JPS58171997A - 使い捨てインク・マ−カ−およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、全体として、半導体ウエノ・−の電気的性能
試験を行っている間にそのウエノ・−の選択された部分
の上に少量のインクを付着するために用いられるインク
・マーカーに関するものであり、更に詳しくいえば、使
い捨てインク・マーカー・カートリッジおよびそのよう
なインク・マーカーに使用するためのホルダーに関する
ものである。

集積回路と呼ばれている半導体装置の製造は、一般にク
エハーと呼ばれているほぼ純粋の結晶シリコン製の大量
の円板形スライスを含むパンチ・プロセスで行われるの
が普通である。そのような各ワエハーは数百の、そして
おそらくは数千の独立した回路を含む。ウエノ・−の通
常の化学処理が終ると、各独立回路を高速の電気的およ
び機械的な試験装置により試験し、分類する。ワエノ・
−上の個々の各回路の決定された分類を視覚的に確認で
きるようにするだめに、試験が終った回路のある少くと
も１つの場所に少量のインクを付着することが一般的に
行われている。たとえば、欠陥のある回路にインクでし
るしをつけることができ、インクのしるしがつけられて
いない回路は求められている仕様に適合することを示す
。ある特定の回路に対する性能分類の種々のレベルを決
定するために種々の色のインクを用いることができ、た
とえば赤色のインクは故障のある回路すなわち機能しな
い回路を示すために通常用いられる。

そのような試験に続いて、公知の方法に従って各ウェハ
ーを個々の集積回路、時には「ダイ」に切断する。この
方法においては、それらの集積回路をダイにおけるイン
クのしるしの存在と、その色を基にして物理的に分離す
る。更に、ウェハー・レベルでの試験段階において決定
された性能分類と機能とを基Ｖこして別の処理をそれら
の集積回路に対して行う。

半導体ウェハーにインクを付着するだめに用いられるイ
ンク・マーカーには、インク溜めの中を通されてウェハ
ーに「軟かく接触する」ナイロン繊維が含まれる。その
線維は、試験されているウェハーのある特定の回路にイ
ンクを付着させるように、そのような回路に一時的に接
触させられる。

現在用いられている典型的な装置においては、繊維は、
ハイパーダーミンク（ｈ７ｐ・ｒｄ＠ｒｍｉｃ）な針に
構造が類似する素子の中に通され、その繊維が通される
耐部分で終端する。この針状の素子の上側部分は、ある
量のインクが入れられるコンブを形成する。このコンブ
は繊維によりウェハーへ運ばれるインクの溜めを形成す
る。その繊維は、前記素子が通るプランジャ状の部材に
より往復運動するように支持される。その部材はソレノ
イドコイルの可動コアとして機能する。したがって、ソ
レノイド・コイルを選択的に作動させることにより、そ
のプランジャ状部材は、おそらく戻しばねの力に抗して
、下向きに動かされ、繊維の先端部すなわち下端部を、
試験されているウェハーの表面に接触させる。

以上説明した公知の装置にはいくつかの欠点がある。そ
のうちの主なものは、固定されている溜めの容量が比較
的に小さいために、装置の運転中にインクが切れるため
に運転を停止してインクを補充する必要が頻繁にあるこ
とである。更に、装置の運転中に繊維がしばしば詰るた
めに、掃除、インクの補充、および必要な再調整などを
行うために装置の運転を停止せねばならない。いずれに
し７ても、各連結長るたびに装置の掃除と、ばね、繊維
、インクおよびその他の部品の交換を必要とする。その
結果として、現在使用されている装置は比較的経費がか
かり、使用が困難で、インクの補充とインク溜めの掃除
を必要とするから非常に多量のインクを必要とする結果
となる。

本発明の目的は、現在性われているものよりもはるかに
経済的で効率が高い、半導体ウェハ〜にしるしをつける
インク付着装置を得ることである。

本発明の別の目的は、多量のインクと、半導体ウェハー
に所定量のインクを付着するのに必要な全ての可動部品
を含む、半導体ウェハー・マーカー用の必要な機能を完
備した使い捨てカートリッジを得ることである。

本発明の別の目的は、半導体ワエノ・−のインク・マー
カーに対するカートリッジの出し入れを簡単かつ効率的
なやり方で行えるようにする、本発明のカートリッジ用
ホルダーを得ることである。

本発明の更に別の目的は、輸送と取り扱いが安全で、し
かも、インク・マーカーに使用するためにインク・マー
カーに挿入させる場合に容易に作動させることができる
使い捨てインク・マーカー・カートリッジを得ることで
ある。

