JPS58167929A - 管状物体の温度測定方法 - Google Patents
管状物体の温度測定方法Info
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- JPS58167929A JPS58167929A JP57051500A JP5150082A JPS58167929A JP S58167929 A JPS58167929 A JP S58167929A JP 57051500 A JP57051500 A JP 57051500A JP 5150082 A JP5150082 A JP 5150082A JP S58167929 A JPS58167929 A JP S58167929A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title description 9
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 17
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 24
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 24
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 229910000975 Carbon steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010962 carbon steel Substances 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 241000277331 Salmonidae Species 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
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- G—PHYSICS
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- G01J5/0853—Optical arrangements having infrared absorbers other than the usual absorber layers deposited on infrared detectors like bolometers, wherein the heat propagation between the absorber and the detecting element occurs within a solid
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、炉内に置かれ丸管状物体の放射針による温I
l!測定方法に関する。
l!測定方法に関する。
加熱rt九は焼入れ鱒鈍し層鮒麩麗炉などの炉内に置か
れ九又鉱該炉内を搬送される管状物体、例えば鋼管の温
度を非接触で調進するには放射温度針が用いられるが、
従来一般の測定要領紘第1図に示す如く、鋼管1の外画
を炉、壁5に設は大放射纏透過窓4全通して放射計3で
覗き、放射計30視舒に入る鋼管外面(測温点)2から
の放射エネルギを検出するというものである。この測温
方式は簡便である反面、炉壁5の内面が放出した放射エ
ネルギの鋼管外面で反射したものが放射計5に入うて誤
差を生じる、加熱用のバーナー炎6などがあると該誤差
は特に大きい、測温点2の放射率が必らずしも正確に把
握できず温度決定に誤差が出る、等の問題がある。図で
?tj測定すべき測温点2からの放射エネルギ、10は
鋼管外面で反射した炉壁からの放射エネルギ、11は鋼
管外面で反射した火炎6からの放射エネルギを示す。
れ九又鉱該炉内を搬送される管状物体、例えば鋼管の温
度を非接触で調進するには放射温度針が用いられるが、
従来一般の測定要領紘第1図に示す如く、鋼管1の外画
を炉、壁5に設は大放射纏透過窓4全通して放射計3で
覗き、放射計30視舒に入る鋼管外面(測温点)2から
の放射エネルギを検出するというものである。この測温
方式は簡便である反面、炉壁5の内面が放出した放射エ
ネルギの鋼管外面で反射したものが放射計5に入うて誤
差を生じる、加熱用のバーナー炎6などがあると該誤差
は特に大きい、測温点2の放射率が必らずしも正確に把
握できず温度決定に誤差が出る、等の問題がある。図で
?tj測定すべき測温点2からの放射エネルギ、10は
鋼管外面で反射した炉壁からの放射エネルギ、11は鋼
管外面で反射した火炎6からの放射エネルギを示す。
か\る問題に対処するため本発明者は#I2図に示す測
温法を案出した。即ち仁の側温法では測温点を炉内鋼管
1の外面で鉱なく内面に選び、内面測温点2を放射計3
で管端よ)覗く。このようにすると管壁が遮蔽体となっ
て、第1図のバーナー炎6が発する放射エネルギの反射
波が[接放射1tt3に入るような?−d■く、炉壁が
発する放射エネルギは、点線で示す如き経路をとって管
端よシ管内に入シ反射したものが放射計3に入るに過ぎ
なくなシ、誤差は大幅に減少する。式で示すと、放射針
の検出値Eは E=εaEb(T) + (1−εa)Eb(Tn)
===−(1)で与えられる。右辺第1項は鋼
