JPS58178066A - 高速真空ゲ−トバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の背景〕 本発明は、真空ダートバルブに関し、特に、長寿命動作
を有する高速高真空ｒ−）バルブに関する。

真空ｒ−）バルブが、種々の適用において用いられてい
る。その一つは、高エネルギー粒子加速器において用い
られている。これら適用の幾つかにおいて、高速及び高
い信頼性が最も重要である。

例えば、半導体産業において市販されるイオン注入装置
において、イオン源とターグツト半導体ウェーハとの間
のイオンビームの経路は、１０”Ｔｏｒｒのオーダーの
真空において維持される。

ウェーハを交換する間、繰り返して真空ポンプで排気さ
れるｌ“を最小にするために、装置のウェーハ端部は、
Ｘ空ダート・々ルブによって密閉される。装置の効率を
最・小にするために、真空ダートパルプの動作を含むウ
ェーハ交換処理は、可能な限り短時間で行なわなければ
ならない。ダートパルプ動作時間は、０．２乃至０．５
秒のオーダーでなければならない。さらに、ｙ−トパル
ブを修理し又は取り替えるための装置稼動体止時間は望
ましくないので、パルプは信頼性が高くなければならな
い。高速及び高い信頼性が真空ダートパルプの多くの商
業的適用において必要とされることは、明白であろう。

従来技術の真空ダートパルプは、はぼ満足な動作をもた
らすが、高速長寿命動作に適切ではない。

１つの型のダートパルプが、アール・ニー・チャイルズ
（Ｒ，Ａ、Ｃｈｉｌｄｅ　）　　によって「信頼性のあ
るＵＨＶｒ−）パルプ」（目録の調査／展開、１９７８
年７月）において記述されている。そのパルプは、密閉
グレートに枢動的に連結される往復台を含む。往復台及
び密閉プレートは、密閉プレートが機械的障害物に衝突
するまで、トラックに沿って直線的に運行する。往復台
はトラックに沿って移動し続けて、密閉グレートを上方
に枢動させて開孔を密閉せしめる。機械的障害物及び棒
カムを利用して密閉グレートを真空開孔に押しつけるダ
ートパルプが、米国特許第３，５５４，４８６号におい
て開示されている。しかしながら１機械的障害物を使用
する・々ルプにおいて、密閉グレートが障害物に高速で
衝突するときに生じる衝撃荷重は。

パルプ構成要素の急激な摩損を生じさせる。密閉グレー
トが揺動腕に取付けられて開孔から横方向に離れて枢動
するところの高真空ダートパルプが、１９７６年８月１
０日に７ウイラー（Ｗｈｅｅｌｅｒ　）へ発行された米
国特許第３，９７３，７５３号において開示されている
。開示されたパルプは、高速動作に適切ではない。

本発明の全体的な目的は、新規で且つ改良された高速真
空ダートパルプを提供することである。

本発明の他の目的は、長寿命及び高い信頼性を有する高
速真空ダートバルブを提供することである。

本発明の他の目的は、開放位置と密閉位置との間で方向
又は速度を急激に変化することがない運動を有する高速
真空ダートバルブを提供することである。

本発明の他の目的は、動作中の構成部品の激しい衝撃荷
重が回避されるところの高速真空ダートバルブを提供す
ることである。

〔発明の概要〕

本発明に従って、これらの且つ他の、目的及び利点は、
高速真空ｆ−）パルプにおいて達成される。そのパルプ
は、開口を有するハウソング、その開口を密閉するだめ
の閉鎖部材、密閉位置と開放位置との間で閉鎖部材を案
内するようにされたトラック手段及び作動手段から成る
。トラック手段は、開口に隣接し且つ開口から後方に延
在する近接部分、開口から横方向に延在する末端部分及
び近接部分と末端部分とを接続する曲線部分を含む。ト
ラック手段は、方向又は速度の両方において急激に変化
することがない運動をもたらすように閉鎖部材を案内す
る。作動手段は、閉鎖部材に力を加えて、トラック手段
によって開放位置と密閉位置との間に画成される経路に
沿って閉鎖部材を移動する。

