JPS58184080A - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
- Publication number
- JPS58184080A JPS58184080A JP57066617A JP6661782A JPS58184080A JP S58184080 A JPS58184080 A JP S58184080A JP 57066617 A JP57066617 A JP 57066617A JP 6661782 A JP6661782 A JP 6661782A JP S58184080 A JPS58184080 A JP S58184080A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- reflected
- raded
- mirror
- sealed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/10—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece using a fixed support, i.e. involving moving the laser beam
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は例えば被加工物にレーザ光を肺射して加熱等
の加工を行うレーデ加工装置に関する。
の加工を行うレーデ加工装置に関する。
この種のレーデ加工装置は被加工物として例えばガラス
類の封着予定部にレーデ光を照射することで、仁の封着
予定部の加熱を行い、これによってその封着加工を行え
るようにできることから、上記封着予定部の加熱装置し
て適用可能である。そして、このようにレーデ加工装置
を加熱装置して使用すれば、高出力のレーデ光を微小ス
／、）として上記封着予定部に照射できることから、そ
の加熱時間の短縮を図れ、また封着予定線以外への熱影
醤を・防止するうえで特有の効果を奏するものである。
類の封着予定部にレーデ光を照射することで、仁の封着
予定部の加熱を行い、これによってその封着加工を行え
るようにできることから、上記封着予定部の加熱装置し
て適用可能である。そして、このようにレーデ加工装置
を加熱装置して使用すれば、高出力のレーデ光を微小ス
／、）として上記封着予定部に照射できることから、そ
の加熱時間の短縮を図れ、また封着予定線以外への熱影
醤を・防止するうえで特有の効果を奏するものである。
また、特にラングの製造においては・９−す等の燃料ガ
スである水素等の混入を避けることができることから、
クリーンは加工が可能となる利点とも有するものである
。
スである水素等の混入を避けることができることから、
クリーンは加工が可能となる利点とも有するものである
。
しかしながら、上記従来のレーデ加工装置においては通
常、そのレーデ光の光束断面形状か円形であり、またそ
の・臂ワー密度は光束の中心が最も高くなるようなガウ
ス分布をなすものであった。このため、上記レーデ光の
光束中心が照射される封着予定部では加熱が良好となる
が光束の周辺側では加熱不良となシ上記封着予定部に加
熱むら等の加工むらが生じる問題があった。また、この
ようなことから、上記レーザ光の光束径を被加工物の加
工範囲よシも充分太きく確保して加熱を行うことも考え
られるが仁のようにすると、レーデ光のエネルギ損失が
大となシ、実用に適さないものであった。
常、そのレーデ光の光束断面形状か円形であり、またそ
の・臂ワー密度は光束の中心が最も高くなるようなガウ
ス分布をなすものであった。このため、上記レーデ光の
光束中心が照射される封着予定部では加熱が良好となる
が光束の周辺側では加熱不良となシ上記封着予定部に加
熱むら等の加工むらが生じる問題があった。また、この
ようなことから、上記レーザ光の光束径を被加工物の加
工範囲よシも充分太きく確保して加熱を行うことも考え
られるが仁のようにすると、レーデ光のエネルギ損失が
大となシ、実用に適さないものであった。
この発明はこのような事情にもとづいてなされたもので
、その目的とするところは、エネルギ損失を抑えなおか
