JPS58162803A - 静電容量型厚さ測定装置 - Google Patents
静電容量型厚さ測定装置Info
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- JPS58162803A JPS58162803A JP4607882A JP4607882A JPS58162803A JP S58162803 A JPS58162803 A JP S58162803A JP 4607882 A JP4607882 A JP 4607882A JP 4607882 A JP4607882 A JP 4607882A JP S58162803 A JPS58162803 A JP S58162803A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
- G01B7/08—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using capacitive means
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、一対の電極間に被側定ｑＩＩＪｖ挿入し。
静電容量の変化に基づいて厚さｖ１１１１定する形式の
静電容量型厚さ測定装置に胸するものである。
静電容量型厚さ測定装置に胸するものである。
従来の静電容量型厚さ測定装置は、１１１ｇ３図に示す
如く、第１の電極（１）と累２の電極＋２１との間に被
測定物（３１ン配し、この被測定物（３ンの厚さの変化
に対応した一対の電極１１１ｔ２１間の静電容量の変化
を靜電答量−電圧変換回路（４１によって電圧の変化に
変換し、この電圧に基づいて演算回路（５］で厚さく１
）ＹＸめるように＊成されている。今、この装置の一対
の１１極ｉｌ＋ １２１の間隔（Ｌ））に厚さく１）の
誘電体被創定豐１３１ ’＆挿入したと丁れば、電極ｔ
ｌｌ＋２１間の静電容量Ｃは次式１表わされる。
如く、第１の電極（１）と累２の電極＋２１との間に被
測定物（３１ン配し、この被測定物（３ンの厚さの変化
に対応した一対の電極１１１ｔ２１間の静電容量の変化
を靜電答量−電圧変換回路（４１によって電圧の変化に
変換し、この電圧に基づいて演算回路（５］で厚さく１
）ＹＸめるように＊成されている。今、この装置の一対
の１１極ｉｌ＋ １２１の間隔（Ｌ））に厚さく１）の
誘電体被創定豐１３１ ’＆挿入したと丁れば、電極ｔ
ｌｌ＋２１間の静電容量Ｃは次式１表わされる。
但し、ここで町は被測定物（３）の比鋳電率、ε、は空
気の比酵電率％Ｃ０は真空の誘電率（定数）、Ｓは電極
（１月２１の対向面積である。１１Ｊ式に於い工空気の
比酵電率ンε鵞；］の一定とし、ｌｘＱに於ける靜電容
ｉＩｋをＣ６と丁れば、ｌｌ掬測定（３ンの厚さに対応
して増加する静電容量ΔＣは、ΔＣ−Ｃ−Ｃ，であ４す
。
気の比酵電率％Ｃ０は真空の誘電率（定数）、Ｓは電極
（１月２１の対向面積である。１１Ｊ式に於い工空気の
比酵電率ンε鵞；］の一定とし、ｌｘＱに於ける靜電容
ｉＩｋをＣ６と丁れば、ｌｌ掬測定（３ンの厚さに対応
して増加する静電容量ΔＣは、ΔＣ−Ｃ−Ｃ，であ４す
。
１１１式から
となる。今、静電容量−電圧変換回路＋４１の変換部ｆ
ｖＫとし、その出方電圧ｔ’ｅとてれは、ｅは次の（３
７式で表わされる。
ｖＫとし、その出方電圧ｔ’ｅとてれは、ｅは次の（３
７式で表わされる。
ｅ冨Ｋ・ΔＣ・・甲・・・・・・・・・・・・・・・
＋３１（２１弐ｖ（３１式に代入丁れば、ｅは次の１４
１式で表わされる。
＋３１（２１弐ｖ（３１式に代入丁れば、ｅは次の１４
１式で表わされる。
式に於いて対向面積Ｓ、比霞電皐＃１、電極間隔り及び
感度に７一定と丁れば、厚さｔに対応して出力電圧Ｃが
変化する。しかし、この出力電圧ｅは１４１式から明ら
かなようＫｔの変化に対して大きな非直線性を有して変
化するため、ｔの変化に対して直線性な有して変化する
電圧に演算回路（５）で変換される。 ｊｌｌｌち１４
】式ｖ１埋して得られるに対応する演算ン演算回路ｔｆ
ｆｌで行い、厚さｔに比例した演算出力電圧ＥＶ次式の
ように発失させる。
感度に７一定と丁れば、厚さｔに対応して出力電圧Ｃが
変化する。しかし、この出力電圧ｅは１４１式から明ら
かなようＫｔの変化に対して大きな非直線性を有して変
化するため、ｔの変化に対して直線性な有して変化する
電圧に演算回路（５）で変換される。 ｊｌｌｌち１４
】式ｖ１埋して得られるに対応する演算ン演算回路ｔｆ
ｆｌで行い、厚さｔに比例した演算出力電圧ＥＶ次式の
ように発失させる。
ところで、実際の測定に於いては、現場の状況により電
極ｉｌ＋（２）間の間隔υを一定に保つことが因−な場
