JPS58176678A - 検電式デイスプレイ装置 - Google Patents

検電式デイスプレイ装置

Info

Publication number
JPS58176678A
JPS58176678A JP58042461A JP4246183A JPS58176678A JP S58176678 A JPS58176678 A JP S58176678A JP 58042461 A JP58042461 A JP 58042461A JP 4246183 A JP4246183 A JP 4246183A JP S58176678 A JPS58176678 A JP S58176678A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
display device
movable plate
electrode
plate portion
dielectric layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP58042461A
Other languages
English (en)
Inventor
ドナルド・ア−ル・キヤツスルベリイ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
General Electric Co
Original Assignee
General Electric Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by General Electric Co filed Critical General Electric Co
Publication of JPS58176678A publication Critical patent/JPS58176678A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/004Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on a displacement or a deformation of a fluid
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09FDISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • G09F9/30Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
    • G09F9/37Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being movable elements
    • G09F9/372Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being movable elements the positions of the elements being controlled by the application of an electric field

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 11丸11 本発明は検電式yディスプレイ装置に関するものであり
、特に単一基板の上に組み立てられた電極構造を有する
新規の検電式ディスプレイ装置に関するものである。
検電式ディスプレイ装置は公知である。検電式ディスプ
レイの公知例では可動金属板が流体を人れたセルの中に
入っている。この種の検電式ディスプレイぐは、第1の
基板に近接した休止位置から、酋通15ミクロン程度の
厚さの流体層を通って、第1の基板から離れた第2の基
板に近接した作動位置まで各金属板が動くことができな
ければならない。従来の検電式装置の組み立てにおいて
は、金属板が基板の1つの内表面(たとえば後側基機の
内表面)上に組み立てられ、固定電極が他りのLlの内
表面(たとえば前側基板内表面)の4−に組み立てられ
ている。たとえば第1図において、従来技術のディスプ
レイ・セル1には間隔をあけた1対の透明な基板2およ
び3が使用されており、それらの内側を向いた表面上に
はそれぞれ涜い誘電体層(図示していない)で覆った固
定電極4と、電極板構造とが設けられている。この電極
機構造は、基板3の内側表面に固定された導体部5と可
