JPS58211622A - 光学系の光学特性測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 に初期条件設定時に測定光路内に被検光学系が配置され
ているか否かを判宇し、必要に応じて警告する手段を設
けた光学系の光学特性測定＠置に関する。

近年、光学系の諸種の光学／１′￥件を自動的に測定す
る装置が種々掃案され、また実用化されつつある。特に
眼科、眼鐙分野においてはメガネレンズの屈折特性を自
動的に測定するいわゆる自動レンズメーターが実用化さ
れている。本出願人も、先に、特願昭Ｓタータ６ｇ左／
号、特願昭左乙一３θ．２２２号において、被検レンズ
に平行光束を入射させ、被検レンズの屈折特性によって
変化させられた被検レンズがらの射出光束を少なくとも
３本の少なくとも３点で交差する直線パターンにより構
成された光束選択手段で選択し、この選択された光束を
ＣＣＤ等がら成る二次元センサあるいは交差する２本の
ラインセンサもしくは回転する７本のラインセンサで検
出し、前言ｉｊ直線パターンに対応した検出面上での直
線投影パターンの長さと角度の変化から被検レンズの屈
折特性、主に球面度数、円柱度数並びにその軸角度及び
プリズム屈折力並びにプリズムペース角度を測定するよ
うにした、自動レンズメーターに適した光学系の光学特
性測定装置を提案した。

また、本出願人は特願昭ｓｔ−．ｙｏλ．２３号、％願
昭ｓｂ−ｇｓｑｑｏ号において、前記光束選択手段の選
択パターンを少なくとも２本の直線からなる第１平行直
線群と、この第１平行直線群とはその配列方向を異にす
る少なくとも２本の直線からなる第コ平行直線群で構成
し、この選択手段で選択された被検レンズからの射出光
束が前記検出面上で作る第１及び誠λ平行直線群投影パ
ターンのピッチと配列角方向の変化から被検レンズの屈
折特性を測定する光学系の光学特性測定装置を提案した
。さらにまた、本出願人は、前記した出願において、各
個の被検レンズの測定毎に被検レンズを測定光路内に配
置しない場合の光束選択手段で選択された光束が作る投
影パターンをもとにその装置自身のもつ個有の初期値を
設定し、この初期値を基準として被検レンズの光学特性
を測定することにより、装置の輸送時の衝撃によるくる
いや、温度変化や経年変化によるくろいがあっても常に
測定開始毎に初期値を設定し、この初期値にもとすいて
被検レン．ズを測定できることを付言した。

この初期条件設定方法において、初期値を設定するにあ
たっては測定光路内に被検レンズが配置されていないこ
とが前提条件となる。なぜならば、もし測定光路内にあ
る光学特性を有する光学部材が配ｔぎれたまま、初期値
設定をすれば、＃置はその光学部材が加えられた状態で
の測定値を初期値として設定するため、以後の被検レン
ズの光学特性測定値はこの光学部側の光学特性が加えら
れた型で測定されるためすべて誤った測定値となってし
まう。このことは、特に、０．０　、／　Ｄｌｏｐｔｏ
ｒの測定精度を保障する必要のある自動レンズメーター
においては重要である。

本発明は、このようなややもすれば犯しがちなミスを未
然に防ぎ得る光学系の光学特性測定装置を提供するため
のもので、その第１の目的は、初期値設定時に被検光学
系が測定光路内に配置されているか否を判定する判定手
段を有する光学系の光学特性測定装置を提供することに
ある。

本発明の第一の目的は、さらに測定光路に被検レンズが
配置されていた場合、使用者に警告を発する警告手段を
も有する光学系の光学特性測定装置を提供することにあ
る。

本発明の第３の目的は、測定光路内に被検レンズが＾１
蓋されているか否かを検出するための特別な手段、例え
ば被検レンズに光波や音波を放射し、その被検レンズか
らの反射波を受けて被検レンズの存在を検出する等の特
別の検出手段を必要とせず、被検レンズの光学特性を測
定・演算するシーケンスの一部改良により被検レンズの
存在の有無を判定することにある。

以上の目的を達成するための本発明の構成上の特徴は、
光源からの光を平行光束とするコリメータ一手段と、該
コリメータ一手段からの光束の一部を選択する光束選択
手段と、該コリメータ一手段と該光束選択手段との間に
被検光学系を保持する保持手段と、核光束選択手段で選
択された光束を検出する検出手段と、測定光路内に前記
被検光学系を１置しないときの該検出手段の検出結果に
もとすく初期値と、＃測定光路内に前記被検光学系を配
置したときの前記検出手段の検出結果にもとすく測定値
の差から前記被検光学系の光学特性を演算する演算手段
とを有する光学系の光学特性測定装置において、前記初
期値を得る前の予備測定で前記検出手段の検出結果もし
くは前記演算手段の演算結果が予め定めた判定値と相異
するとき前記測定光路に被検光学系が配置されていると
判定する判定手段を有して成ることを特徴とする特許 さ゛らに限定的な実施側＃ｒ＝−ｎる本発明の構成上の
特徴は、本出願人の先願である、Ｉ！！ｊ願昭５Ａ一３
０．２２３号あるいは特願昭！；ＡーｇＡ；１７９０号
において提案した光束選択手段の構成すなわち、少なく
ともコ本の互いに平行な直線からなる第／千行偵線群と
該第／平行直線群とその配列方向を異にする少なくとも
コ本の平行ｉ線からなる第コ平行直線群とで光束選択手
段を構成し、この光束選択手段で選択され検出面上に投
影される光束のピッチ値と予め宇めた判定基準ピッチ値
とを比較して測定光路に被検レンズが配置されているか
否かを判定する光学系の光学特性測定装置にある。

また、別の実施態様での本発明の構成上の特徴は、上記
同様の光束選択手段により選択された光束を検出手段で
検出し、その検出結果をもとに演算手段で演算し、もと
められた投影パターンに関する直線方程式から平行四辺
形を算出し、この平行四辺形の頂点座標値と予め定めた
判定へ基準頂点座標値とを比較して測定光路内に被検レ
ンズが配置されているか否かを判定することにある。

以上の構成により、測定光路内に被検レンズが配置され
ているか否かを判定できるため、初期値設定が誤りなく
おこなえ、ひいては光学特性測定装置の測定精度の向上
及び維持が保証されるという長所をもつ。また、本発明
の構成によれば、光学特性測定ｉｔが有する検出手段や
演算手段の一部を改良するだけで被検レンズの存否を判
定でき、被検レンズの存否を検出するためのまったく別
個の特別を検知手段を必要とすることがないという長所
をも有する。

以下、本発明の実施例を図をもとに説明する。

まず本実施例の基礎となる光学系の光学特性測定装置を
本出願人が先に出願した特願昭５Ａ−ｇｓｌＩタθ号の
装置にもとすいて説明する。

第７図は本発明に係る光学特性測定装置の光学系配置を
示す図である。図において、２ａ，２６はそれぞれドラ
イブ回路１により交互に駆動される互いに発光波長の異
なる光源、例えばＬＥＤ等である。

