JPS58167491A - 単結晶を溶融物から成長させる装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、種結晶上に凝固した沼融物から引上げること
によって単結晶を成長させる装置並びに成長した結晶を
装置から取り出す方法に関する。

本発明は、大きな単結晶、例えば直径コ００ｗｘ以上、
長さ３００　ｗｍ以上、重量数＋ゆ以上の結晶を成長さ
せるのに最も有利であることが判明している。

％Ｋ、本発明は、ハロイド・フルオライン（ｈａユｏｉ
ｆｌｕｏｒｉｎ・）化合物（塙化す）　１７ウム、塩化
カリウム、臭化カリウム、臭化ナトリウム、フッ化リチ
ウム、ヨウ化セシウム、タリウムによって活性化された
ヨウ化ナトリウム、タリウムまたはナトリウムによって
活性化されたヨウ化セシウム）の大きな光学的シンチレ
ータ１ン結晶並びに半導体単結晶（ゲルマニウム、シリ
コン等）を成長させる際に使用され得る。

狭在最も広く使用されている単結晶のｓｉ法の１つは、
通常単結晶である種蛯晶上で凝固された＠融物から引上
げる方法である。前記方法は、チ璽りラルスキーおよび
キロボウロスの枝術に基づいている（ジエイ・チ冒りラ
ルスキーの金属の結晶化速度の新しい測定法、Ｚ、　Ｐ
ｈｙｅ、　（！ｈｅｍ、　、　／デ／１゜９２、コｌデ
ーココ参およびニス・キロボウロスのより大きな結晶の
春造法、Ｚ、　ａｎｏｒｇ、　ｖ、　ａｌｌｇａｍ。

Ｏｈｅｍ、、　／９２４．　／１１７．３０１−　、？
／、？参照）７前配技術によれば、出発材料をるつぼ内
で加熱して溶融物を製造し、次いで回転垂直棒に保持さ
れた単結晶種を下げて溶＃４物に接触させる。種の小部
分が縛＠された後、徐々に上げ、そして溶融物が引上に
凝固し始めるように溶曽物の温度を下げる。結晶が成長
し、結晶が必要な、Ｆ９ｉ定の寸法を有する場合には、
更に成長するのを防止するために溶融物の温度を制御す
る。成長する結晶が所定の長さを有する場合には、引上
げ棒を上げることによって結晶を溶融物から迅速に引き
離す。次いで、成長じた結晶を冷却させて所期目的用に
使用す７−７ 成長した結晶は残りの溶融物の固化部分を収容するるつ
ぼの上で宇湛に実際上冷却され得る。即ち、炉故長室内
で直接に冷却できる。しかし、炉室全体にわたっての温
度分布が不均一であり、かつ成長した結晶を迅速に取り
出して次の成長サイクル用に利用できる室とするためＫ
、冷却を通常側の炉（焼鈍炉）で実施し、そこで結晶の
温度をその容積全体にわたって一樟にし、その後室温に
下げる。

成長した結晶を成長室から焼鈍室に移送する際に、高い
温度勾配による激しい熱条件（熱衝撃）の結果として亀
裂が生じたり、かつ（または）椙から破壊されてしまう
。熱衝撃は、大きな結晶を成長させる際Ｋ特に経験され
る重要な問題である。

キロボウロス技衝を使用して単結晶を生長させる装置が
当該技術分骨で既知であり、前記装置は溶融物を収容し
かつ外勤容積を与える加熱るつぼ、るつぼを密閉しかつ
１つの半円形部材からなる蓋、種保持具を設けかつ蓋を
通してるつぼに垂直方向にのびる引上げ棒、および引上
げ棒を回転方式および並進方式の両方で移動させる駆動
装置を具備しているｃケー・ティー・ウイルケのＶｙｙ
ａａｈ（！ｈｉ−ｖａｎｉｅ　Ｋｒ１ｓｔａｌｌｏｖ　
、し＝ングラード、ネドラ・バグリッシャーズ、ｌデフ
７年、第ＪＪＯ〜、７．７／頁、第３．１−Ｉ図参照）
。成長した単結晶を前記装置から次の通り散り出す。最
初に結晶を溶融物から引き離し、そしてその半円形部材
を分離することによって蓋をあけ、そして結晶付きの引
上げ棒を蓋の上に迅速に上げる。その後、引上げ棒をる
つぼから水平移動させ、次いで棒を下げ（例えば、焼鈍
炉内に）、そして結晶を種保持其から難脱させる。