動の導体板6を含む。この可動導体板6はバネ部17に
より固定の導体部5に接続され′Cいる。光吸収性液体
層8が2つの基板の間の空間をみたしている。前側電極
4と後側の固定導体部5との間に、スイッチ手段9bと
直列に電圧源9aが接続されている。スイッチ9bが開
いているときは電極4と導体板6の間に電界が形成され
ず、バネ7によって可動導体板6は(第1図の左側に示
しであるように)基板3の内側表面に接した休止位置に
ある。基板を通って入った光は実質的に透明な電極4を
通過した後、本質的に液体8で吸収される。このため、
可動導体板6により限定された領域は比較的暗くなる。
スイッチ9bが閉じると、(第1図の右側に示し−(あ
るように)電極4と可動導体板6′との間に電圧が印加
され、可動導体板6′が電極4に向って上向きに引き付
けられる。可動導体板6′が電−極4に接近する位置に
動いたとき、基板を通って入った光は電極4を通過し、
液体8ではあまり減衰せずに可動導体板6′で反射され
る。このため、可動導体板6′により限定された領域は
基板を通して見える明るい領域になる。スイッチ9bが
開くと、電界が除かれ、バネ7′に蓄積されたエネルギ
ーによってiiJ動導動板体板6′側基板3に接した休
止位置に灰る。
前側の電極と後側の電極板構造との間の間隔Sが変化す
ると、特定の導体板6によって限定されるセル素子を1
オン」および「オフ」にするのに盛装な電圧が変化する
。この「ターン・オン」、「ターン・オフ」電圧の変動
は面積の大きなディスプレイで問題となり、殊に基板と
して比較的低価格のガラスを使うディスプレイで大きな
問題となる。したがって、ディスプレイ・セルの動作特
性がディスプレイ・セルの厚さによって変らないような
検電式ディスプレイ装置を提供することが強く望まれる
L」へLl 本発明による、動作特性がセルの厚さに実質的に無関係
な検電式ディスプレイ・セルでは、第1の基板の内面に
設けられた固定電極、この固定電極の上に被着した誘電
体層、および誘電体層の上・1 に支持されて該誘電体層から隔たっている可動板電極構
造を使用している。可動板電極が休止位置にあるときの
可動板電極と固定電極との間の間隔はこのように一定に
定められ−Cおり、セルの後側基板の存在や位置に無関
係である。セルの後側基板は所定量の光吸収性液体を収
容するためだけに用いられる。この液体はセルの単一基
板動作構造の可動板と誘電体層との間の空間を満たす。
好ましい実施例においては、誘電体層の表面上に触法形
成した複数の導電体層をマスキングした後エツチングす
ることにより、可動板電極、バネ部材、ならびに固定の
支持体部分がすべて作られる。
したがって本発明の1つの目的は、固定電極と可動電極
との間がほぼ一定の間隔に保たれるようなディスプレイ
・セルを有する新規の検電式ディスプレイ装置を提供す
ることである。
この目的および本発明の他の目的は以下の説明イにらび
に図面により明らかとなる。
m+雪 第1図の従来例について述べた間隔の問題は、第2図に
示すように唯1つのセル基板の上にすべての素子を支持
しセルの光学的状態を決定することにより解消する。デ
ィスプレイ装置10には、ガラス等の透明な材料で作っ
た前側基板11が含まれている。複数のディスプレイ・
セルの各々は前側基板の内側表面11a上に作られた実
質的に透明な導電性電極12によって限定される。固定
の電極12は各々予め定められた形状、たとえば方形に
なっており、他の固定電極12からnいに分離されてい
る。マトリックス形ディスプレイでは、各電極12は細
長い条片であって、図面の平面を通り抜ける方向におい
て、ディスプレイの1つのセルに等しい幅でディスプレ
イの長さに等しい長さを持つ。各電極12からディスプ
レイの端に適当なリード線手段12aを伸ばして、各電
極12への電気的接続が容易に行なえるようにづること
ができる。透明な電極およびリード線はインジウム・ス
ズ酸化物等の材料から公知の技術を使って製造するのが
好都合である。
電極12およびリード線12aの製造後、基板11の電
極を支えている全内側表面の上に誘電体M14が作られ
る。
第2の電極構造を構成する固定の支持体部分16、バネ
部分18および可動板電極部分20は従来技術と同様の
方法で作られる。すなわち、銅等のエツチング可能な材
料の比較的厚い層が、固定の支持手段としての支柱22
をつくるため、誘電体層の基板11から離れて側の表面
14aに加えられる。このエツチング可能な材料の層の
厚さは、誘電体層の表面14aと休止位置にある(固定
支持体部分16と同じ平面にある)可動板20の向い合