つ加工むらを防止することのできるレーザ加工装置を提
供することにある。
、その目的とするところは、エネルギ損失を抑えなおか
つ加工むらを防止することのできるレーザ加工装置を提
供することにある。
すなわち、この発明はレーデ光を凹ｔｈｉ鏡によ・：
・）。
・）。
り反射して被加工物に照射するとともに、上１凹面鏡を
往復傾動可能に構成し、上記被加工物に照射される反射
レーデ光を光束の径方向に所ある。
往復傾動可能に構成し、上記被加工物に照射される反射
レーデ光を光束の径方向に所ある。
以下この発明の一実施例を図面にもとづき説明する。
第１図中ＩＦｉ放電管の到着装置を示し、ｘｒｄ放電管
、ＪＦｉ放電管２のパルプホルダ、４は電極マウントホ
ルダ、５，５はピンチャ−である。
、ＪＦｉ放電管２のパルプホルダ、４は電極マウントホ
ルダ、５，５はピンチャ−である。
４お、槙２図において放ｔＩＩＬ管の全体を示す。
そして、１０は上記封着装ｆｔ２に適用されるレーデ加
工装置を示し、このレーデ加工装置１０は第３図２６ｍ
で示すレーデ発振器から出射したレーデ光１１を反射鏡
１２・・・等からなる光学系によプ上記パルプホルダ３
に保持された放電管２パルプ２ａの封着予定部２ｂに照
射するように構成されている。また、とのレーデ加工装
＆１０全体はよ記パルプ２ａの管軸を中心として回転可
能に構成され、レーデ光１１を上記封着予定部２ｂの全
周にわたって照射するようになっている。なお、このレ
ーデ光１１としてはガラス製のパルプ２ａに対して吸収
のよい炭酸ガスレーデを用いるのが望ましい。
工装置を示し、このレーデ加工装置１０は第３図２６ｍ
で示すレーデ発振器から出射したレーデ光１１を反射鏡
１２・・・等からなる光学系によプ上記パルプホルダ３
に保持された放電管２パルプ２ａの封着予定部２ｂに照
射するように構成されている。また、とのレーデ加工装
＆１０全体はよ記パルプ２ａの管軸を中心として回転可
能に構成され、レーデ光１１を上記封着予定部２ｂの全
周にわたって照射するようになっている。なお、このレ
ーデ光１１としてはガラス製のパルプ２ａに対して吸収
のよい炭酸ガスレーデを用いるのが望ましい。
そして、この一実施例では上記光学系を構成する反射鏡
１２・・・のうち直接上記封着予定部２ｂにレーデ光１
１を反射する反射鏡が凹球面鏡１２ａで構成されている
。この凹球面鏡Ｉ Ｊｍは第３図に示す如く曲率半切８
の球の一部内面−を反射面１３として構成したもので、
レーザ光１１１ｄこの反射面１３で反射されて封着予定
部２ｂに照射されるものである。
１２・・・のうち直接上記封着予定部２ｂにレーデ光１
１を反射する反射鏡が凹球面鏡１２ａで構成されている
。この凹球面鏡Ｉ Ｊｍは第３図に示す如く曲率半切８
の球の一部内面−を反射面１３として構成したもので、
レーザ光１１１ｄこの反射面１３で反射されて封着予定
部２ｂに照射されるものである。
また、この一実施例の場合、凹球面ｆｊｋｘ２ａ＃ｉ鏡
ホルダ１３に対し回動ピン１４を介して連結され、この
回動ピン１４を中心としてエアシリンダ１５により前稜
に往復傾動可能となっている。
ホルダ１３に対し回動ピン１４を介して連結され、この
回動ピン１４を中心としてエアシリンダ１５により前稜
に往復傾動可能となっている。
次に、上記一実施例の作用について説明する。
まず、レーデ発振器から出射されたレーデ光１１は上記
光学系の反射ｆｉｌ１２・・・および凹球面鏡１２ａで
順次反射されて封着予定部２ ｂ Ｆ（照射されること
になるが、ここで上記凹球面鏡１２＆の作用を以下に説
明する。
光学系の反射ｆｉｌ１２・・・および凹球面鏡１２ａで
順次反射されて封着予定部２ ｂ Ｆ（照射されること
になるが、ここで上記凹球面鏡１２＆の作用を以下に説
明する。
レーデ発振器１−ａから凹球面鏡１２ａに入射角−をも
ってＸ方向から入射した入射レーデ光がＹ方向に反射さ
れるものとすると、この反射レーデ光は上記反射面２ａ
上のム、Ｂ、Ｃ，Ｄで囲まれるレーデ光照射部１４から
の反射によって得られるものである仁とがわかる。した
がって、上記Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄおよびその中心００点に入
射した入射レーデ光ａ、ｂ、ｅ、−および０の反射を追