これらの目的およびその他の目的は、インクその他の適
当なマーク用流体を貯えるだめの大型の溜めが組合わさ
れた付着装置を備え、しるしをつけるべき表面にインク
などを付着できる本発明の使い捨てカートリッジによっ
て達成される。付着装置は、カートリッジの一部または
カートリッジの外部部材であって、ホルダー上に配置さ
れている環状のソレノイド・コイルの可動コアとして機
能する素子に滑動できるようにしてとりつけられる繊維
、ピストン、またはフェルトの芯を含む。

前記ホルダーは半導体ウェハーその他の試験される部品
に対する動作位置にインク・マーカー・カ−トリツク、
を保持する。インクを付着させるための可動繊維を用い
るカートリッジの一実施例においては、輸送および取り
扱い中にインクがこぼれることを防ぐためにカートリッ
ジのインク溜め部分は洩れを生じないように維持できる
。ただし、使用時には試験者が容易に開放位置にできる
。本発明のインク・マーカー・カートリッジの別の実施
例は輸送、保管、取り扱いの間安全であるように作られ
る。

したがって、本発明の利点は半導体ウエノ・−のインク
・マーカーのインク溜めにインクを補充する必要がない
ことである。

本発明の別の利点は、半導体クエハー・インク・マーカ
ーの保守作業の大部分が不要となり、ただ、本発明のイ
ンク・マーカーを定期的に交換する必要かめるだけであ
る。

本発明の更に別の目的は、１半導体ウエノ・−の試験中
に、現在可能である以上の嶌い効率と、経済的なやり方
で半導体フェノ・−にしるしをつけられることである。

以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。

まず、第１〜４図を参照して、本発明の使い捨てインク
・マーカー・カートリッジ１０は全体として円筒形の中
空ボデー１２を有する。この中空ボデー１２の中空部１
４は通常のマーキング・インクのような液体りを貯える
だめの溜めを形成する。マークしたい場合に４中空部１
４から液体りを選択的にとり出すために中空部１４に付
着装置１６が中空部組合わされる。この付着装置１６は
ハイパーダーミンク針に類似する中空の針１８をぼむ、
液体部めから、インクをつける物品まで通路を設けるた
めに針１８は中空部１４に通ずるようにされる５、針１
８は、中空ボデー１２から下方へ延びる管状ボス２０の
中空通路の中に埋め込まれる。このボス２０は中空部１
４からの液体Ｌｉ受けるだめの液体受を形成する。付着
袋＃１６はコネクタ２２も含む。、このコネクタはアク
チュエータにとりつけられ、そのアクチュエータにより
コネクタ２２が動かされた時に液体りを中空部１４から
出して針１８の中を流すようになっている。

コネクタ２２は全体として円筒形であって、その円筒の
両端の間を延びるほぼＵ字形のくぼみが設けられる。そ
れらの端部には適当なスロット２６゜２８が設けられる
。スロット２−６は繊維３０の一端を受け、スロット２
８は、伊で説明するように、適当なアクチュエータへの
コネクタ２２のとりつけを容易にするだめのものである
。繊維３０はある長さのナイロンつり糸のような普通の
ものである。

中空部１４の中の液体については一般的にしか述べなか
ったが、その液体としてはインク、染料、その他、半導
体を製造するために一般的に用いられるインク類似の任
意の物質とすることができることを理解すべきである。

マーク位置にある時に繊維３０が針１８かられずかに突
き出るように、繊維３０はコネクタ２２から中空部１４
の液体受部を通って延び、針１８の中に入る。マーク位
置は第４図に示されている位置である。コネクタ２２が
繊維３０まで長手方向に動くとその繊維３０は針１８か
ら突き出て、しるしをつけるべき物品に液体りをつける
。

中空ボデー１２の上端部は開かれている。穴がおいてい
るキャンプ３２がその開放上端部にかぶせられ、そのキ
ャンプ３２のスリーブ部３４が中空ボデー１２の上部内
壁にきつくはめ込ｉれる。

このスリーブ部３４は開口部３６を形成する。その開口
部３６の中には棚３８が突き出る。この棚３８は開口部
を設けるように、完全に３６０度ではないがスリーブ部
３４を囲む。この開口部の目的については後で説明する
。

キャンプ３２の開口部３６の中にはステム４０が回転で
きるようにして装置される。ステム４０は頭部４２を有
し、この頭部４２は中空ボデー１２の上端部近くでその
中空ボデー１２の外側に部分的に配置はれる。この頭部
４２は軸部４４を含む。