しかし、蓋をあけるプロセス、結晶をるつぼから取り出
すプロセスおよび結晶を暁鈍炉ＫＭ送するプロセスにお
いて種および成長した結晶の両者は冷気の作用に敏感で
あり、それによって前記のように亀裂および結晶破壊の
原因である熱衝撃が生ずることを理解すべきである。

また、種から懸垂された結晶の水平移動時の始動および
停止は、慣性により結晶、特に大きな寸法および重量を
有するものを破壊させることがある。

更に、結晶を蓋を通して取り出すのは、成長した結晶の
長さに釣り合った高さを有する装置を必要とすることを
認識すべきである、このことは特に長い結晶を成長させ
る際に問題である。

前記装置ｉ＃を改良した装置は、水平方向に４つの部材
に分割されているフレーム装着の気密炉ハウジング、種
結晶保持具を設けかつ炉ハウジングの外部から頂部炉部
材に喬直方向にのびる結晶引上げ棒、結晶引上げ棒を回
転方式および並進方式の両一方で移動させる駆動装置、
および炉ベース部材内に配置されたヒーターを有するる
つぼを具備する単結晶を溶融物から成長させる装置であ
る（米国特許第３．Ｉｕ、１１１号明細書参照）。炉ペ
ース部材はフレーム上で固定され、一方頃部炉部材は結
晶引上げ棒および種結晶保持具と一緒に揺動できる。

家長した結晶を炉ハウジングから次のように取り出す。

結晶を溶融物から引き離した後、結晶を真空下で成長さ
せた場合には空気を入れることにより、または結晶を加
圧下で成長させた場合にはガスを室から出すことＫより
家長室内の圧力を大気圧と等しくする０次いで、頂部炉
部材を炉ベース部材から取り外し、そして頂部炉部材の
下端面１ご がるつぼの上端面の上になるように引上げ棒およびそれ
から懸垂された成長結晶を有する種結晶と一緒に上げる
。次いで、引上げ棒および結晶と一緒に頂部炉部材を水
平方向に移動させて炉ペース部材から離し、そして引上
げ棒を頂部炉部材から進めた後に結晶を引上げ棒から分
離する。

前記装置を一見したところでは、種結晶および成長結晶
の両方が頂部炉部材を満たす加熱空気（または結晶を成
長させるのに使用したガス）内にあるので少なくとも頂
部炉部材内にある限りは、種結晶および成長結晶は冷い
外気から離されているらしい。

しかし、従来装置における炉ハウジングの接合平面はる
つぼの上端面の下であり、それ故頂部炉部材を上げた場
合に冷い外気が前記部材内にるつぼ部分、ヒーターおよ
び他の構造部材（上げる前には頂部炉部材内であった接
合平面の上で炉ペース部材内のもの）の全容積に等しい
量で流れ込む。

また、頂部炉部材が種保持具および成長結晶を担持した
結晶引上げ棒と一緒に水平方向に移動した際に、移動に
よって生じた乱流のため、冷い外気が頂部炉部材内に流
れ込む。このように、前記装置は種結晶および成長結晶
と冷気との接触を完全には排除しない。即ち、熱衝撃が
あり得る。

そして最後に、前記の両方の装置においては、種結晶か
ら懸垂された単結晶は水平方向に移動した際に慣性によ
って破壊されることがあることに留意すべきである。

それ故、本発明の目的は、前記の不利益を解消すること
Ｋある。

本発明は、炉ハウジングの新規配置および成長結晶を取
り出すために前記ハウジングを開く際の新規技術により
成長結晶を熱衝撃および水平方向の慣性の力に付させず
、それによって結晶内の亀裂およびその破壊を拳消する
喚結晶を溶融物から構成される装置および単結晶を前記
装置から取り出す方法の提供を目的とする。