っている表面20aとの間の所望の間隔S′によってき
まる。たとえば、誘電体層14が比較的薄いので、銅層
支柱22の厚さを15ミクロン程度にすることにより間
隔S′を約15ミクロンにすることができる。有利な方
法としては、まず薄い銅のベース層22aを誘電体層の
表面上に沈着し、その上にエツチング可能な導電性物質
のイ4加的な層22bと220を形成するのが好都合で
ある。この物質は銅であってよく、所望の厚さまC・電
気メッキにより形成することができる。その1受C1支
柱22を作る層の材料とは異なる材料Cあるのが好まし
いが、別の導電性材料の最上層が基板11から最も遠い
ところに形成され、これが固定支持体部分16、バネ部
分18および可動板部分20を形成するために用いられ
る。フォト・レジスト・マスキング技術ならびに選択性
エツチングまたは付加的な沈積を使って、固定支持体部
分16と可動板部分20とを接続するバネ部分18を形
成し、また各可動板部分20にそれを貴通′する多数の
孔20bを形成する。また選択性エツチングを使って可
動板表面20aと誘電体層表面14aとの間の材料を除
去し、各固定支持体部分16とその下に固定電極12の
ない誘電体層14の一部分との間に付着した支柱22だ
けを残す。
前側基板11だけで支持されるセル電極構造の製造後、
前側基板11にほぼ整合して後側基板24を配置し、基
&11と24との間に適当なシール(図示していない)
を設けて、その間の空間を光吸収性液体26で満たすこ
とによって装置が完成する。この光吸収性液体は可動板
の孔20bを通過して、誘電体表面14と可動板表面2
0aとの間の空間を満たし、また可動板20と後側W&
との間の空間も満たす。後側基板24は可動板20から
充分分離して装置の各ディスプレイ・セルの動作を妨害
しないようにしており、前側l1表m’+ 11 aの
平面と平行にする必要はない(したがって装置の製造原
価を低減できる)。
動作について説明すると、各セルの前側の固定電極リー
ド線12aと支持体部分16−バネ部分18−可動板部
分20の一体接続体との間に、スイッチ手段29と直列
に電圧源28が接続されており、特定のディスプレイ装
置ではこのようなセルが多数設けられる。スイッチ20
が開tIlすると、固定電極12と可動板電極20との
間に電界は存在しない。このため、バネ部分18は可動
板を支持体部分16と同一平面の平常体止位置にバイア
スする。したがって入射光線30はほぼ透明な前側基板
11、はぼ・透明な固定電極12、ならびにほぼ透明な
誘電体層14を通って光吸収性液体2〔5に入る。入射
光がほぼすべて吸収されるようtこ光吸収液体M26の
厚さS′を選定する。このため、反射光32のように前
側基板を通って反射される光はほとんどない。このよう
に、休止位置にある可動板20によって定められるセル
は実質的に暗い光学的状態になる。
閉じたスイッチ29′で示すようにスイッチ手段が閉じ
ているときは、その結果生ずる電界が可動板に作用する
ので、可動板は可動板20’ として示すように誘電体
層表面14aに接近した位置に吸引される。入射光線3
0’ は前側基板11、電極12、および誘電体層14
をほぼ妨げなしに通過する。この場合、誘電体層14と
近接している可動板表面20a’ との間の光吸収性液
体層26′の淳みは小さいので、可動板表面20a′ 
ぐ光線が反射される前の光の吸収は比較的少ない。
同様に、液体層26′を戻っていく際にも反射光線の吸
収は比較的少なく、その後、誘電体層14、電44!1
2、ならびに前側基板11を反射光線が通過してゆく。
したがって、反射光線32′はがなりの量であり、可動
板20′によって限定されるセルは明るい光学的状態に
なる。暗いセルく可動板が休止位置にある)と明るいセ
ル(可動体が誘電体層に近接している)との光学的状態
の差は見る者にはすぐわかるようなものである。ディス
プレイ装置10の動作は可動板2oと後側基板24の間
の間隔によって左右されず、またその間の液層の厚みに
よっても左右されないことがわかる。
以上、本発明による新しい検電式ディスプレイ装置の1
実施例を詳細に説明してきたが、多くの変形や変更を行
ない得ることは明らかであろう。
したがって、本発明は請求範囲により限定され、ここで
実施例により説明した特定の細部や手段によって限定さ
れるものではない。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来技術の検電式ディスプレイ装置の一部分の
側面断面図である。第2図は本発明の原理に従った新し