この軸部４４は、ステム４０の長手軸を中心として回転
できるようにキャンプ３２のスリーブ部３４の棚３８の
中にジャーナル連結きれる。軸部４４の上部に全体とし
て円板形のフランジ４６が終端する。このフランジ４６
は軸部４６と協働して、繊維３０とコネクタ２２まで長
手方向に延びる全体として円筒形のチャンバ４Ｂを形成
する。後で説明する目的のだめにフランジ４６の中心部
に開口部５０が形成される。

ステム４０の柱部５２がその頭部４２から中空ボデー１
２の中まで延び、そのボデー１２の下端部内で針１８の
近くで終端する。頭部４２と柱部５２は互いにとりつけ
られて前記したようにして回転でき、かつ中空ボデー１
２の一端から他端部までまっすぐな穴５４が貫通するユ
ニフトを構成する。その貫通穴５４の中に繊維３０が通
てれる。

柱部５２の下端部には脚５６が終端する。この脚５６は
柱部５２の上部と中間部との直径より大きな直径を有す
るものとして示されている。

脚５６の上側拡大部５８の周面にはＯリングの形のシー
ル６０が設けられる１、この０リングは、前記上側拡大
部５８の前記周″面により形成された座６２の中にはめ
込まれ、閉じられている状態（第１図）で見た時には、
中空ボデー１２の下側部分の内面に形成はれている座に
接触する。第１図に示されているように構成されると、
シール６０は中空ボデー１２の中空部１４から針１８と
繊維３０への流体の流れを阻止する。同様にして、第１
図に示されているような状態にある時に、頭部４２にお
ける中空部からの流体の流れを阻止するために、頭部４
２０座６８とキャンプ３２の座７０との中に入るように
、０リング状のシール６０がフランジ４６と、ステム４
０の頭部４２の軸部４４との間の連結部に配置される。

１したがって、ステム４０が、第１図に示すように、中
空ボデー１２に対して配置されると、輸送、保管などを
行っている間にカートリッジ１０の洩れを防止し、安全
に取り扱うことができるように、液体りは中空部１４の
中で７−ルされる。

ステム４０の軸部４４には、ステム４０ｔ−シール６０
．６６の阻止位置（第１図）または非阻止位置（第４図
）のいずれかに保持するために軸部４４の長手方向に隔
てられた一対のカム７２．７４が設けられる。したがっ
て、第１図に示す状態では、カム７２は棚部３８の下側
に接触して（第２図）ステム４０が中空ボデーに対して
上昇しないように保持し１．シたがって図示の位置に保
持する。しかし、ステム４０がその長手軸を中心として
回転させられると、カム７２が棚３８のとぎれている部
分の中に動くことができるから、ステム４０は中空ボデ
ー１２に対して上昇して動作位置すなわち液体の流れを
阻止しない位置（第４図）に入ることができるようにな
る。そしてステム４０は、いまは棚３８の下側表面に接
触しているカム７４によりそれ以上の上昇は阻止され、
また、それ以上の回転は、いまは棚３８の上側表面に接
触しているカムＴ２により中空ボデー１２に対する下降
運動に対してロックされる。これでカートリッジ１０は
使用できるようになった。第４図かられかるように、棚
３８のとぎれている部分を通って空気が中空部１４の中
に入ることができるようになったから、溜めの中の液体
りの表面に大気圧が加えられ、一方、中空ボデー１２の
下側部分の周囲に配置されている複数のガイドＴ６がそ
の下＠部分との間に間隙Ｔ８を形成する。それらの間隙
Ｔ８のために液体りはシール６０をさけて中空ボデー１
２の受部に入ることができそれにより繊維３０をぬらす
ことができる。毛管作用によって液体りは針１８の中を
通り、繊維３０により形成されている環状スペースの中
に入り、針１８の出口端から突き出た繊維３０の先端部
によりしるしをつけられる物品にしるしをつけるのに豊
する蓋の液体を供給するために、繊維３０の下端部すな
わち先端部に所定量だけ集まる。本発明のカートリッジ
およびそれに組合わされるホルダーその他の部品の寸法
に応じて大きさを変えることができるが、半導体クエハ
ーの表面に少量のインクその他の適当な液体を付着させ
るように繊維３０を半導体クエハーの表面に接触させる
には、針１８の先端部から突き出る繊維３０の長さは約
３間（約８分の１インチ、）が適当であることが判明し
ている。