光源２ａから発しｆ−ｉ束・はダイクロイックプリズム
３０波長選択性反射透過膜３ａで反射されリレーレンズ
４に入射する。一方光源２ｂから発し、た光束はダイク
ロイツクプリズム３０反射透過膜３ａを透追してリレー
レンズ４に入射１る。リレーレンズ４に入射した光束は
リレーレンズ４によつてピンホール５に集光される。こ
のピンホール５は見かけ上の光源の大きさを、測定時の
光量、回折現象を考慮して適当な大きさとする為のもの
で直径θ、／〜０．３朋程度のものが用いられる。ピン
ホール５を出射した光束はコリメータレンズ６により平
行光束とされたのち反射ミラー７により下方に曲げられ
て保持手段Ｆに保持された被検レンズ８に入射する。被
検レンズ８を出射した光束は反射ミラー９により光路を
曲げられたのちリレーレンズ１０に入射する。リレーレ
ンズ１０を、出射した光束はダイクロイックプリズム１
１に入射しその波長選択性反射透過膜１１ａにより、入
射光束の波長によりその光束を反射もしくは透過する。

例えば透過された光束はつぎに反射ミラー１２で反射さ
れたのち光束制限マスク１３ｂに入射し、被検レンズ８
の光学特性を検出する為に必要な情報分が選択されたの
ち、半透過Ｄ　Ｉ　４　ａを有する光路分割手段、例え
ばハーフミラ−１４に入射し光束の７部は半透過膜１４
ａで反射されラインセンサ１５に入射し検出される。他
の７部は半透過膜１４８を透過してラインセンサ１６に
入射し検出される。他方、ダイクロイックプリズム１１
０反射透過膜ｉｔａで反射された光束は反射ミラー１７
で光路を曲げられたのち光束制限マスク１３ａに入射し
、ここで被検レンズ８の光学特性を検出するために必要
な情報分が選択されたのちハーフミ７−１４に入射し入
射光束の一部は半透過膜１４ａで反射されてラインセン
サ１６に入射し検出され、仙の一部は半透過膜１４ａを
透過してラインセンサ１５に入射し検出される。なお、
本実施例においては光束制限マスク１３ａ、１３ｂはそ
れぞれ被検レンズ８から距離△ｄ　だけ離れた位置ＭＡ
に配置されたと同等の効果をもつよう拠りレーレンズ１
０によってＭＡと共役な位置に配置されている。同様に
、ラインセンサ１５．１６のそれぞれもリレーレンズ１
０によって検出面りの位置と共役な位置に配置されてい
る。また本実施例のラインセンサ１５．１６としては、
直線型のＣＣＤ固体撮像素子等が用いられる。

そして、この２本のラインセンサ１５，１６はその共役
面り内で互いに交差するように配置されている。

本実施例では、２本のラインセンサをもちいたが、この
かわりに例女ばラインセンサ１５の位置に７枚の二次元
平面センサや光軸を回転軸として回転する７本のライン
センサを使用してもよい。

本実施例において、光源２ａを射出した光束はグイクロ
イックプリズム３→リレーレンズ４−トーンホール５→
コリメーターレンズ６→反射ミラー７→被検レンズ８→
反射ミラー９→リレーレンズ１０→ダイクロイックミラ
ー１１→反射ミラー１７→マスク１３ａ→ハーフミラ−
１４→ラインセンサ１５及びラインセン嘴１６からなる
第１測定光路を形成する。他方光源２ｂを射出した光束
はグイクロイックプリズム３→リレーレンズ４→ピンホ
ール５→コリメーターレンズ６→反射ミラー７→被検レ
ンズ８→反射ミラー９→リレーレンズ１０→ダイクロイ
ックプリズム１１→反射ミラー】２→マスク１゛３ｂ→
ハーフミラ−１４→ラインセンサ１５及びラインセンサ
１６からなる第１測定光路を形成する。

第２ａ図、第２ｂ図はそれぞれ前述の光束制限マスク１
３Ｂ、１３ｂのマスク／ｆクーンを示す図である。

マスク１３ａは傾きｍ２　でピッチｐの検数の直線パタ
ーンからなる平行直線群２０を有して（・る。

また平行直線群２０の内少なくとも７本は他の直線・母
ターンと区別できるよう忙太さの異なる基準直線パター
ン２２を有している。同様にマスク１３ｂは基準直線・
ぐターン２３を有し傾きｍｌ、ピッチｐの平行直線群２
１を有している。

ここで、本実施例では基準直線パターン２２．２３は太
さに差をもたせることで他の直線）９ターンと区別させ
たが、本発明はこれに限定されるものでなく、光の透過
率や透過波長特性に差をもたせることＫより区別させて
もよく、或いは直線群はすべて同一とし、その特定箇所
のピッチを変えて基準直線の代りとしてもよい。

マスク１３ａ、１３ｂのそれぞれの平行直線群２０．２
１は第１図のリレーレンズｌＯによるマスフ１３ａ、１
３ｂの共通共役面ＭＡ上で互いの交差角がθでかつ、そ
のａ等分線２４がある基準軸２５と交わる角度がεとな
るように構成されている。本更施ではθ＝７０°　ε＝
９０°にしである。

なお、平行直線群２０．２１のそれぞれのピッチを同じ
値ｐに選んでいるが、これはマスク１３ａ１１３ｂの製
作を容易にするためだけであり、たがいに異なるピッチ
の平行直線群を使用してもよいし、また１つの平行直線
＃゛トの各々の直線ノ々ターンのピッチもそれぞれ同一
にする必要はない。

また、角度θ、及びεも任意に選択し５るものである。

第３図は、ラインセンサによるマスクパターン像検出時
のラインセンサ上へのマスクパターン僧の投影関係を示
す図である。第３図に示すように第７図のラインセンサ
１５．１６はそれぞれリレーレンズ１０により共通共役
面すなわち検出面り上で交差角γを有するような関係で
配置されている。そして、このラインセンサ１５．１６
上に被検レンズ８によって、その屈折特性情報をもった
光束はマスク１３ａ、１３ｂを通過し、マスク１３ａの
３Ｆ行１１Ｗ１群２０はラインセンサ上に直線・母ター
ン俊２０’ａ　、　　２　ｏ’ｂ・・・・・・２２’・
・・・・・２０’　ｈとして投影される。同様にマスク
１３ｂの平行直線群２１は直線パターン像２　ｌ’ａ１
２１’ｂ・・・・・・２３′・・・・・・２１′ｌ　と
して投影される。これら投影される直線パターン像は被
検レンズ８の屈折特性により、ピッチはｐ／及びｐ’Ｋ
、また互いの交差角はθＩ　に及びその三等分＠２４’
　　が基準軸２５′と交わる角「ばε′　に変化させら
れる。

測定に際してまず光御２ａの発光により、第１測定光路
が形成され、マスク１３ａによる直線パターン像２０〆
ａ　、　　２　ｏ’ｂ　＋＋＋＋＋・２２’　・曲・２
０’ｈ　　が、ラインセンサ１５、及び１６上に投影さ
れる。ここでラインセンサ１５に、より直線パノーン豫
２０′８．２０’　ｂ　・・・・・−２０’　ｈはそれ
ぞれ検出点ｅ、１、’１２・・・・・・ｅ、７として検
出される。同様にラインセンサ１６によっても、検出点
ｆＮ、１１２・・曲ｆ１゜として検出される。

