JPS58178949A - 試料像表示装置 - Google Patents
試料像表示装置Info
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- JPS58178949A JPS58178949A JP6309782A JP6309782A JPS58178949A JP S58178949 A JPS58178949 A JP S58178949A JP 6309782 A JP6309782 A JP 6309782A JP 6309782 A JP6309782 A JP 6309782A JP S58178949 A JPS58178949 A JP S58178949A
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は荷電粒子線装置に用いられる新規な試料像表示
装置に関する。
装置に関する。
電子線やイオンのような照射ビームを用いて試料面１−
を走査し、該走査と同期したブラウン管（ＣＲＴ）に試
料から検出される信号を輝度変調信号として用いてＣＲ
Ｔ画面に試料像を表示することが従来から行われており
、その代表例として走査電子顕微鏡が挙げられる。この
走査電子顕微鏡においては、ＣＲＴ画面に表示される試
料像の視野を頓繁に移動させるだけでなく、視野を回転
させることも庸々要求される。ＣＲＴ画面における試料
像の視野を移動させるには、照射電子線に対して垂直な
面内の互いに直交する二方向へ試料を移動づる試料移動
機構が用いられるが、視野を回転させる手段としては、
試料を機械的に高精麿に回転させることが難しいので試
料照射電子線走査の方向を電気的手段によって回転させ
る装置が簡易な視野回転手段として広く用いられている
。
を走査し、該走査と同期したブラウン管（ＣＲＴ）に試
料から検出される信号を輝度変調信号として用いてＣＲ
Ｔ画面に試料像を表示することが従来から行われており
、その代表例として走査電子顕微鏡が挙げられる。この
走査電子顕微鏡においては、ＣＲＴ画面に表示される試
料像の視野を頓繁に移動させるだけでなく、視野を回転
させることも庸々要求される。ＣＲＴ画面における試料
像の視野を移動させるには、照射電子線に対して垂直な
面内の互いに直交する二方向へ試料を移動づる試料移動
機構が用いられるが、視野を回転させる手段としては、
試料を機械的に高精麿に回転させることが難しいので試
料照射電子線走査の方向を電気的手段によって回転させ
る装置が簡易な視野回転手段として広く用いられている
。
しかしながら、このような視野回転手段を用いると試料
移動機構による試料移動１ノ向とＣＲＴ画面における視
野移動り向の関係が変化してしまうため、視野選択の操
作が勤しくなる欠点があった。
移動機構による試料移動１ノ向とＣＲＴ画面における視
野移動り向の関係が変化してしまうため、視野選択の操
作が勤しくなる欠点があった。
本発明はこのような欠点を解決して、照射ビームによる
試料走査方向を回転させても試料移動操作とＣＲＴ画面
内における視野移動方向の関係を一定に保つことを目的
とするもので、その装置は照射ビームを試料面上で互い
に直交する二方向へ偏向するための二つの偏向素子から
なる偏向手段と、該偏向手段へ回転回路を介して走査偏
向信号を供給する走査信号回路と、該走査信号回路の出
力が供給される走査像表示手段と、前記試料を前記照射
ビームに垂直な平面内で豆いに直交する二方向へ移動さ
せるための二つの電気的移動手段とからなる試料移動機
構と、該試料移動機構による試料の移動方向と移動量を
指定する試料移動信号発生手段と、該試料移動信号発生
手段の出力信号と前記回転回路に印加される回転信号に
基づいて前記二つの電気的移動手段に駆動信号を与える
中央制御回路を備えたことを特徴とするものである。
試料走査方向を回転させても試料移動操作とＣＲＴ画面
内における視野移動方向の関係を一定に保つことを目的
とするもので、その装置は照射ビームを試料面上で互い
に直交する二方向へ偏向するための二つの偏向素子から
なる偏向手段と、該偏向手段へ回転回路を介して走査偏
向信号を供給する走査信号回路と、該走査信号回路の出
力が供給される走査像表示手段と、前記試料を前記照射
ビームに垂直な平面内で豆いに直交する二方向へ移動さ
せるための二つの電気的移動手段とからなる試料移動機
構と、該試料移動機構による試料の移動方向と移動量を
指定する試料移動信号発生手段と、該試料移動信号発生