前記目的は、水平方向に２つの部材（頂部炉部材および
炉ベース部材）ＩＣ分割されているフレーム装着の炉ハ
ウジング、種結晶保持具を設けかつ炉ハウジングの外部
から頂部炉部材に垂直方向にのびる結晶引上げ棒、結晶
引上げ棒を回転方式および並進方式の両方で移動させる
駆動装置、および炉ベース部材内でかつ結晶引上げ棒の
下に配置されたヒーターを有するるつぼを具備し、炉ベ
ース部材をフレームに関して水平方向の平面内でかつ垂
直方向に移動させるように配置し、頭部炉部材をフレー
ムに固定して取り付け、そして炉ハクジングの接合平面
がるつぼの上端面と実奮上同−水平面上にあることを特
徴とする単結晶を溶融物から成長させる装曾の提供によ
って運５ｙされる。

この種の配置の場合には、種結晶および成長結晶の破壊
に応答する慣性の力を生ずる水平方向の移動なしに、副
長結晶は炉ハウジングから取り出される。炉ペース部材
を頂部炉部材から下方かつ横に移動させることによって
炉ハウジングを開き、一方頂部炉部材およびそれから懸
垂された結晶を有する結晶引上げ棒を固定したままにし
ておく。

次いで、結晶引上げ棒を下方に移動させることによって
結晶を頂部炉部材から取り出して、別の受容器、例えば
頂部炉部材の下に置かれる移動焼鈍炉に移送できる。

更に、結晶が熱風雰囲気内にある一方、他方で炉ハウジ
ングの接合平面がるつぼの上＊ｒｌｊｊ（またはヒータ
ーまたはるつぼに付設された他の部材の上端）と同−水
平面上にあるので、成長結晶は熱衝撃にさらされない。

前記の理由で、冷気は頂部炉部材には入ることができず
、従って炉ベース部材を下げ、かつ横方向に変位させた
際に成長結晶に影響を及ぼさない、新規装置内のすべて
の構造部材（るつぼ、ヒーター等）はその上端を超えて
のびないように炉ベース部材内に配置されるという事実
のため、炉ペース部材は垂面方向に最小の移動または行
害を有し、そして炉ベース部材を横方向に変位するのに
十分である最小のすきまが下げられた炉ペース部材と固
定頂部炉部材との間に必要ときれる。それによって、炉
ペース部材を変位する前に炉ハウジングを開くのに要す
る時間は最小限にされ、その破壊をもたらす望ましくな
い外部の作用が成長結晶Ｋかかる可能性を重賞上減少さ
せることができる。

炉ハウジングＫＩＩＩＩして配置され、炉ベース部材に
代わって頂部炉部材の下に移動でき、そして炉ハウジン
グの接合平面と実質上同一水準の高さを有する断熱釣り
合い（ｂａｌａｎｃｉｎｇ）容器を装［Ｋ設けることが
好ましい。

この具体例は、取り出し工程、即ち頂部炉部材からの結
晶の郵送工程が下方向であるので熱衝撃の可卵性を更Ｋ
Ｎ少させる。、また、炉ハウジングを開く工程も、冷い
外気の作用が断熱會１り合い容器のＭｌ！によって妨げ
られるので結晶への冷い外気の作用なしにｌｉＩ施され
る。このことは、容器が頂部炉部材との気密連結を有す
る場合に特に真書である。釣り合い容器は本発明によれ
ば炉ハウジングの接合平面の水準と実質上同一の高さに
あるので、この種のシールは容易に設けられる。

本発明の装量に前記釣り合い容器を設ける場合、引上げ
棒の下端にねじ山をつけ、そして種結晶保持具を引上げ
棒に連結するねじ山のついた穴および種結晶を受容する
＠接の穴を有する継手ナーＩトの形状に作ることが望ま
しく、後者の穴は陳結晶の回りでのナツトの回転を排除
する形状を崩し、そして釣り合い容器を頂部炉部材の下
に置き、かつぼ多結晶が容器の底に当接する場合には、
ナツトの上端ｆｉｌｌは容器と頂部炉部材との聞の接合
平面よりも高くはない。