管内面の測温点2が発する放射エネルギ、右辺第2項は
点線経路で入った炉壁放射エネルギの反射したものであ
る。
温法を案出した。即ち仁の側温法では測温点を炉内鋼管
1の外面で鉱なく内面に選び、内面測温点2を放射計3
で管端よ)覗く。このようにすると管壁が遮蔽体となっ
て、第1図のバーナー炎6が発する放射エネルギの反射
波が[接放射1tt3に入るような?−d■く、炉壁が
発する放射エネルギは、点線で示す如き経路をとって管
端よシ管内に入シ反射したものが放射計3に入るに過ぎ
なくなシ、誤差は大幅に減少する。式で示すと、放射針
の検出値Eは E=εaEb(T) + (1−εa)Eb(Tn)
===−(1)で与えられる。右辺第1項は鋼
管内面の測温点2が発する放射エネルギ、右辺第2項は
点線経路で入った炉壁放射エネルギの反射したものであ
る。
こ\でTFi鋼管温度、Tsは炉壁温度、εaは鋼管内
面全体からの寄与を含めた#DJ温点2の実効的な放射
率であシ、入射角0、測温点2と管他端との距離りと管
内径りとの比L/D 、測温点2と管一端との距111
mと管内径りの比a/Dの関数である。
面全体からの寄与を含めた#DJ温点2の実効的な放射
率であシ、入射角0、測温点2と管他端との距離りと管
内径りとの比L/D 、測温点2と管一端との距111
mと管内径りの比a/Dの関数である。
εaはL/D % a / Dが大きい程1に近付き、
またθは小さい方がεaが1に近付く。
またθは小さい方がεaが1に近付く。
εaを1に近似できれば鋼管内は黒体空洞と見做すこと
ができ、(1)式はE = Eb(T)となシ、放射測
温としては理想的な形になる。εaがはi1になるには
a/D=1.θ〈75 でしΦ>5 、 t fcL
/D=20゜0=80 でa/D > 1.5などの条
件が必要であシ、この条件が満たされない1!:当然誤
差がでてくる。
ができ、(1)式はE = Eb(T)となシ、放射測
温としては理想的な形になる。εaがはi1になるには
a/D=1.θ〈75 でしΦ>5 、 t fcL
/D=20゜0=80 でa/D > 1.5などの条
件が必要であシ、この条件が満たされない1!:当然誤
差がでてくる。
本発明は上記条件が満たされない場合でも可及的に誤差
を減少しようとするものである。εaが1からずれると
、前記(1)式の右辺第2項が零でなくなシ、特に炉壁
が高温である場合は第2項の値は無視できなくなシ、大
きな測定誤差を発生する恐れがある。本発明はこれを阻
止しようとするもので、実施例を第3図に示す。
を減少しようとするものである。εaが1からずれると
、前記(1)式の右辺第2項が零でなくなシ、特に炉壁
が高温である場合は第2項の値は無視できなくなシ、大
きな測定誤差を発生する恐れがある。本発明はこれを阻
止しようとするもので、実施例を第3図に示す。
第5図に示すように本発明では放射計3が覗く管端11
とは反対の管端1bに対向する炉壁部分を黒化表面処理
した水冷板または放射エネルギ透過窓などの、炉内から
の放射エネルギを反射せずかつ自身で放射エネルギを放
射することも実質的にない無反射無放射の部材7とする
。部材7は管端1bから入射し管内反射等をして放射計
3に入る放射エネルギをI!質↓零にするのが目的のも
のであシ、大きさ、位置などはこの目・的に従って設計
する。8#iコンベア、ウオーキングビームなどの鋼管
1に対する支持体1えは搬送体でろシ、部材7は下限を
この位置鍼下とし、幅5FiS≧Dとする。
とは反対の管端1bに対向する炉壁部分を黒化表面処理
した水冷板または放射エネルギ透過窓などの、炉内から
の放射エネルギを反射せずかつ自身で放射エネルギを放
射することも実質的にない無反射無放射の部材7とする
。部材7は管端1bから入射し管内反射等をして放射計
3に入る放射エネルギをI!質↓零にするのが目的のも
のであシ、大きさ、位置などはこの目・的に従って設計
する。8#iコンベア、ウオーキングビームなどの鋼管
1に対する支持体1えは搬送体でろシ、部材7は下限を
この位置鍼下とし、幅5FiS≧Dとする。
仁のようにすると管他端1bからの放射エネルギは考え
なくてよいので前記(1)式は右辺第1項のみの次式と
なシ、制約条件が除かれ、測定精度が上る。
なくてよいので前記(1)式は右辺第1項のみの次式と
なシ、制約条件が除かれ、測定精度が上る。
E;εaEb (T ) ・
−=−(2)入射角0の制限がとれると、第4図の鎖線
L1のように0が90に近い状態にすることも可能で、
放射計3の取付は位置、角度の自由度が増し、放射Wt
3は単に管内面を狙えばよいから取付けNf。
−=−(2)入射角0の制限がとれると、第4図の鎖線
L1のように0が90に近い状態にすることも可能で、
放射計3の取付は位置、角度の自由度が増し、放射Wt
3は単に管内面を狙えばよいから取付けNf。
も高くなくてよい。・
無反射無放射部材7は管端1bに接して又は若干離す程
度で設けてもよいが、前者の場合そして冷却板使用の場
合は鋼管温度に変化を与える(冷却する)恐れがあシ、
また^諷炉内に水冷体を持ち込むことは危険が69、好
ましくない。この点炉壁に水冷板を取付けることは漏水
対策もとシ易く、また放射エネルギ透過窓例えば耐熱ガ
ラス板を用いるときは(この場合は当然、設置位置は炉
壁になる)水漏れの危険性社会くない。また測温は炉の
所望点で行なえばよく、部材7はそれ程大きなものは必
要ない。
度で設けてもよいが、前者の場合そして冷却板使用の場
合は鋼管温度に変化を与える(冷却する)恐れがあシ、