〔好適実施例の説明〕

第１乃至５図は１本発明に従う高速真空ダート・ぐルグ
の好適実施例を示す。パルプは、開口１２を有するハウ
ジング１０及び開口１２を密閉するための閉鎖部材１４
を含む。パルプは更に、第１乃至３図で示されるような
密閉位置と第４及び５図で示されるような開口位置との
間で閉鎖部材１４を案内するだめのトラック手段を含む
。第１乃至５図の実施例において、トラック手段は、ト
ラック１７及び１８を有するトラック部材１６並びにト
ラック２１及び２２を有するトラック部材２０を含む。

パルプは又、閉鎖部材１４に力を加えて。

開口位置と密閉位置との間のトラック１７，１８．２１
及び２２によって画成される経路に沿って閉鎖部材１４
を移動するだめの作動手段を含む。第１乃至５図の実施
例において１作動手段は、連動棒２８及び２９によって
閉鎖部材１４に連結された往復台２６を含む。連動棒２
８及び２９は、平行であり且つ等しい長さを有する。往
復台２６は、トラック部材２０及び１６それぞれにおけ
るトラック３０及び３１によって直線経路に沿って案内
されて、作動源に連結するようにされている。第１乃至
５図の実施例において、作動源は、連接棒３６によって
往復台２６に連結される空気作動ピストン３４である。

線形シール３８が、ハウジング１０を通過する連接棒３
６の回りに気密をもたらす。線形シール３８は、線形可
動棒を気密するための周知の技術を使用する。連接棒３
６の回りで目、つ２つの０リングの間の小容積が、高真
空密封を保証するように真空ポンプで排気される。

ハウジング１０は内蔵式ダートパルプのだめのハウジン
グであることが可能であり、その場合においてハウジン
グは代表的に第１の開口１２と整列した第２の開口を有
する。変形的に、ハウジング１０は、イオン注入器のよ
うな真空下で動作する設備のためのハウジングであって
も良い。開口１２は１代表的に円形であって直径数イン
チである。

閉鎖部材１４は、０リング４２（第２図参照）を有する
シールプレート４０を含ｔｒ。ｏリンク４２は、シール
グレー）４０の前面の円周周辺のＯＩＪソングぞ内に位
置づけられている。トラニオン（ｔｒｕｎｎｉｏｎ　）
４４が、シールプレート４０の背面の中央に位置づけら
れており、そこに剛に連結されている。連動棒２８は、
ビン４６によってトラニオン４４に枢動的に取り付けら
れている。トラニオン４５が、シールグレー）４０の背
面の下方部分に位置づけられており、ビン４７によって
連動棒２９に枢動的に取り付けられている。ローラー支
持体５０及び５２（第３図参照）が、シールグレート４
０の背面から後方に延在する。ローラー支持体５０及び
５２は、シールプレート４０の中央から上下に等距離だ
け隔てられて、トラック１７．１８．２１及び２２に隣
接して位置づけられる。ローラー５４が、以下に記述さ
れるようにトラック１７．１８．２１及び２２と係合す
るようにローラー支持体５０及び５２に取り付けられる
。

トラック１７．１８．２１及び２２は、伸長するみぞの
形態である。みぞはハウソング１０の対向する平行な壁
内に形成可能であり又は開口１２の反対側のハウジング
１０に剛に取り付けられた平行なトラック部材１６及び
２０内に形成可能である。以下に第３図を参照しながら
トラック２１及び２２について説明する。トラック１７
及び１８は、トラック２１及び２２の鏡像である。トラ
ック２１及び２２は、開口１２に隣接し且つ開口１２か
ら後方に延在する近接部分２１ａ及び２２ａを含む。ト
ラック２１及び２２は更に、開口１２かも横方向に延在
する末端部分２１ｂ及び２２ｂを含む。第１乃至５図の
実施例において、末端部分２１ｂ及び２２ｂは開口１２
の平面に平行であって、近接部分２１ａ及び２２ａは開
口１２の平面に垂直である。近接部分２１ａ及び２２ａ
は、曲線部分２１ｃ及び２２ｃによって末端部分２１ｂ
及び２２ｂにそれぞれ接続されている。近接部分２１ａ
及び２２ａ、末端部分２１ｂ及び２２ｂ並びに曲線部分
２１ｃ及び２２ｃは結合して、密閉位置と開口位置との
間に方向又は速度の急激な変化のない連続的で無妨害の
経路を形成する。近接部分２１ａ及び２２ａは、開口１
２に関して間隔を置いて配置されて、ローラー５４と係
合し且つ密閉グレート４０を開口１２に対して中心づけ
る。