カートリッジ１０の作動は、フランジ４６とキャンプ３
２にそれぞれ設けられている図示のリプ８０．８２を用
いることによりなるべく簡単にする。

リプ８２は中空ボデー１２に対して静止しているから、
リブ８０がリプ８２と一直線になって棚３８のとぎれて
いる部分をカムＴ２に向き合わせることによりそのカム
７２を解放し、ステム−〇を中空ボデー１２に対して上
昇させるまで７ランジ１６を回転させ、それからカムＴ
２が棚３８の中に入るまで７フンジ４６の回転を続けさ
せることが必要なだけである。

次に、第１〜４図に示すインク・マーカー・カートリッ
ジの実施例を製造する方法について説明する。まず第４
図を参照して、中空ボデー１２と、キャンプ３２および
ステム４ｏの各長手方向半分を通常の方法で最初にモー
ルドする。ステム４゜には図示のビン８４と、ビン受ソ
ヶント８６の１つを設ける。ボス２ｏに設けられている
穴の中に針１８を圧入する。次に、中空ボデー１２の頂
部にキャップ３８をねじ込む。ステム４ｏの互いに相補
的である長手方向半分をモールドしたら、そのステム４
０の同じ半分の中に形成されている半円筒形のチャンバ
の中にコネクタ２２を配置する。

針１８の中に繊維３ｏを挿入し、中空ボデー１２の底の
中に置かれているＯリング６ｏの中に入れ、それから、
コネクタ２２のスロット２６の中に挿入する。これで位
置ぎめピン８４とソケット８６を用いてステム４０の２
つの相補的な半分を互いに組合わせることができること
になる。ステム４゜の少くとも一方の半分に隆起部８８
をモールドし、それら２つの半分を合わせてから超音波
エネルギーを加えてそれらの隆起部８８を願力ζすこと
にょリステム４０の２つの半分を流体が洩れないように
密に接合する。ステム４０の２つの半分を合わせる時に
シール８０．６６を所定位置にとりつけ、２つの半分を
上記のように接合して中空ボデー１２を完威し、これに
よりカートリッジ１ｏが完成されたユニットとなる。座
６４に対してシール６゜を押しつけることにより、適当
な噴射針（図示せず）を用いて、インクその他の液体を
中空部１４の中に噴射きせることができ、かつその液体
を７−ル６６と棚３８のとぎれ目を通って噴射できるイ
ンクが中空部１４の中に噴射されると、ステム４０を第
２図に示す位置まで回転させることができる。この位置
では中空ボデー１２に対してステム４０が長手方向に動
かないようにステム４０をカム７２が固定する。

次に、第５図を参照してホルダー１１０について説明す
る。このホルダー１１０は本発明のカートリッジ１０を
従来の半導体試験装置などにとりつけるためのものであ
る。ホルダー１１０は細長い素子１１２を有する。この
素子１１２の一端からは突起１１４がその素子１１２に
対して垂直に突き出る。使い捨てインク・マーカー・カ
ートリッジ１０のボス２０を受けるために構成されるよ
うに、突起１１４の外側部分に穴が設けられる。突起１
１４の長手方向に対して垂直に開くように素子１１２の
肯壁にＶ字形の長手方向溝１１Ｂが形成される。それら
の溝１１８は、従来の構造の半導体ワエハー試験装置（
図示せず）に通常設けられているとりつけヘッドのレー
ル（図示せず）を受ける。したがって、＄　１１８を設
けることによりホルダー１１０を従来の試験装置にとり
つけることができる。

全体としてＺ形のブラケット１２０が、そのブラケット
の脚１２２をねじで固定することにより、素子１１２に
とりつけられる。このブラケット１２０は、クエプ部１
２４が片持ちばり式に突起１１４に平行に延長するよう
に、素子１１２にとりつけられる１、クエブ１２４と突
起１１４に対してほぼ垂直方向上向きに脚１２６が延び
、突起１１４の穴１１６に対して一直線上で向き合う貫
通穴１２９を形成する従来のソレノイドコイル１２８の
巻線を保持するＵ字形支持体のとりつけ面を構成する。

コイル１２８は図示のようにねじでこのと夛つけ面にと
９つけることができる。後で明らかとなるように、カー
トリッジ１０の上部を部分的に囲むように、エプロン１
３０，１３２がクエブ部１２４から突起部１１４へ向っ
て下へ延びる。

