JPS58162844A - パタ−ン検査装置 - Google Patents
パタ−ン検査装置Info
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- JPS58162844A JPS58162844A JP57046050A JP4605082A JPS58162844A JP S58162844 A JPS58162844 A JP S58162844A JP 57046050 A JP57046050 A JP 57046050A JP 4605082 A JP4605082 A JP 4605082A JP S58162844 A JPS58162844 A JP S58162844A
- Authority
- JP
- Japan
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- inspected
- light
- lens barrel
- optical
- positional deviation
- Prior art date
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、・臂ターン欠陥の検出等に供されるツタター
／検査装置の改ｊＬＫ関する。
／検査装置の改ｊＬＫ関する。
ＩＣの製造において、マスターマスク或いはレチクルＫ
／４ターンの断線等の欠陥が存在すると、所望する半
導体素子を得ることができず、歩留シ低下の原因と凍る
。このため、従来マスターマスクやレチクル等のノリー
ン欠陥を自動的に検査するマスク欠陥自動検査装置が用
いられている。この装置では、ス＝Ｎ ｙ Ｆ状の光を
マスク面に照射すると共に１マスクを載置したテーブル
ｔ″Ｘ−Ｙ方向に移動させてマスク全函の欠陥検査を行
う。検出可能欠陥の大きさ【小さくすると、検出光学系
の倍率を大きくする必要があ〕、その結果光学系の焦点
深度が浅くなる。光学系の焦点深度が浅くなると、マス
クの反シ等によシ被検査面が焦点深度内から外れ、欠陥
の検出ができなくなる場合がある。そこで、上記のよう
表装置には、被検査伽を自動的に検出光学系の焦点深度
内に入れる自動焦点合わせ機構が付加されている。
／４ターンの断線等の欠陥が存在すると、所望する半
導体素子を得ることができず、歩留シ低下の原因と凍る
。このため、従来マスターマスクやレチクル等のノリー
ン欠陥を自動的に検査するマスク欠陥自動検査装置が用
いられている。この装置では、ス＝Ｎ ｙ Ｆ状の光を
マスク面に照射すると共に１マスクを載置したテーブル
ｔ″Ｘ−Ｙ方向に移動させてマスク全函の欠陥検査を行
う。検出可能欠陥の大きさ【小さくすると、検出光学系
の倍率を大きくする必要があ〕、その結果光学系の焦点
深度が浅くなる。光学系の焦点深度が浅くなると、マス
クの反シ等によシ被検査面が焦点深度内から外れ、欠陥
の検出ができなくなる場合がある。そこで、上記のよう
表装置には、被検査伽を自動的に検出光学系の焦点深度
内に入れる自動焦点合わせ機構が付加されている。
ｗ１１図は自動焦点合わせ機構を備えた従来のΔターン
欠陥検査装ａｔ−示す概略構成図である。
欠陥検査装ａｔ−示す概略構成図である。
図中１はレチクルで、このしｔクル１は固定部２上ｔ−
ｘ方向（紙面左右方向）およびＹ方向（紙面左右方向）
Ｋ移動可能なｘ−ｙテーブルＳ上に＠置されている。レ
チクル１の上方には、対物レンズ４および光検出素子５
勢を備えた光学鏡筒６が配置される。この光学鏡筒６は
、弾性部材１を介して固定端に固定されている。さらに
、光学鏡筒Ｃは、モータ８．ウオーム９．ウオームホイ
ール１０およびねじ１１等からなる駆動機構によシ上下
動されるものとなっている。また、光学鏡筒６の下部に
は空気の導入孔１２および導出孔（ノズル）１３等から
なる空気マイク四メータが設けられている。この空気マ
イクロメータは、ノズル１３からレチクル１上に空気を
送夛込みその背圧から距離を換算するものである。
ｘ方向（紙面左右方向）およびＹ方向（紙面左右方向）
Ｋ移動可能なｘ−ｙテーブルＳ上に＠置されている。レ
チクル１の上方には、対物レンズ４および光検出素子５
勢を備えた光学鏡筒６が配置される。この光学鏡筒６は
、弾性部材１を介して固定端に固定されている。さらに