ｖ下の説明かられかるように、この種の配電は成長結晶
を結晶引上げ棒から分離する好都合な方式を与える。こ
の方式は、頂部炉部材が釣り合い容器と気密に連結され
、かつ種結晶およびその保持具への通路（ａｃｃ＠ｓｓ
）　　がない場合に特に重要である。炉ハウジングの接
合平面に間して前記付量のナツトの場合には、釣り合い
容Ｒ％は分離された結晶と一緒に水平力向の平面内を自
由に移動して、その後に結晶をこの容器内で冷却するか
、φ鈍炉内に入れる。

前記の目的は、単結晶を前記釣り合い容器および継手ナ
ツトを具備する本発明の装量から取り出す方法を提供す
ることによって達成される。本性は次のことからなる。

結晶が所定の寸法に成長した螢、結晶を頂部炉部材まで
上げ、炉ペース部材を垂面方向に下げ、かつ頂部炉部材
から酔し、次いで釣り合い容器を炉ペース部材の代わり
に結晶の下に噴く。次工程は結晶を有する引上げ棒を下
げ、かつ棒をナツトを抜く方向に同時に回転させること
からなり、それによって結晶が釣り合一・容器の底と摩
擦係合する場合にナツトおよび結晶を結晶引上げ棒から
離脱させる。

単結晶の前記取り出し法は、結晶の亀裂および破壊の解
消以外に結晶を結晶引上げ棒から遺加の工具なしに非常
に短時間で分離できるようにし、本発明の装置をより容
易に操作できるようにし、かつより生産性とさせる。

本発明は、図面に図示された特定の例につ（・ての以下
の説明からより明らかとなるであろう。

第１［ｄを参照すると、単結晶を溶融物から構成される
装置は、炉ハウジングコを保持するフレームｌ、単結晶
６を成長させる種結晶３用の保持具参を設けた垂直結晶
引上げ棒３、並びに結晶引上げ棒Ｊを回転方式および並
進方式の両方に移動させる駆動装置りを具備して、いる
。炉）−クジングコは水平方向に一つの部材、即ち頂部
炉部材２−および炉ベース部材ＪｂＫ分割されている。

接合平面を第７図において層線で示し、矢印ムによって
表示する０本具体例の場合には、頂部炉部材コａはフレ
ーム／に固定して取り付けられ、そして炉ペース部材コ
′ｂはフレーム／に関して水平方向の平面内でかつ垂直
方向に移動されるように配曾されている。炉ベース部材
コｂの動作を行うために、フレームｌ上のレールを上に
装着されかつ炉ペース部材コｂを上下させる機構ｌＯを
保持するキャリジｊが設けられている７機構１０は機械
型または水力型であることができる。

装置は溶融物１２を収容するるつぼｌｌを具備している
。るつぼにはヒーター１３が設けられ、そしてるつぼは
耐火ライニングｌりを有する。るつぼ／／は炉ベース部
材コｂ内に設置され、そして炉ハウジングコの接合平面
ムはるつぼ／／またはヒーター１３．２イニング滓また
はるつば／／に付設される他の部材の上端１ｉｉ（最も
高い部材の高さに依存）と同一水平面上である。

棒３は炉ハウジングコの外部から頂部炉部材λＧにのび
、そしてるつぼ／／に関して棒３の移動を与える駆動装
置に連結されている。

装置は、耐熱ライナー１７に一有するシェル（８ｈ・１
１）　／！および耐熱材料製の取り外し自在のシリンダ
ーｉｔｒを包含する耐熱釣り合い（ｂａｌａｎｃｉｎｇ
）容器／Ｊも具備している。釣り合い容器１５は、レー
ルデに沿って進むキャリッジｌ？上で水平方向の平面内
に移動自在である。釣り合い容器１５は、容器を頂部炉
部材２−の下に最小のすきま、または第１図に示すよう
に実質上すきまのない状標で置くことができるような高
さを有する。