往復台２６は、ローラー６８を有する往復台本体６６を
含む。ローラー６８は、往復台本体６６の両側に取り付
けられている。トラック３ｏ及び３１は、それぞれトラ
ック部材２ｏ及び１６内の伸長したみそであって良い。

ローラー６８は、トラック３０及び３１と係合するよう
に位置づけられる。往復台２６はさらに１本体６６に剛
に連結したトラニオン７０及び７１を含む。トラニオン
７０は、ビン７２によって連動棒２８に枢動的に連結さ
れている。トラニオン７１は、ビン７３によって連動棒
２９に枢動的に連結されている。

動作上、閉鎖部材１４は、第１乃至３図で示される密閉
位置と第４及び５図で示される開放位置との間で、トラ
ック１７，１８．２１及び２２によって画成される経路
に沿って移動する。閉鎖部材１４は、往復台２６によっ
て作動される。往復台２６は、トラック３０及び３１に
よって画成される経路に沿って移動して、連動棒２８を
通じて閉鎖部材１４に力を加える。連動棒２９は、開放
位置と密閉位置との間の運動間で開口１２に平行な平面
内に閉鎖部材１４を安定させるよう動作し、ロードベア
リング部材ではない。連動棒２９は真空ダートバルブの
必須要素でないが、より安定な動作を特により低速にお
いてもたらす。往復台２６は、空気作動ピストン３４に
よって動作される。

開放位置（第４図参照）から説明を始めると、連接棒３
６は、往復台２６及び閉鎖部材１４を下方に押す。往復
台２６は、トラック３０及び３１に沿って連続的に移動
する。閉鎖部材１４に取り付けられたローラー５４は、
トラック２１及び２２の末端部分２１．　ｂ及び２２ｂ
及びトラック１７及び１８の相当する末端部分に沿って
回転する。この部分の移動の間、閉鎖部材１４及び往復
台２６は、互いに一定関係の状態である。ローラー５４
がトラック２１及び２２０曲線部分２１ｃ及び２２ｅに
到達すると、ローラー５４及び閉鎖部材１４全体は、ト
ラック１７．１８．２１及び２２により画成される経路
に追従して、開口１２に向けて移動方向を変化させる。

曲線部分２　］、　ｃ及び２２ｃの湾曲によって、方向
の変化は緩やかであり且つ連続的であって、閉鎖部材１
４は衝撃荷重にさらされない。閉鎖部材１４が往復台２
６がら離れて開口１２に向かって移動するにつれて、連
動棒２８はビン４６及び７２の回りを枢動し、連動棒２
９はビン４７及び７３の回りを枢動する。

ローラー５４がトラック２】及び２２の近接部分２１ａ
及び２２ａに到達すると、閉鎖部材１４の移動は開口１
２の平面に垂直と々る。かくして、閉鎖部材１４が開口
１２の周囲と接触するとき、０リング４２にすり傷は付
かない。さらに、閉鎖部材１４が密閉位置に向かって移
動するときに往復台２６は直線方式で下方に移動し続け
、それによって開口１２の平面に垂直な方向で閉鎖部材
１４に印加される力の成分を増大させる。この力の成ｆ
＋は、Ｏリング４２を圧縮して密閉の質を改良する傾向
がある。閉鎖部材１４は密閉位置に近づくとき、連動棒
２８及び２９の枢動的運動によって漸次的に減速して、
かくして、密閉位置への閉鎖部材１４の衝撃を回避する
。往復台２６は、閉鎖部材１４に関して短距離だけ死点
頂点を過ぎて移動して、密閉位置において閉鎖部材１４
を固定する。閉鎖部材１４が密閉位置から開放位置へ移
動するとき、前述の順次動作は逆進してトランク１７゜
１８．２１及び２２は閉鎖部材１４を開放位置へ案内す
る。

