鏡１２を固定物体（
内示しない）上ｇ：、配直した取付例を示しているが、
平面鏡６はレーザ光の当る面積かあれはよい。第２の平
面鏡１２の長さはＸ−Ｙテーブル９のＹ方間移動距離だ
け必要であるが、第２の４ｉｉｈ１境７ Ｊは固定面に
置かれているので、容易に十分な広さと強度を有する取
付面を句えることかできるｎ前述した実施例は入−Ｙ方
間へ二ｂ（元的６二し映するＸ−Ｙテーブル９の第５区
１１−おいてＸ方向の移動量の測定に本発明を４ｊ Ｊ
ｌｌ Ｌだ例な示したが１本発明はこれに限らず、第５
図に」ｄけるＸ−Ｙテーブル９がサドル７、７と一体（
−形成されてＹ方間へのみ移動する場合のＸ力量への変
位量すなわち蛇行（ヨーイング）Ｗｌをｌ１ｌｌＩ５１
ｉ′するＣユも使用し得る。
２′をサドルＩＩ上に自足し、平面鏡１２を固定物体（
内示しない）上ｇ：、配直した取付例を示しているが、
平面鏡６はレーザ光の当る面積かあれはよい。第２の平
面鏡１２の長さはＸ−Ｙテーブル９のＹ方間移動距離だ
け必要であるが、第２の４ｉｉｈ１境７ Ｊは固定面に
置かれているので、容易に十分な広さと強度を有する取
付面を句えることかできるｎ前述した実施例は入−Ｙ方
間へ二ｂ（元的６二し映するＸ−Ｙテーブル９の第５区
１１−おいてＸ方向の移動量の測定に本発明を４ｊ Ｊ
ｌｌ Ｌだ例な示したが１本発明はこれに限らず、第５
図に」ｄけるＸ−Ｙテーブル９がサドル７、７と一体（
−形成されてＹ方間へのみ移動する場合のＸ力量への変
位量すなわち蛇行（ヨーイング）Ｗｌをｌ１ｌｌＩ５１
ｉ′するＣユも使用し得る。
ただし、この場には干ρＪｉ ８１’ ２’をサドルＩ
Ｉの案内部材であるベースＩ Ｏまたはこれを設置しで
ある床」二基ユ固設する心安がある◎ 〔発明の効果」 以」二説明したように１本発明ｇ−よれば、−ｉ −イ
ンクを含めてｘ−ｙ方向に移動可能な移動部材の１つの
移動方間の移動距離が長く、これと酌交する方間の移動
−をｎｌす定する必要かある場合Ｃ−も、移動部材ｆ−
固定する第１の平面鏡の大きさはレーザ光のビーム面積
があれば十分であり、第１の平面鐸を固定するために移
動部材を不必要に大永くする必要がなく、容易５二高精
度の測定ができる効果を奏する。
Ｉの案内部材であるベースＩ Ｏまたはこれを設置しで
ある床」二基ユ固設する心安がある◎ 〔発明の効果」 以」二説明したように１本発明ｇ−よれば、−ｉ −イ
ンクを含めてｘ−ｙ方向に移動可能な移動部材の１つの
移動方間の移動距離が長く、これと酌交する方間の移動
−をｎｌす定する必要かある場合Ｃ−も、移動部材ｆ−
固定する第１の平面鏡の大きさはレーザ光のビーム面積
があれば十分であり、第１の平面鐸を固定するために移
動部材を不必要に大永くする必要がなく、容易５二高精
度の測定ができる効果を奏する。
第１図ｆ（いし第３因は従来例を示すもので。
第１１Ｊ＆；レーザドプラー法の原理図、第２内はＸ−
Ｙテーブルの移動距離を測定する場合の概略的平面図、
第３図は同じく斜視図、第４図および第５図は本発明の
一実施例を示すもので。 第４図は原ｆ！Ｉ！説明因、第５図はＸ−Ｙテーブルの
移動距噸を測定する場合の概略的斜視図であるＯ ！・・・レーザ光愚、２・・・干渉計、３・・・ハーフ
ミラ−１４・・・反射部材、５・・・レシーバ、６・・
・平面＊、７・・・１／４ｅ長板、８・・・第２の反射
部材。 ９・・・Ｘ−Ｙテーブル（移動部材）、ＩＯ・・・ベー
ス、ｌｌ・・・サドル、１２・・・第２の平１１２′・
・・干渉計、ｆ、・・・水平偏光光線、ｆ２・・・垂直
偏光光線Ｃ １４１＋１（１人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦１ 第１図 ｔｎ２図 第３Ｆｌ！Ｊ 第４図 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 １、事件の表示 特願昭５７−１０１７３６号 ２、発明の名称 レーザ光による移動距離測定装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３４５）東芝機械株式会社 ４、代理人 ５、自発補正 ６、袖正により増加する発明の数 １７、へ 補正の
対象 明細書 ンノ゛ご１°゛＼、８、
補正の内容 （１）特許請求の範囲を別紙の通り訂正する０（２）明
細書第５頁１２行目［しなければならず、サーブによる
。１とあるのを１しなければならず、装置が不必要に大
１くなる欠点を有し、また重１が増すため一す−？によ
る］と訂正する０ （３）同第９頁１３〜１５行目［たたし、・・・・・・
必要がある」とあるのを削除する０ ２、特許請求の範囲 （１）案内部材に対して直線的に移動可能に設けられた
移動部材にその移動方向と平行に第１の平面鏡を固定し
、これと対向する位置に該平面ψに平行かつ反射面を向
