JPS58174859A - トリミング用抵抗測定器 - Google Patents
トリミング用抵抗測定器Info
- Publication number
- JPS58174859A JPS58174859A JP57056724A JP5672482A JPS58174859A JP S58174859 A JPS58174859 A JP S58174859A JP 57056724 A JP57056724 A JP 57056724A JP 5672482 A JP5672482 A JP 5672482A JP S58174859 A JPS58174859 A JP S58174859A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistance
- converter
- trimming
- output
- amplifier
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はトリミング用抵抗測定器に係り、特にレーザ・
トリミング装置に使用する高速、高精度なトリミング用
抵抗測定器に関するものである。
トリミング装置に使用する高速、高精度なトリミング用
抵抗測定器に関するものである。
一般にレーザ・トリミング装置により厚膜抵抗や薄膜抵
抗などの抵抗値を設計値になるようにトリミングするに
はこれら厚膜抵抗や薄膜抵抗の抵抗値の設計値、実際値
、トリミング置を短時間のうちに測定し高速、高精度に
設計値に合致するようトリミングすることが要求されて
いるため、これらを満足するトリミング用抵抗測定器が
要求されている。
抗などの抵抗値を設計値になるようにトリミングするに
はこれら厚膜抵抗や薄膜抵抗の抵抗値の設計値、実際値
、トリミング置を短時間のうちに測定し高速、高精度に
設計値に合致するようトリミングすることが要求されて
いるため、これらを満足するトリミング用抵抗測定器が
要求されている。
次に従来のトリミング用抵抗測定器の一例を第１図によ
り説明する。
り説明する。
即ち、定電流源ｆｌ）から被測定抵抗（２）に定電流を
流し、この被測定抵抗（２）の両端に発生する電圧を増
幅器（３）で増幅する。この増幅器（３）からの出力な
Ａ−Ｄ変換器（４）によりデジタル量に変換し、このデ
ジタル量をコンピュータ（５）に入力し、トリミングの
データを得るようになっており、このトリミングのデー
タによりレーデ・トリミング装置を作動させ、被測定抵
抗（２）をレーザ光によりトリミングするようになされ
ている。
流し、この被測定抵抗（２）の両端に発生する電圧を増
幅器（３）で増幅する。この増幅器（３）からの出力な
Ａ−Ｄ変換器（４）によりデジタル量に変換し、このデ
ジタル量をコンピュータ（５）に入力し、トリミングの
データを得るようになっており、このトリミングのデー
タによりレーデ・トリミング装置を作動させ、被測定抵
抗（２）をレーザ光によりトリミングするようになされ
ている。
然るに第１図に示すようなトリミング用抵抗測定器は被
測定抵抗（２）に発生する電圧をそのまま測定している
関係上Ａ−Ｄ変換器（４）に入力される電比値は被測定
信号の全部を測るためビット数の少ないものでは正確な
トリミングのデータが得られない。そのためＡ−Ｄ変換
器（４）のビット数を多くして測足しなければならない
が、ビット数が多くなるほどデジタル量に変換する時間
が長くなるし、またコンピュータ（５）の処理時間も長
くなり結果としてトリミングのデータを得る測定時間が
かかることになる。即ちトリミングに要求される精度が
高いほど測定時間がかかり）Ｊ１２ング時間が長くなり
、生産能力が落ちるという問題点があった。
測定抵抗（２）に発生する電圧をそのまま測定している
関係上Ａ−Ｄ変換器（４）に入力される電比値は被測定
信号の全部を測るためビット数の少ないものでは正確な
トリミングのデータが得られない。そのためＡ−Ｄ変換
器（４）のビット数を多くして測足しなければならない
が、ビット数が多くなるほどデジタル量に変換する時間
が長くなるし、またコンピュータ（５）の処理時間も長
くなり結果としてトリミングのデータを得る測定時間が
かかることになる。即ちトリミングに要求される精度が
高いほど測定時間がかかり）Ｊ１２ング時間が長くなり
、生産能力が落ちるという問題点があった。
本発明は前記従来の間融点に鑑みなされたものであり、