跡することで上記反射レーザ光全体のビーム形状を求め
ることができる。なお、上記入射角０は上記０点に入射
する入射レーデ光０４とこの０点と自車中心Ｐ点とを結
ぶ線分Ｑとのなす角をいう・ まず、上記レーデ光反射部１４におけるＡ −０−Ｂ点
での反射レーデ光ａｌｔ・１＋ｂ１ を追跡すると、と
のＡ−０−Ｂ点の軌跡が曲率中心Ｐ点を中心とする曲率
半径Ｒの円弧となることからＡ、Ｏ，Ｂ点においてそれ
ぞれ接線を引き、これら各点と１１２点とを結ぶ線分つ
’ｔｌｉｈ。
ってＸ方向から入射した入射レーデ光がＹ方向に反射さ
れるものとすると、この反射レーデ光は上記反射面２ａ
上のム、Ｂ、Ｃ，Ｄで囲まれるレーデ光照射部１４から
の反射によって得られるものである仁とがわかる。した
がって、上記Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄおよびその中心００点に入
射した入射レーデ光ａ、ｂ、ｅ、−および０の反射を追
跡することで上記反射レーザ光全体のビーム形状を求め
ることができる。なお、上記入射角０は上記０点に入射
する入射レーデ光０４とこの０点と自車中心Ｐ点とを結
ぶ線分Ｑとのなす角をいう・ まず、上記レーデ光反射部１４におけるＡ −０−Ｂ点
での反射レーデ光ａｌｔ・１＋ｂ１ を追跡すると、と
のＡ−０−Ｂ点の軌跡が曲率中心Ｐ点を中心とする曲率
半径Ｒの円弧となることからＡ、Ｏ，Ｂ点においてそれ
ぞれ接線を引き、これら各点と１１２点とを結ぶ線分つ
’ｔｌｉｈ。
０、Ｂ点での法面に対するその入射角と等しい反射角を
有する直線をそれぞれ引くことによ）、上記反射レーザ
光＆１ ｐ（１１、ｂｌを第３図に示す如く求めるこ
とができる。この結果、第３図から明らかなように反射
レーデ光ａｌ ｇ・ｌ。
有する直線をそれぞれ引くことによ）、上記反射レーザ
光＆１ ｐ（１１、ｂｌを第３図に示す如く求めるこ
とができる。この結果、第３図から明らかなように反射
レーデ光ａｌ ｇ・ｌ。
ｂｌは第１焦点ｆ′ｌで交わシ、その第１焦点距離Ｆ１
は、 Ｆｌ；：Ｒ−（２）θ／２ ・・・（１）で示され
ることがわかった。なお、厳密に考えれば、入射レーデ
光全体ＫＴｏる程度の幅があるため、上記ム、０．Ｂ点
での入射角はそれぞれ異なるものであるが、上記曲率半
径ＲＫ対し上記入射レーザ光の光束径が充分小さいとす
れば上記各点での入射角の差異を無視することができ、
上記第１焦点ｆ、を求めることができる亀のである。ま
た、上記凹球面鏡１２ａに対し上記線分Ｑと平行に入射
する入射光についてみれば、その焦点距離Ｆが Ｆ ＝ Ｒ／２ で示されることから、動式は Ｆ ｂ Ｆ ａｓ ｅ とＩｎ直すことができる。すなゎ也、上記第１焦点距離
ｒ１は上記線分ＱＫ対し角度−で交差する平面上に上記
焦点距離Ｆを投影した亀のと考えることができる。
は、 Ｆｌ；：Ｒ−（２）θ／２ ・・・（１）で示され
ることがわかった。なお、厳密に考えれば、入射レーデ
光全体ＫＴｏる程度の幅があるため、上記ム、０．Ｂ点
での入射角はそれぞれ異なるものであるが、上記曲率半
径ＲＫ対し上記入射レーザ光の光束径が充分小さいとす
れば上記各点での入射角の差異を無視することができ、
上記第１焦点ｆ、を求めることができる亀のである。ま
た、上記凹球面鏡１２ａに対し上記線分Ｑと平行に入射
する入射光についてみれば、その焦点距離Ｆが Ｆ ＝ Ｒ／２ で示されることから、動式は Ｆ ｂ Ｆ ａｓ ｅ とＩｎ直すことができる。すなゎ也、上記第１焦点距離
ｒ１は上記線分ＱＫ対し角度−で交差する平面上に上記
焦点距離Ｆを投影した亀のと考えることができる。
次に、上記レーデ光反射部１４におけるＣ−０−Ｄ点で
の反射レーデ光ｅｌ ｓ＊１ 、ｄ、について追跡
する場合ＫＦｉこれら反射レーデ光ｅ１ ｊ・１ 、
ｄｌを鮪４図に示す如く凹球面鏡１１ｍを構成する一率
半１１１の球５で考えると理解しやすす、す表わち、上
記Ｃ，Ｏ，ＤＡＫそれぞれ入射角−で入射した入射レー
デ光Ｃ２・、シは各点における法面での入射−反射側に
したがって反射されゐことから、上記反射レーデ光ｃ１
、・１、−１は第４図中中径Ｒ（２）θの円１−上に
沿りてそれぞれ進むことになる。そして、これら反射レ
ーア光ぐ１ｅＱ１ｅｄｌ＃′ｉ上記円ｔｇ上を進みかつ