円板形頭部１３８を有するプランジャ１３６の形のコア
１３４（第６図）がコイル１２８のために設けられる。

その頭部１３８からは軸部１４０が延びる。

この細部の先端部からはそれよシも細い延長部１４２が
延びる。この延長部は、その延長部１４２に組合わされ
て輪状溝１４６を形成するような形に作られた先端部１
４４で終端する。素子１１２の突起１１４から離れてい
る方の端部には、可動ピストンを形成できるプランジャ
１３６を有するコイル１２８に対するそのプランジャ１
３６のストロークを制限するために、調整可能な押し下
げ機構１４８が設けられる。この機構１４８は素子１１
２の上面のねじ穴１５２にねじ込まれる通常のねじ１５
０を含む。一対のつまみ１５４と１５６の間に全体とし
て長方形の板１５８（第７図）をはさむようにそれらの
つまみ１５４．１５６はねじ１５０により互いに固定さ
れる。ブラケット１２０の脚１２６へ向って片持ちばり
式に延びるように、板１５８はその一方の端部にねじ１
５０を通す穴が設けられる。

次に第７図を参照する。この図にはプランジャ１３６に
係合するようにホルダー１１０にとりつけられているカ
ートリッジ１０が示されている。そのプランジャ１３６
の頭部１３８が、ねじ１５０の調整と、つまみ１５４，
１５６の回転に、士り適切な高さに調整されている板１
５８の外端部に接触している。プランジャ１３６の頭部
１３８を板１５８に押しつけるように、その頭部１３８
とコイル１２Ｂの上面との間に圧縮コでプランジャ１３
６を作ることにより、コイル１２８を励磁するとプラン
ジャ１３６はばね１６２のカに抗して下へ動かされる。

プランジャ１３６の先端部１４４をステム４０の７ラン
ジ４６に設けられている穴の中に入れ、コネクタ２２の
最上端部に設けられているスロット２８の中に溝１４６
をばちんとはめ込むことにより、軸部１４２を第１図に
示されているようにしてカートリッジ１ｏのコネクタ２
２にとりつけられる。したがって、そのコネクタ２２は
プランジャ１３６とともに動いて繊維３ｏを同時に同じ
ように動かし、所定量の、インクを物品Ａに付着させる
。コイル１２８が非励磁状態にされると、ばね１６２は
頭部１３８が板１５８に接触する位置（第７図）へ戻る
。

第７図と第１図を比較すると、チャンバ４８の長さも繊
維３０の子トロークの限度を決定することがわかる。し
かし、適切に設計することにより、板１５８の位置によ
りプランジャ１３６に課すことが望まれるストローク長
よりもコネクタ２２のストロークが常に大きいように、
チャンバ３０の寸法を決めるべきである。

また、第７図かられかるように、コイル１２８とインク
・マーカー・カートリッジ１０を通って針１８の端末部
まで延びる直線と、この針１８の端末部から、突起部１
１４の先端部とカートリッジ１０の外面との接触点を通
って延びる直線との間に成す角度ａがたとえば９〜１１
度の範囲であるようにカートリッジ１０とホルダー１１
０との寸法を定めるべきである。

次に、第８ｍ、８ｂ図を参照して本発明の別の実施例に
ついて説明する。第８ａ図は、円筒形の空洞２１４を形
成する長手方向に延びる管２１２と、頭部１３８のよう
に機能し、かつ中央の空気穴２１８を除いて閉じられて
いる拡大上端部２１６とを備える本発明のカー）　ＩＪ
ンジ２１０が示されている。下側の閉じた端部２２０か
らは針２２２が延びる。この針の中にはフェルト、ナイ
ロンなどのフェルト・ペンで一般的に用いられている材
料で作られた芯２２４が入れられる。したがって、管２
１２の中にはインクのような適当な液体りを満してフェ
ルト・チップ・カートリッジペンを作ることができる。

管２１２の最上端部にスリーブ２２６がとりつけられて
、コイル１２８に類似する通常のソレノイド・コイル２
２８を形成する。この構造により、しるしをつけるべき
物品に芯２２４を接触させるように、スリーブ２２６は
管２１２を下降させる。管２１２の元の位置への復帰は
、第８図の圧縮コイルばね２３０などの適当なやり方で
行うことができる。したがって、カートリッジ２１０は
カートリッジ１０で用いているプランジャ１３６のよう
な独立した可動コアを必要としないから、構造を更に簡
卑にできる。端部２１６は押し下げ機構１４８に類似の
押し下げ機構により管２１２の上昇を制限できる。適切
な寸法にすることにより、カートリッジ２１０をホルダ
ー１１０に類似のホルダ内に設けることができるが、下
降運動ストップとして機能する突起部１１４がなくても
、あるいは突起部１１４があってもさしつかえない。

第８ｂ図はカートリッジ２１０に類似するカートリンク
２１０′を示すが、このカートリッジ２１σは、一端部
に針２２４′が挿入され、場所２２２’がかしめられて
その針２２イを保持する中空管２１７を有する。