手段の出力信号と前記回転回路に印加される回転信号に
基づいて前記二つの電気的移動手段に駆動信号を与える
中央制御回路を備えたことを特徴とするものである。
第１図は本発明の一実施例装置を示す略図で、図中１は
試料を表わしており、光軸Ｚ方向からの電子線によって
照射される。電子線に対する偏向コイル２ｘ 、２ｙに
は走査信号回路３がらの走査信号が回転回路４を介して
供給されており、回転回路４へ回転イへ号が与えられて
いない状態では試料面は×、ｙｈ向に二次元走査される
。試ＦＪ１を戟冒する試料移動機構５には電気的な移動
手段として二つのパルスモータ６Ｈ，６Ｖが取り付けら
れており、該パルスモータ６Ｈ，６Ｖの駆動によって試
料１は互いに直交する丁り向１］、■へ移動するが、こ
の］］、■の方向は前記ｘ、■の方向と一致するように
調整されている。又、走査像表示手段として用いられる
ＣＲＴ７の偏向コイル７Ｘ７Ｙには前記走査信号回路３
がらの走査信号が供給され、ＣＲＴ画面の輝度変調信号
として試料からの検出信号が与えられるのでＣＲＴ画面
には試料走査像が表示される。前記回転回路４へは回転
信号光り手段８からの信号が供給されており、該回転信
号発生手段８を操作することにより試料上にお（）る試
料走査方向を同転させＣＲＴ画面内の視野を任意に回転
させることができる。一方ＣＲＴ画面の視野を移動ざぜ
る／＝めには、］１方向とＶ方向への試料移動信号を発
生する移動信号発生手段９を操作し、該移動信号発生手
段９からの出力信号を中央制御回路１０を介してパルス
モータの駆動回路１１Ｈ，１１Ｖに供給する。中央制御
回路１０には回転信号発生手段８からの回転信号も供給
されており、移動信号発生手段９がらの入力信号と回転
信号とに基づいて駆動回路１１８．１１ｖに供給する制
°御信号を決定する。第２図は、回転信号発生回路８の
出力を零とした場合におけるＣＲＴ画面走査の方向Ｘ、
Ｙを基準として、試料面上における照射ビームの走査方
向ｘ、ｙとパルスモータ６Ｈ，６Ｖによる試料移動方向
Ｈ，Ｖの関係を表わしたものであり、前述したように方
向Ｈ，Ｖは夫々方向ｘ、ｙと一致しており、従っＣ方向
Ｘ、Ｙとも一致する。このことはパルスモータ６Ｈを駆
動させればＣＲＴ画面内の視野が横（１１）方向へ移動
し、パルスモータ６Ｖを駆動させればＣＲ４画面内の視
野が縦（Ｖ）方向へ移動することを意味づる。
試料を表わしており、光軸Ｚ方向からの電子線によって
照射される。電子線に対する偏向コイル２ｘ 、２ｙに
は走査信号回路３がらの走査信号が回転回路４を介して
供給されており、回転回路４へ回転イへ号が与えられて
いない状態では試料面は×、ｙｈ向に二次元走査される
。試ＦＪ１を戟冒する試料移動機構５には電気的な移動
手段として二つのパルスモータ６Ｈ，６Ｖが取り付けら
れており、該パルスモータ６Ｈ，６Ｖの駆動によって試
料１は互いに直交する丁り向１］、■へ移動するが、こ
の］］、■の方向は前記ｘ、■の方向と一致するように
調整されている。又、走査像表示手段として用いられる
ＣＲＴ７の偏向コイル７Ｘ７Ｙには前記走査信号回路３
がらの走査信号が供給され、ＣＲＴ画面の輝度変調信号
として試料からの検出信号が与えられるのでＣＲＴ画面
には試料走査像が表示される。前記回転回路４へは回転
信号光り手段８からの信号が供給されており、該回転信
号発生手段８を操作することにより試料上にお（）る試
料走査方向を同転させＣＲＴ画面内の視野を任意に回転
させることができる。一方ＣＲＴ画面の視野を移動ざぜ
る／＝めには、］１方向とＶ方向への試料移動信号を発
生する移動信号発生手段９を操作し、該移動信号発生手
段９からの出力信号を中央制御回路１０を介してパルス
モータの駆動回路１１Ｈ，１１Ｖに供給する。中央制御
回路１０には回転信号発生手段８からの回転信号も供給
されており、移動信号発生手段９がらの入力信号と回転
信号とに基づいて駆動回路１１８．１１ｖに供給する制
°御信号を決定する。第２図は、回転信号発生回路８の
出力を零とした場合におけるＣＲＴ画面走査の方向Ｘ、
Ｙを基準として、試料面上における照射ビームの走査方
向ｘ、ｙとパルスモータ６Ｈ，６Ｖによる試料移動方向
Ｈ，Ｖの関係を表わしたものであり、前述したように方
向Ｈ，Ｖは夫々方向ｘ、ｙと一致しており、従っＣ方向
Ｘ、Ｙとも一致する。このことはパルスモータ６Ｈを駆
動させればＣＲＴ画面内の視野が横（１１）方向へ移動
し、パルスモータ６Ｖを駆動させればＣＲ４画面内の視
野が縦（Ｖ）方向へ移動することを意味づる。