上記Ｃ＃Ｏ，Ｄ点がそれぞれ半＠ｎ、ａの円周上に位置
していることから、反射レーデ光・凰に対す反射レーデ
光ｄ１とその間には０点、Ｄ点でのそれぞれの法面がな
す角と同等の角度ψをもりて交差するヒとに１＋％また
反射レーデ光・１と−１も同様に上記角度ψをもりて交
差する仁とにな為、すなわち、仁のことから第３図に示
す如く第２焦点ｆ、が存在し、そのｊＩ２焦点距離ｒ廊
はＦ Ｂ ａ Ｂ ＩＸＩＩ ＃ −１Ｆ ｍ ＃
”（２）でＴｏ９た。
の反射レーデ光ｅｌ ｓ＊１ 、ｄ、について追跡
する場合ＫＦｉこれら反射レーデ光ｅ１ ｊ・１ 、
ｄｌを鮪４図に示す如く凹球面鏡１１ｍを構成する一率
半１１１の球５で考えると理解しやすす、す表わち、上
記Ｃ，Ｏ，ＤＡＫそれぞれ入射角−で入射した入射レー
デ光Ｃ２・、シは各点における法面での入射−反射側に
したがって反射されゐことから、上記反射レーデ光ｃ１
、・１、−１は第４図中中径Ｒ（２）θの円１−上に
沿りてそれぞれ進むことになる。そして、これら反射レ
ーア光ぐ１ｅＱ１ｅｄｌ＃′ｉ上記円ｔｇ上を進みかつ
上記Ｃ＃Ｏ，Ｄ点がそれぞれ半＠ｎ、ａの円周上に位置
していることから、反射レーデ光・凰に対す反射レーデ
光ｄ１とその間には０点、Ｄ点でのそれぞれの法面がな
す角と同等の角度ψをもりて交差するヒとに１＋％また
反射レーデ光・１と−１も同様に上記角度ψをもりて交
差する仁とにな為、すなわち、仁のことから第３図に示
す如く第２焦点ｆ、が存在し、そのｊＩ２焦点距離ｒ廊
はＦ Ｂ ａ Ｂ ＩＸＩＩ ＃ −１Ｆ ｍ ＃
”（２）でＴｏ９た。
仁のように上記凹球面鏡ｘｘｈＫ対し入射角−で入射し
て反射される反射レーデ光には上記第１焦点ｆ１および
第２焦点ｆ１が存在し、このことからムーｏ−ｍ点の軌
跡を縦軸ＶＩＣ−０−Ｄ点の軌跡を横軸■とした場合の
反射レーデ光における光束の１比を調べた結果、第５図
に示される結果が得られた。すなわち、第５図から明ら
かなように反射レーデ光の光束における断面形状は第１
焦点ｆ１と第２焦点ｆｓとの関に存在する変曲点２まで
の間で横長の楕円状とな）、上記変曲点２以降において
は縦長の楕円状となる。なお、上記蛮曲点ｚ＃′ｉル僧
比が１となる点を示す。
て反射される反射レーデ光には上記第１焦点ｆ１および
第２焦点ｆ１が存在し、このことからムーｏ−ｍ点の軌
跡を縦軸ＶＩＣ−０−Ｄ点の軌跡を横軸■とした場合の
反射レーデ光における光束の１比を調べた結果、第５図
に示される結果が得られた。すなわち、第５図から明ら
かなように反射レーデ光の光束における断面形状は第１
焦点ｆ１と第２焦点ｆｓとの関に存在する変曲点２まで
の間で横長の楕円状とな）、上記変曲点２以降において
は縦長の楕円状となる。なお、上記蛮曲点ｚ＃′ｉル僧
比が１となる点を示す。
したがって、上記第１＠点ｆ１の近傍では上記断面形状
が横長のスリ、ト状となシ、また上記第２焦点ｆ、の近
傍では縦長のスリ、ト状となることがわかる。なお、第
５図に示した実験結果は曲率亭径虱−２００■、直径４
０ｗｍ、厚さ４■の凹球面鏡ＪＪａを使用して得られた
も／′）であ如、入射レーず光の入射角は０千４５°で
ある。
が横長のスリ、ト状となシ、また上記第２焦点ｆ、の近
傍では縦長のスリ、ト状となることがわかる。なお、第
５図に示した実験結果は曲率亭径虱−２００■、直径４
０ｗｍ、厚さ４■の凹球面鏡ＪＪａを使用して得られた
も／′）であ如、入射レーず光の入射角は０千４５°で
ある。
また、上記実験結果で得られた第１焦点距離Ｆｌおよび
第２焦点距離Ｆ、はそれぞれＦ、＝１０７籠、Ｆａｘ３
１１−付近でＴｏ〕、これらの値は前記した式（１）、
（２）よル得られる理論値ＦＩ ｍ （２９０Ｘａｗ４
５°）／２≧１０２．５ ｗａＦｍ −２９０ＸｍＪ５
° ：２０６ ｗｍＫ対して近似していることもわかる
。
第２焦点距離Ｆ、はそれぞれＦ、＝１０７籠、Ｆａｘ３
１１−付近でＴｏ〕、これらの値は前記した式（１）、
（２）よル得られる理論値ＦＩ ｍ （２９０Ｘａｗ４
５°）／２≧１０２．５ ｗａＦｍ −２９０ＸｍＪ５
° ：２０６ ｗｍＫ対して近似していることもわかる
。
し九がって、反射鏡として上記凹球面鏡１２ｍを用いれ
ば、封着予定部２ｂの大きさ、姿勢および形状などによ
）その位置を変えることで上記封着予定部２ｂに応じ九