細長い中実部材２２６′が管２１７の上層部の中に圧入
されてスリーブ２２６のように機能する。その中実部材
２２６′にはカートリッジ２１０の端部２１６として機
能する拡大上端部２１ｒが設けられる。この端部２１６
′から管２１７の空洞２１４′まで部材２２＆′を貫通
する空気穴２１８′が設けられる。

次に第９図を参照する。この図に示されているカートリ
ッジ３１０は空洞３１４を形成する中空ボデー３１２を
有する。この中空ボデー３１２はキャップ３１８がかぶ
せられる上端部３１４を有する。中空ボデー３１２の下
端部は液体受３２０を形成し、この液体受から針３２２
が延びる。この液体受３２０の中にはピストン３２４が
配置される。このピストンは液体受３２０の壁に接触し
てその液体受３２０の内部をほぼ閉じるが、空洞３１４
から液体受３２０へ液体りがわずかな洩れが生ずるよう
にして空洞３１４の内部に溜めを形成する。キャップ３
１８の中に滑動できるようにして延長しているロッド３
２６を介して、ピストン３２４はキャンプ３１Ｂ内のチ
ャンノ（３３２の中に配置されているコネクタ３３０に
連結される。

このコネクタ３３０は任意の形をとること力鷺できるが
、このコネクタ３３０をプライジャ１３６のようなプラ
ンジャに連結できるように、なるべくならカートリッジ
１０のコネクタ２２の構造に類似の構造にしたほうがよ
い。この構成によりカー）　ＩＪンジ３１０は、カート
リッジ１０と互換性をもって使用できるような寸法で作
ることができる。

