JPS5821545A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
- Publication number
- JPS5821545A JPS5821545A JP12011481A JP12011481A JPS5821545A JP S5821545 A JPS5821545 A JP S5821545A JP 12011481 A JP12011481 A JP 12011481A JP 12011481 A JP12011481 A JP 12011481A JP S5821545 A JPS5821545 A JP S5821545A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- inspected
- scanning point
- photoelectric converter
- slit plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は例えば鋼板、アルミニウム板、紙等の帯状物Ｏ
ＩＮ藺欠陥を光学的に検出する表両検査装置Ｏ改＾に関
する０ 従来、ツインの機械的制限中疵の反射特性等の観点から
被検査＊ｏ＊ｗｔｃ向って斜め方向から被検査物の反射
光像を受光するように光電変換器を配置する場合が多い
。第１図はその従来装置の構成を示す図である。即ち、
この装置は投光器１から出力される光をスキャンミツ−
２により、第１図＠Ｏように走査線幅ａｔ−有しかつ図
示ムから１方向（１’１方向）へ被検査物Ｊの表面を光
走査すると、同被検査物１の狭量から分の走査点光像は
集光レンズ４により集光された後、走査点光ＳＯ結倖面
となる位置に配置する台形状のスリン）Ｊａ＠有するス
リット板Ｓ管通って充電変換器６に入力され、ここで電
気信号に変換さｎゐ０なお、スリット形状を台形とし次
のは集光レンズ４１−挾んで被検査物８とスリット板５
との間の光学的距離つまり各走査点光像の倍率が異なる
ためである。
ＩＮ藺欠陥を光学的に検出する表両検査装置Ｏ改＾に関
する０ 従来、ツインの機械的制限中疵の反射特性等の観点から
被検査＊ｏ＊ｗｔｃ向って斜め方向から被検査物の反射
光像を受光するように光電変換器を配置する場合が多い
。第１図はその従来装置の構成を示す図である。即ち、
この装置は投光器１から出力される光をスキャンミツ−
２により、第１図＠Ｏように走査線幅ａｔ−有しかつ図
示ムから１方向（１’１方向）へ被検査物Ｊの表面を光
走査すると、同被検査物１の狭量から分の走査点光像は
集光レンズ４により集光された後、走査点光ＳＯ結倖面
となる位置に配置する台形状のスリン）Ｊａ＠有するス
リット板Ｓ管通って充電変換器６に入力され、ここで電
気信号に変換さｎゐ０なお、スリット形状を台形とし次
のは集光レンズ４１−挾んで被検査物８とスリット板５
との間の光学的距離つまり各走査点光像の倍率が異なる
ためである。
ところで以上のような装置にあっては、被検査物１表面
の各走査点ごとの走査点光像がスリット板５を介して充
電変換器６の受光面に点として走査方向に＄動ずゐため
、その受光面の位置における光゛電変換物質０Ｉｌｋ布
の不均一性並びに増倍率の差異等によって感度ムラが生
じ、これが被検査物の表ｗ疵との判断管困難にしてぃ＊
。
の各走査点ごとの走査点光像がスリット板５を介して充
電変換器６の受光面に点として走査方向に＄動ずゐため
、その受光面の位置における光゛電変換物質０Ｉｌｋ布
の不均一性並びに増倍率の差異等によって感度ムラが生
じ、これが被検査物の表ｗ疵との判断管困難にしてぃ＊
。
本発明は上記実情にかんがみてなされ几もので、その目
的とするところは、充電変換器の感度ムラの影響を受け
ることなく被検査物の表面欠陥を高精度に検査できる表
面検査装置管提供するものとする。
的とするところは、充電変換器の感度ムラの影響を受け
ることなく被検査物の表面欠陥を高精度に検査できる表
面検査装置管提供するものとする。
以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。第２図において１１は投光器であって、これは例え
ば電球とレンズとの組合せ、或いはレーザ発振器などの
光源とコリメータとの組合せからなる′もｏｔ＊用する
０こＯ投光器１１から出力さｆ′Ｌ九光は例えば回転形
のスキャンミツ−１２で反射させて被検査物ＩＪの表両
幅方向一端ムから他端１へ光走査し【いく。このとき、
被検査物ＪＪＯ！１１１が非鏡面状態にあれば、そｏｈ
ｍから正反射成分の外り射成分Ｏ＊査点光偉が反射され
る。Ｊ４は被検査物表面から反射すゐ乱反射成分の走査
点光像を集光すゐ集光レンズであって、ここで集光され
友光會は台形のスリットを有するスリット板１ｓＫ入力
される。このスリット板ＩＪは被検査物１１の点走査に
よって形成される走査線以外から出る不要反射光を除去
するために走査線と対応するようにスリン）１設けると
ともに、集光レンズｌ−からの走査点光像の結僚位置に
合せて同レンズ１４と非平行状態で配置している〇さら
に、このスリット板１４（Ｑ後部に凸レンズｌ＃を配置
する。この凸レンズ１６はスリット＠Ｘｉの配置方向と
は無関係であるが集光レンズ１４とは平行をなして配置