つぎに、光源２ｂを発光させると、第１測定光路が形成
され、マスク１３ｂによる直線パターン像２１’ａ、　
２１’ｂ・・・・・・２３〆・・・・・・２１′１　が
ラインセンサ１５、及び１６上に投影される。ここでラ
イ／センサ１５により直線パターン像２１’ａ。

２１’ｂ・・・・・・２３／・・・・・・２１′１　は
それぞれ検出点ｅ２４、ｅ２２・・・・・・ｅ２９、ｅ
２ｏとして検出される。また同様にライ／センサ１６に
よっても検出点ｆ２４、ｆ　・・・・・・’２６として
検出される。

２ 第７図（Ａｌ−翰）は、ライ／センサによる直線パター
ン像検出時のライ／センサ出力及びその後の演算をタイ
ミングチャートで示した図である。（Ａ）はラインセン
サの検出出力読み出し駆動用のパルス列であり、ライン
センサにこの・やルスが入力されるとそれにともなって
ラインセンサから順時検出出力が出力される。（Ｂ）は
ラインセンサ１５に直線ノ平ターン２０’ａ、２０’ｂ
・・・・・・２２′・・・・・・２０Ｊｔ　　が投影さ
れたときのラインセンサ１５からの検出出力波形（包絡
線）を示している。この（Ｂ）の出力波形は検出点ｅＮ
　、ｅ１２・・・・・・ｅｇに対応した出力レベルの立
上りを有する出力波形となっている。同様に（Ｃ）は、
ラインセンサ１６による直線像パダ一ン２０’ａ　、　
２０’ｂ−”−２０’ｈの検出出力波形、（Ｄ）はライ
ンセンサ１５による直線パターン２１’ａ。

２１’ｂ・・・・・・２３’・・・・・・２１′１の検
出出力波形、（Ｅ）はラインセンサ１６による直線像ノ
やターン２１’ａ。

２１’ｂ・・・・・・２３′・・・・・・２１１１の検
出出力波形である。

（Ｆ）〜（りは、上述の検出出力波形（Ｂ）〜（Ｅ）を
シュミット・トリガー回路で矩形波に波形成形した矩形
波出力波形であり、出力波形（Ｆ）〜（１）はそれぞれ
出力波形（Ｂ）〜（ε）に対応している。つぎにこの得
られた矩形波出力波形（Ｆ）〜（１）の各矩形波の中心
位置をもとめ、この中心位置をラインセンサのセンサ素
子番号を目盛として位置づけする。

すなわち、１Ｅ３−図に示すようにＥｌ、Ｅ２・・・・
・・εＮ−７、ＥＮ番までのＮ個のセンサ素子からなる
ラインセンサＬＮＳの第Ｅ番からＥ　　　番号のセｐ　
　　　　ｐ＋ｎ ンサ素子により、矩形波出力ｅ、が出力され、また第１
１番からＥ／＋ｍ　　番のセンナ素子により矩形波出力
ｅ８　が出力されているとき矩形波出力ｅＡ　の幅△、
はセンサ素子個数ｎ個に、矩形波出力ｅ８の幅△８はセ
ンサ素子個数ｍ個にそ、れぞれ対応しているので矩形波
出力ｅＡ　の中心位ｆＩ＃Ｏ４はε９番素子からｎ／、
２個づれたＥ、　＋　ｎ／、２　：：　Ｅｒ、、１番目
の素子に対応していることがわかる。同様に矩形波出力
ｅ　の中心位置０２はＥｌ−１−ｍ／λ＝Ｅｃ２番目素
子に対応している。又、更に検出精度を上げる為にはセ
ンサ素子ピッチ間の内挿が必要であるが、これは出力信
号の立上り、立下り部を正確に包絡線検波した後に適当
なスライスレベルで波形整形しラインセンサを駆動する
パルス列より充分周波数の高いクロックパルスを用いて
中心位置を検出する事によって達成される。

このように直線・ぐターン像の位置は検出点から得られ
るラインセンサの矩形波出力波形の中心位置を（とめる
ことによりラインセンサの素子番号によって位置付けす
なわちラインセンサを座標軸とする座標値として得られ
る。

第グ図（」）〜−）は、上記の方法で各々の検出点をラ
インセンサ上の座標値として示した図であり、座標値ｅ
′４４、”　１２　・・””　”　＋７　は検出点ｅ１
１、ｅ１２・・・・・・ｅＢ　＆Ｃそれぞれ対応してい
る。また以下座標値ｆ′４．〜ｆ′７．は検出点’Ｎ〜
ｆ７．に、座標値ｅ／　　−６’　　は検出点ｅ２．〜
ｅ２ｏに、座標値２１　　　　２０ ｔｌ　　−ｆｌ　　は検出点ｆ２．〜’２６にそれぞれ
対応２１　　　　２６ している。

また第３図に示したように矩形波出力ｅ８　　を出力す
るセンサ素子数ｍは他の矩形波出力ｅＡ　を出力するセ
ンサ素子数ｎと異なっており、かつｍ〉であることから
この矩形波出力ｅ８　が第２ａ図、＊、ｑｂ図に示した
ような基準ＴＩ４．線パターンによる直線パターン偏ｆ
の検出出力であることがわかる。

本実施例においては第３図、第を図の検出点ｅ、５．０
１６％　ｅ２５　％　’２３がそれぞれ基準直線パター
ン像２２’、２３’　　を検出した検出点であり、ｅ′
１５、ｆ′１６、ｅ′２５、ｆ′２３がそれぞれの基準
座標値であることがわかる。

そして、基準座標値ｅ′、５、　′、６　かも基準直線
パターン＠２２′　　の方程式が決定でき、基準座標値
”　２５　Ｎ　　”　２５から基準直線パターン像２３
’の方程式が決定できる。また基憔座仲値ｅ′、５、ｆ
′、６、ｅ′２５、ｆ′２３　　を基準として順序づけ
られる各座標値から他の直線パターン像の方程式が決定
できる。例えば基準座標値ｅ／、５０次の座標値ｅ′１
６　　と基準座標値ｆ′１６　の次の座標値ｆ′、７　
　とから直線パターン像２０’ｆの方程式が決定できる
。

このよう忙各々の座標値から多数の直線ノやターン像の
方程式が決定でき、かつこれら直線パターン像は、只じ
平行直線群に属するものはその平行性をくずすことはな
いので、これら多数の曲線方程式を平均化することによ
り、より正確な精密な検出結果が得ら灼る。また、もと
めた多数の方程式のそれぞれのピッチｐ′　も多数の値
をもとめることができ、これらを平均化して正確な、精
密なピッチｐ′　をもとめることができる。

次に第６図から第３図まで参照しながら、ラインセンサ
により検出された直線ツヤターン像の方程式から仮想直
線を生成し、この直線をもとに直線ノ々ターン仰投影面
と同一平面上に仮想平行四辺形を決定し、この仮想平行
四辺形の頂点の変化から被検レンズの屈折特性を測定す
る方法について述べる。第４図は、被検レンズ８を測定
光路に挿入しないときのラインセンサ１５，１６上へ直
線ノ（ターン２０．２１を投影した場合を示している。

