JPS5819502A - 相対変位光増分検出装置 - Google Patents
相対変位光増分検出装置Info
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- JPS5819502A JPS5819502A JP12281482A JP12281482A JPS5819502A JP S5819502 A JPS5819502 A JP S5819502A JP 12281482 A JP12281482 A JP 12281482A JP 12281482 A JP12281482 A JP 12281482A JP S5819502 A JPS5819502 A JP S5819502A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims description 33
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 23
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 5
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 241000669003 Aspidiotus destructor Species 0.000 description 2
- 238000005282 brightening Methods 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
- G01D5/34715—Scale reading or illumination devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、2つの物体と向い合い、その2つの物体のう
ちの1つに対する固定位置に配置された発光器と受光器
とを備えた2つの物体の相対変位を光学的に増分 検出
する検出装置に関し、この装置においてこれら2つの物
体の表面は光の明暗効果が受光器上で生ずるように適当
な相補状態になっており、その光の明暗効果の相の数は
2つの物体の相対変位に比例する。
ちの1つに対する固定位置に配置された発光器と受光器
とを備えた2つの物体の相対変位を光学的に増分 検出
する検出装置に関し、この装置においてこれら2つの物
体の表面は光の明暗効果が受光器上で生ずるように適当
な相補状態になっており、その光の明暗効果の相の数は
2つの物体の相対変位に比例する。
この種の検出装置を備えた測定器は公知であり。
その検出装置においては、上記2つの物体は1対の透明
なスケールにより構成されており、そのうちの1つは基
準となるケーシングに動かないように取付けられ、もう
1つはこのケーシング内に固定されたスケールと向い合
って可動自在に取りつけられかつその変位を知る必要の
ある例えば探触子のような機構に接続されている。異っ
た不透明度の筋を交互に組んだ格子が形成されるように
、これら2つ透明なスケールには等間隔の平行線が細か
く印されている。格子のピッチは2つのスケール上では
同一である。発光器から発した光束は2つのスケールを
通って、発光器に対してスケールとは別の側に位置した
光電管式受光器に導かれる。2つのスケールの相対運動
により明と暗が交互に変化する効果で受光器の受ける光
の強度が変る。この光の強度の変化に応じて、受光器は
電気信号を発するが、その電気信号の相の数は2つのス
ケールの相対変位に比例する。そのため各相の示すピッ
チは前進方向のピッチであり、格子のピッチに対応する
。
なスケールにより構成されており、そのうちの1つは基
準となるケーシングに動かないように取付けられ、もう
1つはこのケーシング内に固定されたスケールと向い合
って可動自在に取りつけられかつその変位を知る必要の
ある例えば探触子のような機構に接続されている。異っ
た不透明度の筋を交互に組んだ格子が形成されるように
、これら2つ透明なスケールには等間隔の平行線が細か
く印されている。格子のピッチは2つのスケール上では
同一である。発光器から発した光束は2つのスケールを
通って、発光器に対してスケールとは別の側に位置した
光電管式受光器に導かれる。2つのスケールの相対運動
により明と暗が交互に変化する効果で受光器の受ける光
の強度が変る。この光の強度の変化に応じて、受光器は
電気信号を発するが、その電気信号の相の数は2つのス
ケールの相対変位に比例する。そのため各相の示すピッ
チは前進方向のピッチであり、格子のピッチに対応する
。
このタイプの検出装置により生じた信号はパルスコンピ
ュータを備えた回路で処理された後、測定値に翻訳され