、光学鏡筒Ｃは、モータ８．ウオーム９．ウオームホイ
ール１０およびねじ１１等からなる駆動機構によシ上下
動されるものとなっている。また、光学鏡筒６の下部に
は空気の導入孔１２および導出孔（ノズル）１３等から
なる空気マイク四メータが設けられている。この空気マ
イクロメータは、ノズル１３からレチクル１上に空気を
送夛込みその背圧から距離を換算するものである。
また、図中１４は光源であシ、この光源１４からの光は
来光レンズ１５１／Ｃよシ集束されレチクル１の上面（
被検査面）Ｋ照射される。そして、レチクル１を透過し
た光を前記対物レンズ４によ〕光検出素子５の受光間に
結儂することによりて、レチクル１のノでターンが検査
される。
来光レンズ１５１／Ｃよシ集束されレチクル１の上面（
被検査面）Ｋ照射される。そして、レチクル１を透過し
た光を前記対物レンズ４によ〕光検出素子５の受光間に
結儂することによりて、レチクル１のノでターンが検査
される。
しかして、レチクル１０反シ等の低周波の上γ動がおる
場合、この変位を前記空気マイク四メータにて検出し、
前記駆動機構により光学鏡筒Ｃを上下動することによっ
て、レチクル１の反夛等に追従して自動焦点合わせが行
われる。したがりて、レチクル１に反）等の低周波の上
下動があっても、ノ臂ターン欠陥検査を精度喪〈行うこ
とができる。
場合、この変位を前記空気マイク四メータにて検出し、
前記駆動機構により光学鏡筒Ｃを上下動することによっ
て、レチクル１の反夛等に追従して自動焦点合わせが行
われる。したがりて、レチクル１に反）等の低周波の上
下動があっても、ノ臂ターン欠陥検査を精度喪〈行うこ
とができる。
しかしながら、この種の装置にあっては次のような問題
があった。すなわち、ＬＳＩのようにＩり一ンの線幅が
極めて細くなシ、許容欠陥Ｏ大きさがさらに小さくなる
と、検出光学系の焦点深度はさらに浅くなる。その結果
、マスクＯ反シだけでなくマスクを載置して移動するＸ
−Ｙテーブルの走行精度および走行時の振ｗｈＫよる上
下動の変化についても追従して自動焦点合わせする必要
がある。これらの変位の周波数はマスクの反シによる周
波数に比して遥かに高−髪のであ）、前述した自動焦点
合わせ機構で追従させることは不可能である。このため
、従来装置ではＩＪＩのような線幅の細い／４ターンの
欠陥を高精度に検査することは困難であった。
があった。すなわち、ＬＳＩのようにＩり一ンの線幅が
極めて細くなシ、許容欠陥Ｏ大きさがさらに小さくなる
と、検出光学系の焦点深度はさらに浅くなる。その結果
、マスクＯ反シだけでなくマスクを載置して移動するＸ
−Ｙテーブルの走行精度および走行時の振ｗｈＫよる上
下動の変化についても追従して自動焦点合わせする必要
がある。これらの変位の周波数はマスクの反シによる周
波数に比して遥かに高−髪のであ）、前述した自動焦点
合わせ機構で追従させることは不可能である。このため
、従来装置ではＩＪＩのような線幅の細い／４ターンの
欠陥を高精度に検査することは困難であった。
本発明の目的は、試料を移動しながら試料の被検査面の
ツタ−／を検査するに際し、試料の被検査面を検出光学
系の焦点位置く高い周波数応答性で自動的に食わせるこ
とができ、微細ノ９ターンの欠陥等の検査′を高精度に
行い得る・母ターン検査装置を提供することＫある。
ツタ−／を検査するに際し、試料の被検査面を検出光学
系の焦点位置く高い周波数応答性で自動的に食わせるこ
とができ、微細ノ９ターンの欠陥等の検査′を高精度に
行い得る・母ターン検査装置を提供することＫある。
本発明の骨子は、試料の被検査面と検出光学系との位置
ずれ全光学的に検出する位置ずれ検出機構と、この検出
機構により検出された位置ずれ情報に応じて検出光学系
を移動駆動する圧電効果を有する駆動部材とからなる自
動焦点合わせ機構を付加したものである。
ずれ全光学的に検出する位置ずれ検出機構と、この検出
機構により検出された位置ずれ情報に応じて検出光学系
を移動駆動する圧電効果を有する駆動部材とからなる自
動焦点合わせ機構を付加したものである。
すなわち本発明は、試料の検査すべき被検査面に光を照
・射すると共くい該試料全透過した光を対物レンズによ
シ・豐ターン検査用光検出素子の受光面に結像して上記
被検査面のパターンを検査するパターン検査装置におい
て、前記光６光軸方向に沿って設けられ前記対物レンズ