し、かつ望ましくはスリン）［７ｊＫ近接して配置する
。こｎＫより、スリン）１［Ｊ Ｉｔ通過した走査点光
像が光電変換器１ｒの受光面上に広がりをもって入射す
ゐ構成とする。この充電変換器１ｒはホトマルｔ＆はホ
トダイオード等を有し、凸レンズＩＦと平行をなす・よ
うに配置する。
る。第２図において１１は投光器であって、これは例え
ば電球とレンズとの組合せ、或いはレーザ発振器などの
光源とコリメータとの組合せからなる′もｏｔ＊用する
０こＯ投光器１１から出力さｆ′Ｌ九光は例えば回転形
のスキャンミツ−１２で反射させて被検査物ＩＪの表両
幅方向一端ムから他端１へ光走査し【いく。このとき、
被検査物ＪＪＯ！１１１が非鏡面状態にあれば、そｏｈ
ｍから正反射成分の外り射成分Ｏ＊査点光偉が反射され
る。Ｊ４は被検査物表面から反射すゐ乱反射成分の走査
点光像を集光すゐ集光レンズであって、ここで集光され
友光會は台形のスリットを有するスリット板１ｓＫ入力
される。このスリット板ＩＪは被検査物１１の点走査に
よって形成される走査線以外から出る不要反射光を除去
するために走査線と対応するようにスリン）１設けると
ともに、集光レンズｌ−からの走査点光像の結僚位置に
合せて同レンズ１４と非平行状態で配置している〇さら
に、このスリット板１４（Ｑ後部に凸レンズｌ＃を配置
する。この凸レンズ１６はスリット＠Ｘｉの配置方向と
は無関係であるが集光レンズ１４とは平行をなして配置
し、かつ望ましくはスリン）［７ｊＫ近接して配置する
。こｎＫより、スリン）１［Ｊ Ｉｔ通過した走査点光
像が光電変換器１ｒの受光面上に広がりをもって入射す
ゐ構成とする。この充電変換器１ｒはホトマルｔ＆はホ
トダイオード等を有し、凸レンズＩＦと平行をなす・よ
うに配置する。
次に、以上の１５に構成せる表面検査装置の作用を説明
する。投光器１１から出力さｆ′した光をスキャンミツ
ー１ｘＩＩｃよって被検査物１１０表面幅方向一端ムか
ら他端１へ順次光走査すゐと、この光走査によって被検
査物ＩＪの表面から乱反射成分の走査点光像が反射さｎ
るが、二〇ｔａ射成分の出力する方向に集光レンズ１４
會配置しておぐと、被検査物１１の表面からの乱反射成
分の走査点光像は集光レンズ１４によって集光されスリ
ブ）＠Ｊ Ｊのスリット部分に結像１！れる０そして、
このスリブ）Ｉ！Ｊ ｇで不要反射光書ｔ＊＊ｂ＊＊点
光像のみを通過させる◎ところで、スリブ）＠Ｘｔｔは
走査点光像の結ｇ１１ｉｉに配置されて、いるため岡光
會をそのまま先覚変換器ＪＦ４Ｄ受光Ｗに入力すれば、
各走査点の像が走査線に従って参勤する状態となって光
電変換器ｐｒｅ感直ム５１ＩＯ影響を受けゐ０そとで、
本装置では、スリット＠ＩＩの後部に集光レンズ１４と
平行をなし、かつスリット板１５に近接して凸レンズＩ
ｇｆ配置したので、スリット板ＪＪｔ通過した走査点光
像は凸レンズＩｌｉによって光学的に広がりを有して光
電変換器１ｒの受光面に入力することができる０このえ
め、光電変換器１１の受光面を形成する光電変換物質の
不均一やその受光位置によって増倍率に差があっても、
これらを補なうべく光電変換作用によって感度ムラを消
去する。しかも、凸レンズ１６はスリット板１５に近接
して設けるため、スリット板１５を通過する光像を外部
に散乱させることなく光電変換器１１に導くことが可能
である０ なお、本発明は上記実施例について限定されるものでは
ない０例えば第２図では被検査物１３からの乱反射成分
の反射光ａｔ受光して欠陥検査を行なう手法管採ったが
、正反射成分の場合にも同様に適用できることは貰うま
でもない０また、点走査でなく棒状光源管用いである有
効視野のみ同一に照射するものでも同様に適用できる０
その他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変形
して実施できるＯ 以上詳記したように本発明によれば、結倖面上のスリッ
ト板を通過した走査点光像を広がりｔ有して光電変換器
の受光１ｉＫ入力したので、充電変換物質の不拘−鍮布
や受光位置の増倍率差等管補償して光電変換器から感度
ムラのない検査信号ｔ１１ＩＬり出すことが可能となり
、これにより被検査物Ｏ欠Ｓ會適確に判断できるｏ’ｔ
た、凸レンズおよび光電変換器は集光レンズに対して平
行とするため光学系の配置が得られる０また、スリブ）
板に近接して凸レンズを設けたので、外部に光エネルギ
ーｅａｔさせずに光電変換器にλ力できる０こＯことは
被検査物が反射率の悪いもＯでも光エネルギーの損失を
少なくして高感度で検査光像を受光できるＯ従って、特
に艮反射成分を利用するもＯＫ適用して有効な表両検査
装置を提供できる０
する。投光器１１から出力さｆ′した光をスキャンミツ
ー１ｘＩＩｃよって被検査物１１０表面幅方向一端ムか
ら他端１へ順次光走査すゐと、この光走査によって被検
査物ＩＪの表面から乱反射成分の走査点光像が反射さｎ
るが、二〇ｔａ射成分の出力する方向に集光レンズ１４
會配置しておぐと、被検査物１１の表面からの乱反射成
分の走査点光像は集光レンズ１４によって集光されスリ
ブ）＠Ｊ Ｊのスリット部分に結像１！れる０そして、
このスリブ）Ｉ！Ｊ ｇで不要反射光書ｔ＊＊ｂ＊＊点
光像のみを通過させる◎ところで、スリブ）＠Ｘｔｔは
走査点光像の結ｇ１１ｉｉに配置されて、いるため岡光