このとき直線パターン像２０′（第６図でしＬ基準直線
パターン像２２’　、２３’及び直線〕やターン２０’
ｅ、　２０’ｆ　、　２　Ｉ’ｄ、　２１’ｅのみを選
択して図示しているが）及び２１′　　は前述の方法に
よりその直線の方程式及びピッチｐが決定される。そし
て次に例えば直線ノやターン像２０′ｅを基準としてｅ
ｘＰだけ離れた位置に傾きｆｘｍ２　　の仮想直線３０
を生成でき、又、その反対側にｇｘＰだけ＊Ｉ＃れた位
ｔＦＪＮｃ＃舞ｆ　ｘ　ｍ２　の仮Ｐ４．直鋺３１を生
成することができる。同様な方法により、例えば直線パ
ターン像２１′ｄを基迩として、ｈｘＰだけ離れた位置
に傾きｆ　Ｘ　ｍｌ　　の直線３２を、ｌｘＰだけ一離
れた位置に傾きｆ　Ｘ　ｍｌ　　の直線３３をそれぞれ
生成できる。ここで係数ｅ１　ｆｓ　ｇｌ”ｓ　　Ｉ、
は任意に選択できる係数であり、普通ｆ＝／すなわち直
線パターン像の方程式の傾きｍ、及びｍ２と同じ傾きの
仮想直線を生成させる。また、係数ｅｓ　ｇｌｈｓ　　
ｒは、生成される仮想平行四辺形の頂点３６．３７．３
８、及び３９がマスクの中心２４に対し対称となるよう
に選ばれる。第６図は、このように仮想平行四辺形が生
成された状態を示している。このように仮想直線を生成
するのは被検レンズのプリズム屈折力の算出を容易にす
るためである。

次に測定光路中に被検レンズを挿入し、その被検レンズ
の屈折特性によって変化された光束による直線パターン
像をラインセンサで検出し、こび）直線／ｆターンから
仮想直線をもとめる方法を第７図に示す。

まず、被検レンズの屈＋Ｔｊ　ｌｉ性により、ピッチＰ
′、Ｐ′、匣きｍ、′、ｍ２′にそれぞれ肇化された直
線ノｅターン像２０’、２１’を栓出し、その方程式を
算出することは上述したとおりである。次に舘乙図で基
準とした直線ノぞターン像２０′ｅに対応する直線パタ
ーン像２０’ｅを基準として第６図で仮想直ＩＭ３０な
生成するために利用したと同じ月の、係数ｅをもってｅ
ｘＰ’　　の付価に仮想直線３０′を生成する。なおこ
の仮想直線３０’　　の傾きは第６図で仮想直線３０’
　　の傾きｆ　Ｘ　ｍ２　　の係数ｆをｆ＝／とおいて
いるので仮想直線３０′　　の傾きｆ　Ｘ　ｍ２’の係
数ｆも同様にｆ二／としている。同様の方法で、直線・
ｅターン像２０’ｅを基準としてｇ　ｘ　Ｐ’　　の位
置に仮想面線′３１′　　を、ｉ白線・やターン像２１
′ｄを基準としてｈ　ｘ　Ｐ’　　の位置°に仮想直線
３２′　　を、１×Ｐ′　　の位置に仮想直線３３′　
　をそれぞれ生成する。そしてこれらの仮想直線３０′
、３１’、３２’、３３’　　からなる仮想平行四辺形
の頂膚３６’、３７’、３８’、３９′を得られるし、
これらｔ頂瑯からその中心３４′　　を得ることができ
る。

このようにして、もとめられたダ点３６〜３９は検出面
り上で被検レンズの屈折特性により７点３６′〜３９′
に変位する。この梯子を示すのがｇ図である。

ここで、仮想平行四辺形の１１１Ｊｎ点３６〜３９の座
標をそれぞれ（ｏＸｌ、ｏＹｌ）、（ｏＸ２、ｏＹ２　
）、（ＯＸ３、ｏＹ３）、（ｏＸ４．０Ｙ４）とし、ま
た仮想平行四辺形のｌ１ｍ点３６′〜３９′の座標をそ
れぞれ（ｘ、、ｖ、　）、（×２、Ｙ２）、（ｘ３、Ｙ
３）、（Ｘ４、Ｙ４）とするとき、以下の係数と式を定
義する。

Ｄｌｋ　”　ｏＹｌ　　−Ｏｙ。

ここにｌ、ｌ、ｋは１を基準として１もしくはｋをとる
ものとする。また１、ｊｌ−はそれぞれ／〜りをとるも
のとする。仮想９点より、７２通りの組合せが考えられ
る。

上記（／ａ）式を用いれば、被検レンズ８０一つの主経
線の屈折力に関するｚｌ、ｚ２は以下のａ次方程式で表
示できる。

２ （ＣＩｋＤｌ　１−Ｃ１１Ｄｌｋ）（１）　＋（Ａｌ　
１Ｏ１ｋ＋８１ｋＣ１ｌ−Ａ　ｎＤ＋　＋−Ｂ＋　＋Ｃ
＋ｋ）　（、）＋（Ａ　Ｈ，Ｊ　１−Ａ　（ＩＢ　Ｉｋ
）　：０・・・・・・（／ｂ）式 ここで上記係数のカッコ式を以下のもので定義する０ ［ｐｌｑ）ミｐＨｑＩｋ　　Ｑｌｊ”ｌｋ［ｐ　ｓ　　
ｑ〕＝　−Ｃｑ　１１）］ここでｐ１ｑはそれぞれＡｌ
ＢｌＣ，Ｄのいずれかをとるものとすると、（／ｂ）式
は ［ｃ　＋　ｏ　］←”）　＋（（：Ｂ、Ｃ１（ＡｔＤ］
）←）＋［Ａ、Ｂ］　：θｚ　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　ｚ・・・・・・（／Ｃ）式 として表わされる。

ｄはｔｐｙ図で示すようにマスク１３ａ１１３ｂの光学
的共役面Ｍ八とラインセンサ１５．１６に光学的に共役
な共役検出面りとの間の距離、２はマスクＭＡと、被検
レンズ８の主経線が作る焦線までの距離をいう。

第ｇ図のように仮想投影四辺形を作り、その平行四辺形
を形成する’Ｉ　１７４点より、７０式の二次方程式を
解くことにより、コ根ｚ１、Ｚ２を求めることができる
。このコ根Ｚｌ　、’　Ｚ２から被検レンズ８の第１主
紅線及び第λ主経線の屈折力Ｄ１　、Ｄ２はそれぞれ として求めることができる。ここで△ｄ　は第１図に示
すように被検レンズ８と共役マスク面ＭＡとの間の距離
である。

また円柱軸の角度Ｈ（被検レンズ８０第１主経線がｘＩ
ＩＩｔｌとなす角度をθとしＨ二〇＋９０°の関係があ
る）は Ｈ＝’ｔａｎ”−’　（””Ｄ〕−〔Ａ”ｌ　＋　９０
’　　１．５１．６（３）２〔Ａ、Ｄ〕＋〔Ｂ、Ｃ〕 として求めることができる。

