JPS5816590A - Screen plate - Google Patents

Screen plate

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JPS5816590A
JPS5816590A JP11366181A JP11366181A JPS5816590A JP S5816590 A JPS5816590 A JP S5816590A JP 11366181 A JP11366181 A JP 11366181A JP 11366181 A JP11366181 A JP 11366181A JP S5816590 A JPS5816590 A JP S5816590A
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screen plate
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喬 黒木
毅 藤田
堯三 戸田
昌作 石原
矩之 田口
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はスクリーン印刷に用いるスクリーン版に関する
ものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a screen plate used for screen printing.

最近、超高密度に配線したセラミック基板の実用化が急
がれている。この基板には、導体層及び絶縁層1がそれ
ぞれ20〜30層ある。この積層法としては、厚さj、
6mrnの1枚のグリーンシート上にスクリーン印刷で
導体と絶縁層を交互に印刷して積層する印刷積層法と、
厚さ0.2 amの非常に薄いグリーンシート20〜3
0枚に各層の導体パターンを印刷し次後、位置合せして
積層するシート積層法とがある。印刷積層法の場合、導
体層毎に絶縁層の印刷を2〜3回必要とするため、1枚
の基板を製作するためには、100〜150回の印刷が
必要である。また層間の導通に必要なスルーホール(穴
径0.15 msnφ)の数は、1基板当り60万個と
非常に多く、このスルーホールを印刷で形成することは
困難である。このような理由から後者のシート積層法の
検討がさかんに進められている。
Recently, there has been an urgent need to put ceramic substrates with ultra-high density wiring into practical use. This substrate has 20 to 30 conductive layers and 20 to 30 insulating layers 1, respectively. In this lamination method, the thickness j,
A printing lamination method in which conductor and insulating layers are alternately printed and laminated by screen printing on one 6 mrn green sheet,
Very thin green sheet 20-3 with a thickness of 0.2 am
There is a sheet lamination method in which a conductor pattern for each layer is printed on one sheet, and then the sheets are aligned and laminated. In the case of the printed lamination method, since the insulating layer needs to be printed two to three times for each conductor layer, 100 to 150 printings are required to manufacture one board. Further, the number of through holes (hole diameter 0.15 msnφ) required for interlayer conduction is as large as 600,000 per substrate, and it is difficult to form these through holes by printing. For these reasons, the latter sheet lamination method is being actively studied.

シート積層法では、厚さ0.2 mmの薄いグリーンシ
ート(生のセラミックシート)を使用するが、このシー
トは粘土を板にしたようなものであるため、腰がなく折
れ易い性質をもっている。このように取扱いにくいシー
トを変形させない為と、積層時の位置合せの精度を良く
する為に、#!1図に−示すような方法が検討されてい
る。この方法は、グリーンシート1を額縁状の枠2に接
着剤で貼シつけ、以後のスルーホール形成、印刷、積層
は、枠2の両端部に設けた位置決め用ガイド穴3を使用
して行う方法である。この方法で使用される枠は、高寸
法精度が要*される危め非常に高価である。その九め枠
を再生して使用する必要から、大がかシな接着剤除去工
程が必要である。また、除去工程での枠のゆがみ1位置
決めガイド穴に接着剤が残るなど、再生して使用できる
枠の歩留夛が悪いなどの欠点が多い、この問題を解決す
る九めに第2図の方法が検討されている。
The sheet lamination method uses a thin green sheet (raw ceramic sheet) with a thickness of 0.2 mm, but since this sheet is like a clay plate, it has no stiffness and is easily broken. In order to avoid deforming the sheets, which are difficult to handle, and to improve the accuracy of alignment during stacking, #! The method shown in Figure 1 is being considered. In this method, a green sheet 1 is pasted on a picture frame-like frame 2 with adhesive, and subsequent through-hole formation, printing, and lamination are performed using positioning guide holes 3 provided at both ends of the frame 2. It's a method. The frames used in this method require high dimensional accuracy and are very expensive. Since it is necessary to recycle and use the nine-frame frame, an extensive adhesive removal process is required. In addition, there are many drawbacks such as distortion of the frame during the removal process, adhesive remaining in the positioning guide hole, and poor yield of frames that can be recycled. Methods are being considered.