以上の説明から、コネクタ３１０が下降すると、ピスト
ン３３２も同様に下降して、所定量の液体りを液体受３
３０から針３２２を通って、繊維すなわち芯を介するこ
となしに、しるしをつけるべき物品に直接付着させるこ
とができること７５；わ７５島るであろう。　　、 また、本発明の使い捨てインク・マーカー・カートリッ
ジは半導体ワエノ・−試験装置用のインク・マーカーに
安全、清潔かつ経済的なやり方でインクを補充できるこ
とがわかるでおろう。ｊ！に、本発明のカートリッジに
よシ現在用いられている再使用可能なインク・マーカー
よりはるかに多量のインクを含ませることができる。更
に重要なことは、本発明のカートリッジには、従来のイ
ンク・マーカーにも使用できるホルダーを使用できるか
ら、多額の新しい投資を行う必要はないことである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のインク・マーカー・カートリッジの一
実施例の一部を切り欠いて示す断面斜視図、第２図は第
１図の２−２線に沿う断面図、第３図は第１図の３−３
線に沿う断面図、第４図は第１図の４−４線に全体とし
て沿うが、種々の部品が第１図に示されている位置とは
異なる位置にある本発明のインク・マーカー・カートリ
ッジの概略断面図、第５図は第１〜４図に示されている
インク・マーカー・カートリッジをとりつけることがで
きるホルダーの概略斜視図、第６図は本発明の使い捨て
カートリッジにとりつけることができる、第５図のホル
ダーのソレノイドコイルに可動コアとして使用できるプ
ランジャの斜視図、第７図は第５図に示すホルダー内に
装着されている第１〜４図に示す使い捨てインク・マー
カー・カートリッジの一部を切り欠き、一部を断面図で
示す側面図、第８ｍ、８ｂ図は本、発明の使い捨てイン
ク・マーカー・カートリッジの第２の実施例の縦断面図
、第９図は本発明のインク・マーカー・力−トリンジの
更に別の実施例を示す概略縦断面図である。 １０　、２１０．３１０・・・・カートリッジ　１２・
・・・中空ボデー、１６・・・・付着装置、１８　、２
２２゜３２２・・・・針、２２−・−−コネクタ、３０
・・・・繊維、３２・・・・キャンプ、４０・・・・ス
テム、５２・・・・柱部、６０・・・・０リング、６６
・・・・シール、７２．７４・・・・カム、１１０・・
・・ホルダー、１２８　、２２８・・・・ソレノイドコ
イル、１３４　・・　・　・コア、１３６　・　・・・
プランジャ。 図面り浄書１′内容１′：変更なし） 手続補正書（キ欠〕 特許庁長官殿　　　　　　　““１　　′”５７．１％
、・８“１、事件の表示 昭和５７年特　　許願第１４’？８２５；号２、発Ｂ目
の名称 １’ｆ：ＩＩ檜でイ〉２・マー〃−＄↓ムヒの蜜潰オ：
ゼ３、補正をする者 事件との関係　　　　特　　　　許出願人名称（氏名）
寸し７””１７人・コーなトムヨシ（２）図面の浄書（
内容に変更なし）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）（ａ）マーキング液体を貯蔵するための溜めと、
   （ｂ）この溜めからマーキング液体を選択的にとり出し
   、マークすべき表面にインクを付着するために前記溜め
   に組合わされる付着要素と、を備えることを特徴とする
   使い捨てインク・マーカー。 （２、特許請求の範囲第１項に記載のインク・マーカー
   であって、前記付着要素は前記溜めからマークすべき表
   面まで流れ通路を設けるために前記溜に通ずる中空の針
   を含むことを特徴とするインク・マーカー。 （３）特許請求の範囲第２項に記載のインク・マーカー
   であって、前記付着要素は作動機構にとりつけるだめの
   コネクタを含み、作動機構によりコネクタが動かてれる
   とインクが前記溜めから流し出されて前記針の中を通さ
   れることを特徴とするインク・マーカー。 （４）特許請求の範囲第３項に記載のインク・マーカー
   であって、前記付着要素は前記中空の針の中に配置され
   る多孔質の芯を含み、この芯は前記溜めの中に貯蔵され
   ているマーキング液体に通じており、前記コネクタは、
   前記溜めにとりつけられて環状のソレノイド・コイルの
   中に挿入できる磁化可能な物質の片であることを特徴と
   するインク・マーカー。 （５）特許請求の範囲第３項に記載のインク・マーカー
   であって、前記付着要素は、前記コネクタとともに動く
   ためにそのコネクタにとりつけられるピストンを含み、
   マーキング液体を前記溜めから前記針を通って選択的に
   ボンピングするために前記針は前記溜めの中の前記中空
   針に近接して配置されることを特徴とするインク・マー
   カー。 （６）％許請求の範囲第３項に記載のインク・マーカー
   であって、前記付着要素は、前記コネクタに結合されて
   前記溜めの少くとも一部を通って前記付着要素の前記針
   の中に延びるように構成された繊維を含み、前記付着要
   素が動くと前記繊維が前記針から突き出てマーキング液
   体をマークすべき表面に付着はせることを特徴とするイ
   ンク・マーカ０ （力特許請求の範囲第６項に記載のインク・マーカーで
   あって、前記溜はインクを保持するための空洞を形成す
   る中空ボデーと、この中空ボデーの中に配置されて前記
   溜をふさいだり、開放したりするシール要素とを含み、
   その中空ボデーは一対の隔てられた端部を有し、前記針
   は前記端部のうちの一方に配置されることを特徴とする
   インク・マーカー。 （８）特許請求の範囲第７項に記載のインク・マーカー
   であって、前記シール要素はステムを備え、このステム
   は、 （ａ）前記中空ボデーの前記他方の端部においてその中
   空ボデーの外側に部分的に配置されるヘッドと、 （ｂ）このヘッド部から中空ボデーの中に延び、前記一
   方の端部において前記針に近接して終端し、前記ヘッド
   部に相互にとりつけられてユニフトを形成する柱部と、 （Ｃ）前記中空ボデーにより形成された空洞からの前記