い検電式ディスプレイ装置の一部分の側面断面図である
。 符号の説明 10・・・・・・ディスプレイ装置、 11・・・・・・前側基板、 ]2・・・・・・導゛市性電極、 12a・・・リード線手段、 14・・・・・・誘電体層、 16・・・・・・第2の電極構造の固定された支持体部
分18・・・・・・第2の電極構造のバネ部分、20・
・・・・・第2の電極構造の可動板電極部分、20b・
・・可動板電極部分の孔、 22・・・・・・第2の電極構造の固定の支柱、26・
・・・・・光吸収性液体。 ±  カノ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 〈1)情報ディスプレイ装置において、表面を有する実
    質的に透明な基板と、基板表面上に作られた1つ以上の
    第1の導電性電極と、少なくとも第1の導電性電極を覆
    う誘電体材料の層と、1つ以上の支持体部分、関連する
    1つの第1の導電性電極と整合して配置されて各々外縁
    を有する1つ以上の可動板部分、J3よび各可動板部分
    の外縁と関連する支持体部分との間に接続されて各可動
    板部分を休出位置に機械的にバイアスするためのバネ・
    アーム手段を含む1つ以上の第2の導電性電極と、休止
    位置にある第2の導電性電極の可動板部分を誘電体層と
    ほぼ平行にかつそれから所定の距離の所に維持するため
    の支持手段と、所定如の光吸収性液体材料と、光吸収性
    液体材料を少なくとも誘電体層と第2の導電性電極の可
    動板部分との間に収容するための手段とを有し、各可動
    板部分はそれと関連する1つの第1の導電性電極との間
    に電位が結合されたことに応じて、バネ・アーム手段の
    力に抗して関連する1つの第1の導電性電極に向って移
    動することを特徴とする情報ディスプレイ装置。 (2、特許請求の範囲第(1)項6+4載のディスプレ
    イ装置において、前記1つ以上の第2の電極の各支持体
    部分と前記基板表面および前記誘電体層の内の一方との
    間に前記支持手段が取り付けられているディスプレイ装
    置。 (3)特許請求の範囲第(2)項記載のディスプレイ装
    置において、前記支持手段が堅い材料でできた支柱で構
    成されているディスプレイ装置。 (4)特許請求の範囲第(3)項記載のディスプレイ装
    置において、前記支柱の材料が銅であるディスプレイ装
    置。 (5)特許請求の範囲第(1)項記載のデイスプレイv
    装置において、前記基板がガラスであるディスプレイ装
    置。 (6〉特許請求の範囲第(1)項記載のディスプレイ装
    置において、前記導電性電極がインジウム・スズ酸化物
    から形成されるディスプレイ装置。 (7〉特許請求の範囲第(1)項記載のディスプレイ装
    置において、前記1つ以上の第1の導電性電極゛の各々
    に対して電位を個別に印加しやづいようにリード線手段
    を含んでいるディスプレイ装@。 (8)特許請求の範囲第(1)項記載のディスプレイ装
    置において、前記誘電体層と前記1つ以上の第2の導電
    性電極の前記可動板部分との間の間隔が約15ミクロン
    であるディスプレイ装置。 (9)特許請求の範囲第(1)項記載のディスプレイ装
    置において、前記各可動板部分がそれを貫通する多数の
    孔を有しているディスプレイ装置。 (10)特許請求の範囲第(9)項記載のディスプレイ
    装置において、前記各可動板部分がは右 ぼ矩形の形状であるディスプレイ装置。 (11)特許請求の範囲第(10)項記載のディスプレ
    イ装置において、前記1つ以上の第1の導電性電極の各
    々がほぼ方形の形状であるディスプレイ装置。 (12、特許請求の範囲第(10〉項記載のディスプレ
    イ装置において、前記1つ以上の第1の導電性電極の各
    々が細長い条片であって、複数の配列された可動板部分
    と整合して配置されているディスプレイ装置。
JP58042461A 1982-03-18 1983-03-16 検電式デイスプレイ装置 Pending JPS58176678A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US359402 1982-03-18
US06/359,402 US4420897A (en) 1982-03-18 1982-03-18 Electroscopic display devices