および・ダターン検査用光検出素子を取着した光学鏡筒
と、この光学鏡筒に取着された光ビーム発生源１泣置ず
れ検出用光検出素子および該光ビーム発生源からの光ビ
ームを前記被検査面にスポット状に集束すると共に上記
被検査面からの反射光を咳位置ずれ検出用光検出素子の
受光面に結像する光学系からなシ、前記被検査面の所望
位置と実際位置とのずれを検出する位置ずれ検出機構と
、一端が固定されその自由端で前記光学鏡筒を支持する
弾性部材と、前記光学鏡筒と固定端との間に接続され上
記光学鏡筒を前記光軸方向に移動駆動する圧電効果を有
する駆動部材と、前記位置ずれ検出機構によシ検出され
た位置ずれ情報に応じて上記駆動部材による前記光学鏡
筒の移動量を制御する制御系とを具備してなるものであ
る。
・射すると共くい該試料全透過した光を対物レンズによ
シ・豐ターン検査用光検出素子の受光面に結像して上記
被検査面のパターンを検査するパターン検査装置におい
て、前記光６光軸方向に沿って設けられ前記対物レンズ
および・ダターン検査用光検出素子を取着した光学鏡筒
と、この光学鏡筒に取着された光ビーム発生源１泣置ず
れ検出用光検出素子および該光ビーム発生源からの光ビ
ームを前記被検査面にスポット状に集束すると共に上記
被検査面からの反射光を咳位置ずれ検出用光検出素子の
受光面に結像する光学系からなシ、前記被検査面の所望
位置と実際位置とのずれを検出する位置ずれ検出機構と
、一端が固定されその自由端で前記光学鏡筒を支持する
弾性部材と、前記光学鏡筒と固定端との間に接続され上
記光学鏡筒を前記光軸方向に移動駆動する圧電効果を有
する駆動部材と、前記位置ずれ検出機構によシ検出され
た位置ずれ情報に応じて上記駆動部材による前記光学鏡
筒の移動量を制御する制御系とを具備してなるものであ
る。
本発１ｊｌｌＫよれば、光学的な位置ずれ検出機構によ
夕得られた試料の被検査面の所望位置と実際位置との位
置キれ情報によシ、圧電効果を有する駆動部材で光学鏡
筒を上下動しているのでζ上記位置ずれを高精［Ｋ、か
つ高速応答性良く補正することができる。すなわち、試
料の被検査面を検出光学系（光学鏡筒）の焦点位置に高
い周波数応答性で自動的に合わせることができる。した
がって、微細なパターンの欠陥等をも高精度に検査する
ことができ、半導体技術分野での有用性は絶大なもので
ある。
夕得られた試料の被検査面の所望位置と実際位置との位
置キれ情報によシ、圧電効果を有する駆動部材で光学鏡
筒を上下動しているのでζ上記位置ずれを高精［Ｋ、か
つ高速応答性良く補正することができる。すなわち、試
料の被検査面を検出光学系（光学鏡筒）の焦点位置に高
い周波数応答性で自動的に合わせることができる。した
がって、微細なパターンの欠陥等をも高精度に検査する
ことができ、半導体技術分野での有用性は絶大なもので
ある。
第２図は本発明の一実施例に係わるツタターン欠陥検査
装置を示す概略構成図である０図中２１はレチクル（試
料）であり、このレチクル２１はその被検査面を下にし
て図“示しないＸ−Ｙテーブル上に載置されている。レ
チクル２１の上方には光源２２が配置されており、この
光源２２からの光は集光レンズ２３を介して集束されレ
チクルｘＨｃ照射される。レチクル２１を透過した光は
光学鏡筒２４の上部に設けられた対物レンズ２５＆、２
１ｂ、２６ｅＫよ〉、″光学鏡筒２４の下部に設けられ
たパターン検査用光検出素子２６の受光面に結像される
。そして、この光検出素子２６によシ得られ九ノ４ター
ン情報と設計・Ｉターン情報とを比較することＫよ〕、
ノ臂ターン欠陥の有無が検査されるものとなっている。
装置を示す概略構成図である０図中２１はレチクル（試
料）であり、このレチクル２１はその被検査面を下にし
て図“示しないＸ−Ｙテーブル上に載置されている。レ
チクル２１の上方には光源２２が配置されており、この
光源２２からの光は集光レンズ２３を介して集束されレ
チクルｘＨｃ照射される。レチクル２１を透過した光は
光学鏡筒２４の上部に設けられた対物レンズ２５＆、２
１ｂ、２６ｅＫよ〉、″光学鏡筒２４の下部に設けられ
たパターン検査用光検出素子２６の受光面に結像される
。そして、この光検出素子２６によシ得られ九ノ４ター
ン情報と設計・Ｉターン情報とを比較することＫよ〕、
ノ臂ターン欠陥の有無が検査されるものとなっている。