また^諷炉内に水冷体を持ち込むことは危険が69、好
ましくない。この点炉壁に水冷板を取付けることは漏水
対策もとシ易く、また放射エネルギ透過窓例えば耐熱ガ
ラス板を用いるときは(この場合は当然、設置位置は炉
壁になる)水漏れの危険性社会くない。また測温は炉の
所望点で行なえばよく、部材7はそれ程大きなものは必
要ない。
放射計5は所定位置(測定位置)Kおける鋼管内面を覗
ける即ち放射計視野が鋼管内面内に入るように取付けて
おき、測定は炉内鋼管が搬送されて該位置に来たとき行
なう、例えば信号処理回路のゲートを開いて放射計出力
を取出すようにして行なう。鋼管位置は光電層、電磁型
、放射Ml型などの適宜の検出器で検出でき、前記ゲー
トは該検出器出力で開閉すればよい。放射計3の検出値
は前記Eで6)、これより前記(2)式によシ鋼管温度
Tが求まる。仁の際必要な放射率εaは同種の鋼管に対
して測温して予め求めておいた値を使用してもよく、或
いは前述のように鋼管内を黒体空洞と見做せる条件にし
て6m = 1としてもよい。次に実験結果を挙げる。
ける即ち放射計視野が鋼管内面内に入るように取付けて
おき、測定は炉内鋼管が搬送されて該位置に来たとき行
なう、例えば信号処理回路のゲートを開いて放射計出力
を取出すようにして行なう。鋼管位置は光電層、電磁型
、放射Ml型などの適宜の検出器で検出でき、前記ゲー
トは該検出器出力で開閉すればよい。放射計3の検出値
は前記Eで6)、これより前記(2)式によシ鋼管温度
Tが求まる。仁の際必要な放射率εaは同種の鋼管に対
して測温して予め求めておいた値を使用してもよく、或
いは前述のように鋼管内を黒体空洞と見做せる条件にし
て6m = 1としてもよい。次に実験結果を挙げる。
ζ\でTaは放射針の指示温度、TFi熱電対で測定し
た測定点の温度、Tnは炉内壁面温度、ΔTは測定誤差
Ta−Tでいずれも単位は℃である。
た測定点の温度、Tnは炉内壁面温度、ΔTは測定誤差
Ta−Tでいずれも単位は℃である。
表 1(水冷板なし)
(2)炭素鋼パイプの場合
表 2(水冷板あ))
(1)ステンレス鋼パイプの場合
(2)炭素鋼パイプの場合
表 3(透過窓採用)
この実験は# 冨80 、a = 1005w、L=1
500m、D ”’ 100wm、水冷板および透過窓
の大きさ紘150■φで行なった。この実験結果から明
らかなように水Iv板または透過窓を用いると測定誤差
ΔTを可成夛減少できる。
500m、D ”’ 100wm、水冷板および透過窓
の大きさ紘150■φで行なった。この実験結果から明
らかなように水Iv板または透過窓を用いると測定誤差
ΔTを可成夛減少できる。
以上説明したように本発明によれば高温炉内管状物体の
温度を高精度に測定でき、また放射針等の設置、保守に
要する精度、厳密さを和らげることができ、甚だ有効で
ある。
温度を高精度に測定でき、また放射針等の設置、保守に
要する精度、厳密さを和らげることができ、甚だ有効で
ある。
第1図は従来の測温法の説明図、第2図は既提案の測温
法の説明図、第3図は本発明の詳細な説明図、第4図は
本発明の利点の1つの説明図である。 図面で1は炉内管状一体、2は測温点、3は放射計、5
は炉壁、7は無反射無放射部材である。 出願人 新日本製鐵株式会社 代理人弁理士 青 柳 稔手続補正書(自
発) L事件の表示 昭和57年特許願第51500号 2発明の名称 管状物体の温度測定方法 1補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都千代田区大手町二丁目6番3号名称 (6
65)新日本製鐵株式会社 代表者 武 1) 畳 表代理人 〒101 5、、m正命令の日付 な し a補正によシ増加する発明の数 な し&補正の
内容 ′1)明細書第1頁末行〜第2頁1行の「放射線透過窓
」を「透過窓」と補正する。 (2)同第2頁18行の「放射エネルギの反射波が」を
「放射エネルギの反射成分が」と補正する。 (3)同第3頁10行の「放射率であシ、」を「放射率
であ夛、管の材質、」と補正する。 (4)同第3負18行〜19行の記載を「にはa/D
=1、a−ssoでL/D > 10.またL/D =
15、#=80”でa/D>α6などの条件が必要で
あ択と」と補正する。 (5)同第7頁14行(表2中)のr1054Jをr
1049 Jと補正する。 (6)同第8頁10行の記載を「この実験は#=85@
、h−50mm%L = 1500mm、 Jと補正す
る。
法の説明図、第3図は本発明の詳細な説明図、第4図は
本発明の利点の1つの説明図である。 図面で1は炉内管状一体、2は測温点、3は放射計、5
は炉壁、7は無反射無放射部材である。 出願人 新日本製鐵株式会社 代理人弁理士 青 柳 稔手続補正書(自
発) L事件の表示 昭和57年特許願第51500号 2発明の名称 管状物体の温度測定方法 1補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都千代田区大手町二丁目6番3号名称 (6
65)新日本製鐵株式会社 代表者 武 1) 畳 表代理人 〒101 5、、m正命令の日付 な し a補正によシ増加する発明の数 な し&補正の
内容 ′1)明細書第1頁末行〜第2頁1行の「放射線透過窓
」を「透過窓」と補正する。 (2)同第2頁18行の「放射エネルギの反射波が」を
「放射エネルギの反射成分が」と補正する。 (3)同第3頁10行の「放射率であシ、」を「放射率