第３図を参照すると、棒３の下端にはねじ山Ｉが形成さ
れ、そして種結晶！用の保持具ｌは棒Ｊと連結させるね
じ山のついている穴コｌおよび種結晶ｊを受容する隣接
の穴ｎを有する継手ナツトである。穴−は、種結晶Ｓの
回りでのナラ）ｌの回転を排除する形状を有する。穴ｎ
のような形状は当業者には明らかである。第３図を再び
参照すると、例示の穴Ｕは逆角錐台の形状を有し、種結
晶！はその対応の部分で類似の形状を有する。釣り合い
容器１５が頂部炉部材コ一の下に置かれ、かつ結晶６が
容器１５の底部、または更に正確にはシリンダー／ｇの
底に当接する場合には（第１図および第参図）、ナラ）
４１１の上端面は容器１５と頂部炉部材コーとの間の接
合平面の上ではない。

前記装置を次の通り操作する。炉ペース部材コｂ（第１
図）を下げ、かつ横方向にさせた場合に、出発材料、例
えば粉末状塩化カリウムをるつぼｌｌに仕込む。出発材
料の組成と（ロ）−〇組成の一緒晶種！を有し、かつ例
えば正方形断面を有するナットダを、種結晶ｊの上端面
が棒３の下端面に当接するまで棒Ｊ上に螺合させる（第
３図）。次いで、炉ペース部材コｂをキャリジを上で移
動させて頂部炉部材コーと軸方向を整列させ、その後機
構１０は炉ペース部材２’ｂを頂部炉部材コａと接触さ
せる（第１図）。所望ならば（制御された雰囲気が炉ハ
ウジング内に必要である）、炉ハウジングコを常法によ
って気密とさせる。出発材料をるつぼ／／内でヒーター
／ＪＫよって溶融する。駆動装置りは、種結晶Ｓが溶噂
物１２に触れるまで欅Ｊを回転させ、かつ同時に前記棒
３を種結晶！と一緒に下方向に移動させる。種結晶ｊが
部分的に溶融された後、駆動装置７は保持具ダおよび種
結晶ｊを有する棒Ｊを徐々に上げ、そして結晶６は成長
する。結晶６か所宇の長さに成長じた後、結晶６の下端
が炉ハウジングー〇接合平面ムの上になるまでｗ！３を
迅速に上げることによって結晶６を溶融物から引き離す
。結晶を制御された雰囲気中で成長させた場合には、炉
ハウジング内の圧力を大気圧と等しくさせる。

その後、機構１０は炉ペース部材２ｂを下げ、そしてキ
ャリジｔはそれを運び去る。結晶６を頂部炉部材コーか
ら取り出すことができる。

本発明の装置が釣り合い容器／３および継手ナラトゲを
具備する本発明の具体例の場合（（は、成長結晶６を頂
部炉部材コａから以下の方式で摩り出す、取り外された
炉ベース部材２ｂの代わりに、それぞれの炉、例えば焼
鈍炉内で所望温度に予熱されたシリンダーｉｓを有する
釣り合い容器１５を第一図の矢印のように移動させる。

次いで、頂部炉部材コ１と容器ｌＳどの隣接端面間のす
きまを一片の気密防炎ファブリックによってブリッジし
て、外気がハウジング１の作動容積に入るのを防止する
。

駆動装置りは棒Ｊをナツト参を抜く方向に回転させ、そ
して結晶番がシリンダー／Ｉの底に当接するまで下方向
に移動させる（第４図）、、ナラ）４（の穴ｎは種結晶
！の回りでのナラ）ｌの回転を防止する形状を有する（
第３図）ので、結晶と釣り合い容器１５のシリンダー／
＃の底との摩擦係合（第９図）はナツト参を棒Ｊから抜
き、それによって結晶１はナツト参と一緒に第３図に示
されるように榛３かも分離され、または自由にされる。

次いで、棒３を上げて頂部炉部材２ｇＫ戻しく第５図）
、釣り合い容器ｌｊを頂部炉部材コ１の下から移動させ
、次いで結晶６を有するシリンダー／ｌを容器１５から
取り外して焼鈍炉（図示せず）に仕込み、結晶全体にわ
たっての温度を一様にさせ、そして徐冷して室温にする
。所望ならば、シリンダー／ｌに取り外し自在の蓋（図
示せず）を設けて、容器ｌｊを頂部炉部材−一から運び
去る前のシリンダーを密閉できる。この種の蓋を、頂部
炉部材２ａと釣り合い容器１５との間のすきまを通して
シリンダーｌＩＫ取り付けることができる。