前記光学鏡筒２４は平行バネを構成するよう配列された
弾性部材２７，２１１ｆｔ介して固定部２９に固定され
ている。弾性部材ｘｉ、ｉｓは、第３図（１）伽）Ｋそ
れぞれ平面図および矢視ムーム断面を示す如く、円板体
の所望部分を軸対称に穿設して設けられており、これに
よシ光学鏡筒２４は光軸方向（上下方向）Ｋのみ移動可
動となっている。また、光学鏡筒２４と同定部２９との
間には、カウンタスゲリング３０および駆動部材３１が
それぞれ接続されている。カウンタスゲリングＳＯは光
学鏡筒２４１−支えこの鏡筒２４０重量をバランスする
ものである。駆動部材３１絋圧電効果を有する素子、例
えばチタン酸ゾルコン酸鉛系の磁器で製作されたピエゾ
素子からなるもので、駆動回路３２によシミ圧を印加さ
れて伸縮し、これＫよ〕光学鏡筒２４が上下動せられる
ものとなっている。なお、第２図中３３．３４，３５．
３６は弾性部材２７゜２８をそれぞれ光学鏡筒２４およ
び同定部２９に固定するための固定部材であシ、固定部
材３３、〜，３６はそれぞれ図示しない？ルトによって
光学鏡筒２４或いは固定部２９に固定されている。
弾性部材２７，２１１ｆｔ介して固定部２９に固定され
ている。弾性部材ｘｉ、ｉｓは、第３図（１）伽）Ｋそ
れぞれ平面図および矢視ムーム断面を示す如く、円板体
の所望部分を軸対称に穿設して設けられており、これに
よシ光学鏡筒２４は光軸方向（上下方向）Ｋのみ移動可
動となっている。また、光学鏡筒２４と同定部２９との
間には、カウンタスゲリング３０および駆動部材３１が
それぞれ接続されている。カウンタスゲリングＳＯは光
学鏡筒２４１−支えこの鏡筒２４０重量をバランスする
ものである。駆動部材３１絋圧電効果を有する素子、例
えばチタン酸ゾルコン酸鉛系の磁器で製作されたピエゾ
素子からなるもので、駆動回路３２によシミ圧を印加さ
れて伸縮し、これＫよ〕光学鏡筒２４が上下動せられる
ものとなっている。なお、第２図中３３．３４，３５．
３６は弾性部材２７゜２８をそれぞれ光学鏡筒２４およ
び同定部２９に固定するための固定部材であシ、固定部
材３３、〜，３６はそれぞれ図示しない？ルトによって
光学鏡筒２４或いは固定部２９に固定されている。
また、前記光学鏡筒２４の左方部には、発光用電源４７
によシ発光駆動される発光素子（光ビーム発光源）４２
が取り付けられている。この発光素子４２からの光は、
ビームペンダ４３＆。
によシ発光駆動される発光素子（光ビーム発光源）４２
が取り付けられている。この発光素子４２からの光は、
ビームペンダ４３＆。
４３ｂおよびレン；ｅ ４４ ａ ｆ介し、集束された
ビームとなり前記レチクル２１の被検査面に照射される
。レチクル２１の被検査面からの反射光はビームペンダ
４３ｅ 、４３４およびレンズ４４ｋを介し、光学鏡筒
２４の右方部に取〉付けられた受光素子（位置ずれ検出
用光検出素子）４５の受光面に結像される。受光素子４
５は、゛例えば２分割のホトダイオードからなるもので
、試料２１の被検査面が所望位置、つま〕対物レンズ２
５ｍ 、〜、２５Ｃおよび光検出素子２６等からなる光
学系の焦点位置にあるときに、その中央部に反射光のス
ポットが結像されるよう位置決めされている。受光素子
４６の２つの出力はそれぞれ減算回路４６および加算回
路４１を介して割算回路４＃に供給される。この割算回
路４８の出力は、発光素子４２の光度変化や光路中の光
学素子の透過率、或い線反射率の変化部が生じても、こ
れらの変化に関係なく、試料２１の被検査面の上下動に
対応したものとなる。そして、割算回路４８の出力、つ
まシ位置ずれ情報が前記駆動回路３２に供給され、これ
Ｋより光学鏡筒２４の移動量が制御されるものとなりて
いる。
ビームとなり前記レチクル２１の被検査面に照射される
。レチクル２１の被検査面からの反射光はビームペンダ
４３ｅ 、４３４およびレンズ４４ｋを介し、光学鏡筒
２４の右方部に取〉付けられた受光素子（位置ずれ検出
用光検出素子）４５の受光面に結像される。受光素子４
５は、゛例えば２分割のホトダイオードからなるもので
、試料２１の被検査面が所望位置、つま〕対物レンズ２
５ｍ 、〜、２５Ｃおよび光検出素子２６等からなる光
学系の焦点位置にあるときに、その中央部に反射光のス
ポットが結像されるよう位置決めされている。受光素子