第６乃至８図は１本発明に従う高速真空ダートバルブの
他の実施例を示す。バルブは、その中に、開口１１２を
有するハウソング１１０及び開口１１２を密閉するだめ
の閉鎖部材１１４を含む。

第６乃至８図の実施例において、トラック手段は、ｌ・
ラック部材１２０及びトラック部材１１６を含む。トラ
ック部材１２０は、閉鎖部材１１４の一方の側にあって
トラック１２２を有する。閉鎖部材１１４０反対側にあ
るトラック部材１１６は、トラック１２２に平行であり
その鏡像であるトラック１１８を有する。作動手段は、
連動棒１２８及び１２９によって閉鎖部材１１４に連結
される往復台１２６を含む。往復台１２６は、トラック
部材１２０内のトラック１３０及びトラック部材１１６
内のトラック１３１によって直線経路に沿って案内され
て、連接棒１３６によって作動源に連結するようにされ
ている。第６乃至８図の実施例は閉鎖部材１１４を案内
するために１対のトラックのみを利用するが、第１乃至
５図の実施例は閉鎖部材１４を案内するために２対のト
ラックを利用する。

閉鎖部材１１４は、０リンダ１４２を有するシールグレ
ート１４０を含む（第７図参照）。０１Ｊング１４２は
、シールグレート１４ｏの前面における０リングみぞ内
に位置づけられている。トラニオン１４４が、シールプ
レート１４ｏ背面の中心に位置づけられて、ビン１４７
によって連動棒１２９に枢動的に取り付けられている。

シールル−ト１４０の背面下部に位置づけられたトラニ
オン１４５が、ビン１４７によって連動棒１２９に枢着
されている。ローラー支持体１５０が、）・ラック１１
８及び１２２に隣接してトラニオン１４４の両側に位置
づけられて、ンールル−ト１４０の背面に取り付けられ
ている。ローラー】５４が、トラック１１８及び１２２
と係合するようにローラー支持体１５０に取り付けられ
ている。

トラック１１８及び１２２は、前述のトラック１７．１
８．２１及び２２と同様である。トラック１１８及び１
２２は、トラック部材１１６及び１２０における伸長す
るみその形態である。トラック１２２は、開口１１２に
隣接し且つ開口１１２から後方に延在する近接部分１２
２ａを含む。各側に１つのトラックしかないので、トラ
ック１２２の近接部分１２２ａは閉鎖部材１４０の中央
付近に位置づけられる。トラック１２２はさらに、開口
１１２から横方向に延在する末端部分１２２ｂ及び近接
部分１２２ａと末端部分１２２ｂとを接続する曲線部分
１２２ｃを含む。部分１２２ａ、１２２ｂ及び１２２ｃ
は、結合して密閉位置と開放位置との間の方向又は速度
において急激に変化することがない。

連続的間断のない経路を形成する。

往復台１２６は、ローラー１６８を有する往復台本体１
６６を含む。ローラー１６８は、往復台本体１６６の両
側に取り付けられている。トラック１３０及び１３１は
、それぞれのトラック部材１２０及び１１６内のみぞで
あることが可能である。ローラー１６８は、トラック１
３０及び１３１と係合するように位置づけられている。

往復台１２６はさらに、ピン１７２によって連動棒１２
８に枢動的に連結されたトラニオン１７０及びピン１７
３によって連動棒１２９に枢動的に連結されたトラニオ
ン１７１を含む。連動棒１２８及び１２９は、平行で且
つ等しい長さを有する。かくして、閉鎖部材が密閉位置
と開放位置との間を移動するあいだ、閉鎖部材は開口１
１２の平面に平行の状態のま捷である。

動作上、閉鎖部材１１４は、第６乃至８図で示されるよ
うな密閉位置と開放位置との間をトラック１１８及び１
２０によって画成される経路に沿って移動する。閉鎖部
材１１４は、往復台１２６によって作動される。往復台
１２６は、トラック１３０及び１３１によって画成され
る経路に沿って移動して、連動棒１２８を通じて閉鎖部
材１１４に力を加える１、密閉位置と開放位置との間の
閉鎖部材１１４及び往復台１２６の移動は、第１乃至５
図で示した真空ダートバルブに関連して前述したことと
同様である。ｆ−）パルプ成分の衝撃荷重はなくて、Ｏ
リングのすり傷はない。連動棒１２９は、開口１１２の
平面に平行な平面内に閉鎖部材１１４を安定させるだめ
に利用されるものであり、ロードベアリング部材ではな
い。