て、例えばデジタル表示盤に表示される。
ュータを備えた回路で処理された後、測定値に翻訳され
て、例えばデジタル表示盤に表示される。
本発明はこの種の光学検出装置を簡素化して、その応用
範囲を容易に応げる、走くに工場での加工作業において
工作物又はツールの変位調整や、機械の自動制御や成る
条件下での移動物体の変位の検出などに応用できるよう
にすることを目的とする。
範囲を容易に応げる、走くに工場での加工作業において
工作物又はツールの変位調整や、機械の自動制御や成る
条件下での移動物体の変位の検出などに応用できるよう
にすることを目的とする。
2つの物体の相対変位を光学的に増分検出する本発明に
よる検出装置において、これら2つの物体の1つは、そ
の表面が有効長全体にわたってほぼ規則的に粒状の反射
面になっていて、検出しようとする変位方向にのびてお
り、もう1つの物体は少なくとも前記方向に向いたコン
トラストを示す等間隔に並んだ印から成る格子を示す十
字線により構成されており、ケーシングには少なくとも
発光器、受光器、十字線の3つが第1物体と同じ側にそ
の反射面と向い合って配設されており、ケーシングは位
置決め部材により第1物体の反射面の選択された箇所と
同じ一定の高さに保持されており、そのケーシング内の
これら3つの機構は、発光器から発した光線が前記選択
された箇所によって受光器に投射されるような反射平面
内の配置になっており、十字線は発光器と受光器との間
にあって、受光器が捕える光線の走行途上に配設されて
いることが特徴とされる。
よる検出装置において、これら2つの物体の1つは、そ
の表面が有効長全体にわたってほぼ規則的に粒状の反射
面になっていて、検出しようとする変位方向にのびてお
り、もう1つの物体は少なくとも前記方向に向いたコン
トラストを示す等間隔に並んだ印から成る格子を示す十
字線により構成されており、ケーシングには少なくとも
発光器、受光器、十字線の3つが第1物体と同じ側にそ
の反射面と向い合って配設されており、ケーシングは位
置決め部材により第1物体の反射面の選択された箇所と
同じ一定の高さに保持されており、そのケーシング内の
これら3つの機構は、発光器から発した光線が前記選択
された箇所によって受光器に投射されるような反射平面
内の配置になっており、十字線は発光器と受光器との間
にあって、受光器が捕える光線の走行途上に配設されて
いることが特徴とされる。
前記公知・の技術状態との比較の上で、第2物体即ち十
字線だけを挙げれば、その要件としてはコントラストを
成した印の格子を示すこと、作動が正確であること、そ
れに高い分解能が必要とされるためより鋭敏に作動する
ことなどである。もう1つの場合は、第1物体の表面の
質が最底必要とされる程度であり1、また検出用光学器
の部材全部を第1物体の方に向けておけば、どのような
機械の多くの機械部品の変位も直接、かつ1つところに
居て検出することが可能である。即ち、これらの機械部
品が第1物体であり、例えばツールの位置決めをするジ
ヤツキの桿とか、車輪の・外周とか、スライダリンク又
は移動物体が乗るレールとかが直接用いられる。検出用
光学部材のうちの1つであるケーシングは、機械の固定
部材、例えば基台の上に位置決め部材によって固定され
るこ(ともあり、また移動物体の車台に固定されること
もある。
字線だけを挙げれば、その要件としてはコントラストを
成した印の格子を示すこと、作動が正確であること、そ
れに高い分解能が必要とされるためより鋭敏に作動する
ことなどである。もう1つの場合は、第1物体の表面の
質が最底必要とされる程度であり1、また検出用光学器
の部材全部を第1物体の方に向けておけば、どのような
機械の多くの機械部品の変位も直接、かつ1つところに
居て検出することが可能である。即ち、これらの機械部
品が第1物体であり、例えばツールの位置決めをするジ
ヤツキの桿とか、車輪の・外周とか、スライダリンク又
は移動物体が乗るレールとかが直接用いられる。検出用
光学部材のうちの1つであるケーシングは、機械の固定
部材、例えば基台の上に位置決め部材によって固定され
るこ(ともあり、また移動物体の車台に固定されること
もある。
本装置の基礎となっている光学式場線検出方法の原理は
、本願発明者による理論から来ており、これによるとこ
のような光学上の構成から成る受光器が受ける像の形成
は十字線の格子の投影する暗部(暢hadow)により
構成された反射像を第1物体の反射面の反射率により構
成された散乱像に重畳することによってなされる。
、本願発明者による理論から来ており、これによるとこ
のような光学上の構成から成る受光器が受ける像の形成
は十字線の格子の投影する暗部(暢hadow)により