であ夛、管の材質、」と補正する。 (4)同第3負18行〜19行の記載を「にはa/D
=1、a−ssoでL/D > 10.またL/D =
15、#=80”でa/D>α6などの条件が必要で
あ択と」と補正する。 (5)同第7頁14行(表2中)のr1054Jをr
1049 Jと補正する。 (6)同第8頁10行の記載を「この実験は#=85@
、h−50mm%L = 1500mm、 Jと補正す
る。
Claims (1)
- 炉内管状物体の一端から鉄管状物体の内面を覗くように
放射針を取付け、鋏管状物体O弛端に対向する炉壁には
無反射無放射部材を取付け、皺他端から管内に入りて放
射針に受光される放射エネルギを実質的Kll蔽して前
記内面よ〕発する放射エネルギのみが該放射針に受光さ
れるようにして鋏管状物体の温度を測定することを特徴
とする炉内管状物体の11度測定方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57051500A JPS58167929A (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 管状物体の温度測定方法 |
EP82112037A EP0083100B1 (en) | 1981-12-28 | 1982-12-27 | Method of measuring pipe temperature |
DE8282112037T DE3278317D1 (en) | 1981-12-28 | 1982-12-27 | Method of measuring pipe temperature |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57051500A JPS58167929A (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 管状物体の温度測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58167929A true JPS58167929A (ja) | 1983-10-04 |
Family
ID=12888693
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57051500A Pending JPS58167929A (ja) | 1981-12-28 | 1982-03-30 | 管状物体の温度測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58167929A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6086431A (ja) * | 1983-10-18 | 1985-05-16 | Kawasou Denki Kogyo Kk | 板体温度測定方法及び測定装置 |
US5188458A (en) * | 1988-04-27 | 1993-02-23 | A G Processing Technologies, Inc. | Pyrometer apparatus and method |
US5226732A (en) * | 1992-04-17 | 1993-07-13 | International Business Machines Corporation | Emissivity independent temperature measurement systems |
JP2018141778A (ja) * | 2017-02-24 | 2018-09-13 | Jfeスチール株式会社 | 見かけの放射率算出方法、温度計測方法、管材の製造方法及び温度計測装置 |
-
1982
- 1982-03-30 JP JP57051500A patent/JPS58167929A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6086431A (ja) * | 1983-10-18 | 1985-05-16 | Kawasou Denki Kogyo Kk | 板体温度測定方法及び測定装置 |
US5188458A (en) * | 1988-04-27 | 1993-02-23 | A G Processing Technologies, Inc. | Pyrometer apparatus and method |
US5326171A (en) * | 1988-04-27 | 1994-07-05 | A G Processing Technologies, Inc. | Pyrometer apparatus and method |
US5226732A (en) * | 1992-04-17 | 1993-07-13 | International Business Machines Corporation | Emissivity independent temperature measurement systems |
JP2018141778A (ja) * | 2017-02-24 | 2018-09-13 | Jfeスチール株式会社 | 見かけの放射率算出方法、温度計測方法、管材の製造方法及び温度計測装置 |
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