結晶を取り出した後、るつぼに別の部分の出発材料を仕
込み、別の種結晶Ｓを棒３上に固定し、炉ペース部材コ
ｂを頂部炉部材コａと整列させ、そして頂部炉部材コー
と接触させ、次いで結晶をｂｖ長させる次のサイクルを
前記のように実施する、棒３およびナツト参が右ねじ山
を有する場合には棒３を結晶の成長時には第１図に示す
方向に回転させるべきであり、そして取り出し時には第
９図に示すように逆方向に回転させるべきであるが、左
ねじ山である場合には方向はそれぞれ逆であるべきであ
ることにも留意すべきである。結晶の成長段階における
棒３の回転が必要でない場合には、取り出し段階におい
て前記のように回転させろ。

本発明の装置においては成長結晶６は炉ノ・ウジングコ
からの結晶のすべての取り出し段Ｖ＠において熱衝撃に
付されないことを認識すべきである。

接合平面ム（第７図）はるつぼ／／の端面と同一水平面
上にあり、かつ炉ペース部材２ｂｌＣ付設された構造部
品がないので（これらは頂部炉部材コａ内には存在しな
い）、炉ベース部材２ｂを下げた際に冷い外気は頂部炉
部材コａには入らないであろう。

頂部炉部材コ１の下端が結晶の下であるので、炉ベース
部材を横方向に運び去った後に冷い外気は結晶６には達
しないであろう。

釣り合い容器／ｊが頂部炉部材２ｍに取り付けられるや
いなや（第一図）、密閉空間が形膚され、結晶６は冷い
外気の咋用から保穫される。それ故、結晶６を釣り合い
容器！！内に移送する場合には、熱衝撃は生じない。

そして最後に、釣り合い容器１５から焼鈍炉に移送した
際に結晶６はシリンダー／ｌの壁および蓋で保護され、
熱衝撃を同様に排除する。

このように、熱衝撃は炉ハウジングから焼鈍炉までの結
晶移送作業のすべてにおいて排除される。

また、結晶を垂直方向のみで取り出すので、水平方向の
慣性の力は排除される。

前記説明から明らかなように、炉ハウジングコは迅速に
空にされ、かつ次の成長サイクル用の準備ができており
、一方結晶の取り出しを好都合な熱条件において短時間
で実施できるので、本発明の装置は生産速度を減少させ
ずに琳結晶の収量をかなり増大させる、 本発明を実施する７つの特定の例だけを記載したが、前
記装置における各種の修正は可能でありそして本発明は
前記例には限定されないことが当業者には自明である。

例えば、本発明の装ｆｉｌｉｌにおける結晶の取り扱い
を円形通路内で実施でき、またはフレームは揺動自在の
レールを有していて釣り合い容器および炉ペース部材を
フレームを闘えて駆動することができ、それは装置をよ
りコンパクトにさせる。この種の修正は本発明の節囲内
であると思われる。

【図面の簡単な説明】

第１図は単結晶を溶融物から構成される装置の成長段階
を示す図式的断面図、第一図は第１図に示された図と類
似であるが釣り合い容器が炉ベース部材の代わりに頂部
炉部材の下にあり、かつ結晶を頂部炉部材まで上げた際
の取り出し段階を示す断面図（釣り合い容器の最初のａ
ｔを点線で示す）、第３図は結晶−欅接合の拡大図、第
ダ図は結晶を釣り合い容器内に下げた状態における第２
図の装置の拡大図、第３図は第ダ図に示された図と類似
であるが結晶を引上げ棒から離した状態を示す拡大図で
ある。 ／・・・フレーム、λ・・・炉ハウジング、コ一・・・
頂部炉部材、コｂ・・・炉ベース部材、３・・・結晶引
上げ棒、ゼ・・・種結晶保持具（継手ナツト）、Ｓ・・
・種結晶、６・・・単結晶、７・・・結晶引上げ棒用駆
動装置、／／・・・るつぼ、／３・・・ヒーター、１５
・・・釣り合い容器、コ／・・・購手ナツト内のねじ山
のついている穴、ｎ・・・種結晶および継手ナツトを保
持する穴。 出願人代理人　　　猪　　役　　　　清ｎＥ、ｆ ｏｌｄ 第１頁の続き ０発　明　者　ウラジミール・ガブリロウイツ　　Ｃ発
チ・マキシモフ ソビエト連邦ハルコフ拳つ−リ ツツア・デレフヤンコ６カーベ ４８ ０発　明　者　オレグ・セルゲーエウイツチ・ムユレン
ドルフ ソビエト連邦ハルコフ・ウーリ ツツア・ゲロエフ・トルク４フベ ー・カーベー２４２ ０発　明　者　アレクセイ・ビクトロウイツチ・ラドケ
ウイツチ ソビエト連邦ハルコフ・プロス ペクト・プラウディ５カーベー ２８ ０発　明　者　レオニド・ダニロウイッチ・チェルニト
スキー ソビエト連邦ハルコフ・ウーリ ツツア・ロベルタ・エイデマナ １５カーベー５６ 明　者　レフ・ゲオルギエウイッチ・エイデルマン ソビエト連邦ハルコフ・プロス ペクト・レーニナ３１ベー・カー ベー７０