第３図は第２図の状態から回転信号発生回路８を操作し
て照射ビームによる試料走査方向を角度θ回転させたと
きの変化を表ねりものであり、パルス七−夕による移動
方向Ｈ，Ｖが照射ビームの走査り向×、ｖと平行でなく
なり、角度−θをなす。従っＣ１パルスモータ６Ｈのみ
によって試料を移動させるとＣＲＴ画面にお【ブる視野
は画面の横方向には移動せずに横方向Ｘと角度−〇をな
す方向べ移動することになる。第１図の装置においては
移動信号発生手段９がらの出力信号が直接パルス七−夕
の駆動回路１１Ｆ１．１１Ｖに供給されるのではなく、
中央制御回路１ｏにおいて回転信号光重・１段８からの
回転信号によって処理された移動信号が駆動回路１１Ｈ
，ＩＩＶに供給される例えば、移動信号発生手段９のｌ
Ｈ１方向ポテンシヨメータのツマミを任意の方向へ任
意の角度回転させて第４図中ベクトルＥ１で表わされる
信号が発生づると、該ベクトルト１と角度−〇をなすメ
。
て照射ビームによる試料走査方向を角度θ回転させたと
きの変化を表ねりものであり、パルス七−夕による移動
方向Ｈ，Ｖが照射ビームの走査り向×、ｖと平行でなく
なり、角度−θをなす。従っＣ１パルスモータ６Ｈのみ
によって試料を移動させるとＣＲＴ画面にお【ブる視野
は画面の横方向には移動せずに横方向Ｘと角度−〇をな
す方向べ移動することになる。第１図の装置においては
移動信号発生手段９がらの出力信号が直接パルス七−夕
の駆動回路１１Ｆ１．１１Ｖに供給されるのではなく、
中央制御回路１ｏにおいて回転信号光重・１段８からの
回転信号によって処理された移動信号が駆動回路１１Ｈ
，ＩＩＶに供給される例えば、移動信号発生手段９のｌ
Ｈ１方向ポテンシヨメータのツマミを任意の方向へ任
意の角度回転させて第４図中ベクトルＥ１で表わされる
信号が発生づると、該ベクトルト１と角度−〇をなすメ
。
Ｖｈ向の成分ＨＸ 、 ｌ−１ｙに相当づる信号に変換
されて人々駆動回路１１ｘ、１１ｙに（Ｕ給、！れる。
されて人々駆動回路１１ｘ、１１ｙに（Ｕ給、！れる。
その結果、試料１は× （×）方向へ移動しＣＲＴ画面
中の視野は横方向へ移動する。同様に、移動信号発生手
段９のｌ Ｖ １方向ポテンシヨメータのツマミを任意
の方向へ任意の角度回転させて、第５図中ベクトル■で
表わされる信号が発生すると、該ベクトル■と角度−θ
をなす×、■方向の成分Ｖｘ 、Ｖｙに相当する信号が
中央制御回路１０より発生して駆動回路１１Ｈ，１１Ｖ
に供給される。
中の視野は横方向へ移動する。同様に、移動信号発生手
段９のｌ Ｖ １方向ポテンシヨメータのツマミを任意
の方向へ任意の角度回転させて、第５図中ベクトル■で
表わされる信号が発生すると、該ベクトル■と角度−θ
をなす×、■方向の成分Ｖｘ 、Ｖｙに相当する信号が
中央制御回路１０より発生して駆動回路１１Ｈ，１１Ｖ
に供給される。
その結果、試料１はｙ （Ｙ）方向へ移動しＣＲＴ画
面中の視野は縦り向へ移動する。即ち、第１図の実施例
装置では移動信号発生手段９における°Ｈ′方向と゛Ｖ
′方向ポテンショメータのツマミ操作によるＣＲＴ画面
内の視野移動方向が視野同転操作に拘わりなく常に一定
に保たれるので、試料面内の所望とする視野を捜す操作
が従来よりも容易になる。
面中の視野は縦り向へ移動する。即ち、第１図の実施例
装置では移動信号発生手段９における°Ｈ′方向と゛Ｖ
′方向ポテンショメータのツマミ操作によるＣＲＴ画面
内の視野移動方向が視野同転操作に拘わりなく常に一定
に保たれるので、試料面内の所望とする視野を捜す操作
が従来よりも容易になる。
尚、本発明は第１図の実施例装置に限定されるものでは
なく、例えば移動信号発生手段９に二つのボデンショメ
ータを設ける代わりにジョイステイクを用い、該ジョイ
ステイクの倒れ方に応じて二種類の試料移動信号を発生
するようにしてもよい。
なく、例えば移動信号発生手段９に二つのボデンショメ
ータを設ける代わりにジョイステイクを用い、該ジョイ
ステイクの倒れ方に応じて二種類の試料移動信号を発生
するようにしてもよい。
以トにｇＴ説した如く、本発明によれば照射ビームによ
る試料走査の方向を回転させても試料移動操作と試ＦＡ
Ｉｌ！表示手段における視野移動とを常に一定に保つこ
とができるので、試料像表示装置におれる視野選択の操
作性を著しく向上させることが可能となる。
る試料走査の方向を回転させても試料移動操作と試ＦＡ
Ｉｌ！表示手段における視野移動とを常に一定に保つこ
とができるので、試料像表示装置におれる視野選択の操