また、仮想平行四辺形の各頂点の座標をＸ。−ｙ□直交
座標系、×−ｙ直交座標系を使って説明したが、ライン
センサ１５．１６の配置にそって斜交座標系ｘＩ　　、
ＩＩ座標系を考えると、ｘ−ｙｉｔＪ交座標系とｘ　Ｉ
　　ｙ　／斜交座標系間の座標変換は第９図に示すよう
にＸ軸とｘ′　軸が角度αで交差し、ｙ軸とｙ′　軸が
角度βで交差し、かつ×１−ｙＩ座標系の原Ａ０２　は
ｘ　−ｙ座標系の原点ｏ１　　からｘ軸方向にξ、ｙ軸
方向にηずれている。このときＸ／　　ｙ　Ｉ座標系か
らｘ　−ｙ座標系への座標変換はＸ＝ｘ’ｓｌｎα＋ｙ
’ｓｌｎβ＋ξ ）　　・・・・・・（４） Ｖ　”　Ｖ’　ｃｏｓβ−ｘ’　ｃｏｓα十η前記（／
Ｃ）式は ５ｌｎ（α＋β）Ｘ （［Ｃ１ｔＤＩ　）（’）２＋（［Ｂ’　　ＩｃＩ　］
（Ａ’　　９０’　〕）（”）２　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　２十〔Ａ′、Ｂ′〕）＝０　
　　　　　・・曲（５）となり、（）内は（／Ｃ）式と
同一形式の二次方程式となることは本出願人の先願であ
る特願昭ｓｔ−ｇ左弘９左置９０号した通りである。こ
のことから（／Ｃ）式の二次方程式は、座標系の取り方
に無関係な不変方程式であることがわかる。

このことは、検出器としてのコ本、のライ／センサの配
置において、その配置の自由度が非常に大きいことを示
す。すなわち、コ本のラインセンサをｘ　−ｙ座標系と
して直交座標軸上におく必要はなく　、ｘ／　　ｙ７座
標系においてもよいことを意味するもので、ラインセン
サの直交精度及び光軸合せはまったく考えな（とも、測
定精度に無関係にすることができる。そして測定に際し
ては被検レンズを測定光学系に挿入しない状態の平行直
線群・ぐターン２０’、２１′を斜交座榊系×Ｉ−ｙＩ
座標のＸ′軸、ｙ′軸に配したラインセンサ１５．１６
で検出しておき、この検出からつくられる仮想平行四辺
形３６．３７．３８．３９を基準仮想平行四辺形とし、
つぎに測定したい被検レンズを測定光学系に挿入し、こ
のときの投影仮想平行四辺形３６１１３７’、３８’１
３９’をつくり、基準仮想平行四辺形と投影仮想平行四
辺形とから被検レンズの屈折特性を求めるものである。

そしてこのとき両平行四辺形は任意に選択できる斜交座
標系×Ｉｙｌ　　座標系に対してのみ座標系を考えてい
ることとなり、かつこの斜交座標系ｘ　Ｉ　　ｙ／は、
上述したようにその選択は被検レンズの屈折特性演算の
内の屈折力計算のための二次方程式に対し、無関係な不
変式であり、本発明によればラインセンサ１５．１６の
配置Ｋ対して、何ら組立上も、メンテナンス上も調整を
必要としないという非常に有利な効果をもつ。

被検レンズの円柱軸方向は、（３）式で与えられる。

（３）式は直交座標系時の式であるが、斜交序榊系Ｘ′
ｙｌ　　にセンサがある場合は、以下の式を使って斜交
座標系で求めた結果を直交座標系を使用したときの円柱
軸として計算することができる。

θ＝’ｔａｎ″″１ 被検レンズ８の直交座標系における水平プリズムｉｋ　
ｐｔｌ　、及び垂直プリズムｆ＃Ｐｖ　は次式で表わさ
れる。

ここで、ｄは被検レンズとマスク面とのビル離である。

また、斜交座標系においては、 ｄ ・・・・・・・・・（８） として表わされることは特願昭３６−ざ左りタθ号で詳
説した。

第７０図は、以上のごとき演算処理を行なう為の処理回
路の一例をプ四ツク図で簡単に示すものである。ライン
センサドライバー１００．１０１によって駆動されるラ
インセンサ１５．１６は第を図但）〜（Ｃ）で示すごと
き、まず、ドライブ回路１によって駆動された光源２ａ
の発光により、光束制限マスク１３ａの直線開ロｔ４タ
ーン投影像による検出出力信号を信号ライン１０２．１
０３に送出する。１０４はアナログスイッチであり、マ
イクロプロセッサ１０５によってコントロールされる。

マイクロプロセッサ１０５はラインセンサ１５をドライ
ブするドライバー１００よりラインセンサの走査開始ｉ
Ｊ？ルス１０６により割込を受けると、アナログスイッ
チを制御して、ラインセンサ１５の出力がＡ／Ｄ変換器
１０７に入力される様にする。

Ａ／Ｄ　変換器１０７は、ドライバー回路１００がらの
第ダ図（Ａ）に示すようなラインセンサ読み出し／Ｊル
ス１０８により読み出されるラインセンサの／素子毎の
出力をアナログ・デジタル変換し、変換されたデジタル
値をマイクロプロセッサに供給する。ここでＡ／Ｄ変換
器１０７は、ｇビット（／／、２！；乙）程度の分解能
、を有し、かつラインセンサの走査周波数より速い変換
時間を有するものが選ばれる。マイクロプロセッサ１０
５は、／素子毎にデジタル値に変換されたラインセンサ
１５の出力を読み込み、ＲＡＭ（ランダムアクセスメモ
リー）等で構成されるデータメモリー１０９に逐次格納
する。従って、データメモリー１０９には、あらかじめ
定められた位置（番地）より、ラインセンサの最初の素
子による出力から順にデンタル値として格納される。例
えばラインセンサが１７２ｇ素子のものであれば、７７
２ｇ個のデータ取り込みが終了すると、マイクロプロセ
ッサ１０５は、それ以上のデータ取り込みをやめ、ライ
ンセンサ１６を駆動する走査開始パルス１１０により、
割込を受けるのを待つ。割込を受けるとアナログスイッ
チ１０４を制御してラインセンサ読み出しノ母ルス１１
１により読み出されるラインセンサ１６の出力をデジタ
ル値としてデータメモリ１０９に引きつづき格納する。

つぎにマイクロプロセッサ１０５は、ドライブ回路１を
制御して今寸で発していた光源２ａを消し、光源２ｂを
発光させる。そして前述と同様の駆動により第７図（Ｄ
）、（Ｅ）の検出出力をデジタル値としてデータメモリ
１０９に格納する。これで全ての測定データがデータメ
モリ１０９に格納された事になる。以後マイクロプロセ
ッサ１０５内の演算回路１１２はデータメモリ１０９に
書き込まれたデータを基に前述の第（１）〜第ＧＯ）式
に応じて被検・レンズ８の諸種の光学特性を演算し、こ
れをもとめる。