４６の２つの出力はそれぞれ減算回路４６および加算回
路４１を介して割算回路４＃に供給される。この割算回
路４８の出力は、発光素子４２の光度変化や光路中の光
学素子の透過率、或い線反射率の変化部が生じても、こ
れらの変化に関係なく、試料２１の被検査面の上下動に
対応したものとなる。そして、割算回路４８の出力、つ
まシ位置ずれ情報が前記駆動回路３２に供給され、これ
Ｋより光学鏡筒２４の移動量が制御されるものとなりて
いる。
ここで、試料２１の被検査面が前記光学系Ｏ焦点位置に
ある場合、前述したように受光素子４５の中央部にス４
．トが結像されるため減算囲路４＃の出力は零となる。
ある場合、前述したように受光素子４５の中央部にス４
．トが結像されるため減算囲路４＃の出力は零となる。
このため、割算回路４８の出力も零とな夛光学鏡筒２４
は移動されない、一方、試料２１の被検査面が前記光学
系の焦点位置よシずれた場合、例えば焦点位置よシ下方
１躯変位した場合、受、光素子４５に結像されるスポッ
トは中央部よシ下方向にずれる。
は移動されない、一方、試料２１の被検査面が前記光学
系の焦点位置よシずれた場合、例えば焦点位置よシ下方
１躯変位した場合、受、光素子４５に結像されるスポッ
トは中央部よシ下方向にずれる。
このため、減算回路４Ｃの出力が正或いは負となシ割算
回路４８ｔ−介して駆動回路３２に与えられる。そして
、駆動回路３２によシ前記駆動部材３１ｔ−伸艇させる
方向の電圧が印加される。
回路４８ｔ−介して駆動回路３２に与えられる。そして
、駆動回路３２によシ前記駆動部材３１ｔ−伸艇させる
方向の電圧が印加される。
これにより、光源鏡筒２４が上方向く移動し、その結果
前記被検査面の位置ずれが補正されることになる。また
、試料２１の被検査面が前記光学系の焦点位置よ〉下方
向にずれた場合は、上記と逆の動作となシその位置ずれ
が自動的に補正さすることてなる。
前記被検査面の位置ずれが補正されることになる。また
、試料２１の被検査面が前記光学系の焦点位置よ〉下方
向にずれた場合は、上記と逆の動作となシその位置ずれ
が自動的に補正さすることてなる。
このように本装置では、レチクル２１の被検査面を常に
検出光学系の焦点位置に合わせた状態で、レチクル２１
のノ４ターン欠陥を検査することができる。そしてこの
場合、レチクル２１０被検査問の位置ずれを光学的に検
出すると共に１光学鏡筒２４を上下動する駆動部材３１
としてピエゾ素子（最小変位５０Ｘ１応答周波数５ｋＨ
ｚ以上）を用い、光学鏡筒２４を弾性部材２７．２１１
の弾性変形により移動させているので、高い分解能と高
い応答周波数を得ることができる。実際には最小分解能
０．１［αｍ］、応答周波数３００ ［Ｈｓ］の高性能
を得ることがでちた。
検出光学系の焦点位置に合わせた状態で、レチクル２１
のノ４ターン欠陥を検査することができる。そしてこの
場合、レチクル２１０被検査問の位置ずれを光学的に検
出すると共に１光学鏡筒２４を上下動する駆動部材３１
としてピエゾ素子（最小変位５０Ｘ１応答周波数５ｋＨ
ｚ以上）を用い、光学鏡筒２４を弾性部材２７．２１１
の弾性変形により移動させているので、高い分解能と高
い応答周波数を得ることができる。実際には最小分解能
０．１［αｍ］、応答周波数３００ ［Ｈｓ］の高性能
を得ることがでちた。
ｔた、光学鏡筒２４を平行バネを形成するよう配列され
た弾性部材２７１．１８で支持しているので、横方向の
剛性が高く、光学鏡筒２４１上下動し友楊合にあっても
光学鏡筒２４が傾く等の不都合はない。さらに１カウン
タスプリング３０によって光学鏡筒２４の重量を支えて
いるので、駆動部材３１に加わる負荷を小さくすること
ができる。また、発光素子４２．受光素子４５、レンズ
４４ｈ、４４ｂおよびビームベンダ４３ａ、〜、４３ｄ
等からなる位置ずれ検出機構を光学鏡筒Ｊ４Ｋ［抜取シ
付けているので、レチクル２１の禎検査鈎に照射される
スポット光の入射角を小さくすることがで亀、これにょ
多位置ずれ検出精度の向上をはかシ得る等の効果を奏す
る。
た弾性部材２７１．１８で支持しているので、横方向の
剛性が高く、光学鏡筒２４１上下動し友楊合にあっても
光学鏡筒２４が傾く等の不都合はない。さらに１カウン
タスプリング３０によって光学鏡筒２４の重量を支えて
いるので、駆動部材３１に加わる負荷を小さくすること