作性を著しく向上させることが可能となる。
第１図は本発明の一実施例装置を示す略図、第２図乃至
第５図は第１図の装置の動作を説明するための略図であ
る。 １：試料、２ｘ 、 ２Ｖ ：偏向」イル、３：走査信
号回路、４：回転回路、５：試料移動機構、６ｌ−Ｌ６
Ｖ：パルスＥ−夕、７：ＣＲＴ、７Ｘ、７Ｙ：偏向コイ
ル、８：回転信号発生手段、９：移動信号発生手段、１
０：中央制卸回路、１１Ｈ１１１Ｖ：駆動回路。 手続禎ｊ正書 （自発） 昭和５７年 ７月１６日 、特罰庁長官 若杉 和夫 殿 １、事ａの表示 昭和５７年特許願第６３０９７号 ２、発明の名称 試料像表示装置 ３、補正を覆る者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都昭島市中神町１４１８番地（Ｔ Ｅ １．
０４２５ （４３） １１６５）４、補正の対象 明細書の全文及び図面 ５、補正の内容 発明の名称 試料像表示装置 特許請求の範囲 照射ビームを試料面上で互いに直交する二方向へ偏向す
るための二つの偏向素子からなる偏向手段と、該偏向手
段へ回転回路を介して走査偏向信号を供給する走査信号
回路と、前記回転回路に回転信号を供給する回転信号発
生手段と、前記走査信号回路の出力が供給される走査像
表示手段と、前記試料を前記照射ビームに垂直な平面内
で互いに直交する二方向へ移動させるための二つの電気
的移動手段からなる試料移動機構と、該試料移動機構に
よる試料の移動方向と移動速度を指定する試料移動信号
発生手段と、該試料移動信号発生手段の出力信号と前記
回転信号発生手段から供給される回転信号に基づいて前
記二つの電気的移動手段に駆動信号を与える中央処理回
路を備えた試料像表示装置。 発明の詳細な説明 本発明は？Ｊｉ電粒子粒子線装置いられる新規な試１’
ｌ像人不装置に関づる。 電ｒ線やイオンのようｈ照射ビームを用いて試ｒ１面１
４走舎し、該走査と同期したブラウン管（ＣＲＴ）に試
料から検出される信号を輝度変調信号とし−Ｃ用い（Ｃ
ＲＴ画面に試料像を表示することがｔ″Ｌ来がら行われ
ており、その代表例として走査“重子顕微鏡が挙げられ
る。この走査電子顕微鏡においては、ＣＲＴ画面に表示
される試料像の視野を頓繁に移動させるだ（プでなく、
視野を回転させることも閘々要求される。（’： ｆ＜
Ｔ画面における試料像の視野を移動さけるには、照射
電子線に処ＩＬ、Ｃ申白４１面内の勾いに直交する二方
向へ試料を移動りる試料移動ｉ構が用いられるが、視野
を回転さける手段としては、試料を機械的に高精度に回
転させることがガしいので試料照ｒＡ電子線走査の／′
ｉ向を電気的１段によって回転させる装置が簡窮な？Ｊ
Ｊ、！野回転′：Ｔ段としく広く用いられている。 しかしながら、このようｌｊ視野回転手段を用いると試
料移動機構（Ｊよる試穿ζｌ移動ｆｊ向とＣＲ１−画布
における視野移動方向の関係が変化してしまうため、視
野選択の操作が難しくなる欠点があった。 本発明はこのような欠点を解決して、照射ビームによる
試料走査方向を回転させても試料移動操作とＣＲ７画面
内における視野移動方向の関係を一定に保つことを目的
とするもので、その装置は照射ビームを試料面上でｎい
に直交する二方向へ偏向するためのヨつの偏向糸量から
なる偏向１段と、該偏向手段へ同転回路を介して走査偏
向信８を供給する走査信号回路と、前記回転回路に回転
信号を供給覆る回転信号発生手段と、前甜走査イハ号回
路の出力が供給される走査像表示手段と、前記試料を前
記照射ビー１１に重ｉｉ’、ｉな平面内で万いに直交Ｊ
る二り向へ移動させるための一つの電気的移動手段とか
らｌ： ２．試料移動機構と、該試料移動機構による試
料の移動方向と移動達磨を指定する試料移動信号発（１
一手段と、該試料移動侶＠光重丁段の出力信号と前記四
転イ８号発生手段から供給される回転仏舅に基づいて前
記一つの電気的移動手段に駆動信号を与える中央制御回
路を備え１こことを特徴とするしのである。 第１図は本発明の 実施例装置を示す略図で、図中１は
試料を人わしており、光軸７方向からの電子線（Ｊよつ
（照射される。電子線に対する偏向二１イル２×、２Ｖ
には走査信号回路３からの走査信号が回転回路４を介し
て供給されており、回転１１１路４へ回転イス号が与え
られていない状態では試料面は°Ｘ 、 Ｖ ｊ）向に
一次元走査される。試料１を数置づる試料移動信号５に
は電気的な移動手段としｚ ′）のパルスモータ６ｔｌ
、６Ｖが取り付けられ（おり、該パルスを一ター６Ｎ、
