JPS5821106A - 位置検出方法 - Google Patents
位置検出方法Info
- Publication number
- JPS5821106A JPS5821106A JP11875281A JP11875281A JPS5821106A JP S5821106 A JPS5821106 A JP S5821106A JP 11875281 A JP11875281 A JP 11875281A JP 11875281 A JP11875281 A JP 11875281A JP S5821106 A JPS5821106 A JP S5821106A
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- Japan
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- pellet
- optical
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- optical system
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は半導体のワイヤポンディング工程におけるペ
レットの位置検出工程の効率を改善した位置検出方法に
関する。
レットの位置検出工程の効率を改善した位置検出方法に
関する。
一般に、半導体集積回路等のペレット（またはチップ）
には、半導体素子と外部回路を接続するためのノぐラド
が設けられる。このノ臂ッドは、１− 半導体素子とアルミニューム配線等によって接続され、
また外部回路に通じるリードフレームとはがンディング
ワイヤによって接続されている。このように、ノぐラド
とリードフレーム間にがンディングワイヤを取シ付ける
ワイヤデンディング工程は、半導体製造工程の中でも重
要な工程の一つであシ、近年来その作業工程の高速化等
の効率の改善化が要求されている。ところで、ワイヤが
ンディング工程において特に重要な工程は、ペレ、、ｌ
・の位置検出を行うことである。すなわち、第１図に示
すように、ペレット１１がリードフレーム１２の本来設
定される基準位置１３からどの位置れているかを検出す
ることにある。この検出には、ペレット１１が基準位置
１３に対して横方向△Ｘ、縦方向△Ｙおよび角度△θの
三要素を測定する必要があυ、そのためにはペレット１
ノの複数点（通常２定点）を検知しそれによって測定す
るものである。
には、半導体素子と外部回路を接続するためのノぐラド
が設けられる。このノ臂ッドは、１− 半導体素子とアルミニューム配線等によって接続され、
また外部回路に通じるリードフレームとはがンディング
ワイヤによって接続されている。このように、ノぐラド
とリードフレーム間にがンディングワイヤを取シ付ける
ワイヤデンディング工程は、半導体製造工程の中でも重
要な工程の一つであシ、近年来その作業工程の高速化等
の効率の改善化が要求されている。ところで、ワイヤが
ンディング工程において特に重要な工程は、ペレ、、ｌ
・の位置検出を行うことである。すなわち、第１図に示
すように、ペレット１１がリードフレーム１２の本来設
定される基準位置１３からどの位置れているかを検出す
ることにある。この検出には、ペレット１１が基準位置
１３に対して横方向△Ｘ、縦方向△Ｙおよび角度△θの
三要素を測定する必要があυ、そのためにはペレット１
ノの複数点（通常２定点）を検知しそれによって測定す
るものである。
このような検出を具体的に行うには、第２図に示すよう
にペレット１１に取り付けられた、例えばパッド２１の
位置を光学系装置によって検出するものであるが、ペレ
ット１１は通常縦横（ａｘｂ）の大きさがそれぞれ１〜
１０ｍｍ程度であるのに対して、光学系装置の視野Ａ、
Ｂは、通常０．５〜１ｍｍ四方程度である。この光学系
装置と組合わされた検出装置（以下光学検出装置と称す
る）３１は、第３図に示すように例えば発光ダイオード
等から発生する光を対象物（例えば・９ツド）に供給し
、その対象物からの反射光をレンズ等の光学系装置３２
を介して受光する。そしてこの反射光の強さ、すなわち
対象物との検出距離または反射率に応じて光電管（光電
変換素子）３３を介して電気信号を出力する″様な構成
がなされている。この様な光学系装置および光学検出装
置では視野と倍率（レンズ）は反比例の関係がおシ、倍
率を大きくすると当然視野は狭くなる。通常／４’ツド
を検出するための精度（分解度）として１０μ以下の高
精度が要求されるため、光学検出装置の倍率を大きくす