構成された反射像を第1物体の反射面の反射率により構
成された散乱像に重畳することによってなされる。
この反射面が格子のピッチだけ変位するたびに、受光器
には同一の散乱像が生ずる。反射像は変位と全たく無関
係である。反射面が前進すると、受光器がとらえた光の
像は反射面枠投影された十字線の格子の等同期又は等ピ
ッチというような周期的な方法で再生される。
には同一の散乱像が生ずる。反射像は変位と全たく無関
係である。反射面が前進すると、受光器がとらえた光の
像は反射面枠投影された十字線の格子の等同期又は等ピ
ッチというような周期的な方法で再生される。
処理した金属間から荒やすり紙までの異った荒さの表面
のまっすぐなスケールと曲ったスケールを使ってテスト
してみて、この理論の正しいことが分った。このテスト
に平行して、数式を作成し、これをコンピュータにかけ
て、十字線の格子像を示す格子(crenean)
の関数と、表面の反射領域の反射率を示す純粋な確率(
aleatoire) 関数とを積分した。この作業
の結果はテストの結果と同じであった。
のまっすぐなスケールと曲ったスケールを使ってテスト
してみて、この理論の正しいことが分った。このテスト
に平行して、数式を作成し、これをコンピュータにかけ
て、十字線の格子像を示す格子(crenean)
の関数と、表面の反射領域の反射率を示す純粋な確率(
aleatoire) 関数とを積分した。この作業
の結果はテストの結果と同じであった。
添付図面には、本発明の2つの実施態様と光、学部材の
配置に関する3つの変形実施態様が示されている。
配置に関する3つの変形実施態様が示されている。
第1図、第2図さらに第5図および第6図に示された本
装置の第1実施態様は、発光器2、受光器3、十字線4
を備えた底の開いたケーシング1である。これら3つの
機構は同じ側にあって、金属製のスケール5と相対して
おり、ケーシングは位置決め部材によりこのスケールよ
り、高い位置に固定されている。位置決め部材は、ケー
シング1の開き底に対して4つのビス8により保持され
た板6と溝穴7との組合せにより構成されており、金属
製のスケール5は矢印fに沿ったーその長手方向に並進
変位することができる。
装置の第1実施態様は、発光器2、受光器3、十字線4
を備えた底の開いたケーシング1である。これら3つの
機構は同じ側にあって、金属製のスケール5と相対して
おり、ケーシングは位置決め部材によりこのスケールよ
り、高い位置に固定されている。位置決め部材は、ケー
シング1の開き底に対して4つのビス8により保持され
た板6と溝穴7との組合せにより構成されており、金属
製のスケール5は矢印fに沿ったーその長手方向に並進
変位することができる。
この金属製のスケール5は長方形で、まっすぐになって
いて、前記3つの機構の方に向いているその上面9は全
長にわたって一様に粒状の反射面になっている。その有
効長は、第1図に詔いては限定されていないが、所望の
変位検出能力に合わせて決められる。
いて、前記3つの機構の方に向いているその上面9は全
長にわたって一様に粒状の反射面になっている。その有
効長は、第1図に詔いては限定されていないが、所望の
変位検出能力に合わせて決められる。
十字線4は第6図にも見られ、透明な材料でできて#す
、等間隔で平行に並んだ筋の格子であり、その方向はス
ケール5の変位方向に対して直角である。筋と筋との間
隔は必要な分解能の度合に合わせられる。
、等間隔で平行に並んだ筋の格子であり、その方向はス
ケール5の変位方向に対して直角である。筋と筋との間
隔は必要な分解能の度合に合わせられる。
ケーシング1における発光器2と受光器3と十字線4と
は、発光器から発せられた光線がスケール5の反射面の
所定領域に反射されて受光器に投射されるように反射垂
直平面内に配設されており、十字線は発光器と受光器と
の間にあって、受光器に受光される光線の走行途上にあ
る。この構成は第5図諺よび第6図によって第1実施態
様とじて示されており、両図において発光器2は点光線
源であって、そこから出た光線は十字線4の格子10の
影を投射角度iでスケール5の反射面9の限定された領
域に投映し、受光器3は反射角度i’=iで前記領域に
より反射された光線を集光する。十字線4の平面とスケ
ールの反射面9の平面とは互いに平行しているため、反
射面9に投映される筋格子のピッチは一定している。こ
の一定状態であるということは本発明の基礎でありすで
に述べて来た検出現象を確実に行うためには不可欠であ
る。
は、発光器から発せられた光線がスケール5の反射面の
所定領域に反射されて受光器に投射されるように反射垂
直平面内に配設されており、十字線は発光器と受光器と
の間にあって、受光器に受光される光線の走行途上にあ