６Ｖの駆動によつ（試料１は１ｊいに自交づる 方向１
−１．Ｖへ移動するが、この１１．■の７’Ｊ向は前記
ｘ、■の方向と一致りるＪ、うに調整され（いる。又、
走査像表示手段として用いられるＣＲＴ７の偏向］イル
７Ｘ７ Ｙ ＩＪ１１前記走査信号回路３からの走査信
号が供給され、ＣＲＴＲ面の＋ｅｖｔ変調信号として試
料からの検出飢シＪが′ノλ−られるのでＣＲＴＲ面に
は試料走査像が表示される。前記同転回路４へは回転化
号発〈１手段８からの１１１号が供給されており、該回
転信号発生手段８を操作することにより試料りにおける
試料走査方向を回転させＣＲＴ画面内の視野を任意に回
転させることができる。一方ＣＲＴ画面の視野を移動さ
せるためには、Ｘ方向とＹ方向への試料移動信号を発生
する移動信号発生手段９を操作し、該移動信号発生手段
９からの出力伝号を中央制御回路１０を介してパルスモ
ータの駆動回路１１Ｈ，１１Ｖに供給する。中央制御回
路１０には回転信号発生手段８からの回転信号も供給さ
れており、移動（８号発生手段９からの入力信号と回転
信号とに基づいて駆動回路１１Ｎ、１１Ｖに供給する制
ｍ信号を決定する。第２図（ま、回転信号弁１回路８の
出力を零とした場合にＪｊ ＬＪるＣＲ王両画面走査方
向Ｘ、Ｙを基準として、試料面上における照射ビームの
走査方向×、ｙとパルスモータ６Ｈ，６Ｖによる試料移
動方向ト１．■の関係を表わしたーしのであり、前述し
たように方向＋１．Ｖは夫々方向ｘ、■と一致しており
、従って方向Ｘ、Ｙとも一致する。このことはパルスモ
ータ６Ｈを駆動させればＣＲＴ画面内の視野が横（×）
ノ“ノ向へ移１１ Ｌ、パルスモータ６ｖを駆動させれ
ばＣＲＴ画面内の視野が縦（Ｙ）方向へ移動４ることを
息味Ｉ）る。 第３図は第２図の１人態から回転信号発生回路８を操作
して照射ビームによる試料走査方向を角度θ回転させた
ときの変化を表ねづものであり、パルスを一タによる移
動方向］」、■が照射ビームの走査す向ｘ、ｙと平行で
イｊくなり、角度−〇をなり。従って、パルスモークロ
１１のみによって試料を移動させるとＣＲＴ画面にＪｊ
ける視野は画面の横方向には移動Ｕずに横り向×ど角度
−〇をなすＩＪ向へ移動づることＣＬ ｌ、；る。第１
図の装置においては移動ｆ九月発９手段９からの出力信
号が直接パルス［−夕の駆りＪ回路１１１−１．１１Ｖ
に供給されるので・はなく、中央制御回路１・Ｏにおい
て回転イ５￥３ ｆｌ生−１段８からの回転信号によっ
て処理された移動（＋”； ；”ｒが駆動回路１１Ｈ，
１１Ｖに供給される例えば、移初信′ｐ： Ｒ４−１段
９の゛Ｘ′方向のツマミを仔Ｊ３の方向Ｉ＼任意の角ｆ
α同転させて第４図中ベクトルＡ−（・表わされる信″
Ｐ号が発生すると、該ベクトルＡと角度−〇をなす目、
Ｙ方向の成分Ａｈ。 ＡＶに相当する信号に変換されて大々駆動回路１１Ｈ，
１１Ｖに供給される。その結束、試１１１はＸ方向へ移
動しＣＲＴ画面中の視野は横（Ｘ）７３而へ移動する。 同様に、移動信号発生手段９の′Ｙ′方向ツマミを任意
の方向へ任意の角度回転させて、第５図中ベクトルｆ３
１′表わされる信号が発生すると、該ベク［−ルＢと角
度−θをなすト１゜Ｙ方向の成分Ｂｈ 、Ｂｖに相当す
る信号が中央制御回路１０より発生して駆動回路１１Ｎ
、１１Ｖに供給される。その結宋、試料１はＸ方向へ移
動しＣＲＴ画面中の視野は縦（Ｙ）７’ｊ向へ移動づる
。 即ち、第１図の実施例装置では移動信号発生手段９にお
ける゛Ｘ′方向とｌ Ｙ ＋方向ツマミ操作によるＣＲ
Ｔ画面内の視野移動方向が視野回転操作に拘わりなく常
に一定に保たれるので、試料面内の所望と覆る視野を捜
１操作が従来よりも容易になる。 尚、本発明は第１図の実施例装置に限定されるものでは
なく、例えば移動信号発生手段９に］つのつまみを設け
る代わりにジョイステイクを用い、該ジョイステイクの
倒れ方に応じて一種類の試料移動信号を発生するように
してもよい。また、例えばＸ’ＩＪ向つまみの代わりに
−（×、−Ｘスイッチを、％ Ｙ ／ 方向つまみの代
わりに＋Ｙ、−Ｙスイッチを使用してもよい。 以上に詳説した如く、本発明によれば照射ビームによる
試料走査の方向を回転させても試料像表示手段における
視野移動方向を常に一定に保つことがぐきるので、試料
像表示手段における視野選択の操作性を著しく向上さ口
ることが可能となる。 図面の簡単な説明 第１図は本発明の一実施例装置を示す略図、第２図乃〒
第５図は第１図の装置の動作を説明するための略図ぐあ
る。 １：試料、２Ｘ 、 ２Ｖ ：偏向］イル、３：走査信
