JPS58176959U - Ｃｖｄ装置 - Google Patents
Ｃｖｄ装置Info
- Publication number
- JPS58176959U JPS58176959U JP7444282U JP7444282U JPS58176959U JP S58176959 U JPS58176959 U JP S58176959U JP 7444282 U JP7444282 U JP 7444282U JP 7444282 U JP7444282 U JP 7444282U JP S58176959 U JPS58176959 U JP S58176959U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction tube
- reaction
- cvd equipment
- cvd apparatus
- wafer
- Prior art date
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- Granted
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図、第２図は夫々本考案ＣＶＤ装置の要部を表わす
側部断面図、及び前面図、第３図はウェハ表面及び反応
管壁面の温度特性図である。 １・・・反応管、２・・・ウェハ、５・・・ヒータ、６
・・・ファン。
側部断面図、及び前面図、第３図はウェハ表面及び反応
管壁面の温度特性図である。 １・・・反応管、２・・・ウェハ、５・・・ヒータ、６
・・・ファン。
Claims (1)
- 反応管と熱輻射によって該反応管内のウエノ＼に熱を加
える加熱手段と、前記反応管内に金属反応ガスを供給す
る反応ガス供給手段と、から成り、反応管内に配置され
たウェハ表面に金属膜を成長させるＣＶＤ装置において
、前記反応管壁を冷却する冷却機構を備えたことを特徴
とするＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7444282U JPS58176959U (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | Ｃｖｄ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7444282U JPS58176959U (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | Ｃｖｄ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58176959U true JPS58176959U (ja) | 1983-11-26 |
| JPS6211961Y2 JPS6211961Y2 (ja) | 1987-03-24 |
Family
ID=30083872
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7444282U Granted JPS58176959U (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | Ｃｖｄ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58176959U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4928463U (ja) * | 1972-06-15 | 1974-03-11 | ||
| JPS5630058A (en) * | 1979-08-17 | 1981-03-26 | Kawasaki Steel Corp | Preventing method for leakage of molten steel through porus brick |
-
1982
- 1982-05-20 JP JP7444282U patent/JPS58176959U/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4928463U (ja) * | 1972-06-15 | 1974-03-11 | ||
| JPS5630058A (en) * | 1979-08-17 | 1981-03-26 | Kawasaki Steel Corp | Preventing method for leakage of molten steel through porus brick |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6211961Y2 (ja) | 1987-03-24 |
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