この方法では、グリーンシートを枠に固定する場合、接
着剤を使用せず、額縁状の2枚の枠2′、2”の間にグ
リーンシート1を挾み、ねじ等で固定する。この方法で
はスルー岬−ル4に導体ペーストを充填し易込スルーホ
ール径の大きい側(スルーホールは表裏で穴径が異る。
In this method, when fixing the green sheet to the frame, the green sheet 1 is sandwiched between two frame-like frames 2' and 2'' and fixed with screws, etc., without using adhesive. Now, fill the through cape 4 with conductive paste, and fill it with the side with the larger diameter of the easily inserted through hole (the diameter of the through hole is different on the front and back sides).

)から印刷できる。ま次、細線印刷に適した面(グリー
ンシートは表裏で表面アラブが異る)に印刷できる。更
にスルーホール穴明けで、穴明は不良が起シにくい面か
ら穴明けできるなどの利点が多匹反面、現在市販されて
いるスクリーン版では印刷できない大きな問題がある。
) can be printed. Second, it can be printed on a surface suitable for fine line printing (green sheets have different surface roughness on the front and back sides). Furthermore, although through-hole drilling has many advantages, such as being able to drill from a surface where defects are unlikely to occur, there is a major problem in that it cannot be printed with currently commercially available screen plates.

第5図は、従来使用している市販のスクリーン版を用い
て印刷する場合の断面模式図である。第5図は、真空l
j引板8を設けた印刷ステージ7に、第2WJで#l明
し枠2′、2”にグリーンシート1を固定してセットし
た後、排気孔9よシ排気して真空吸引し、スクリーン枠
5にメッシユ(スクリーン)6を張設し印刷パターンを
形成したスクリーン版を固定した状態である。この状態
で印刷すると、第4図に示すように、グリーンシー)1
を固定した枠2’、2”にスクリーンメツジュロが接触
してグリーンシートの印刷面に印刷できない。この場合
、s!lにスキージ10でメッシユ6を押下げると。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view when printing using a conventionally used commercially available screen plate. Figure 5 shows the vacuum l
After fixing and setting the green sheet 1 to the #l marking frames 2' and 2'' using the second WJ on the print stage 7 equipped with the J pulling plate 8, the green sheet 1 is evacuated through the exhaust hole 9 and vacuum suction is applied, and the screen is This is a state in which a mesh (screen) 6 is stretched over a frame 5 and a screen plate on which a printing pattern is formed is fixed.When printing in this state, as shown in Fig. 4, a green sea) 1
The screen mesh contacts the fixed frame 2', 2'' and cannot print on the print surface of the green sheet. In this case, if you press down the mesh 6 with the squeegee 10 at s!l.

メッシユ6がAの部分で破れたり、印刷パターンが蜜形
し、パターンの位置ずれが大きく印刷不良となる。
The mesh 6 may be torn at the part A, the printed pattern may be honey-shaped, and the positional deviation of the pattern may be large, resulting in poor printing.

従来のスクリーン版を使用する為には、額縁状の枠2°
、2”の厚さを薄くするか、グリーンシートを大きくし
なければならない、しかしながら、枠2′、2″を薄く
すると、ねじ止め、グリーンシートの厚さのばらつき、
取扱等でねじれ、変形が起)、高精度位置合せ(±20
μm)ができないばかりでなく、繰返しの使用に耐えな
い。また、グリーンシート1は9!IKが弱く、大面積
にすると自重で変形し、中だるみが起)、高精度に印刷
したパターンdE f 形し、積層時に層間で位置ずれ
が起る等実用の面で多くの問題がある。
To use the conventional screen plate, frame-like frame 2°
, 2" must be made thinner, or the green sheet must be made larger. However, if the frame 2', 2" is made thinner, screwing, variations in the thickness of the green sheet,
Twisting or deformation may occur due to handling, etc.), high precision alignment (±20
μm) and cannot withstand repeated use. Also, green sheet 1 is 9! There are many practical problems, such as weak IK, deformation due to its own weight and sag when made over a large area, and misalignment between layers during lamination due to highly precisely printed pattern dE f shape.