る。この構成は第5図諺よび第6図によって第1実施態
様とじて示されており、両図において発光器2は点光線
源であって、そこから出た光線は十字線4の格子10の
影を投射角度iでスケール5の反射面9の限定された領
域に投映し、受光器3は反射角度i’=iで前記領域に
より反射された光線を集光する。十字線4の平面とスケ
ールの反射面9の平面とは互いに平行しているため、反
射面9に投映される筋格子のピッチは一定している。こ
の一定状態であるということは本発明の基礎でありすで
に述べて来た検出現象を確実に行うためには不可欠であ
る。
本検と装置の3つの機構はケーシング1の固定位置に取
替えができるように取外し可能な方法で取りつけられて
いる。発光器2と受光器3とはケーシング1の土壁の2
つの孔11と12に係合されていて、その孔に2つの器
体をはめ込み、上からナツトで締めつけることにより保
持されており。
替えができるように取外し可能な方法で取りつけられて
いる。発光器2と受光器3とはケーシング1の土壁の2
つの孔11と12に係合されていて、その孔に2つの器
体をはめ込み、上からナツトで締めつけることにより保
持されており。
十字線4はケーシングの両横壁と共に形成された2つの
懸架部材にうがたれた2つの溝13にまたがって、2つ
の板ばね15により溝に保持されている。発光器と受光
器とを保護し、かつこれら2つの機構を結ぶフードの出
口17を備えたカバー16は、ケーシングの周りの溝の
ところで弾性的係合によりケーシング1を覆っている。
懸架部材にうがたれた2つの溝13にまたがって、2つ
の板ばね15により溝に保持されている。発光器と受光
器とを保護し、かつこれら2つの機構を結ぶフードの出
口17を備えたカバー16は、ケーシングの周りの溝の
ところで弾性的係合によりケーシング1を覆っている。
最後に、ケーシング1とその位置決め部材の底部の板6
とは、あり柄により構成された2つの固定用部材18と
19を備えている。
とは、あり柄により構成された2つの固定用部材18と
19を備えている。
この第1実施態様は、例えばケーシング1をその固定用
部材18により固定させ、スケール5と接続量る探触子
を備えた測定用円柱のような測定器への応用に適してい
る。検出された変位値を示す表示盤を備えた公知の適当
な処理装置又は記憶装置を備えたこれも公知の分類装置
を受光器に結んでもよい。
部材18により固定させ、スケール5と接続量る探触子
を備えた測定用円柱のような測定器への応用に適してい
る。検出された変位値を示す表示盤を備えた公知の適当
な処理装置又は記憶装置を備えたこれも公知の分類装置
を受光器に結んでもよい。
第3図および第4図に・示された第2実施態様は上記2
つの図にある自動機の工具位置決め制御軸20のような
機械的部品の変位をその場で検出するようになっている
。
つの図にある自動機の工具位置決め制御軸20のような
機械的部品の変位をその場で検出するようになっている
。
第2実施態様においては、ケーシング1とその内部機構
およびそれらの性質の構成は、第1図、第2図、第5図
、第6図で示したばかりの第1実施態様に肴けるものと
全く同じである。
およびそれらの性質の構成は、第1図、第2図、第5図
、第6図で示したばかりの第1実施態様に肴けるものと
全く同じである。
異った点は、ケーシング1の位置決め部材が、このケー
シングの固定用部材19に固定され、かつ軸20の出口
に近い保持基台23に取りつけられた例えばマグネット
チャックのような保持部材22を備えた方向転換自在の
支持部21により構成されていることである。
シングの固定用部材19に固定され、かつ軸20の出口
に近い保持基台23に取りつけられた例えばマグネット
チャックのような保持部材22を備えた方向転換自在の
支持部21により構成されていることである。
と(D軸20は第1実施態様のスケール5の代すであり
、その位置はケーシング1に対しては同じ相対的位置で
なければならず、その唯一の動きは、回転運動ではない
、その回転軸に沿った並進運動でなければならない。こ
の軸に対するケーシング1の位置決めは、例えばケーシ
ングと軸との間に係合された厚味のあるくざび24によ
り容易に調整することができる。この軸20も必要な表
面状態、つまり反射可能の一定の粒状を示しておらねば
ならず、こう云ったことはこの種の殆んどの′機械的部
品の場合には一般的である。しかし検出を可能とするに
は、軸の全有効長にわたって縦横に研摩を行うだけでよ
いこともある。
、その位置はケーシング1に対しては同じ相対的位置で
なければならず、その唯一の動きは、回転運動ではない
、その回転軸に沿った並進運動でなければならない。こ
の軸に対するケーシング1の位置決めは、例えばケーシ
ングと軸との間に係合された厚味のあるくざび24によ