る必要があり、上記のような視野の太きさく０．５〜１
咽）になるものである。従ってペレットの大きさく−ｘ
ｂ）よ如も光学系装置の視野の方が小さいことから、ベ
レット上の離れた複数点を複数回検知することが必要で
ある。
にペレット１１に取り付けられた、例えばパッド２１の
位置を光学系装置によって検出するものであるが、ペレ
ット１１は通常縦横（ａｘｂ）の大きさがそれぞれ１〜
１０ｍｍ程度であるのに対して、光学系装置の視野Ａ、
Ｂは、通常０．５〜１ｍｍ四方程度である。この光学系
装置と組合わされた検出装置（以下光学検出装置と称す
る）３１は、第３図に示すように例えば発光ダイオード
等から発生する光を対象物（例えば・９ツド）に供給し
、その対象物からの反射光をレンズ等の光学系装置３２
を介して受光する。そしてこの反射光の強さ、すなわち
対象物との検出距離または反射率に応じて光電管（光電
変換素子）３３を介して電気信号を出力する″様な構成
がなされている。この様な光学系装置および光学検出装
置では視野と倍率（レンズ）は反比例の関係がおシ、倍
率を大きくすると当然視野は狭くなる。通常／４’ツド
を検出するための精度（分解度）として１０μ以下の高
精度が要求されるため、光学検出装置の倍率を大きくす
る必要があり、上記のような視野の太きさく０．５〜１
咽）になるものである。従ってペレットの大きさく−ｘ
ｂ）よ如も光学系装置の視野の方が小さいことから、ベ
レット上の離れた複数点を複数回検知することが必要で
ある。
とのとき複数点の距離は長い方が、位置検出の精度上高
いことになる。例えば、ペレット１１の２定点を検知す
る場合、第２図に示すようにまず視野Ａにおいてペレッ
ト１１のパッド２１の位置を検知し、次にこの・ぐラド
２１よシ最も離れた対角縁上の視野Ｂにあ・いて同様に
パッド２１の位置を検知する。そしてこの光学検出装置
と連動するデータ処理装置等によって、ペレットのパッ
ド２１とリードフレーム間のレイヤボンディングが正確
になされるものである。しかしながら、上記のようにペ
レット１１の２定点を検知するには、第３図に示すよう
に、光学系装置３２および光学検出装置３ノを視野Ａか
らＸ−Ｙ移動テーブル等を用いて視野Ｂに移動させるこ
とが必要であシ、とのためペレット１１の位置検出に要
する時間が多くなシ、ワイヤディング作業工程の効率に
悪影響を及ばず欠点がある。
いことになる。例えば、ペレット１１の２定点を検知す
る場合、第２図に示すようにまず視野Ａにおいてペレッ
ト１１のパッド２１の位置を検知し、次にこの・ぐラド
２１よシ最も離れた対角縁上の視野Ｂにあ・いて同様に
パッド２１の位置を検知する。そしてこの光学検出装置
と連動するデータ処理装置等によって、ペレットのパッ
ド２１とリードフレーム間のレイヤボンディングが正確
になされるものである。しかしながら、上記のようにペ
レット１１の２定点を検知するには、第３図に示すよう
に、光学系装置３２および光学検出装置３ノを視野Ａか
らＸ−Ｙ移動テーブル等を用いて視野Ｂに移動させるこ
とが必要であシ、とのためペレット１１の位置検出に要
する時間が多くなシ、ワイヤディング作業工程の効率に
悪影響を及ばず欠点がある。
この発明は上記の事情を鑑みガされたもので、リードフ
レーム上のペレットの位置を高速に検出することによっ
て、ワイヤデンディング工程の効率を高めることのでき
る位置検出方法を提供することを目的とする。
レーム上のペレットの位置を高速に検出することによっ
て、ワイヤデンディング工程の効率を高めることのでき
る位置検出方法を提供することを目的とする。
以下図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。第
４図はその光学系装置４２−１．４２−２および光学検
出装置４１−１．４１−２の構成を示すもので、複数の
独立した視野、すな ′わち光学系レンズおよび光路を
有する光学系装置４２−１．４２−２を備え、この光学
系装置４２−１．４２−２に対応する光電管（光電変換
素子）４ｓ−ｘ、４ｓ−：ａを備えた光学検出装置４１
−１．４１−２が設けられている。さらにこの視野、す
なわち光学系装置４２−１ 。
４図はその光学系装置４２−１．４２−２および光学検
出装置４１−１．４１−２の構成を示すもので、複数の
独立した視野、すな ′わち光学系レンズおよび光路を
有する光学系装置４２−１．４２−２を備え、この光学
系装置４２−１．４２−２に対応する光電管（光電変換
素子）４ｓ−ｘ、４ｓ−：ａを備えた光学検出装置４１
−１．４１−２が設けられている。さらにこの視野、す