ができる。また、発光素子４２．受光素子４５、レンズ
４４ｈ、４４ｂおよびビームベンダ４３ａ、〜、４３ｄ
等からなる位置ずれ検出機構を光学鏡筒Ｊ４Ｋ［抜取シ
付けているので、レチクル２１の禎検査鈎に照射される
スポット光の入射角を小さくすることがで亀、これにょ
多位置ずれ検出精度の向上をはかシ得る等の効果を奏す
る。
第４図は他の実施例の要部構成を示す断面図である。な
お、第２図と同一部分には同一符号を付して、その詳し
い説明は省略する。この実施例は、高い周波数応答をよ
シ確実に行うために１組み立て精度の向上をはかったも
のである。
お、第２図と同一部分には同一符号を付して、その詳し
い説明は省略する。この実施例は、高い周波数応答をよ
シ確実に行うために１組み立て精度の向上をはかったも
のである。
すなわち、前記光学鏡筒２４は円、筒状に形成され、そ
の外周面にねじ部２４ａが設けられている。同様に、前
記固定ｓ２９の開口も円形状に形成され、その内周面に
ねじ部２９ａが設けられている。そして、前記弾性部材
２７．２８は円環状のナツト５１．〜，５８によル固定
すしてい心。つまシ、最初にカウンタスプリングＪＯＫ
より光学鏡筒２４をつるしてお−き、この状態でナツト
５）および弾性部材ｘｒｔ″入れ、次いでナツトｓｚ、
ｉｓを用いダブルナ、ト形式で弾性部材２ｒを光学鏡筒
２４および固定部ｊ１９にそれぞれ固定する。次に、駆
動部材３１を入れナツト５４を所定位置まで入れ、さら
にナツト５５ｔ−用いメシルナツト形式で駆動部材３１
をナツト５３．５４間に接続する０次に、ナツト５＃お
よび弾性部材２８を入れ、前記と同様にナツト５７，５
１１を用い弾性部材２ａｔ光学鏡筒および固定部にそれ
ぞれ固定する。最後に、ナツト５４に設けられたねじ穴
にｌルト５９を差し込み駆動部材３１ｔ−持ち上げるよ
うＫねじ込む。そして、光学鏡筒２４の位置が所定位置
となった時点でボルト５９ｔ−固定するものとなってい
る。
の外周面にねじ部２４ａが設けられている。同様に、前
記固定ｓ２９の開口も円形状に形成され、その内周面に
ねじ部２９ａが設けられている。そして、前記弾性部材
２７．２８は円環状のナツト５１．〜，５８によル固定
すしてい心。つまシ、最初にカウンタスプリングＪＯＫ
より光学鏡筒２４をつるしてお−き、この状態でナツト
５）および弾性部材ｘｒｔ″入れ、次いでナツトｓｚ、
ｉｓを用いダブルナ、ト形式で弾性部材２ｒを光学鏡筒
２４および固定部ｊ１９にそれぞれ固定する。次に、駆
動部材３１を入れナツト５４を所定位置まで入れ、さら
にナツト５５ｔ−用いメシルナツト形式で駆動部材３１
をナツト５３．５４間に接続する０次に、ナツト５＃お
よび弾性部材２８を入れ、前記と同様にナツト５７，５
１１を用い弾性部材２ａｔ光学鏡筒および固定部にそれ
ぞれ固定する。最後に、ナツト５４に設けられたねじ穴
にｌルト５９を差し込み駆動部材３１ｔ−持ち上げるよ
うＫねじ込む。そして、光学鏡筒２４の位置が所定位置
となった時点でボルト５９ｔ−固定するものとなってい
る。
このような構成であれば、先の実施例と同様の効果を奏
するのは勿論、各部品の製作精度を上げることなく正確
な組み立てを行い得ると貴う効果を奏する。また、メシ
ルナットで固定するため、確実に固定することができる
。さらに、組み立ておよび分解の簡単化をはか夛得る等
の利点もある。
するのは勿論、各部品の製作精度を上げることなく正確
な組み立てを行い得ると貴う効果を奏する。また、メシ
ルナットで固定するため、確実に固定することができる
。さらに、組み立ておよび分解の簡単化をはか夛得る等
の利点もある。
なお、本発明は上述した各実施例に限定されるものでは
ない０例えば、前記位置ずれ検出用光検出素子として、
固定撮偉素子中、その他の半導体装置検出器を用いても
よい、また、前記弾性部材は第３図に示した形状に限ら
ず、一般に用いられている第２図に示す螺旋形状のもの
でもよいのは、勿論のことである。さらに、駆動部材の
定常位置を調整する調整機構として偏心カム等を用いて
もよい、また、光学鏡筒、試料および光源等の位置関係
を逆にすることも可能である。要するに本発明は、その
要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することが
で自る。
ない０例えば、前記位置ずれ検出用光検出素子として、