ビット数の少ないＡ−Ｄ変換器を使用しても精度よく測
定でき結果として高精度、高速に抵抗値を測定すること
が可能なトリミング用抵抗測定器を提供することを目的
としている。
ビット数の少ないＡ−Ｄ変換器を使用しても精度よく測
定でき結果として高精度、高速に抵抗値を測定すること
が可能なトリミング用抵抗測定器を提供することを目的
としている。
即ち本発明は基準値に応じた信号を発生する変換器と、
この変換器の出力を基準抵抗と被測定抵抗の抵抗値の比
だけ増幅する第１の増幅器と、前記変換器の出力と前記
第１の増幅器の出力との差を増幅する第２の増幅器と、
この第２の増幅器の出力をデジタル量に変換するＡ−Ｄ
変換器と、このＡ−Ｄ変換器の出力を処理する制御器と
を少なくとも具備することを特徴としている。
この変換器の出力を基準抵抗と被測定抵抗の抵抗値の比
だけ増幅する第１の増幅器と、前記変換器の出力と前記
第１の増幅器の出力との差を増幅する第２の増幅器と、
この第２の増幅器の出力をデジタル量に変換するＡ−Ｄ
変換器と、このＡ−Ｄ変換器の出力を処理する制御器と
を少なくとも具備することを特徴としている。
次に本発明のトリミング用抵抗測定器の一実施例を第２
図により説明する。
図により説明する。
即ち、例えはコンピュータからの１６ビツトデジタル信
号の基準値に応じた信号を発生する変換器ａυと、この
変換器（１１）からの信号を安定させる第１の安定器α
２と、基準抵抗ａＳと被測定抵抗α荀の比だけ第１の安
定器０２）の出力を増幅する第１の増幅器（１５）と、
この第１の増幅器■の出力を安定させる第２の安定器ａ
Ｑと、この第２の安定器α６）の出力と変換器αυの出
力との差を増幅する第２の増幅器ａηと、この第２の増
幅器ａηの出力なＡ−Ｄ変換するＡ−Ｄ変換器（１８）
と、このＡ−Ｄ変換器０〜の出力を処理する制御器０→
とから構成されている。
号の基準値に応じた信号を発生する変換器ａυと、この
変換器（１１）からの信号を安定させる第１の安定器α
２と、基準抵抗ａＳと被測定抵抗α荀の比だけ第１の安
定器０２）の出力を増幅する第１の増幅器（１５）と、
この第１の増幅器■の出力を安定させる第２の安定器ａ
Ｑと、この第２の安定器α６）の出力と変換器αυの出
力との差を増幅する第２の増幅器ａηと、この第２の増
幅器ａηの出力なＡ−Ｄ変換するＡ−Ｄ変換器（１８）
と、このＡ−Ｄ変換器０〜の出力を処理する制御器０→
とから構成されている。
次にこのような回路構成による作用を説明する。
変換器０１）の出力を（Ａ）、基準抵抗（１３）の抵抗
値を（島）被測定抵抗（１４）の抵抗値を（ＥＬｘ）
とすると第２の安定器αυの出力はＡ−Ｒｘ／島、第
２の増幅器αηの増幅率を（Ｂ）とすればＡ−Ｄ変換器
側の入力は（Ａ Ａ−ＥＬｘ ／ ａｓ ） ・Ｂと
なる。今トリミングの目標値に合わせて基準抵抗α（至
）を選択すると、Ｒ１，＝Ｒ１−Δルと表わせる。
値を（島）被測定抵抗（１４）の抵抗値を（ＥＬｘ）
とすると第２の安定器αυの出力はＡ−Ｒｘ／島、第
２の増幅器αηの増幅率を（Ｂ）とすればＡ−Ｄ変換器
側の入力は（Ａ Ａ−ＥＬｘ ／ ａｓ ） ・Ｂと
なる。今トリミングの目標値に合わせて基準抵抗α（至
）を選択すると、Ｒ１，＝Ｒ１−Δルと表わせる。
これから（Ａ −Ａ −ａｘ／ａｓ） −Ｂ−（Ａ−Ａ
（１−４゜−ΔＢ）／ＦＬＳ）・Ｂ＝Ａ−ＢΔｆＬ／
Ｒ，となり、Ａ・Ｂ−１となるように（Ａ）を設定する
とＡ−Ｄ変換器α樽の入力はΔＲ／ＥＬ、となる。これ
は被測定抵抗ａ＜の抵抗値ＣＰＬｘ）をそのまま測定す
る方法に比べ基準抵抗−の抵抗値（ｆＬｓ）分だけは測
定に寄与しないことを意味するので精度が高くなる。す
なわち、従来と同一精度を確保しながら高速に測定する
ことが可能となる。
（１−４゜−ΔＢ）／ＦＬＳ）・Ｂ＝Ａ−ＢΔｆＬ／
Ｒ，となり、Ａ・Ｂ−１となるように（Ａ）を設定する
とＡ−Ｄ変換器α樽の入力はΔＲ／ＥＬ、となる。これ
は被測定抵抗ａ＜の抵抗値ＣＰＬｘ）をそのまま測定す
る方法に比べ基準抵抗−の抵抗値（ｆＬｓ）分だけは測
定に寄与しないことを意味するので精度が高くなる。す
なわち、従来と同一精度を確保しながら高速に測定する
ことが可能となる。
例えば被測定抵抗Ｑ４１の抵抗値（ｆｊＸ）を７にΩ、
トリミング目標値を９にΩとし、基準抵抗−の抵抗値と
してＩＫΩ、ＩＯＫΩ、１００にΩ、ＩＭΩ、１０ＭΩ
の抵抗値を用意したとし、そのうち１０にΩを選択すれ
ばＡ−Ｂ・ΔＲ，／Ｒ，＝Ａ−Ｂ （ｉｏにΩ−７にΩ