會をそのまま先覚変換器ＪＦ４Ｄ受光Ｗに入力すれば、
各走査点の像が走査線に従って参勤する状態となって光
電変換器ｐｒｅ感直ム５１ＩＯ影響を受けゐ０そとで、
本装置では、スリット＠ＩＩの後部に集光レンズ１４と
平行をなし、かつスリット板１５に近接して凸レンズＩ
ｇｆ配置したので、スリット板ＪＪｔ通過した走査点光
像は凸レンズＩｌｉによって光学的に広がりを有して光
電変換器１ｒの受光面に入力することができる０このえ
め、光電変換器１１の受光面を形成する光電変換物質の
不均一やその受光位置によって増倍率に差があっても、
これらを補なうべく光電変換作用によって感度ムラを消
去する。しかも、凸レンズ１６はスリット板１５に近接
して設けるため、スリット板１５を通過する光像を外部
に散乱させることなく光電変換器１１に導くことが可能
である０ なお、本発明は上記実施例について限定されるものでは
ない０例えば第２図では被検査物１３からの乱反射成分
の反射光ａｔ受光して欠陥検査を行なう手法管採ったが
、正反射成分の場合にも同様に適用できることは貰うま
でもない０また、点走査でなく棒状光源管用いである有
効視野のみ同一に照射するものでも同様に適用できる０
その他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変形
して実施できるＯ 以上詳記したように本発明によれば、結倖面上のスリッ
ト板を通過した走査点光像を広がりｔ有して光電変換器
の受光１ｉＫ入力したので、充電変換物質の不拘−鍮布
や受光位置の増倍率差等管補償して光電変換器から感度
ムラのない検査信号ｔ１１ＩＬり出すことが可能となり
、これにより被検査物Ｏ欠Ｓ會適確に判断できるｏ’ｔ
た、凸レンズおよび光電変換器は集光レンズに対して平
行とするため光学系の配置が得られる０また、スリブ）
板に近接して凸レンズを設けたので、外部に光エネルギ
ーｅａｔさせずに光電変換器にλ力できる０こＯことは
被検査物が反射率の悪いもＯでも光エネルギーの損失を
少なくして高感度で検査光像を受光できるＯ従って、特
に艮反射成分を利用するもＯＫ適用して有効な表両検査
装置を提供できる０
第１ＷＡ（２）、（９）は従来装置Ｏ構成を示す図、第
２図は本発明に係る＊ｉｉｒ検査装置の一実施例を示す
構成図である０ １１・・・投光器、１２・・・スキャン建チー、１３７
槍検査物、１４・・・集光レンズ、１５・・・スリット
板、Ｊｉｌｔ・・・凸レンズ、ＩＰ・・・光電変換器。
２図は本発明に係る＊ｉｉｒ検査装置の一実施例を示す
構成図である０ １１・・・投光器、１２・・・スキャン建チー、１３７
槍検査物、１４・・・集光レンズ、１５・・・スリット
板、Ｊｉｌｔ・・・凸レンズ、ＩＰ・・・光電変換器。
Claims (1)
- 光走査によって被検査物表両より反射する滝査点光１１
ｔ受光して被検査物の表面欠陥を検査すＺ装置において
、前記被検査物から反射する走査点光像を集光する集光
レンズと、この集光レンズから出力された走査点光像の
結像上に視野ｔｍ＠するために配置したスリット板と、
このスリブ）！通過した光１１ｔ拡がりをもたせて出力
すゐレンズと、このレンズから出力された光像を受光し
て電気信号に変換する光電変換器とを備えてなることｔ
特徴とする表面検査装置０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12011481A JPS5821545A (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12011481A JPS5821545A (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | 表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5821545A true JPS5821545A (ja) | 1983-02-08 |
Family
ID=14778284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12011481A Pending JPS5821545A (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5821545A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60209150A (ja) * | 1984-04-02 | 1985-10-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | 表面検査装置 |
-
1981
- 1981-07-31 JP JP12011481A patent/JPS5821545A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60209150A (ja) * | 1984-04-02 | 1985-10-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | 表面検査装置 |
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