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、水平方向に１つの部材（頂部炉部材（コ１）および
   炉ペース部材（コｂ）　）九分割されているフレーム装
   着の炉ハウジング（コ）、種結晶保持具（ゲ）を設け、
   かつ炉ハウジング（コ）の外部から頂部炉部材（コα）
   にのびる垂直結晶引上げ棒０）、結晶引上げ棒（３）を
   回転方式および並進方式の両方に移動させる駆動装置（
   り）、炉ペース部材（コｂ）内で結晶引上げ棒（３）の
   下に配置されたヒーター（／３）を有するるつぼ（／／
   ）を具備し、炉ベース部材（コｂ）がフレーム（１）Ｋ
   関して水平方向の平面内でかつ垂直方向に移動するよう
   に配置され、頂部炉部材（ハ）がフレーム（／〕に固定
   して取り付けられ、そして炉ハウジング（２）の接合平
   面がるつぼ（１１）の上端と実質上同一水平面上である
   ことを特徴とする単結晶を溶融物から成長させる装置ｔ
   、。 ２・炉ハウジング（コ）＆Ｃｌｌ１４１＝して配置され
   、炉ペース部材（コｂ）に代わって頂部炉部材（コ１）
   の下に移動でき、かつ炉ハウジング（２）の接合平面と
   実質上同一水準の高さを有する耐熱釣り合い容器（１５
   ）を更に設けたことを特徴とする特許請求の＃門弟１項
   に記載の装ｆ１ ３、結晶引上げ棒（ｊ）の下端にねじ山をつけ、セして
   種結晶（りの保持具（４１）がナツトを棒（，７）Ｋ連
   結させるねじ山のついている穴（コ／）および種結晶（
   ２）を９容する隣接の穴（：１２）を有する継手ナツト
   の形状に作られ、穴（Ｕ）は種結晶（りの回りでのナラ
   ）　（４’）の回転を防止する形状を有し、そして釣り
   合い容器（１５）が頂部炉部材（コ蓼）の下に置かれ、
   かつ単結晶（６）容器（１５）の底に涌接する場合には
   ナツト（ダ）の上端面は容器（１５）と頂部炉部材（コ
   ａ）との間の接合平面よりも高くはないことを特徴とす
   る特許請求の範囲第コ項に記載の装置。 ｑ、結晶（６）が所定の寸法に成長した後、結晶（６）
   を頂部炉部材（コａ）まで上げ、炉ベース部材（コｂ）
   を垂直方向に下げ、かつ頂部炉部材（コｇ）から離し、
   次いで釣り合い容器（１５）を類ペース部材（コｂ）の
   代わりに結晶（４）の下に置き、その後結晶（４）を有
   する棒（３）をナツト（りを抜く方向に同時に回転させ
   つつ下方向に移動させ、それによって結晶（６）が容器
   （１５）の底と摩擦係合する際にナツト（ダ）および結
   晶（６）を棒（３）から離脱させることを特徴とする特
   許請求のか門弟３項に記載の装置から単結晶を取り出す
   方法。