固定撮偉素子中、その他の半導体装置検出器を用いても
よい、また、前記弾性部材は第３図に示した形状に限ら
ず、一般に用いられている第２図に示す螺旋形状のもの
でもよいのは、勿論のことである。さらに、駆動部材の
定常位置を調整する調整機構として偏心カム等を用いて
もよい、また、光学鏡筒、試料および光源等の位置関係
を逆にすることも可能である。要するに本発明は、その
要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することが
で自る。
第一図は従来装置を示す概略構成図、第２図は本発明の
一実施例に係わるノリーン欠陥検査装置を示す概略構成
図、第３図（、） （ｂ）は上記実施例装置に用いた弾
性部材の形状を示す平面図および断面図、第４図は他の
実施例の要部構成を示す断面図、第５図は変形例を示す
平面図である。 ２１・・・レチクル、（試料）、２２・・・光源、２３
・−集光レンＸ’、 Ｊ ４−・・光学鏡筒、Ｊ ｊ
ｈ ｅＪＪｋｌ＋２５＠一対物レンズ、２６・・・パタ
ーン検査用光検出素子、２１．２１・・・弾性部材１．
？ ＃ −・・固定部、３０・・・カウンタスジリング
、３１−・駆動部材、３２・・・駆動回路、４２・・・
発光素子、４７ａ。 ４１ｂ、４３＠、４ｊ＆・−ビームベン〆、４４畠。 ４４に−・レンズ、４５・・・受光素子（位置ずれ検出
用光検出素子）、５１．〜，５８・・・ナツト・５９・
・・調整用ぎルト。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第 ３ 図 （ａ）
一実施例に係わるノリーン欠陥検査装置を示す概略構成
図、第３図（、） （ｂ）は上記実施例装置に用いた弾
性部材の形状を示す平面図および断面図、第４図は他の
実施例の要部構成を示す断面図、第５図は変形例を示す
平面図である。 ２１・・・レチクル、（試料）、２２・・・光源、２３
・−集光レンＸ’、 Ｊ ４−・・光学鏡筒、Ｊ ｊ
ｈ ｅＪＪｋｌ＋２５＠一対物レンズ、２６・・・パタ
ーン検査用光検出素子、２１．２１・・・弾性部材１．
？ ＃ −・・固定部、３０・・・カウンタスジリング
、３１−・駆動部材、３２・・・駆動回路、４２・・・
発光素子、４７ａ。 ４１ｂ、４３＠、４ｊ＆・−ビームベン〆、４４畠。 ４４に−・レンズ、４５・・・受光素子（位置ずれ検出
用光検出素子）、５１．〜，５８・・・ナツト・５９・
・・調整用ぎルト。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第 ３ 図 （ａ）
Claims (2)
- （１） 試料の検査すべき被検査面に光を照射すると
共に１該試料を透過した光を対物レンズによジノ臂ター
ン検査用光検出素子の受光面に結像して上記被検査面の
・！ターンを検査するパターン検査装置において、前記
光の光軸方向に沿って設けられ前記対物レンズおよび・
臂ターン検査用光検出素子を取着した光学鏡筒と、この
光学鏡筒に取着された光６゛−ム生源１位置ずれ検出用
光検出素子および該光ビーム発生源からの光ビームを前
記被検査面にスポット状に集束すると共に上記被検査面
からの反射光ｔ−ｍ位置ずれ検出用光検出素子の受光面
に結像する光学系からなり、前記被検査面の所望位置と
実際位置とのずれを検出する位置ずれ検出機構と、一端
が固定されその自由端で前記光学鏡筒を支持する弾性部
材と、前記光学鏡筒と固定端との閾に接続され上記光学
鏡筒を前記光軸方向に移動駆動する圧電効果を有する駆
動部材と、前記位置ずれ検出機構により検出された位置
ずれ情報に応じて上記駆動部材による前記光学鏡筒の移
動量を制御する制御系と金具備してなることを特徴とす
る・リーン検査装置。 - （２）紡記九学鏡筒は円筒状に形成されると共にその外
周面にねじ部が設けられ、かつ内周面にねじ部が設けら
れた固定部の中空部内に配置されており、前記弾性部材
および駆動部材の各一端を上記外周ねじ部に螺合するナ
ツト類により上記光学鏡筒に固定し、前記弾性部材およ
び駆動部材の各他端を上記内周ねじ部に螺合するナツト