り容易に調整することができる。この軸20も必要な表
面状態、つまり反射可能の一定の粒状を示しておらねば
ならず、こう云ったことはこの種の殆んどの′機械的部
品の場合には一般的である。しかし検出を可能とするに
は、軸の全有効長にわたって縦横に研摩を行うだけでよ
いこともある。
この第2実施態様は、軸20により駆動されるツールの
変位の大きざを変位検出値表示装置を備えた処理装置と
の連結により調整するのに用いてもよい、また制御ルー
プに組み込んだ処理装置との連結により、軸20と受光
器とを結びつけた自動制御方式としてもよい。尚また案
内棒又はレールに沿って動く動体の変位検出にも用いて
もよい。
変位の大きざを変位検出値表示装置を備えた処理装置と
の連結により調整するのに用いてもよい、また制御ルー
プに組み込んだ処理装置との連結により、軸20と受光
器とを結びつけた自動制御方式としてもよい。尚また案
内棒又はレールに沿って動く動体の変位検出にも用いて
もよい。
この場合、ケーシング1を案内棒又はレールと向い合わ
せてこの動体の滑り台又は台車に固定させ、厚味のある
くさびにより変位に対する位置決めは容易に行われる。
せてこの動体の滑り台又は台車に固定させ、厚味のある
くさびにより変位に対する位置決めは容易に行われる。
変形実施態様を挙げることにする。
Fig、 7に示されているのは第1変形実施態様で、
ここでは投射及び反射面i+iは検出しよう、とする物
体25すなわちスケールの変位方向に並んでおらず、そ
の方向と垂′直となっている。この場合、(その変位方
向、に障害物があって問題の時には有利である)十字線
4の格子の平行しかつ等間隔に並んだ筋は物体25の変
位方向に対して垂直を保つ必要がある。発光器2、受光
器3、十字線4は。
ここでは投射及び反射面i+iは検出しよう、とする物
体25すなわちスケールの変位方向に並んでおらず、そ
の方向と垂′直となっている。この場合、(その変位方
向、に障害物があって問題の時には有利である)十字線
4の格子の平行しかつ等間隔に並んだ筋は物体25の変
位方向に対して垂直を保つ必要がある。発光器2、受光
器3、十字線4は。
ケーシング1(図示省略)内では同じ配置構成になって
いる。この変形実施態様は、案内溝7と、その案内溝と
協動する底板6の1部分との長さと方向性を変えること
Cζより第1実施態様に応用することができる。第2実
施態様ではどのような改造も必要ではない。
いる。この変形実施態様は、案内溝7と、その案内溝と
協動する底板6の1部分との長さと方向性を変えること
Cζより第1実施態様に応用することができる。第2実
施態様ではどのような改造も必要ではない。
ケーシングに配置された検出用光学レンズの構成もいろ
いろ変えるこ、とができる。
いろ変えるこ、とができる。
第8図の第2実施態様では、発光器2が発した光線は検
出される物体26の反射面9と垂直になっていて、十字
線4を抜け、十字線4の筋格子の像をその表面で結ぶ第
1対物レンズO1を通り過ぎる。第2対物しンズ02は
反射面9により拡散された後、選ばれた角度Aの第1対
物レンズ01の像をキャッチし、受光器3にその像を結
ばせる。この投映方法には個有の利点がいくつかあるが
、その中でもこの実施態様によればケーシング内部での
発光器、受光器、十字線の配置が全く自由であるという
利点がある。そのため、本実施態様では投射角度iと反
射角度i′との前記実施態様゛の関係をなくして、その
代りに角度Aを自由に選べるのである。
出される物体26の反射面9と垂直になっていて、十字
線4を抜け、十字線4の筋格子の像をその表面で結ぶ第
1対物レンズO1を通り過ぎる。第2対物しンズ02は
反射面9により拡散された後、選ばれた角度Aの第1対
物レンズ01の像をキャッチし、受光器3にその像を結
ばせる。この投映方法には個有の利点がいくつかあるが
、その中でもこの実施態様によればケーシング内部での
発光器、受光器、十字線の配置が全く自由であるという
利点がある。そのため、本実施態様では投射角度iと反
射角度i′との前記実施態様゛の関係をなくして、その
代りに角度Aを自由に選べるのである。
第9図の第3変形実施態様では筒状円板27の外円の変
位の検出に応用される異った投射方法にも同じような利
点があることが示されている。この第3変形実施態様で
は発光器2は円板27の外周の所定の限定された領域を
すれすれに照らして、円板の粒状の表面からの反射光の
コントラストを増大させる。第3対物レンズ03はこの
実施態様では受光器3の前に詔かれている十字線4上に
先の照らされた領域の像を結ぶ。十字線4が送った光を
受光器が集光する。この実施例では円板の外円上に投映
される格子のピッチが円板の表面々−ブによって大きく