一方、スクリーン版を小さくすることも考えられるが、
実際には、スクリーン版の大きさに対して印刷パターン
の占める割合が大きくなる為、印刷しても版離れ性が悪
く、配線パターンのショート、位置ずれが多く発生する
。を九印刷パターン全面をスキージできない場合もある
など問題点が多い。
On the other hand, it is possible to make the screen version smaller,
In reality, since the print pattern occupies a large proportion of the size of the screen plate, the plate separation is poor even when printed, and short circuits and positional deviations of wiring patterns occur frequently. There are many problems, such as the fact that it may not be possible to squeegee the entire surface of the printed pattern.

本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくし、段
差のある被印刷面に高精度に印刷できるスクリーン版を
提供するにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to eliminate the above-mentioned drawbacks of the prior art and to provide a screen plate that can print with high precision on a printing surface with steps.

本藷明によるスクリーン版は、スクリーン版側に突出す
る枠体にて固定さ五た被印刷物を印刷する該被印刷物の
広さよ〕大きな広さのスクリーン版において、印刷パタ
ーンを有するスクリーン部を前記被印刷物の広さよシ僅
かに小さい固定棒に張設して被印刷物側に突出させ、ス
クリーン枠と前記固定棒の間に印刷パターンのないスク
リーンを張設しであること・を特徴とするスクリーン版
である。
The screen plate according to Akira Hongo is fixed by a frame that protrudes toward the screen plate side.The screen plate has a size larger than the width of the printing substrate on which the printing material is printed, and the screen portion having the printing pattern is A screen characterized in that it is stretched over a fixed rod that is slightly smaller than the width of the printing medium and projects toward the printing medium, and a screen without a printed pattern is stretched between the screen frame and the fixed rod. It is a version.

本発明によるスクリーン版の好ましい態様においては、
前記印刷パターンを有するスクリーンの被印刷物に接す
る側の周縁に基準ギャップ厚のスペーサを設けである。
In a preferred embodiment of the screen plate according to the invention,
A spacer having a standard gap thickness is provided on the periphery of the screen having the printing pattern on the side that is in contact with the printed material.

本発明によるスクリーン版の他の好ましい態様において
は、前記固定棒の厚さが2〜20mmである。
In another preferred embodiment of the screen plate according to the invention, the thickness of the fixing rod is 2 to 20 mm.

以下1本発明によるスクリーン版を実施例の図面に基づ
いて詳述する。@5図は本発明によるスクリーン版の実
施例の断面模式図である。
Hereinafter, a screen plate according to the present invention will be described in detail based on drawings of embodiments. Figure @5 is a schematic cross-sectional view of an embodiment of the screen plate according to the present invention.

このスクリーン版の製作方法は、先ず、大きさ100’
X100i+mの印刷パターンを形成した印刷パターン
付スクリーン(メック:L)(乳剤とメタルよシなる。
To make this screen version, first, the size is 100'.
A screen with a printing pattern (MEC: L) on which a printing pattern of X100i+m was formed (composed of emulsion and metal).