前述の実施例の双方において閉鎖部材を案内するトラッ
クは、近接部分と末端部分とを接続する曲線部分を有す
る。トラックの曲線部分は、開口から後方への移動と開
口から横方向への移動との間で方向又は速度の両方にお
いて急激に変化することがない、運行をもたらす。如何
なる連続的曲線も適切であるが、円弧部分が、高速動作
のために好適である。曲率半径は、高速動作の際に組立
体に印加される加速力又は減速力を制限する重要な因子
である。組立体が曲線部分を通過するとき、小さい曲率
半径が組立体により大きな圧力をもたらす。トラックは
伸長するみそとして示したが他の型のトラックが本発明
の範囲を外れることなく用いられ得ることは当業者に明
白となろう。さらに、閉鎖部材を開口から横方向に案内
するトラックの末端部分け、開口に平行である必要がガ
い。

ただ、トラックの末端部分は閉鎖部材を開口から横方向
に案内して開放位置における閉鎖部材が開口を遮断しな
いようにすることが必要である。トラックの近接部分は
開口の平面に好適に垂直であり或いはほぼ垂直であって
、閉鎖部材が開口の周囲と接触するとき、０リングのす
り傷及び摩損を回避する。

第１乃至５図の実施例に従う高速真空ケ”−ト・々ルブ
の一例において、開口１２は約８インチ（２０、３ｃｍ
　）であって、曲線部分２１ｃ及び２２ｃの半径Ｒは０
．５６インチ（１，４２ｍ）であって、動作速度は０．
５秒であった。０．５６インチ（１，４２ｃＩｎ）の半
径Ｒに関して１機構の加速度は、およそ１「ｇ」に制限
される。このバルブは１００万回以上の動作について試
験した結果、線形密閉０１Ｊングの取替えは各々５００
，０００回の動作の後に必要とするのみであった。

かくして１機構の衝撃荷重が回避され且つ０１Ｊングの
摩損が回避される高速真空ｒ−）バルブが、本発明によ
って提供される。本発明に従う構成によって、バルブの
高速動作、すなわち１秒以下の動作が可能になる。さら
に１本発明の構成は、非常に信頼性のある長寿命動作を
もたらす。

本発明の好適実施例と現在考えられることが図示され且
つ記述されているが、特許請求の範囲によって限定され
る本発明の範囲を外れることなく、種々の変更及び変形
がなされ得ることは当業者に明白となろう。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に従う真空ダートバルブの側面断面図
であり、密閉位置を示している。 第２図は、第１図の２−２線に沿って切断した真空ダー
ト・クルゾの平面断面図である。 第３図は、第１図の３−３線に沿って切断された真空ｒ
−）バルブの平面断面図である。 第４図は、開放位置を示す第１図の真空ｒ−）バルブの
平面断面図である。 第５図は、第４図の５−５線に沿って切断した、開放位
置における真空ｒ−）バルブの側面断面図である。 第６図は１本発明に従う真空／７”　−）　ｙ４ルブの
他の好適実施例の側面断面図である。 第７図は、第６図の７−７線に沿って切断した真空ダー
トパルプの平面断面図である。 第８図は、第６図の８−８線に沿って切断した真空ダー
トノクルブの平面断面図である。 〔主要符号の説明〕 １０．１１０・・・ハウジング １２．１１２・・・開口 １４．１１４，１４０・・・閉鎖部材 １６．２０，１１６，１２０・・・トラック部材１７．
１８，２１，２２，３０，３１，１１８，１２２，１３
０，１３１・・・トラック２８．２９，１２８，１２９
・・・連動棒２６．１２６・・・往復台 ５０．５２，１５０・・・ローラー支持体４０．１４０
・・・シールノ１／−ト ５４．６８，１５４，１６８　　ローラー２１ｉ、２２
ａ、１２２ａ−近接部分 ２１ｂ　、２２ｂ　、１２２ｂ・・・末端部分２１　ｃ
　、　２２　ｃ　、　１２２ｃ・・・曲線部分特許出願
人　　パリアン・アソシエイツ・インコーポレイテッド