反射レーデ光の光束形状が得られ、多品種の放電管にお
ける到着予足部２ｂの加熱に適用可能である０例えば、
この一実施例の場合のようＫ ｚ４ルプ２１の管軸が垂
直とｆｋ２ている場合には上記変曲点２よ）も遠い所に
封着予定部２ｂを位置させることＫよυ、反射レーデ光
の光束形状を縦長のスリ、ト状もしくは楕円形状にする
ことができ、この反射レーデ光を効果的に照射できるも
のである。
ば、封着予定部２ｂの大きさ、姿勢および形状などによ
）その位置を変えることで上記封着予定部２ｂに応じ九
反射レーデ光の光束形状が得られ、多品種の放電管にお
ける到着予足部２ｂの加熱に適用可能である０例えば、
この一実施例の場合のようＫ ｚ４ルプ２１の管軸が垂
直とｆｋ２ている場合には上記変曲点２よ）も遠い所に
封着予定部２ｂを位置させることＫよυ、反射レーデ光
の光束形状を縦長のスリ、ト状もしくは楕円形状にする
ことができ、この反射レーデ光を効果的に照射できるも
のである。
なお、実際の加工においては反射レーデ光の・母ワー＊
ｍが高い０．８≦ｆ１≦１．２もしくは０．８≦ｆ３≦
１．２の範囲に被加工物を位置させることが望壕しく、
また入射レーデ光の入射角−は３０°≦Ｏ≦６００の範
囲が望ましい。
ｍが高い０．８≦ｆ１≦１．２もしくは０．８≦ｆ３≦
１．２の範囲に被加工物を位置させることが望壕しく、
また入射レーデ光の入射角−は３０°≦Ｏ≦６００の範
囲が望ましい。
そして、上記−実施例では王妃凹球面鏡１２＆を前後に
傾動可能に構成しであるから、王妃反射レーデ光をその
光束の径方向つま）バルブ２１の管軸方向に所定の振＠
して振動させることができる。この結果、第６図に示さ
れるように反射レーデ光のノ譬ワー密度ががウス分布で
あっても上記封着予定郁２ｂの管軸方向全体を均等に加
熱することができ、この後のピンチャ−５，５による封
着を東好に行うことができる。
傾動可能に構成しであるから、王妃反射レーデ光をその
光束の径方向つま）バルブ２１の管軸方向に所定の振＠
して振動させることができる。この結果、第６図に示さ
れるように反射レーデ光のノ譬ワー密度ががウス分布で
あっても上記封着予定郁２ｂの管軸方向全体を均等に加
熱することができ、この後のピンチャ−５，５による封
着を東好に行うことができる。
ｋお、封着予定部２１の管軸周シについてけレーデ加工
装置全体が上記管軸を中心として回転されるので加熱む
らが生じたシすることは々い。
装置全体が上記管軸を中心として回転されるので加熱む
らが生じたシすることは々い。
また、上記反射レーデ光を振動させる場合、装置Ｊ＃Ｏ
１１転角度位置に対するその振動モードを第７図ないし
第９図のように設定すれば、振幅中心Ｍよ）も振輻端Ｎ
側において反射レーデ光の光束中心軸が長く照射される
ことになシ、一層封着予足部１′ｂを均４！に加熱する
ことができる。
１１転角度位置に対するその振動モードを第７図ないし
第９図のように設定すれば、振幅中心Ｍよ）も振輻端Ｎ
側において反射レーデ光の光束中心軸が長く照射される
ことになシ、一層封着予足部１′ｂを均４！に加熱する
ことができる。
また、上記したように封着予定部ｘｂの大きさ姿勢形状
に応じて反射レーザ光の光束形状を選ぶことができるの
で、エネルギ損失を大幅に低減できるものであみ。
に応じて反射レーザ光の光束形状を選ぶことができるの
で、エネルギ損失を大幅に低減できるものであみ。
さらに、上記レーず加工装置においては、加工時反射鏡
１２・・・鯛よび凹球面鏡ＪＪａを水などの冷却液で冷
却する必要があるが、これら反射鏡１２・・・および凹
球面鏡１２ａの場合にはそれぞれの反射面の裏側全面を
冷却液で冷却することができるので、その冷却効果は高
く、よってレーデ光に高出力のものを利用できる効Ｊ［
有する。
１２・・・鯛よび凹球面鏡ＪＪａを水などの冷却液で冷
却する必要があるが、これら反射鏡１２・・・および凹
球面鏡１２ａの場合にはそれぞれの反射面の裏側全面を
冷却液で冷却することができるので、その冷却効果は高
く、よってレーデ光に高出力のものを利用できる効Ｊ［
有する。
なお、上記一実施例では放電管の封着装置に適用した例
を示したが、このようなガラス類の加熱に限らず、金属
における焼入れまたは溶接切断などの加工においても適