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58176678A true JPS58176678A (ja) 1983-10-17

Family

ID=23413651

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58042461A Pending JPS58176678A (ja) 1982-03-18 1983-03-16 検電式デイスプレイ装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4420897A (ja)
JP (1) JPS58176678A (ja)
DE (1) DE3308438A1 (ja)
FR (1) FR2530849A1 (ja)
GB (1) GB2117528A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006243756A (ja) * 2000-12-27 2006-09-14 Ngk Insulators Ltd 反射型表示装置

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8402038A (nl) * 1984-06-28 1986-01-16 Philips Nv Elektroskopische beeldweergeefinrichting.
NL8402201A (nl) * 1984-07-12 1986-02-03 Philips Nv Passieve weergeefinrichting.
US4693025A (en) * 1985-04-02 1987-09-15 Pedro Landin Display element
NL8600697A (nl) * 1986-01-09 1987-08-03 Philips Nv Beeldweergeefinrichting en een methode voor de vervaardiging ervan.
EP0290093A1 (en) * 1987-05-07 1988-11-09 Koninklijke Philips Electronics N.V. Electroscopic fluid display and method of manufacturing thereof
NL8701138A (nl) * 1987-05-13 1988-12-01 Philips Nv Electroscopische beeldweergeefinrichting.
US5148157A (en) * 1990-09-28 1992-09-15 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator with full complex light modulation capability
US5943033A (en) * 1994-09-06 1999-08-24 Kabushiki Kaisha Toshiba Display device
US6046840A (en) * 1995-06-19 2000-04-04 Reflectivity, Inc. Double substrate reflective spatial light modulator with self-limiting micro-mechanical elements
US6239777B1 (en) * 1997-07-22 2001-05-29 Kabushiki Kaisha Toshiba Display device
US6377383B1 (en) * 1997-09-04 2002-04-23 The University Of British Columbia Optical switching by controllable frustration of total internal reflection
FR2781305A1 (fr) * 1998-07-15 2000-01-21 Commissariat Energie Atomique Dispositif d'affichage a tres faible consommation
JP3840041B2 (ja) * 2000-06-27 2006-11-01 株式会社東芝 電気機械的に可動されるフィルム型反射表示装置及びその製造方法並びにフィルム型反射表示装置の為の表示用のカンチレバーを製造する方法
US7099065B2 (en) * 2000-08-03 2006-08-29 Reflectivity, Inc. Micromirrors with OFF-angle electrodes and stops
US6452734B1 (en) 2001-11-30 2002-09-17 The University Of British Columbia Composite electrophoretically-switchable retro-reflective image display
US6891658B2 (en) 2002-03-04 2005-05-10 The University Of British Columbia Wide viewing angle reflective display
US6865011B2 (en) * 2002-07-30 2005-03-08 The University Of British Columbia Self-stabilized electrophoretically frustrated total internal reflection display
US6827608B2 (en) 2002-08-22 2004-12-07 Corning Gilbert Inc. High frequency, blind mate, coaxial interconnect
US7164536B2 (en) * 2005-03-16 2007-01-16 The University Of British Columbia Optically coupled toroidal lens:hemi-bead brightness enhancer for total internal reflection modulated image displays
US7295363B2 (en) 2005-04-08 2007-11-13 Texas Instruments Incorporated Optical coating on light transmissive substrates of micromirror devices
CN105093568B (zh) * 2015-08-10 2018-07-03 京东方科技集团股份有限公司 显示器件及装置、液态金属材料及制备模具、方法和装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3924228A (en) * 1975-01-06 1975-12-02 Bendix Corp Electrostatically actuated display panel
NL7510103A (nl) * 1975-08-27 1977-03-01 Philips Nv Elektrostatisch bestuurde beeldweergeefinrichting.
EP0007885A1 (fr) * 1978-05-18 1980-02-06 Battelle Memorial Institute Dispositif d'affichage sélectif d'une pluralité d'informations et son procédé de fabrication

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006243756A (ja) * 2000-12-27 2006-09-14 Ngk Insulators Ltd 反射型表示装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE3308438A1 (de) 1983-09-22
GB2117528A (en) 1983-10-12
GB8304551D0 (en) 1983-03-23
US4420897A (en) 1983-12-20
FR2530849A1 (fr) 1984-01-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS58176678A (ja) 検電式デイスプレイ装置
US4431882A (en) Transparent capacitance membrane switch
US4807967A (en) Passive display device
KR850007528A (ko) 용량성 스위치 및 스위치 어레이
EP0460747B1 (en) Methods of fabricating MIM type device arrays and display devices incorporating such arrays
JPS589188A (ja) 多重化液晶表示装置
JP2010188517A (ja) マイクロメカニカル素子
US4484038A (en) Membrane touch panel having improved conductor construction
EP0577738A1 (en) Electrophoretic display panel with semiconductor coated elements
US7884993B2 (en) Electrophoretic display device
CN106200153B (zh) 一种液晶显示装置
JP2916260B2 (ja) 電気泳動表示装置およびその製造方法
JPS5934515A (ja) 多重性液晶セル
US10768753B2 (en) Touch display panel, display device and touch panel
US4645308A (en) Low voltage solid-state lateral coloration electrochromic device
GB1364321A (en) Information storage element and apparatus incorporating such an element
JPS636829Y2 (ja)
JP2632153B2 (ja) ダイオードアレイおよび液晶デイスプレイスクリーンの製造方法
CN110112160B (zh) 一种阵列基板及其制备方法、显示装置
US20120229722A1 (en) Flexible shielded display
KR101108393B1 (ko) 터치패널 일체형 액정표시장치 및 그 제조방법
US5739547A (en) Reflection type display
US5046825A (en) Liquid crystal cell with picture electrode interference layer covering metallic feed lines
US3502891A (en) Variable reflectance memory device
TW493101B (en) Capacitor structure for thin film transistor substrate