変形することがないように注意しなくてはならない。こ
のため、定期的に検出の管理を行うことも起り得る。十
′字線の格子の面積に対して著しく湾曲している場合は
、十字線の形を考慮に入れる必要があろう。
位の検出に応用される異った投射方法にも同じような利
点があることが示されている。この第3変形実施態様で
は発光器2は円板27の外周の所定の限定された領域を
すれすれに照らして、円板の粒状の表面からの反射光の
コントラストを増大させる。第3対物レンズ03はこの
実施態様では受光器3の前に詔かれている十字線4上に
先の照らされた領域の像を結ぶ。十字線4が送った光を
受光器が集光する。この実施例では円板の外円上に投映
される格子のピッチが円板の表面々−ブによって大きく
変形することがないように注意しなくてはならない。こ
のため、定期的に検出の管理を行うことも起り得る。十
′字線の格子の面積に対して著しく湾曲している場合は
、十字線の形を考慮に入れる必要があろう。
第1図は、第1実施態様の縦方向の垂直断面図であり、
第2図は、第1図の断面軸I−Iに沿った横断面図であ
り、第3図は、第2実施態様の立面図であり、第4図は
第3図の断面軸■−■に沿った横断面図であり、第5図
および第6図は2つの実施態様に共通の光学構成を示す
立面図および平面略図であり、第7図、第8図および第
9図は3つの変形実施態様を示す略図である。 1・・・ケーシング、2・・・発光器、3・・・受光器
、4・・・十字線、5・・・スケール、6・・・板、7
・・・溝穴、9・・・上面、10・・・格子、21・・
・支持部、22・・・保持部材、23・・・保持基台 特許出願人 テサ ニス アー
第2図は、第1図の断面軸I−Iに沿った横断面図であ
り、第3図は、第2実施態様の立面図であり、第4図は
第3図の断面軸■−■に沿った横断面図であり、第5図
および第6図は2つの実施態様に共通の光学構成を示す
立面図および平面略図であり、第7図、第8図および第
9図は3つの変形実施態様を示す略図である。 1・・・ケーシング、2・・・発光器、3・・・受光器
、4・・・十字線、5・・・スケール、6・・・板、7
・・・溝穴、9・・・上面、10・・・格子、21・・
・支持部、22・・・保持部材、23・・・保持基台 特許出願人 テサ ニス アー
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)2つの物体と向い合い、かつそのうちの1方の固
定位置に配設された発光器と受光器とを備え、これ−ら
2つの物体が光コントラスト交互効果を受光器で生じさ
せるのに適当な相補的表面状態を示し、その光コントラ
スト交互効果の相の数が相対変位に比例する相対変位光
増分 検出装置において、2つの物体のうちの第1物体
は、その有効長にわたってほぼ規則的な粒状を成して検
出しようとする変位方向にのびた反射面を備え、第2物
体は等間隔に並んだコントラストのある印を有する格子
が少なくとも前記方向に向いている十字線により構成さ
れ、ケーシング1内では少なくとも発光器、受光器、十
字線が3つとも第1物体と同じ側にあって、第1物体の
反射面と向い合っており、ケーシングには位置決め部材
が設けられていて、これがケーシングを反射面の選択さ
れた領域と同じ一定の高さに保持し、ケーシング内の3
つの機構が1つの反射平面内に配設されているため、発
光器から発した光線は前記選択された領域により受光器
上で反射され、十字線はそれ自体が発光器と受光器との
間にあって、受光器にとらえられる光線の走行途上に配
設されているととを特徴とする相対変位光増分 検出装
置。 (2)第1物体は、その有効長全体にわたって断面が一
定で直線をなした固体であることを特徴とする特許請求
の範囲第1項に記載の相対変位光増分 検出装置。 (31ケーシングの位置決め部材が前記ケーシングに固
定されたスライダリンクにより構成され、そのスライダ
リンクに第1物体が並進することを特徴とする特許請求
の範囲第1項と第2項のいづれかに記載の相対変位光増
分 検出装置。 141 ケーシングの位置決め部材が前記ケーシング
に固定され、かつ第1物体が並進する保持基台に取付は
固定されることになる保持部材を備えた指向性の支持部
により構成されていることを特徴とする特許請求の範囲
第1項および第2項のいづれかに記載の相対変位光増分
検出装置。 (5) 発光器、受光器および十字線が配設された反
射平面が第1物体の変位方向にのびていることを特徴と
する特許請求の範囲第1項に記載の相対変位光増分 検
出装置。 (6) 発光器、受光器詔よび十字線が配設された反
射平面が第1物体の変位方向に対して垂直であることを
特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の相対変位光増