以上の処理により求められだ各位は、第１θ図に示す表
示器１１３、プリンター装置１１４に出力される０以上
の処理は、全てプログラムメモリー１１５に記録されて
いるｆ０ダラムに従って行ｆｔ　ｂれる。マイクロプロ
セッサによって以上の様な処理を行なう事は特殊なもの
でなく、関連する技術分野に属する当業者にとっては容
易に達成できるものである。

以上述べた光学特性測定装置を例として、初期条件設定
時に測定光路内に被検レンズが配置されているか否かを
判定する判定手段の実施例を以下図をもとに説明する。

第１の実施例は、初期条件設定前に全測定シーケンスを
作動させてみて球面度数、円柱度数あるいはプリズム度
数を□測定してみて、これら値が予め定めた値より大き
いときは被検レンズが測定光路内に配イベされていると
判定するものである。

第１／図は、この第１の実施例の判定手段を含む前記マ
イクロプロセッサ１０５の測定シーケンスを概略的に示
す７ｏ−チャートであり以下の各ステップを行なう。

ステップ／：発光ダイオード発光。

ステップ２：第３図及び第を図（Ｂ）〜（０に従って前
述したようにラインセンサ１５．１６ を走査して各投影直線パターンのラ イ・ンセンヂ上への投影パターンを検 出する。

ステップ３８第グ図（Ｊ）〜（財）に示したように各投
影直線ノ々ターンの中心位置、すなわち ラインセンサ上の座標値を決定する。

ステップ＜ｚ　：　＋’ｔ″３３図に示したように投影
直線ｉＱターンの幅の違いから基準投影パター ンを見つけ、その基準座標値ｅ′１５、ｆ１１６、ｅ１
２５、ｔ’２５　　（ｆｉｇ　ＩＩ　ＩＩ（Ｊ）　〜（
財）・参照）を決定する。

ステツブ左：前記ステッグ３でもとめた各座標値間のピ
ッチを算出。

ステップ乙；ピッチの平均イ直を算出。

ステップ７；各座標値を前述した方法で結び、投影直線
パターンの直線方程式を算定 する。

ステップｇ＝ステップ７でもとめた直線方程式をもとに
、仮想平行四辺形を算定する。

これにより第３図に示した仮想平行 四辺形（３６′、３７′、３８′、３９１）を得る。

ステップ７ｘ仮想平行四辺形の頂点３６’、３７ζ３８
′、３９′　　の座標値を算出する。。

ステップ／θ；あらかじめデータメモリ１０９に記憶さ
れている設計ｉｆｉとしての基準仮想平行四辺杉の各頂
点３６．３７． ３８．３９（第５図参照）の座標値 とステップワでもとめた仮想・平行四 辺形の各頂点３６’％３７’、３８１１３９′すの座標
値をもとに第（１）〜（１０）式に応じて球面度１ｌｌ
ｓ、円柱度数０１プリズム度数Ｐをそれぞれ演算する。

ステップに１：　（被検レンズの存否判定）ステップに
１１：予め定めた判定用球面度数α、例えば市販の眼鏡
レンズの最小 球面度数値θ／　２Ｄｌｏｐｔｅｒよりステップｌθで
もとめられた球 面度数Ｓが絶対値として小さい か否かを比較し、小さければ次 のステップに１２に移行する。

もし大きければ管台を発すると ともにステップコにもどる。

ステップに１２：予め定めた判定用円柱度数、例えば市
販の眼鏡レンズの最小 球面度数値θ／　、２　Ｄｌｏｐｔｅｒよりステップ１
０でもとめられた円 柱度数Ｃが絶対値として小さい か否かを比較し、小さければ次 のステップに１３に移行する。

もし大きけれは脅告を発すると トモにステップコにもどる。

ステップに１３：予め定めた判定用プリズム度数ｒ１例
えば市販のプリズムレ ンズ度数０．３プリズムＤｌｏρｔｅｒより、ステップ
１０でもとめら れたプリズム度数Ｐが絶対値と して小さいか否かを比較し、小 さければ次のステップ／／へ移 行する。もし大きければ警告を 発するとともにステラｆ２にも どる。

ステラｆ／／！　測定光路内に被検レンズが配置されて
いないことが判定されたので、 このときの仮想平行四辺形の各頂点 ３６′、３７′、３８′、３９′の座標値を入力し、設
Ｎｌ’値データと入れかえる。

ステップ／２：ステラ７ａ／／でもとめられた初期条件
のもとに測定光路に測定したい と同様のシーケンスをもちいる。

ステップ／３：本測定によりもとめられた仮想平行四辺
形の各頂点座標値と、前記ス テップ／／でデータメモリ１０９に 記憶された初期条件をもとに被検レ ンズの球面度数５１円柱度数Ｃ１円 柱軸角度Ａｘ１　プリズム度＠Ｐ、プ リズムペース角度ＰＢをそれぞれ演 算し決定する。

ステップ／４ｔ：ステツ７″／、３でもとめられた各測
定値を例えばＣＲ７画面や発光ダイ オードからなるディスプレー装置に デジタル表示する。また必要に応じ グリントアウトしてもよい。

上記被検レンズ存否判定ステラｆＫ１　において、もし
装置が゛輸送時の’４ｊ撃や温度変化あるいは経年変化
により測定光学系のリレー倍率の変化や偏心をまねいた
り、あるいはラインセンサの配置関係の変化忙よる検出
座標系の変化が大きく生じると、被検レンズを測定光路
内に配置していないにもかかわらず、ステラｆ／からス
テップ１０の予備測定により得られた仮想平行四辺形（
３６′、３７′、３８’、　３９勺がデータメモリ１０
９内に記憶されている設ｇ＋−値データあるいは前回の
初期条件値である基準仮想平行四辺形（３６，３７，３
ｇ　、３９　）から大きく変化し、判定値α、βあるい
はｒをあたかも超えているかのように判定され被検レン
ズが測定回路内に配置されているとして警告が発される
。このときは装置使用者の確認のもとに、初期条件強制
設定命令を入力することＫよシ、変化を受けた測定光学
系やラインセンサの配置における仮想平行四辺形の各頂
点座標を初期値として採用する０本発明に関係する光学
特性測定装置は、前述したようにラインセンサの配置関
係や測定光学系の倍率変化に対し大きな自由度をもって
いるので、このように初期条件を設定しても本測定に何
ら影響をあたえない。

第７２図は上述の被検レンズ判定ステップ「ステップに
１」を実行するための装置の一例を示すブ冒ツク図であ
る・ ステップ／θまでで７１１１Ｉ定された球面度数Ｓ１円
柱度数０５ゾリズム度数Ｐはそれぞれラッチ回路２００
．２０１．２０２に入力され一時記憶される。ラッチ回
路２００からの球面度数Ｓは、判定値メモリ２０３に予
めメモリーされている判定用球面反故αと比較器２０４
で比較され、判定用球面反故αより大きいとき信号Ｈα
を出力する。信号ＨαはＯＲ回路２０７に人力される。