号回路、／′Ｉ：回転回路、５：試料移動機構、６ｔ１
，６ｖ：パルスを一タ、７：にＲＴ、７Ｘ、７Ｙ：偏向
：］イル、８：回転イｈ号ｆｌ−１手段、９：移動信号
発生手段、１０：中央制御回路、１１１１１１ｖ：駆動
回路。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫
第５図は第１図の装置の動作を説明するための略図であ
る。 １：試料、２ｘ 、 ２Ｖ ：偏向」イル、３：走査信
号回路、４：回転回路、５：試料移動機構、６ｌ−Ｌ６
Ｖ：パルスＥ−夕、７：ＣＲＴ、７Ｘ、７Ｙ：偏向コイ
ル、８：回転信号発生手段、９：移動信号発生手段、１
０：中央制卸回路、１１Ｈ１１１Ｖ：駆動回路。 手続禎ｊ正書 （自発） 昭和５７年 ７月１６日 、特罰庁長官 若杉 和夫 殿 １、事ａの表示 昭和５７年特許願第６３０９７号 ２、発明の名称 試料像表示装置 ３、補正を覆る者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都昭島市中神町１４１８番地（Ｔ Ｅ １．
０４２５ （４３） １１６５）４、補正の対象 明細書の全文及び図面 ５、補正の内容 発明の名称 試料像表示装置 特許請求の範囲 照射ビームを試料面上で互いに直交する二方向へ偏向す
るための二つの偏向素子からなる偏向手段と、該偏向手
段へ回転回路を介して走査偏向信号を供給する走査信号
回路と、前記回転回路に回転信号を供給する回転信号発
生手段と、前記走査信号回路の出力が供給される走査像
表示手段と、前記試料を前記照射ビームに垂直な平面内
で互いに直交する二方向へ移動させるための二つの電気
的移動手段からなる試料移動機構と、該試料移動機構に
よる試料の移動方向と移動速度を指定する試料移動信号
発生手段と、該試料移動信号発生手段の出力信号と前記
回転信号発生手段から供給される回転信号に基づいて前
記二つの電気的移動手段に駆動信号を与える中央処理回
路を備えた試料像表示装置。 発明の詳細な説明 本発明は？Ｊｉ電粒子粒子線装置いられる新規な試１’
ｌ像人不装置に関づる。 電ｒ線やイオンのようｈ照射ビームを用いて試ｒ１面１
４走舎し、該走査と同期したブラウン管（ＣＲＴ）に試
料から検出される信号を輝度変調信号とし−Ｃ用い（Ｃ
ＲＴ画面に試料像を表示することがｔ″Ｌ来がら行われ
ており、その代表例として走査“重子顕微鏡が挙げられ
る。この走査電子顕微鏡においては、ＣＲＴ画面に表示
される試料像の視野を頓繁に移動させるだ（プでなく、
視野を回転させることも閘々要求される。（’： ｆ＜
Ｔ画面における試料像の視野を移動さけるには、照射
電子線に処ＩＬ、Ｃ申白４１面内の勾いに直交する二方
向へ試料を移動りる試料移動ｉ構が用いられるが、視野
を回転さける手段としては、試料を機械的に高精度に回
転させることがガしいので試料照ｒＡ電子線走査の／′
ｉ向を電気的１段によって回転させる装置が簡窮な？Ｊ
Ｊ、！野回転′：Ｔ段としく広く用いられている。 しかしながら、このようｌｊ視野回転手段を用いると試
料移動機構（Ｊよる試穿ζｌ移動ｆｊ向とＣＲ１−画布
における視野移動方向の関係が変化してしまうため、視
野選択の操作が難しくなる欠点があった。 本発明はこのような欠点を解決して、照射ビームによる
試料走査方向を回転させても試料移動操作とＣＲ７画面
内における視野移動方向の関係を一定に保つことを目的
とするもので、その装置は照射ビームを試料面上でｎい
に直交する二方向へ偏向するためのヨつの偏向糸量から
なる偏向１段と、該偏向手段へ同転回路を介して走査偏
向信８を供給する走査信号回路と、前記回転回路に回転
信号を供給覆る回転信号発生手段と、前甜走査イハ号回
路の出力が供給される走査像表示手段と、前記試料を前
記照射ビー１１に重ｉｉ’、ｉな平面内で万いに直交Ｊ
る二り向へ移動させるための一つの電気的移動手段とか
らｌ： ２．試料移動機構と、該試料移動機構による試
料の移動方向と移動達磨を指定する試料移動信号発（１
一手段と、該試料移動侶＠光重丁段の出力信号と前記四
転イ８号発生手段から供給される回転仏舅に基づいて前
記一つの電気的移動手段に駆動信号を与える中央制御回
路を備え１こことを特徴とするしのである。 第１図は本発明の 実施例装置を示す略図で、図中１は
試料を人わしており、光軸７方向からの電子線（Ｊよつ
（照射される。電子線に対する偏向二１イル２×、２Ｖ
には走査信号回路３からの走査信号が回転回路４を介し