)6を9〜15 Kgのテンシ薗ンで伸張した後、印刷
パターンがその中央になるようにして、外径150)1
50mm、内径130X130mm、厚さ2〜20 m
mのステンレス製固定枠11に接着剤→で固定する0次
にテトロ ン又ハステンレス製のスクリーン(メッシユ)(165
〜250メツシユ)6Iを12〜15Kgのテンシ曹ン
で伸長し、先にスクリーン6を接着した固定枠11の反
対側に接着する。この時同時に、固定枠11に接着した
スクリーン6′の反対側に補強枠12を接着剤    
         で接着固定する。補強枠12の接着
固定は、接着剤が溶剤に弱いので溶剤の滲込みを防止す
る為と、接着した面はビール強度が低い為、端面からの
剥れを防止する為である。このことは、固定枠12に接
着した印刷パターン付スクリーン6にも云えるが、後述
するスベーt13がこの役目も東す。
) 6 with a tensile strength of 9 to 15 kg, the printed pattern is in the center, and the outer diameter is 150) 1.
50mm, inner diameter 130x130mm, thickness 2~20m
A stainless steel screen (mesh) (165
~250 mesh) 6I is stretched with a tensile strength of 12 to 15 kg and adhered to the opposite side of the fixed frame 11 to which the screen 6 was previously adhered. At this time, at the same time, glue the reinforcing frame 12 on the opposite side of the screen 6' glued to the fixed frame 11.
Secure with adhesive. The reinforcing frame 12 is fixed with adhesive to prevent the solvent from seeping in since the adhesive is sensitive to solvents, and to prevent peeling from the end surface since the bonded surface has low beer strength. This also applies to the printed patterned screen 6 adhered to the fixed frame 12, but the subbed t13, which will be described later, also plays this role.

接着剤が硬化したら次に、固定枠11内のスクリーン6
′と、固定枠11外のスクリーン6を除去した後、スク
リーン6′のテンシロンを12〜14Kgに調整したの
ち、400X400mm大きさのスクリーン枠5に接着
剤によル接着又は固定具により固定する。また、印刷パ
ターン付スクリーン6の被印刷物に接する側の周縁、即
ち固定枠11に接着した部分の反対側に基準ギャップ厚
のスペーサ13を接着する。スクリ・−ン印刷ではスク
リーンと印刷面とのギャップが非常に重要な条件である
。しかるに、このスクリーン版ではスクリーン面が枠2
′の内側に入りこむ九めギャップの調整ができない。ス
ペーサ13iこの対策で、その厚さは基準ギャップと同
じくしである。
Once the adhesive has hardened, the screen 6 inside the fixed frame 11 is
' and the screen 6 outside the fixed frame 11 are removed, the tensile strength of the screen 6' is adjusted to 12 to 14 kg, and then fixed to the screen frame 5 of 400 x 400 mm with adhesive or with a fixture. Further, a spacer 13 having a standard gap thickness is bonded to the peripheral edge of the screen 6 with a printing pattern that is in contact with the printed material, that is, to the opposite side of the portion bonded to the fixed frame 11. In screen printing, the gap between the screen and the printing surface is a very important condition. However, in this screen version, the screen surface is frame 2.
It is not possible to adjust the ninth gap that goes inside the '. With this measure, the spacer 13i has the same thickness as the reference gap.

第6図は、実際の印刷に使用している状m−t”のスク
リーン版の端部115図におけるB部)を拡大した断面
模式図である0図に示すように、グリーンシート固定枠
2′とグリーンシート1とに段差がありても良好な印刷
ができた。実際に印刷した場合スクリーン固定枠11の
厚さには限度がある。
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of an enlarged end portion (B section in FIG. 115) of a screen plate having a shape of "m-t" used for actual printing.As shown in FIG. 0, the green sheet fixing frame 2 Even though there was a difference in level between ' and the green sheet 1, good printing was possible.In actual printing, there is a limit to the thickness of the screen fixing frame 11.

1!lIm よ〕薄くなると固定枠なしと差はなく、2
011Imよ)厚くなると急激に印刷パターン形状が悪
くなる。これは、スキージ移動と版離れ時に印刷パター
ン部が動く念めである。
1! lIm] When it gets thinner, there is no difference with no fixed frame, 2
011Im) When the thickness increases, the shape of the printed pattern deteriorates rapidly. This is to ensure that the printing pattern section moves when the squeegee moves and the plate separates.