い合せて第２の平面鏡を固定的に配置するとともに、こ
れら第１．第２の平面鏡の間でかつ前記移動部材側に平
面鏡の反射面と平行な方向からレーザ光源からのレーザ
光を入射し、前記第１．第２の平面鏡間にレーザ光を反
射させ、この反射光とこれとは別の内部反射光をレシー
バへ導出させる干渉計を設け、固定座標に対する上記移
動部材の平面鏡の面に直角な方向の移動量を測定するよ
うにしたことを特徴とするレーザ光による移動距離測定
装置。 開−に平行かつ反射面を向い合せて第２の平面鏡を固定
的に配置すると共に、これら第１゜ｍ２の千面儒の間で
かつ前記中間の案内部材に平面鏡の反射面と平行な方向
からレーデ光源からのレーザ光を入射し、前記第１．第
２の平面鏡間にレーデ光を反射させ、この反射光とこれ
とは別の内部反射光をレシーバへ導出させる干渉計を設
け、固定座標に対する上記移動部材の平面鏡の面に直角
な方向の移動１を測定するようにしたことを特徴とする
レーデ光による移動距離測定装置。
Ｙテーブルの移動距離を測定する場合の概略的平面図、
第３図は同じく斜視図、第４図および第５図は本発明の
一実施例を示すもので。 第４図は原ｆ！Ｉ！説明因、第５図はＸ−Ｙテーブルの
移動距噸を測定する場合の概略的斜視図であるＯ ！・・・レーザ光愚、２・・・干渉計、３・・・ハーフ
ミラ−１４・・・反射部材、５・・・レシーバ、６・・
・平面＊、７・・・１／４ｅ長板、８・・・第２の反射
部材。 ９・・・Ｘ−Ｙテーブル（移動部材）、ＩＯ・・・ベー
ス、ｌｌ・・・サドル、１２・・・第２の平１１２′・
・・干渉計、ｆ、・・・水平偏光光線、ｆ２・・・垂直
偏光光線Ｃ １４１＋１（１人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦１ 第１図 ｔｎ２図 第３Ｆｌ！Ｊ 第４図 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 １、事件の表示 特願昭５７−１０１７３６号 ２、発明の名称 レーザ光による移動距離測定装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３４５）東芝機械株式会社 ４、代理人 ５、自発補正 ６、袖正により増加する発明の数 １７、へ 補正の
対象 明細書 ンノ゛ご１°゛＼、８、
補正の内容 （１）特許請求の範囲を別紙の通り訂正する０（２）明
細書第５頁１２行目［しなければならず、サーブによる
。１とあるのを１しなければならず、装置が不必要に大
１くなる欠点を有し、また重１が増すため一す−？によ
る］と訂正する０ （３）同第９頁１３〜１５行目［たたし、・・・・・・
必要がある」とあるのを削除する０ ２、特許請求の範囲 （１）案内部材に対して直線的に移動可能に設けられた
移動部材にその移動方向と平行に第１の平面鏡を固定し
、これと対向する位置に該平面ψに平行かつ反射面を向
い合せて第２の平面鏡を固定的に配置するとともに、こ
れら第１．第２の平面鏡の間でかつ前記移動部材側に平
面鏡の反射面と平行な方向からレーザ光源からのレーザ
光を入射し、前記第１．第２の平面鏡間にレーザ光を反
射させ、この反射光とこれとは別の内部反射光をレシー
バへ導出させる干渉計を設け、固定座標に対する上記移
動部材の平面鏡の面に直角な方向の移動量を測定するよ
うにしたことを特徴とするレーザ光による移動距離測定
装置。 開−に平行かつ反射面を向い合せて第２の平面鏡を固定
的に配置すると共に、これら第１゜ｍ２の千面儒の間で
かつ前記中間の案内部材に平面鏡の反射面と平行な方向
からレーデ光源からのレーザ光を入射し、前記第１．第
２の平面鏡間にレーデ光を反射させ、この反射光とこれ
とは別の内部反射光をレシーバへ導出させる干渉計を設
け、固定座標に対する上記移動部材の平面鏡の面に直角
な方向の移動１を測定するようにしたことを特徴とする
レーデ光による移動距離測定装置。
Claims (2)
- （１） 案内部材に対して直線的Ｃ−移動可能冨二二
股られた移動部材にその移動方間と平行に第１の平面鏡
を固定し、これと対間する位置に該平面鏡３二平行かつ
反射面を向い合せて第２の平面鏡を固定同口配置すると
ともに、これら第１゜第２の平面鏡の曲でかつ前記案内
部材側に平面鏡の反射面と平行な方間からレーザ光源か
らのレーザ光を入射し、前記第１．第２の平面鏡間（ニ
レーザ光を反射させ、この反射光とこれとは別の内部反
射光をレシーバへ導出させる干渉計を設け、固定座標Ｃ
対する上記移動部材の平面鏡の面に直角な方向の移動量
を測定するようにしたことを特徴とするレーザ光ｉ二よ
る移動距離側だ装置〇 - （２）移動部材がこれと曲角な方間へ移動可能な案内部
材によりＸ、Ｙ方間へ移動可能Ｃ二股けられ、干渉計が
前記案内部材上Ｃ二股けられている特許請求の範囲第１