なわち光学系装置４２−１ 。
４２−２のうち少なくとも一方を平面上の任意の各方向
に移動できる移、勢装置４４が設けられている。この移
動装置４４は、光学系装置４２−２を固定するホルダー
およびそれを移動するためのスライダーからカる装置４
５と、この装・置４５の移動位置調整を行う装置４６と
、および固定台４７とから構成されている。そしてペレ
ット１１の所定の２定点、例えば２個のｄ’ッドからの
反射光を同時にその２定点のそれぞれに対応する光学系
装置４２−１．４２−２を介して光電管４３−１．４３
−２に供給される。この光電管４３−１．４３−２の出
力に基づいて光学検出装置４１７１．４１−２からは、
反射光の強さに応じた電気信号が発生する。
に移動できる移、勢装置４４が設けられている。この移
動装置４４は、光学系装置４２−２を固定するホルダー
およびそれを移動するためのスライダーからカる装置４
５と、この装・置４５の移動位置調整を行う装置４６と
、および固定台４７とから構成されている。そしてペレ
ット１１の所定の２定点、例えば２個のｄ’ッドからの
反射光を同時にその２定点のそれぞれに対応する光学系
装置４２−１．４２−２を介して光電管４３−１．４３
−２に供給される。この光電管４３−１．４３−２の出
力に基づいて光学検出装置４１７１．４１−２からは、
反射光の強さに応じた電気信号が発生する。
このように構成される装置を用いて、リードフレーム上
のペレット１１の位置を検出するには、第５図に示すよ
うに一方の光学系装置４２−１を仮に視野Ａに固定し、
他の一方の光学系装置４２−２を視野Ｂ、Ｃ，”Ｄのい
ずれかに移動調弊して設定する。このとき視野Ｂ、Ｃ。
のペレット１１の位置を検出するには、第５図に示すよ
うに一方の光学系装置４２−１を仮に視野Ａに固定し、
他の一方の光学系装置４２−２を視野Ｂ、Ｃ，”Ｄのい
ずれかに移動調弊して設定する。このとき視野Ｂ、Ｃ。
Ｄのいずれかの設定は、通常ベレット１１の大きさまた
は種類等によって決定される。そして視野Ａおよび視野
Ｂ、Ｃ，Ｄのいずれか一つの視野それぞれの範囲内のペ
レット１１の２定点、例えば視野６− Ａおよび視野Ｃそれぞれの範囲内のＡ？ウッド１を光学
検出装置４１の別々の光路を通じて同時に位置検出する
ものである。そしてこの２定点の検出によシペレット１
１のリードフレームに対する位置を、例えば光学検出装
置４１−１ 。
は種類等によって決定される。そして視野Ａおよび視野
Ｂ、Ｃ，Ｄのいずれか一つの視野それぞれの範囲内のペ
レット１１の２定点、例えば視野６− Ａおよび視野Ｃそれぞれの範囲内のＡ？ウッド１を光学
検出装置４１の別々の光路を通じて同時に位置検出する
ものである。そしてこの２定点の検出によシペレット１
１のリードフレームに対する位置を、例えば光学検出装
置４１−１ 。
４１−２からの電気信号が供給されるデータ処理装置等
を介して検出し、その位置検出に基づいてペレット１１
とリードフレーム間のワイヤデンディングがなされるも
のである。
を介して検出し、その位置検出に基づいてペレット１１
とリードフレーム間のワイヤデンディングがなされるも
のである。
このように、光学検出装置の視野を最初に波レヅトの大
きさ等に応じて所定位置になるように移動調整するのみ
で、ペレットの任章の複数点を光学検出装置の複数の視
野と光路を通じて同時に検出することによシ、ペレット
の位置検出の時間を大幅に短縮できる。例えば、ペレッ
トの大きさが（５ｍｍ Ｘ ５ｙｍ ）程度の場合、前
記のような従来の検出方法では、ペレットの１定点の測
定時間が約０．３秒、したがって２定点では約０．６秒
かがυ、さらに光学検出装置の１定点から別の１定点ま
での移動時間が約０．５秒かかることによって、測定時
間は、合計約１．１秒必要であるが、この発明の検出方
法では、２定点を同時に測定するため約０．３秒かかる
だけで、従来の方法に比較して測定時間を約１／４にで
き、高速な位置検出を行うことができる。なお、この発
明においては、光学検出装置が複数となるため、−見従
来の装置と比較してコスト的に高くなるように考えられ
る。しかしながら、光学検出装置の光路の移動機構は、
ペレットの品種が変化しない限シ移動させることもなく
、また移動精度も・比較的低い精度で可能であるから、
簡単な構造で済むため、この発明の装置の方がむしろコ
スト的に低くなる。これに対して従来の装置での移動機
構（移動テーブル）は、ペレット毎に移動することを必
要とし、しかも高精度の移動精度が要求されるため、非
常に高価なものとなる。
きさ等に応じて所定位置になるように移動調整するのみ