て供給されており、回転１１１路４へ回転イス号が与え
られていない状態では試料面は°Ｘ 、 Ｖ ｊ）向に
一次元走査される。試料１を数置づる試料移動信号５に
は電気的な移動手段としｚ ′）のパルスモータ６ｔｌ
、６Ｖが取り付けられ（おり、該パルスを一ター６Ｎ、
６Ｖの駆動によつ（試料１は１ｊいに自交づる 方向１
−１．Ｖへ移動するが、この１１．■の７’Ｊ向は前記
ｘ、■の方向と一致りるＪ、うに調整され（いる。又、
走査像表示手段として用いられるＣＲＴ７の偏向］イル
７Ｘ７ Ｙ ＩＪ１１前記走査信号回路３からの走査信
号が供給され、ＣＲＴＲ面の＋ｅｖｔ変調信号として試
料からの検出飢シＪが′ノλ−られるのでＣＲＴＲ面に
は試料走査像が表示される。前記同転回路４へは回転化
号発〈１手段８からの１１１号が供給されており、該回
転信号発生手段８を操作することにより試料りにおける
試料走査方向を回転させＣＲＴ画面内の視野を任意に回
転させることができる。一方ＣＲＴ画面の視野を移動さ
せるためには、Ｘ方向とＹ方向への試料移動信号を発生
する移動信号発生手段９を操作し、該移動信号発生手段
９からの出力伝号を中央制御回路１０を介してパルスモ
ータの駆動回路１１Ｈ，１１Ｖに供給する。中央制御回
路１０には回転信号発生手段８からの回転信号も供給さ
れており、移動（８号発生手段９からの入力信号と回転
信号とに基づいて駆動回路１１Ｎ、１１Ｖに供給する制
ｍ信号を決定する。第２図（ま、回転信号弁１回路８の
出力を零とした場合にＪｊ ＬＪるＣＲ王両画面走査方
向Ｘ、Ｙを基準として、試料面上における照射ビームの
走査方向×、ｙとパルスモータ６Ｈ，６Ｖによる試料移
動方向ト１．■の関係を表わしたーしのであり、前述し
たように方向＋１．Ｖは夫々方向ｘ、■と一致しており
、従って方向Ｘ、Ｙとも一致する。このことはパルスモ
ータ６Ｈを駆動させればＣＲＴ画面内の視野が横（×）
ノ“ノ向へ移１１ Ｌ、パルスモータ６ｖを駆動させれ
ばＣＲＴ画面内の視野が縦（Ｙ）方向へ移動４ることを
息味Ｉ）る。 第３図は第２図の１人態から回転信号発生回路８を操作
して照射ビームによる試料走査方向を角度θ回転させた
ときの変化を表ねづものであり、パルスを一タによる移
動方向］」、■が照射ビームの走査す向ｘ、ｙと平行で
イｊくなり、角度−〇をなり。従って、パルスモークロ
１１のみによって試料を移動させるとＣＲＴ画面にＪｊ
ける視野は画面の横方向には移動Ｕずに横り向×ど角度
−〇をなすＩＪ向へ移動づることＣＬ ｌ、；る。第１
図の装置においては移動ｆ九月発９手段９からの出力信
号が直接パルス［−夕の駆りＪ回路１１１−１．１１Ｖ
に供給されるので・はなく、中央制御回路１・Ｏにおい
て回転イ５￥３ ｆｌ生−１段８からの回転信号によっ
て処理された移動（＋”； ；”ｒが駆動回路１１Ｈ，
１１Ｖに供給される例えば、移初信′ｐ： Ｒ４−１段
９の゛Ｘ′方向のツマミを仔Ｊ３の方向Ｉ＼任意の角ｆ
α同転させて第４図中ベクトルＡ−（・表わされる信″
Ｐ号が発生すると、該ベクトルＡと角度−〇をなす目、
Ｙ方向の成分Ａｈ。 ＡＶに相当する信号に変換されて大々駆動回路１１Ｈ，
１１Ｖに供給される。その結束、試１１１はＸ方向へ移
動しＣＲＴ画面中の視野は横（Ｘ）７３而へ移動する。 同様に、移動信号発生手段９の′Ｙ′方向ツマミを任意
の方向へ任意の角度回転させて、第５図中ベクトルｆ３
１′表わされる信号が発生すると、該ベク［−ルＢと角
度−θをなすト１゜Ｙ方向の成分Ｂｈ 、Ｂｖに相当す
る信号が中央制御回路１０より発生して駆動回路１１Ｎ
、１１Ｖに供給される。その結宋、試料１はＸ方向へ移
動しＣＲＴ画面中の視野は縦（Ｙ）７’ｊ向へ移動づる
。 即ち、第１図の実施例装置では移動信号発生手段９にお
ける゛Ｘ′方向とｌ Ｙ ＋方向ツマミ操作によるＣＲ
Ｔ画面内の視野移動方向が視野回転操作に拘わりなく常
に一定に保たれるので、試料面内の所望と覆る視野を捜
１操作が従来よりも容易になる。 尚、本発明は第１図の実施例装置に限定されるものでは
なく、例えば移動信号発生手段９に］つのつまみを設け
る代わりにジョイステイクを用い、該ジョイステイクの
倒れ方に応じて一種類の試料移動信号を発生するように
してもよい。また、例えばＸ’ＩＪ向つまみの代わりに
−（×、−Ｘスイッチを、％ Ｙ ／ 方向つまみの代
わりに＋Ｙ、−Ｙスイッチを使用してもよい。 以上に詳説した如く、本発明によれば照射ビームによる
試料走査の方向を回転させても試料像表示手段における
視野移動方向を常に一定に保つことがぐきるので、試料
