JP2010188517A - マイクロメカニカル素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マイクロメカニカル素子5は、2つの接触電極3a、3bを橋絡する可動電極である切替素子6と、この切替素子6を接触電極3a、3bに対して静電力により垂直方向に移動し、接触電極3a、3bに接触した状態と離れた状態の2つの安定した状態に保持するための切換電極2a、2bとを有し、切換電極2a、2bは接触電極3a、3bの間とその上方に配されて構成されている。
【選択図】図2a
Description
2、2a、2b 切替電極
3、3a、3b 接触電極
4 アーム
5 マイクロメカニカル素子
6 切替素子
7 凹み
8a、8b 突起
9 絶縁層
10 一時的な層
11 一時的な層
12 マイクロメカニカル素子
13 ピボット
14 接地電極
15 ドーピングされた領域
16 絶縁層
17a、17b 電極
18 マイクロメカニカル素子
19 流体
21 基板
23 金属反射素子
24 伝導層
25 スペーサ
26 金属層
27 層
28 上部層
29 エッチング
Claims (17)
- 基板を覆って一時的な層を形成するステップと、前記一時的な層の上に切替素子を形成するステップと、前記切替素子が分離し、かつ電極によって加えられる力により移動可能になるように前記一時的な層を取り除くステップとを有するマイクロメカニカル素子の製作方法。
- さらに、前記一時的な層を形成する前に前記基板を覆う金属電極を堆積させることを含む請求項1に記載のマイクロメカニカル素子の製作方法。
- さらに、前記一時的な層の上に保護層を形成するステップと、前記保護層によってカバーされていない前記一時的な層の部分をエッチングして空間を形成するステップと、前記一時的な層をエッチングした空間内に電気メッキによって前記切替素子を形成するステップと、前記電気メッキされた切替素子を自由にするために前記基板内にエッチングするステップとを含む請求項1又は2に記載のマイクロメカニカル素子の製作方法。
- さらに、前記切替素子を覆って第2の一時的な層を備えつけるステップと、前記第2の一時的な層の上に第2の金属電極を形成するステップと、前記切替素子が分離し、かつ前記第2の金属電極によって加えられる力により移動可能になるように前記第2の一時的な層を取り除くステップとを含む請求項1乃至3のいずれか1項に記載のマイクロメカニカル素子の製作方法。
- 分離した切替素子と、前記切替素子に力を加えて前記切替素子を2つの安定した位置の間で移動させる切替手段とを有するマイクロメカニカル素子。
- 前記切替手段は、前記切替素子に静電力を加える1またはそれ以上の電極、または前記切替素子に電磁力を加える1またはそれ以上のコイルを含んでなる請求項5に記載のマイクロメカニカル素子。
- 前記マイクロメカニカル素子は1またはそれ以上の突起を有し、前記切替素子は前記突起と接する1またはそれ以上の凹みを有する請求項5に記載のマイクロメカニカル素子。
- 前記突起の数は3つである請求項7に記載のマイクロメカニカル素子。
- 前記マイクロメカニカル素子または前記切替素子のいずれかの表面にこれらの素子の間の粘着力を制御するためのコーティングが施されている請求項5乃至8のいずれか1項に記載のマイクロメカニカル素子。
- 前記コーティングはポリマーまたはオイルである請求項9に記載のマイクロメカニカル素子。
- さらに、ピボットを有し、前記切替手段は前記切替素子を2つの安定した位置の間で傾けるように作用する請求項5に記載のマイクロメカニカル素子。
- 請求項9に記載のマイクロメカニカル素子を有するロジックゲートであって、前記切替手段は加えられた電圧の特定の組合せに反応して前記切替素子を安定した位置の1つの方に傾けるように設計されたロジックゲート。
- さらに、半導体材料から作られた基板を含み、該基板は、前記切替素子がそれぞれの安定した位置にあるときに、2つの接点間の前記半導体材料の異なった抵抗を生ずるように配列されたドーピング領域を有する請求項5に記載のマイクロメカニカル素子。
- さらに、前記切替素子の位置を検出するキャパシタンス回路を含む請求項5に記載のマイクロメカニカル素子。
- 前記切替素子は磁性を有し、前記切替手段は電流を流して前記切替素子の磁界を生じさせるための導電体を含んでなる請求項5に記載のマイクロメカニカル素子。
- 前記切替素子は磁性を有し、前記切替素子の位置は前記切替素子の磁界を検出することによって検出される請求項5に記載のマイクロメカニカル素子。
- 請求項5に記載のマイクロメカニカル素子を有する光スイッチであって、前記切替素子は光の反射された成分と透過させられた成分との間の建設的干渉を助長する第1の安定した位置と、光の反射された成分と透過させられた成分との間の相殺的干渉を助長する第2の安定した位置を有する光スイッチ。
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