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　高速真空ダートパルプであって、以下の手段ａ）〜
   ｄ）から構成されるパルプ： ａ）開口を有するノ・ウジング； ｂ）前記開口を密閉するだめの閉鎖部材；Ｃ）密閉位置
   と開放位置との間で前記閉鎖部材を案内するようにされ
   ており、方向と速度の急激な変化がない運動をもたらす
   ように前記閉鎖部材を案内するトラック手段であって、
   以下の部分Ｉ）〜１１１）を含むトラック手段； １）前記開口に隣接して該開口から後方に延在する近接
   部分； ＋＋）　　前記開口から横方向に延在する末端部分；及
   び １１１）前記近接部分と前記末端部分とを接続する曲線
   部分：並びに ｄ）前記閉鎖部材に力を加えて、前記トラック手段によ
   って前記開放位置と前記密閉位置との間に画成される経
   路に沿って前記閉鎖部材を移動するだめの作動手段。 ２、特許請求の範囲第１項に記載された真空ダートノ々
   ルブであって： 前記トラック手段の前記近接部分は前記開口の平面にほ
   ぼ垂直である； ところのパルプ。 ３、特許請求の範囲第１項に記載された真空ｙ　−トパ
   ルブであって： 前記トラック手段の前記曲線部分はほぼ円弧部分の形状
   を有する； ところのパルプ。 ４、特許請求の範囲第１項に記載された真空ダートパル
   プであって： 前記トラック手段の前記末端部分は前記開口の平面にほ
   ぼ平行である； ところのパルプ。 ５、特許請求の範囲第２項に記載された真空ダートパル
   ブであって、 前記作動手段は以下の手段ａ）、ｂ）を含むところのバ
   ルブ： ａ）前記末端部分に平行に移動するようにされている往
   復台：並びに ｂ）前記往復台を前記閉鎖部材に枢動的に連結するだめ
   の連動手段。 ６、特許請求の範囲第５項に記載された真空グー）・・
   ぐルブであって： 前記連動手段は、一対の平行な、間隔を置いて配置され
   た連動部材であって、各々が前記閉鎖部材に枢動的に連
   結され且つ前記往復台に枢動的に連結された連動部材を
   含み；且つ前記閉鎖部材は前記密閉位置と前記開放位置
   との間で移動する間前記開口の平面に平行の状態を保つ
   ； ところのバルブ。 ７、特許請求の範囲第６項に記載された真空ケ°−トパ
   ルブであって： 前記閉鎖部材が前記密閉位置へ作動する際、前記往復台
   は前記密閉位置に対応する点を過ぎて移動して、前記閉
   鎖部材を前記密閉位置において固定する； ところのノ々ルブ ８、％許請求の範囲第１項に記載された真空ダートバル
   ブであって： 前記トラック手段はトラック部材を含み；前記トラック
   手段の前記近接部分、前記末端部分及び前記曲線部分は
   、前記トラック部材における伸長するみその形態である
   ； ところのノ々ルブ ９　高速真空ダーレぐルプであって、以下の手段ａ）〜
   ｄ）から構成されるバルブ： ａ）開口を有するハウジング； ｂ）前記開口を密閉するための閉鎖部材；Ｃ）前記閉鎖
   部材の両側に位置づけられて、密閉位置と開放位置との
   間で前記閉鎖部材を案内するようにされている一対のト
   ラック部材であって、各トラック部材はトラックを含み
   、各トラックは以下の部分１）〜１１１）を含んで、方
   向又は速度の急激な変化がない運動をもたらすように前
   記閉鎖部材を案内するところのトラック部材； １）前記開口に隣接して該開口から後方に延在する近接
   部分； １１）前記開口から横方向に延在する末端部分；及び １１１）前記近接部分と前記末端部分とを接続する曲線
   部分：並びに ｄ）前記閉鎖部材に力を加えて、前記トラックによって
   前記開放位置と前記密閉位置との間に画成される経路に