   ヘッド部によシ前記溜めからの流体の流れを選択的に阻
   止するために前記柱部に組合わこれる第１のシールと、 （ｄ）前記中空ボデーから前記針への流体の流れを選択
   的に阻止するために前記柱部に組合わされる第２のシー
   ルと、 を組合わせて含むことを特徴とするインク・マーカー。 （９）特許請求の範囲第８項に記載のインク・マーカー
   であって、前記中空ボデーの前記他方の端部は開かれ、
   前記溜めは開放されている前記他方の端部の中に配置さ
   れる穴のあけられたキャンプと、流体の流れを阻止する
   １つの位置と流体の流れを阻止しない位置とにステムを
   固定するために、穴をおけられたキャンプと前記ヘッド
   部との上に配置されるカム要素とを更に含み、前記ヘッ
   ド部はその穴をあけられたキャンプの中に回転できるよ
   うにして配置されることを特徴とするインク・マーカー
   。 （１０）特許請求の範囲第９項に記載のインク・マーカ
   ーであって、コネクタを選択的に動かして所定量のマー
   キング液体を前記溜めにより形成されている空洞の外部
   に付着させるために前記付着要素の前記コネクタにとり
   つけられるアクチュエータに組合わされることを特徴と
   するインク・マーカ０ ０１）％軒請求の範囲第９項に記載のインク・マーカー
   でろって、前記アクチュエータは、（ａ）前記マーカー
   を試験される物品に近接して装置するためのホルダーと
   、 （ｂ）貫通穴を形成する環状のコイルを含み、その貫通
   穴がコネクタの動く向きにそろえられるようにして前記
   ホルダーの上にとりつけられるソレノイド機構と、 を組合わせて備え、前記コイルの貫通穴の中に滑動でき
   るようにして配置され、前記コネクタを前記ソレノイド
   機構の前記コイルの励磁の関数として動かすだめに前記
   コネクタに係合することを特徴とするインク・マーカー
   。 （１２、特許請求の範囲第１項に記載のインク・マーカ
   ーであって、コネクタを選択的に動かして所定量のマー
   キング液体を前記溜めにより形成されている空洞の外部
   に付着させるために前記付着要素の前記コネクタにとり
   つけられるアクチュエータに組合わされることを特徴と
   するインク・マーカ０ （１３）特許請求の範囲第１２項に記載のインク・マー
   カーでおって、前記アクチュエータは、（ａ）前記マー
   カーを試験される物品に近接して装置するためのホルダ
   ーと、 （ｂ）貫通穴を形成する環状のコイルを含み、その貫通
   穴がコネクタの動く向きにそろえられるようにして前記
   ホルダーの上にとりつけられるソレノイド機構と、 を組合わせて備え、前記コイルの貫通穴の中に滑動でき
   るようにして配置され、前記コネクタを前記ソレノイド
   機構の前記コイルの励磁の関数として動かすために前記
   コネクタに係合することを特徴とするインク・マーカー
   。 （１４）半導体ウェハーの選択された集積回路にマーク
   するために構成できるインク・マーカー・力−トリンジ
   を半導体ウェハーの個々の集積回路を試験するための機
   械にとりつけるためのインク・マーカー装置であって、 （＆）インク・マーカー・カートリッジの針を受けるた
   めに構成された開口部を形成し、かつそれから垂直に延
   びる突出部を有する細長い素子と、（ｂ）開口部と一直
   線上に並ぶように向けられた前記突出部の穴に対して隔
   てられて前記素子上に装置され、貫通穴を形成する環状
   のソレノイド・コイルと、 （Ｃ）前記環状コイルの貫通穴の中に滑動できるように
   して挿入でき、前記プラケツトにとりつけられているカ
   ートリッジに係合して、前記コイルが励磁された時に動
   かされてインクを前記カートリッジから分配させること
   ができるコア要素と、を組合わせて備えることを特徴と
   する使い捨てインク・マーカー装置。 （１５）特許請求の範囲第１４項に記載の装置であって
   、前記コア要素は前記コイルの穴の中に滑動できるよう
   にして配置され、かつ前記素子にとりつけられているカ
   ートリッジにとりつけることができるプランジャと、前
   記コイルから離れる向きの前記プランジャのストローク
   を制限するために前記突出部から隔てられた関係で前記
   素子の上にとりつけられる調整可能な押さえつけ要素と
   を含むことを特徴とする装置。 （１６）特許請求の範囲第１５項に記載の装置であって
   、 （＆＞マーキング液体を貯蔵するだめの溜めと、（ｂ）
   この溜めからインクを選択的にとり出して、マークすべ
   き表面にそのインクを付着するために前記溜めに組合わ
   される付着要素と、を備えることを特徴とする装置。 （１７）インク溜めを形成する中空ボデーと、その中空
   ボデー内のキャンプと、前記溜めの中へ延びるステムと
   、前記溜めから通ずる中空の針と、ステムと溜めおよび
   針の中を通る繊維とを含む使い捨てインク・マーカー・
   カートリッジを製造する方　　。 法であって、 （、）相補的な大部分と位置ぎめピンおよびソケットを
   有する２つの相補的な長手方向の半分でステムを形成す
   る工程と、 （ｂ）それらの２つの半分を互いに重ね合わせ、それら
   の半分を互いに付着させて１つのユニットを形成する工
   程と、 （Ｃ）１つのユニットとして形成されたステムを中空ボ
   デーの中に置く工程と、 （ａ）針を中空ボデーの中に挿入する工程と、（・）針
   の中とステムの穴の中に繊維を通す工程と、を備えるこ
   とを特徴とする使い捨てインク・マーカーを製造する方
   法。 （１８）特許請求の範囲第１７項に記載の方法であって
   、ステムを形成する工程は、少くとも一方の半分の上に
   隆起部を設ける工程を含み、付着する工程は前記半分に
   超音波エネルギーを加えて前記隆起部を融かし、流体が
   洩れない接合部を形成する工程を含むことを特徴とする
   方法。