）／ＩＯＫΩ−Ｑ、３Ａ−Ｂ となる。また７にΩを
そのまま測定すればＥＬｘ／ａ、 −０，７となるので
、Ａ−Ｄ変換器０樽の誤差の係数を（Ｃ）とすれば０．
７ Ｃ１０，３Ａ −Ｂ −Ｃ二２ （但しＡ−Ｂ＝ｌ
）となり約２倍精度よく測定できることを示している。
トリミング目標値を９にΩとし、基準抵抗−の抵抗値と
してＩＫΩ、ＩＯＫΩ、１００にΩ、ＩＭΩ、１０ＭΩ
の抵抗値を用意したとし、そのうち１０にΩを選択すれ
ばＡ−Ｂ・ΔＲ，／Ｒ，＝Ａ−Ｂ （ｉｏにΩ−７にΩ
）／ＩＯＫΩ−Ｑ、３Ａ−Ｂ となる。また７にΩを
そのまま測定すればＥＬｘ／ａ、 −０，７となるので
、Ａ−Ｄ変換器０樽の誤差の係数を（Ｃ）とすれば０．
７ Ｃ１０，３Ａ −Ｂ −Ｃ二２ （但しＡ−Ｂ＝ｌ
）となり約２倍精度よく測定できることを示している。
〔発明の効果〕
上述のように本発明のトリミング用抵抗測定器によれば
Ａ−Ｄ変換器α樽のビット数を少なくしても極めて精度
よく測定することが可能でありトリミングに要求される
精度が高くても測定時間が短くなりその結果トリミング
時間を短縮できるので生産能力を上げることが可能であ
りその工業上の価値は極めて大である。
Ａ−Ｄ変換器α樽のビット数を少なくしても極めて精度
よく測定することが可能でありトリミングに要求される
精度が高くても測定時間が短くなりその結果トリミング
時間を短縮できるので生産能力を上げることが可能であ
りその工業上の価値は極めて大である。
第１図は従来のトリミング用抵抗測定器の一例を示すブ
ロック図、第２図は本発明のトリミング用抵抗測定器の
一実施例を示すブロック図である。 ｌ・・・定電流源 ２，１４・・・被測定抵抗
３・・・増幅器 ４，１８・・・ＡＤ変換器
５・・・コンピュータ １１・・・変換器１２・・
・第１の安定器 １３・・・基準抵抗１５・・・第
１の増幅器 １６・・・第２の安定器１７・・・第
２の増幅器 １９・・・制御器代理人 弁理士 井
上 −男 第 １ 図
ロック図、第２図は本発明のトリミング用抵抗測定器の
一実施例を示すブロック図である。 ｌ・・・定電流源 ２，１４・・・被測定抵抗
３・・・増幅器 ４，１８・・・ＡＤ変換器
５・・・コンピュータ １１・・・変換器１２・・
・第１の安定器 １３・・・基準抵抗１５・・・第
１の増幅器 １６・・・第２の安定器１７・・・第
２の増幅器 １９・・・制御器代理人 弁理士 井
上 −男 第 １ 図
Claims (1)
- 基準値に応じた信号を発生する変換器と、この変換器の
出力を基準抵抗と被測定抵抗の抵抗値の比だけ増幅する
第１の増幅器と、前記変換器の出力と前記第１の増幅器
の出力との差を増幅する第２の増幅器と、この第２の増
幅器の出力をデジタル量に変換するＡ−Ｄ変換器と、こ
のＡ−Ｄ変換器の出力を処理する制御器とを少なくとも
具備することを特徴とするトリミング用抵抗測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57056724A JPS58174859A (ja) | 1982-04-07 | 1982-04-07 | トリミング用抵抗測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57056724A JPS58174859A (ja) | 1982-04-07 | 1982-04-07 | トリミング用抵抗測定器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58174859A true JPS58174859A (ja) | 1983-10-13 |
Family
ID=13035436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57056724A Pending JPS58174859A (ja) | 1982-04-07 | 1982-04-07 | トリミング用抵抗測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58174859A (ja) |
-
1982
- 1982-04-07 JP JP57056724A patent/JPS58174859A/ja active Pending
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