   沿って前記閉鎖部材を移動するだめの作動手段。 １０、特許請求の範囲第９項に記載された真空ダートバ
   ルブであって： 前記トラックの各々は前記トラック部材における伸長す
   るみその形態である： ところのバルブ。 １１、特許請求の範囲第９項に記載された真空ダートバ
   ルブであって： 各トラックの前記近接部分は前記開口の平面にほぼ垂直
   である； ところのバルブ。 １２、特許請求の範囲第１０項に記載された真空ダート
   バルブであって： 前記閉鎖部材は前記みぞと係合するために取付けられた
   ローラーを含んで、前記みぞに沿って前記閉鎖部材のロ
   ーラー誘導運動をもたらす；ところのバルブ。 １３、特許請求の範囲第１２項に記載された真空ダート
   バルブであって： 前記作動手段は以下の手段ａ）、ｂ）を含むところのバ
   ルブ： ａ）前記末端部分に平行に移動するようにされている往
   復台；並びに ｂ）前記往復台を前記閉鎖部材に枢動的に連結するだめ
   の連動手段。 １４、特許請求の範囲第９項に記載された真空ケ゛−ト
   ノぐルブであって： 各トラックの前記曲線部分はほぼ円弧部分の形状を有す
   る； ところのバルブ。 １５、％許請求の範囲第１４項に記載された真空ｒ−ト
   パルブであって： 各トラックの前記末端部分は前記開口の平面にほぼ平行
   であるところのバルブ。 １６、特許請求の範囲第１５項に記載された真空ダート
   バルブであって： 前記トラック部材は前記ノ・ウソングの対向する壁に連
   結されている； ところのバルブ。 １７、特許請求の範囲第１６項に記載された真空ｒ−ト
   バルブであって： 各トラック手段はさらに前記往復台を案内するだめの往
   復台トラックを含む； ところのバルブ。 １８　　特許請求の範囲第１７項に記載された真空ダー
   トバルブであって： 前記閉鎖部材が前記密閉位置へ作動する際。 前記往復台は前記密閉位置に対応する前記往復台トラッ
   ク上の点を過ぎて移動して、前記閉鎖部材を前記密閉位
   置において固定する；ところのバルブ。 １９、高速真空ｒ−４バルブであって、以下の手段ａ）
   〜ｄ）から構成されるバルブ： ａ）開口を有し且つ一対の壁部材を含むところのハウジ
   ング； ｂ）前記開口を密閉するだめの閉鎖部材；Ｃ）前記壁部
   材は、前記閉鎖部材の両側に位置づけられて、密閉位置
   と開放位置との間に前記閉鎖部材を案内するようにされ
   ており、各壁部材はトラックを含み、各トラックは以下
   の部分１）〜１１１）を含んで、方向又は速度の急激な
   変化がない運動をもたらすように前記閉鎖部材を案内す
   るとと； １）前記開口に隣接して該開口から後方に延在する近接
   部分； １１）前記開口から横方向に延在する末端部分：及び １１１）前記近接部分と末端部分とを接続する曲線部分
   ：並びに ｄ）前記閉鎖部材に力を加えて、前記トラックに」：っ
   て前記開放位置と前記密閉位置との間に画成される経路
   に沿って前記閉鎖部材を移動するだめの作動手段。 ２、特許請求の範囲第１９項に記載された真空ダート・
   々ルブであって： 各トラックの前記近接部分は前記開口の平面にほぼ垂直
   である； ところのバルブ。 ２、特許請求の範囲第２０項に記載された真空ダートバ
   ルブであって： 各トラックの前記曲線部分はほぼ円弧部分の形状を有す
   る； ところのバルブ。 ２、特許請求の範囲第２１項に記載された真空ダートバ
   ルブであって： 前記トラックの各々は前記壁部材における伸長するみそ
   の形態であって。 前記閉鎖部材は前記みぞと係合するために取付けられた
   ローラーを含んで、前記みぞに沿って前記閉鎖部材のロ
   ーラー前溝運動をもたらす；ところのバルブ。