分 検出装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH469381A CH646514A5 (fr) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | Dispositif de detection optique des deplacements relatifs de deux objets materiels. |
CH4693/811 | 1981-07-17 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5819502A true JPS5819502A (ja) | 1983-02-04 |
Family
ID=4280862
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12281482A Pending JPS5819502A (ja) | 1981-07-17 | 1982-07-14 | 相対変位光増分検出装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0070446A3 (ja) |
JP (1) | JPS5819502A (ja) |
CH (1) | CH646514A5 (ja) |
DE (1) | DE70446T1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008524926A (ja) * | 2004-12-15 | 2008-07-10 | レイセオン・カンパニー | バンドパスフィルタ |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103411541B (zh) * | 2013-07-26 | 2015-12-02 | 广东工业大学 | 一种绝对光栅尺的滑车固定装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2111883A1 (de) * | 1970-03-13 | 1971-10-07 | Gen Electric | Geschwindigkeitsmesser |
US3816002A (en) * | 1972-10-10 | 1974-06-11 | H Wieg | Apparatus for measuring displacement between two relatively movable members |
JPS53144366A (en) * | 1977-05-23 | 1978-12-15 | Akira Kobayashi | Movement measuring method of objects |
DE2810341C2 (de) * | 1978-03-10 | 1980-01-31 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
-
1981
- 1981-07-17 CH CH469381A patent/CH646514A5/fr not_active IP Right Cessation
-
1982
- 1982-07-05 DE DE1982105979 patent/DE70446T1/de active Pending
- 1982-07-05 EP EP82105979A patent/EP0070446A3/fr not_active Withdrawn
- 1982-07-14 JP JP12281482A patent/JPS5819502A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008524926A (ja) * | 2004-12-15 | 2008-07-10 | レイセオン・カンパニー | バンドパスフィルタ |
JP4740257B2 (ja) * | 2004-12-15 | 2011-08-03 | レイセオン カンパニー | バンドパスフィルタ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE70446T1 (de) | 1983-05-11 |
CH646514A5 (fr) | 1984-11-30 |
EP0070446A2 (fr) | 1983-01-26 |
EP0070446A3 (fr) | 1985-09-25 |
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