用できることけ４ちろんであシ、また加熱加工のみ表ら
ず上記焼入れ、溶接および切断などの加工においてもそ
あってもよい々ど、種々と変更して実施可能である。
を示したが、このようなガラス類の加熱に限らず、金属
における焼入れまたは溶接切断などの加工においても適
用できることけ４ちろんであシ、また加熱加工のみ表ら
ず上記焼入れ、溶接および切断などの加工においてもそ
あってもよい々ど、種々と変更して実施可能である。
以上説明したようｋこの発明はレーデ光を聞耐鏡により
反射して被加工物に照射するとともに上記ａ番・鏡を往
復傾動可能に構成して上記被加工物に照射される反射レ
ーデ光を光束軸と直交する方向に所定の振幅で振動させ
るようにした奄のである。（−たがって、反射レーデ光
の・９４７％−８度がガラス分布であっても上記振動に
）〉賛加工物への加工が均一なものとなる。また、この
ように加工範囲以上に反射レーデ光を照射する必要もな
いので、この反射レーデ光のエネルギ損失を極力防止で
きるなど、種々と優れた効果を奏する。
反射して被加工物に照射するとともに上記ａ番・鏡を往
復傾動可能に構成して上記被加工物に照射される反射レ
ーデ光を光束軸と直交する方向に所定の振幅で振動させ
るようにした奄のである。（−たがって、反射レーデ光
の・９４７％−８度がガラス分布であっても上記振動に
）〉賛加工物への加工が均一なものとなる。また、この
ように加工範囲以上に反射レーデ光を照射する必要もな
いので、この反射レーデ光のエネルギ損失を極力防止で
きるなど、種々と優れた効果を奏する。
図面はこの発明の一実施例を示し、第１図は封着および
レーデ加工装置全体の概略図、第２図は放電管の正面図
、第３図および第４図は凹球面鏡の反射作用をそれぞれ
示す図、第５図は凹球面鏡による反射レーデ光の光束形
状を示す特性図、第６図は反射レーデ光の振動による作
用を示す図、第７図ないし第９図は反射レーザ光の振動
モードを示す図である。 ２ｂ・・・封着予定部（被加工物）、２３ｍ・・・凹球
面鏡（反射鏡）、１３・・・鏡ホルダ、１５・・・エア
シリンダ。
レーデ加工装置全体の概略図、第２図は放電管の正面図
、第３図および第４図は凹球面鏡の反射作用をそれぞれ
示す図、第５図は凹球面鏡による反射レーデ光の光束形
状を示す特性図、第６図は反射レーデ光の振動による作
用を示す図、第７図ないし第９図は反射レーザ光の振動
モードを示す図である。 ２ｂ・・・封着予定部（被加工物）、２３ｍ・・・凹球
面鏡（反射鏡）、１３・・・鏡ホルダ、１５・・・エア
シリンダ。
Claims (2)
- （１）被加工物にレーデ光を照射してこの被加工物の加
工を行うようにしたレーず加工装置において、上記レー
デ光は凹面鏡によシ反射されて上記被加工物に照射され
るとともに、上記凹面鏡を往復傾動可能に構成し上記被
加物に照射される反射レーデ光を光束の径方向に所定の
振幅で振動させることを特徴とするレーデ加工装置。 - （２）上記反射レーデ光の振動によるレーデ光光束軸の
照射時間は振幅中心よシも振幅端側か長く設定されてい
ることを特徴とする特許情求の範囲第（１）項記載のレ
ーデ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57066617A JPS58184080A (ja) | 1982-04-21 | 1982-04-21 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57066617A JPS58184080A (ja) | 1982-04-21 | 1982-04-21 | レ−ザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58184080A true JPS58184080A (ja) | 1983-10-27 |
Family