同じようにラッチ回路２０１からの円柱度数Ｃは判定値
メモリ２０３に予めメモリーされている判定用円柱度数
βと比較器２０５で比較され判定用円柱度数βより大き
いとき信号Ｈμを出力し、またラッチ回路２０２からの
プリズム度数Ｐは判定値メモリ２０３に予めメモリされ
ている判定用プリズム度′々ｒと比較器２０６で比較さ
れ判定用プリズム度Ｊｒより大きいとき信号Ｈｒを出力
し、それぞれＯＲ回路２０７に人力される。ここで、比
較器２０４．２０５．２０６はそれぞれ例えば公知のλ
ビット並列コンパレータで構成され、ラッチ回路からの
２進数変換された測定値と、判定値メモリにａ進数で記
憶されている判定値とが比較される。ＯＲ回路２０７は
信号Ｈα、Ｈβ、町のいずれか一つが入力されたとき出
力され、その出力はスイッチング回路２０８と前述のマ
イクロプロセッサ１０５に人力される。スイッチング回
路２０８はＯＲ回路２０７からの出力を受けて文字信号
発生回路２０９からの出力が表示器１１３に出力さＪし
るように作動する。ここで、表示器１１３は例えばＣＲ
７表示器で被検レンズが測定光路内に配置されていると
判定されたとき、例えばＲＥＭＯＶＥＴＨＥ　ＬＥＮＳ
”等の語句表示を画面上に表示点滅させ装；置使用者に
視覚による注意を換起させる。またスイッグング回１ｉ
！８２０８の出力罠より音声合成アナウンシエター２１
０により同時に聴覚による注意を喚起させてもよい、Ｏ
Ｒ回路２０７の出力を受けたマイクロプロセッサ１０５
ば、プログラムメモリ１１５のプログラムにしたがって
前述したように再度ステラプスに移行する。

第７３図及び第７４を図は、本発明の第一の実施例を示
す図であり、第７３図は、測定シーケンスを示すフロー
チャート、第１１１図は判定回路のブロック図である。

この＠λ実施例は、測定された投影パターンのピッチ間
隔と予め定められた判定用ピッチ間隔の差から球面ある
いは円柱屈折力をから球面や円柱屈折力をもたないがプ
リズム屈折力のみをもつ被検レンズが測定光路内に配置
されているか否かを判定するものである。

第１−３図の測定シーケンスにおいて、ステップ／から
ステップ乙は前述の第１実施例と同様である。被検レン
ズ判定ステップに２は以下のシーケンスに従う。

ステップに２１：　　複数の投影・やターンから中心投
影パターンＣ３Ｐを判定する１例えば投影パターンが７
本であればその中心Ａ？ターンＣ５Ｐは第を番目の投影
・母ターンと判定される。

あるいは、５本の投影パターンであれば、ステップ乙で
もとめた♂ツチ平均値をもとにり、５木目の仮想中心パ
ターンＣ５Ｐを計算上もとめることができる０本ステッ
プにおける中心）４ターンはこのように必ずしも実在す
るパターンである必要はない。

ステップＫ　°ステップ乙でもとめた平均ピッチ２２　
′ 間隔ＡＰが予め定めたピッチ間隔ρ１とρ２の値内にあ
るか否かを判定する。

あるいは第７本口の投影ノ９ターンの座標値ｅ１と　第
ｎ本口の投影パターンの座標値ｅｎとの差１ｅ、１−８
１１　＝６　　が予め定め。

た間隔ρ１′とρ２′の間にあるか否かで判定してもよ
い。

ここで、ピッチ間隔ＡＰあるいは座標値差１が予め定め
られた範囲外であれば；斜台を発するとともに前述のス
テラプスにもどる。

ステップに２５　’ステップに２１でもとめられた中心
パターンＣＳＰが予め定めた位置ε１とｅ２の範囲内に
位置するか否かを判定し、もしその範囲外で、あれば警
告を発するとともに前述のステップλにもどる。

ステップに２２、ステップに２６の各判定に・母スすれ
ば以後、前述の第１実施例と同様にステラｆ１０からス
テラｆ／３へとシーケンスは移行シティく。

施例と同一もしくは均等の構成要素には同一の符号を附
して説明を省略する。

マイクロプロセッサ１０５で演算され座標値が算定され
た第１投影パターンの皇標値町−−−と第ｎ番目の投影
・リーンの座標値ｅ。■−一は、それぞれラッチ回路２
００と２０１に入力され一時記１．醤される。ラッチ回
路２００と２０１からの出力は減算）嵜２２０で減算さ
れ両者の間隔Ｊ　がもとめられる、この間隔ｉ　はデジ
タルアナログ変換器２２１でアナログ量に変換されたの
ち比較器２２３．２２４に入力さ７れる。比較器２２３
の他の入力端には可変抵抗器の抵抗値設定により予め定
めた上限判定値ｐ２′に応じた電圧値を作る第１上限判
定値設定器２２７からの出力が入力されている。比較器
２２３はＤ／Ａ変換器２２１からの間＋ｒｉ　ｅ　　に
応じた電圧値が上限判定値設定器２２７からの電工値よ
り大きいと判定したとき信号Ｈ１を出力する。また比較
器２２４の他の入力端には予め定めた下限判定値ρ１′
に応じた電圧値を可変抵抗器で設定する第１下限判定値
設定器２２８からの出力が入力される。この比較器２２
４は間隔ｇ　に応じた電圧値が、下限判定値設定器２２
８からの電圧値より小さいとき信号Ｌ１　　を出力する
。

一方、マイクロプロセッサ１０５てステップに２１にし
たがって演算された中心パターン位置Ｃ５Ｐの情報はラ
ッチ回路２０２に一時記憶されたのち、デジタルアナロ
グ変換器２２２で電圧値としてアナログ量に変換される
。　Ｄ／Ａ変換器２２２からの出力は比較器２２５と２
２６に入力される。

比較器２２５の他の入力端には予め定めた中心パターン
位置の判定用の上限値ε２　を可変抵抗器の抵抗値によ
り設定される電圧値として出力する第コ上限判定値設定
器２２９の出力が入力される。

また、同様に比較器２２６の他の入力端には下限値ｅ１
　　に応じた１！圧値を設定した第ツ下限判定値設定器
からの出力が入力される。比較器２２５はＤ／Ａ変換器
２２５からのｉ王位が第２上限判定値設定器２２９から
の出力の１ｇ王王位り大きいとき信号Ｈ２を出力し、ま
た比較器２２６はＤ／Ａ変換器２２５・からの電圧値が
第コ下限判定値設定器２３０からの出力の電圧値より小
さい場合信号−を出力する。信号Ｈ１、Ｌｌ、Ｈ２、Ｌ
２　　はそれぞれＯＲ回路２０７に入力され、これら信
号のいずれか７つがＯＲ回路２０７に入力されるとＯＲ
回路２０７は前記第１実施例のスイッチング回路２０８
を駆動させ、以下前記第１実施例と同じイ曽成、同じ作
用をとる。

第１Ｓ図は、本■発明の第３の実施例の測定シーケンス
を示すフローチャートである。この第３の実施例は、仮
想平行四辺形の頂点座標値が予め定めた判定用基準座標
値と同じか否かを判定し、もし基準座標値と相異すれば
被検レンズが測定光路内に配ｊ譲されていると判定し、
警告するものである。