項記載のレーザ光じよる移動距離測定装置、
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57101736A JPS58218605A (ja) | 1982-06-14 | 1982-06-14 | レ−ザ光による移動距離測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57101736A JPS58218605A (ja) | 1982-06-14 | 1982-06-14 | レ−ザ光による移動距離測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58218605A true JPS58218605A (ja) | 1983-12-19 |
| JPH0233962B2 JPH0233962B2 (ja) | 1990-07-31 |
Family
ID=14308534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57101736A Granted JPS58218605A (ja) | 1982-06-14 | 1982-06-14 | レ−ザ光による移動距離測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58218605A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0248277A2 (en) * | 1986-06-03 | 1987-12-09 | Optra, Inc. | Two-frequency laser rotation sensor system |
| JPH0210201A (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-16 | Nippon Seiko Kk | 二波長干渉計による測長方法及び装置 |
| JP2004016324A (ja) * | 2002-06-13 | 2004-01-22 | Hitachi Medical Corp | Ｘ線ｃｔ装置 |
| JP2004209411A (ja) * | 2003-01-06 | 2004-07-29 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 |
| JP2007522668A (ja) * | 2004-02-11 | 2007-08-09 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 製造物の位置決めシステム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5281843U (ja) * | 1975-12-17 | 1977-06-18 |
-
1982
- 1982-06-14 JP JP57101736A patent/JPS58218605A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5281843U (ja) * | 1975-12-17 | 1977-06-18 |
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| EP0248277A3 (en) * | 1986-06-03 | 1990-03-28 | Optra, Inc. | Two-frequency laser rotation sensor system |
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| JP2004016324A (ja) * | 2002-06-13 | 2004-01-22 | Hitachi Medical Corp | Ｘ線ｃｔ装置 |
| JP2004209411A (ja) * | 2003-01-06 | 2004-07-29 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 |
| JP2007522668A (ja) * | 2004-02-11 | 2007-08-09 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 製造物の位置決めシステム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0233962B2 (ja) | 1990-07-31 |
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