類によシ上記固定部に固定してなることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のパターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57046050A JPS58162844A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | パタ−ン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57046050A JPS58162844A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | パタ−ン検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58162844A true JPS58162844A (ja) | 1983-09-27 |
| JPH0328688B2 JPH0328688B2 (ja) | 1991-04-19 |
Family
ID=12736190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57046050A Granted JPS58162844A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | パタ−ン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58162844A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62238445A (ja) * | 1986-04-10 | 1987-10-19 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 表面検査装置 |
| EP0264057A2 (en) * | 1986-10-07 | 1988-04-20 | Fujitsu Limited | Automatic focusing system for observing means for inspecting an object |
| JPH01262511A (ja) * | 1988-04-13 | 1989-10-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 撮像装置の自動焦点機構 |
| US5092678A (en) * | 1986-11-12 | 1992-03-03 | Measurex Corporation | On-line sheet formation characterizing method and device |
-
1982
- 1982-03-23 JP JP57046050A patent/JPS58162844A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62238445A (ja) * | 1986-04-10 | 1987-10-19 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 表面検査装置 |
| EP0264057A2 (en) * | 1986-10-07 | 1988-04-20 | Fujitsu Limited | Automatic focusing system for observing means for inspecting an object |
| US5092678A (en) * | 1986-11-12 | 1992-03-03 | Measurex Corporation | On-line sheet formation characterizing method and device |
| JPH01262511A (ja) * | 1988-04-13 | 1989-10-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 撮像装置の自動焦点機構 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0328688B2 (ja) | 1991-04-19 |
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