ID=13321032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57066617A Pending JPS58184080A (ja) | 1982-04-21 | 1982-04-21 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58184080A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4661679A (en) * | 1985-06-28 | 1987-04-28 | Eaton Corporation | Semiconductor laser processing with mirror mask |
| US5172261A (en) * | 1990-11-01 | 1992-12-15 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Oscillatory mirror device with two exciting means |
-
1982
- 1982-04-21 JP JP57066617A patent/JPS58184080A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4661679A (en) * | 1985-06-28 | 1987-04-28 | Eaton Corporation | Semiconductor laser processing with mirror mask |
| US5172261A (en) * | 1990-11-01 | 1992-12-15 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Oscillatory mirror device with two exciting means |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4195913A (en) | Optical integration with screw supports | |
| JPS583478B2 (ja) | レ−ザ加熱方法および装置 | |
| JPS5891422A (ja) | 光ビ−ム均一化装置 | |
| US20060186098A1 (en) | Method and apparatus for laser processing | |
| JP3292294B2 (ja) | レーザを用いたマーキング方法及びマーキング装置 | |
| JPS6237350A (ja) | 表面熱処理装置 | |
| JP3515003B2 (ja) | レーザ融着方法 | |
| JP2008134468A (ja) | 集光光学系および光加工装置 | |
| JPH02137687A (ja) | レーザ集光装置 | |
| JPS58184080A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| JPS58159514A (ja) | レ−ザビ−ム空間分布形成方法 | |
| JPS6377178A (ja) | レ−ザ用集光鏡 | |
| CN116240540A (zh) | 一种复合激光熔覆光路 | |
| JPS58103990A (ja) | レ−ザ加工用テ−ブル | |
| CN212083832U (zh) | 激光开槽的光学系统、激光器及带有激光器的设备 | |
| JP2002086288A (ja) | レーザ照射装置 | |
| GB2139613A (en) | Method and apparatus for cutting glass | |
| JPS6153155B2 (ja) | ||
| GB2139614A (en) | Method and apparatus for cutting glass | |
| JP2003528727A (ja) | 材料のレーザ処理装置 | |
| JP2581574B2 (ja) | レ−ザ加工方法およびその装置 | |
| JPS6224883A (ja) | 円周部のレ−ザ−表面処理方法 | |
| JP2019013958A (ja) | 脆性材料のｃｏレーザによる面取り加工方法 | |
| JP2021142546A (ja) | 光学ユニット、レーザー加工装置及びレーザー加工方法 | |
| CN207557590U (zh) | 激光光束整形器和新型激光光源 |