本発明によるスクリーン版は以上の如く構成され且つ使
用されるので、被印刷物の広さよ)大きな広さのスクリ
ーン版で、スクリーン版側に突出する枠体で固定された
被印刷物を印刷する場合でも、本発明のスクリーン版を
使用することにより、高精度で印刷することができ、こ
のようにして印刷されたグリーンシートを積層すること
によシセラミック多層配線基板の製作を可能とする。
Since the screen plate according to the present invention is constructed and used as described above, even when printing a large screen plate (as compared to the width of the printing substrate) and a printing substrate fixed with a frame projecting from the screen plate side. By using the screen plate of the present invention, it is possible to print with high precision, and by laminating green sheets printed in this way, it is possible to manufacture a ceramic multilayer wiring board.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来の枠で固定されたグリーンシートの斜視図
、第2図は本発明のスクリーン版を用いて印刷する対象
となるグリーンシート及び固定枠の一例の断面図、第3
図及び第4図は第2図のグリーンシートに従来のスクリ
ーン版を用いて印刷する状態を示す断面模式図、第5図
は本発明のスクリーン版の実施例の断面図、第6図は8
5図のスクリーン版を用いて印刷する状態を示す部分断
面模式1図である。 1・・・グリーンシート、2,2’、2”・・・グリー
ンシート固定枠、5・・・スクリーン枠、6・・・印J
iilJパターン付スクリーン(メッシユ)、、116
°・・・印刷パターンのないスクリーン(メッシユ)、
7・・・印刷ステージ、8・・・真空吸引板、11・・
・スクリーン固定枠、12・・・補強枠、15・・・ス
ペーサ。 代理人弁理士 薄 1)利辛− グ l 図 1 ヤ 21!1 )X3 [!1 グ4 図 z、syA tcA /1
Fig. 1 is a perspective view of a green sheet fixed with a conventional frame, Fig. 2 is a sectional view of an example of a green sheet and fixed frame to be printed using the screen plate of the present invention, and Fig. 3 is a perspective view of a green sheet fixed with a conventional frame.
4 and 4 are schematic cross-sectional views showing the state of printing on the green sheet shown in FIG. 2 using a conventional screen plate, FIG. 5 is a cross-sectional view of an embodiment of the screen plate of the present invention, and FIG.
5 is a schematic partial cross-sectional view showing a state in which printing is performed using the screen plate shown in FIG. 5. FIG. 1... Green sheet, 2, 2', 2"... Green sheet fixed frame, 5... Screen frame, 6... Mark J
iilJ patterned screen (mesh), 116
°...Screen (mesh) without a printing pattern,
7... Printing stage, 8... Vacuum suction plate, 11...
- Screen fixing frame, 12... Reinforcement frame, 15... Spacer. Agent Patent Attorney Bo 1) Lixin Gu l Figure 1 Ya 21!1 )X3 [! 1 g4 Figure z, syA tcA /1

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)スクリーン版側に突出する枠体にて固定され九被
印刷物を印刷する該被印刷物の広さよシ大きな広さのス
クリーン版において、印刷パターンを有するスクリーン
部を前記被印材物℃広さより僅かに小さb固定枠」;張
設して被印刷物側に突出させ、スクリーン枠と前記固定
棒の間に印刷パターンのないスクリーンを張設しである
ことを特徴とするスクリーン版。
(1) In a screen plate that is fixed by a frame that protrudes toward the screen plate side and is larger than the width of the printing material on which the printing material is printed, the screen portion having the printing pattern is larger than the width of the printing material. A screen plate characterized in that a slightly small fixed frame is stretched and protrudes toward the printing substrate, and a screen without a printing pattern is stretched between the screen frame and the fixed rod.
(2)  前記の印刷パターンを有するスクリーンの被
印刷物に接する備の周縁に基準ギャップ厚のスペーサを
設けである特許請求の範囲第1項のスクリーン版。
(2) The screen plate according to claim 1, wherein a spacer having a standard gap thickness is provided on the periphery of the screen having the printing pattern that is in contact with the printing material.
(3)  前記固定棒の厚さが2〜20mmである特許
請求の範囲第1項滲は第2項のスクリーン版。
(3) The screen plate according to claim 2, wherein the fixing rod has a thickness of 2 to 20 mm.
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