第１Ｓ図において、ステップｌからステップデまでは前
述の１￥／実施例と同じターケンスで測定される。本実
施例の被検レンズ判定シーケンスであるステップに３　
は以下のサブシーケンスから構成される。

ステップに３１：ステップワで決定された仮想平行四辺
形の第１の頂点（ＸＡ、ＹＡ）のＸ座標値ＸＡ　　が予
め定めた判定基準座標のＸ座標値αＸＡとβＸＢの範囲
内にあるか否かを判定し、もしその範囲内にないときは
警告を発するとともに、ステップコにもどる。

ステップに３２：　ステツｆ９で決定された仮想平行四
辺形の第１の頂点（ｘＡ　、ＹＡ）のＹ座標値ＹＡ　　
が予め定めた判定基準座標のＹ座標値αＹＡとβＹＡの
範囲内にあるか否かを判定し、もしその範囲内にないと
きは警告を発するとともに、ステップコへもどる。

ステップに３３Ｊ６６：　　以下前記ステップに３１、
に３２と同じに仮想平行四辺形の第コ、第３の座標値（
ＸＢ、ＹＢ）　、（Ｘｃ、Ｙｃ）　　Ｋライ−Ｃツレぞ
れ予め定めた判定基準座標値αＸＳノＸＢ。

αｙＢ　、βｙＢ　、αｘｃ、βＸｃ、ｃＩＹｃ、βＹ
ｃとの間でαｘＢ　＜　ＸＢ　＜βＸＳか、αｙＢ　＜
　ＹＢ　＜βＹＢか、αＸｃ＜　ＸＣ＜／ＸＣが％（Ｘ
ＹＣ＜ＹＣ＜／ＹＣが否かをそれぞれ順次判定し、これ
ら範囲に各対応Ｘ座標値がないときには警告を発すると
ともにステップコにもどる。

この実施例の判定シーケンスを実行する八−ドウエアは
、前述の第１実施例や第２実施例と同様デジタル方式で
判定してもアナログ方式で判定してもよく、そのハード
ウェアの構成は前述の第ｎ図、第１１Ｉ図とほぼ同様の
構成がとれることは当業者においては容易に理解されよ
うし、また第１〜第３実施例の判定を八−ドウエアで構
成するかワリニすべてマイクロプロセッサのソフトウェ
アで処理できることは言うまでもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の基礎となる光学系の光学特性測定装置
の一実施例を示す光学配置図、第、２ａ図は第７図にお
けるマスク１３ａの光束選択パターンの一列を示す平面
図、第１１図は第１図におけるマスク１３ｂの光束選択
パターンの一例を示す平面図、第３図はラインセンサと
投影ツヤターンの関係を示す模式図、第弘図（Ａ）〜（
財）はラインセンサによる検出出力及び座標値との関係
を示すタイミングチャート図、第５図はラインセンサに
よる検出出力から座標値を決定する方法を示すラインセ
ンサの束子配列図、第６図、第７図、及び第３図は第１
図の光学特性測定装置の測定原理を説明するだめの概略
模式図、第９図は直交座標系と斜交座襟系の関係を示す
図、第７０図は第１図の光学特性測定装置の駆動演算回
路の一例を示すプ胃ツク図、第１／図は本発明の第７の
実施例の測定シーケンスをポず７０−ヂヤート、第１コ
図は第１／図の判定ステラ７″「ステップに１」を実行
するだめの回路構成の一例を示すブロック図、第７３図
は本発明の第コの実施例の測定シーケンスを示すフロー
チャート、第１１図は第７３図の判定ステップ２テツｆ
　Ｋ２Ｊを実行するための回路構成の一例を示すブロッ
ク図、第７３図は本発明の第３の実施例の測定シーケン
スを示すフローチャートである。 ２　ａ　ｓ　２　ｂ・・・光源、６−・−コリメータ、
８・・・被検レンズ、１３ａ、１３ｂ・・・光束選択マ
スク、１５．１６・・・・ラインセンサ、１０Ｂ・・・
マイクロプロセッサ、２０３・・・判定値メモリ、２０
４．２０５．２０６．２２３．２２４．２２５．２２６
・・・比較器、２０９・・・文字信号発生回路、１１３
・・・表示器、２１０・・・音声合成アナウ゛ンシエー
ター、２２０・・・減算器、２２１．２２２・Φ・Ｄ／
Ａ変換器、２２７．２２８．２２９．２３０・・・判定
値設定器。 、　　　　第９図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ／）光源からの光を平行光束とするコリメータ一手段と
   、該コリメータ一手段からの光束の一部を選択する光束
   選択手段と、該コリメータ一手段と該光束選択手段との
   間に被検光学系を保持する保持手段と、該光束選択手段
   で選択された光束を検出する検出手段と、測定光路内に
   前記被検光学系を配置しないときの該検出手段の検出結
   果にもとすく初期値と、該測定光路内に前記被検光学系
   を配置したときの前記検出手段の検出結果にもとすく測
   定値の差から前記被検光学系の光学特性を演算する演算
   手段とを有する光学系の光学特性測定装置において、 前記初期値を得る前の予備測定において前記検出手段の
   検出結果もしくは前記演算手段の演算結果が予め定めた
   判定値と相異するとき前記測定光路に被検光学系が配置
   されていると判定する判定手段を有して成ることを特徴
   とする光学系の光学特性測定装置。 ２）前露己光束選択手段は、少なくとも２本の平行直線
   からなる第１平行直線群と該第１平行直線群と配列方向
   を異にする少なくとも２本の平行直線から成る第２平行
   直線群とでｓ故され、かつ前記検出手段は、該第１及び
   第コ平行直線群することを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の光学系の光学特性測定装置。 ３）前記判定手段は前記演算手段が演算した被検光学系
   の光学特性値を前記判定値として予め与えられた光学特
   性値と■比較して判定することを特徴とする特許請求の
   範囲第１項または第一項記載の光学系の光学特性ｉ１１
   定装置。 ｌＩ）前記判定手段は前記第１及び／または第一投影ハ
   ターンを構成する直線／やターン間のピッチ・値と、前
   記判定値として予め与えられたピッチ値とを比較して判
   定することを特徴とする特許請求の範囲第ユ項記載の光
   学系の光学特性測定装置。 り）前記演算手段は前記第１及び第コ投影パターンを構
   成する投影面線パターンの直線方程式を１４定する第１
   算定手段と、該直線方程式から平行四辺形を算定し該平
   行四辺形の頂点座標値を算定する第２　！Ｌ定千手段を
   有し、かつ前記判定手段は、前記判定値として予め与え
   られた平行四辺形の頂点座標値と前記第２１定手段が算
   定した頂盾座標値とを比較して判定することを特徴とす
   る特ｉｆ請求の範囲第２項記載の光学系の光学特性測定
   装置。 乙）前記判定手段が前記被検光学系が前記測定光路内に
   配置されていると判定したとき警告を発する警告手段を
   有することを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第
   Ｓ項〜・ずれかに記載の光￥千の光学特性測定装置。