像表示手段における視野選択の操作性を著しく向上さ口
ることが可能となる。 図面の簡単な説明 第１図は本発明の一実施例装置を示す略図、第２図乃〒
第５図は第１図の装置の動作を説明するための略図ぐあ
る。 １：試料、２Ｘ 、 ２Ｖ ：偏向］イル、３：走査信
号回路、／′Ｉ：回転回路、５：試料移動機構、６ｔ１
，６ｖ：パルスを一タ、７：にＲＴ、７Ｘ、７Ｙ：偏向
：］イル、８：回転イｈ号ｆｌ−１手段、９：移動信号
発生手段、１０：中央制御回路、１１１１１１ｖ：駆動
回路。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫
Claims (1)
- 照射ビームを試料面上で互いに直交する二方向へ偏向す
るための二つの偏向素子からなる偏向手段と、該偏向手
段へ回転回路を介して走査偏向信号を供給する走査信号
回路と、該走査信号回路の出力が供給される走査像表示
手段と、前記試料を前記照射ビームに垂直な平面内で互
いに直交する一方向へ移動させるための二つの電気的移
動手段からなる試料移動機構と、該試料移動機構による
試料の移動方向と移動量を指定する試料移動信号発生手
段と、該試料移動信号発生手段の出力信号と前記回転回
路に印加される回転信号に基づいて／′前記二つの電気
的移動手段に駆動信号を与える中央処理回路を備えた試
料像表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6309782A JPS58178949A (ja) | 1982-04-15 | 1982-04-15 | 試料像表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6309782A JPS58178949A (ja) | 1982-04-15 | 1982-04-15 | 試料像表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58178949A true JPS58178949A (ja) | 1983-10-20 |
| JPH0232741B2 JPH0232741B2 (ja) | 1990-07-23 |
Family
ID=13219452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6309782A Granted JPS58178949A (ja) | 1982-04-15 | 1982-04-15 | 試料像表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58178949A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63266745A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-02 | Nikon Corp | 試料像の視野移動装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54114171A (en) * | 1978-02-27 | 1979-09-06 | Jeol Ltd | Sample shifting device for electronic microscope |
-
1982
- 1982-04-15 JP JP6309782A patent/JPS58178949A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54114171A (en) * | 1978-02-27 | 1979-09-06 | Jeol Ltd | Sample shifting device for electronic microscope |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63266745A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-02 | Nikon Corp | 試料像の視野移動装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0232741B2 (ja) | 1990-07-23 |
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