で、ペレットの任章の複数点を光学検出装置の複数の視
野と光路を通じて同時に検出することによシ、ペレット
の位置検出の時間を大幅に短縮できる。例えば、ペレッ
トの大きさが（５ｍｍ Ｘ ５ｙｍ ）程度の場合、前
記のような従来の検出方法では、ペレットの１定点の測
定時間が約０．３秒、したがって２定点では約０．６秒
かがυ、さらに光学検出装置の１定点から別の１定点ま
での移動時間が約０．５秒かかることによって、測定時
間は、合計約１．１秒必要であるが、この発明の検出方
法では、２定点を同時に測定するため約０．３秒かかる
だけで、従来の方法に比較して測定時間を約１／４にで
き、高速な位置検出を行うことができる。なお、この発
明においては、光学検出装置が複数となるため、−見従
来の装置と比較してコスト的に高くなるように考えられ
る。しかしながら、光学検出装置の光路の移動機構は、
ペレットの品種が変化しない限シ移動させることもなく
、また移動精度も・比較的低い精度で可能であるから、
簡単な構造で済むため、この発明の装置の方がむしろコ
スト的に低くなる。これに対して従来の装置での移動機
構（移動テーブル）は、ペレット毎に移動することを必
要とし、しかも高精度の移動精度が要求されるため、非
常に高価なものとなる。
第１図はペレットとリードフレームの位置関係を説明す
る図、第２図は従来のペレットの位置検出方法を説明す
る図、第３図はその光学検出装置の概略的構成図、第４
図はこの発明の一実施例に係る光学検出装置の概略的構
成図、第５図はそのペレット位置検出方法を説明する図
である。 １１・・・ペレット、１２・・・リードフレーム２１・
・・パラ ド、３１ ．４１−１ ．４１−２・・・光
学検出装置、３２．４２−１．４２−２・・・光学系装
置。
る図、第２図は従来のペレットの位置検出方法を説明す
る図、第３図はその光学検出装置の概略的構成図、第４
図はこの発明の一実施例に係る光学検出装置の概略的構
成図、第５図はそのペレット位置検出方法を説明する図
である。 １１・・・ペレット、１２・・・リードフレーム２１・
・・パラ ド、３１ ．４１−１ ．４１−２・・・光
学検出装置、３２．４２−１．４２−２・・・光学系装
置。
Claims (1)
- 半導体のワイヤポンディング工程において、２つの独立
した視野と光路からなシ、この視野の少なくとも１つが
平面上の任意の各方向に移動できる光学系装置と、この
光学系装置を介して供給される複数の反射光を電気信号
に交換する光学検出装置とを具備し、この光学系装置の
２つの視野に対応するペレットの任意の２つの場所にお
ける位置を同時に測定することを特徴とする位置検出方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11875281A JPS5821106A (ja) | 1981-07-29 | 1981-07-29 | 位置検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11875281A JPS5821106A (ja) | 1981-07-29 | 1981-07-29 | 位置検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5821106A true JPS5821106A (ja) | 1983-02-07 |
Family
ID=14744173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11875281A Pending JPS5821106A (ja) | 1981-07-29 | 1981-07-29 | 位置検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5821106A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0288908A (ja) * | 1988-09-26 | 1990-03-29 | Nec Corp | 位置検出装置 |
-
1981
- 1981-07-29 JP JP11875281A patent/JPS5821106A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0288908A (ja) * | 1988-09-26 | 1990-03-29 | Nec Corp | 位置検出装置 |
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