合が多い。例えは、被測定物（３１が連続的に製造され
る絶縁物シートである場合には、電極ｉｌｌに相当する
部分は一般に同転する金属ローラとなリ、このような場
合にはローラの偏心によって間隔Ｄｖ一定に保つことが
不可能になる。電極間層りが習化丁れば、轟然の結果と
して（６１式の出力電圧Ｅが変化し、正確に厚さｔｖｓ
定することが不可能になる。＃！２図は電極間隔ＤｔＦ
）変動分ΔＤＫよって岸さｔと出力電圧Ｅとの関係がど
のように変化するかを水子ものである。この図から明ら
かなように％ｆ勤分ΔＤが零の場合には、出力電圧Ｅ、
によって厚さｔｌｖ正確に測定することが可能であるが
１間隔りが所定値よりも狭くなってΔＤ〈０となれば、
同一の厚さｔｌであっても出力電圧がＥｌとなり、また
間隔りが所定値エリも広（なってΔＤ＞Ｏとなれば、同
一の厚さｔｌであっても出力電圧がＥｌとなり、結局正
ＪｉＫ厚さｔ Ｉ Ｙ ＪＩＪ定するこζが不可能にな
る。
極ｉｌ＋（２）間の間隔υを一定に保つことが因−な場
合が多い。例えは、被測定物（３１が連続的に製造され
る絶縁物シートである場合には、電極ｉｌｌに相当する
部分は一般に同転する金属ローラとなリ、このような場
合にはローラの偏心によって間隔Ｄｖ一定に保つことが
不可能になる。電極間層りが習化丁れば、轟然の結果と
して（６１式の出力電圧Ｅが変化し、正確に厚さｔｖｓ
定することが不可能になる。＃！２図は電極間隔ＤｔＦ
）変動分ΔＤＫよって岸さｔと出力電圧Ｅとの関係がど
のように変化するかを水子ものである。この図から明ら
かなように％ｆ勤分ΔＤが零の場合には、出力電圧Ｅ、
によって厚さｔｌｖ正確に測定することが可能であるが
１間隔りが所定値よりも狭くなってΔＤ〈０となれば、
同一の厚さｔｌであっても出力電圧がＥｌとなり、また
間隔りが所定値エリも広（なってΔＤ＞Ｏとなれば、同
一の厚さｔｌであっても出力電圧がＥｌとなり、結局正
ＪｉＫ厚さｔ Ｉ Ｙ ＪＩＪ定するこζが不可能にな
る。
そこで、本発明の目的は電極間隔の変動に無関係に厚さ
’に：ＩＥ、確Ｋ１１ｌ定することが可能な静電容量濃
厚さ測定装置奮提供することにある。
’に：ＩＥ、確Ｋ１１ｌ定することが可能な静電容量濃
厚さ測定装置奮提供することにある。
上記目的Ｙ達成するための本発明は、被測定物を挿入し
得る電極間隔を有する一対の電極と、この一対の電極間
の静電容量なこ°の静電容量に対応した電圧に変換する
靜電谷量−電圧変換回路と、前記一対の電極の電極間隔
の変１１ＩＪｖ検出し、この変動に対応した出力電圧ン
発失する電極間隔変動検出装置と、前記静電容量−電圧
変換回路の出力電圧と前記電極間隔変動検出装置の出力
電圧とに基づいて前記電極間隔の変動に基づ（１差を除
去した状態の前記被測定物の厚さに対応する出力電圧な
発生する厚さ対応電圧発生（ロ）路と、から成る静電容
量型厚さ測定装置に係わるものである。
得る電極間隔を有する一対の電極と、この一対の電極間
の静電容量なこ°の静電容量に対応した電圧に変換する
靜電谷量−電圧変換回路と、前記一対の電極の電極間隔
の変１１ＩＪｖ検出し、この変動に対応した出力電圧ン
発失する電極間隔変動検出装置と、前記静電容量−電圧
変換回路の出力電圧と前記電極間隔変動検出装置の出力
電圧とに基づいて前記電極間隔の変動に基づ（１差を除
去した状態の前記被測定物の厚さに対応する出力電圧な
発生する厚さ対応電圧発生（ロ）路と、から成る静電容
量型厚さ測定装置に係わるものである。
上記発明によれば、電極間隔変動検出装置によって間隔
変動分に対応し友電圧Ｙ得て、これにより厚さに対応し
た出力電圧を補正するので、間隔変動に基づく測定誤差
ン低減することが可能になる。
変動分に対応し友電圧Ｙ得て、これにより厚さに対応し
た出力電圧を補正するので、間隔変動に基づく測定誤差
ン低減することが可能になる。
次に％図面Ｙ参照して本発明の実施例について述べる。
第３脂に示す本発明の実施例に俤わる厚さ測定装置は、
被側定１！ｌ １３１ ”ｆｆｉ挿入することが可能な
電極間隔ＤＶ有する一対の電極ｉｌ＋ １２１ Ｖ Ｉ
Ｉえている・尚１接地された一万の電極（１１は、電磁
的に間隔変動分ΔＤｖ検出するためＫａｔ！ｌ：金属で
形成されている。
被側定１！ｌ １３１ ”ｆｆｉ挿入することが可能な
電極間隔ＤＶ有する一対の電極ｉｌ＋ １２１ Ｖ Ｉ
Ｉえている・尚１接地された一万の電極（１１は、電磁
的に間隔変動分ΔＤｖ検出するためＫａｔ！ｌ：金属で
形成されている。
また対向面積ＳＶ有する他方の電極（２１は、静電容量
グローブから成る。
グローブから成る。
電＠ ｉ２１の出力段に順次に設けられた静電容量−電
圧変換（ロ）略１４１及び演算回路（５３は、第１−で
同一符号で示すものと実質的に同一であり、静電容量−
電圧＆１１回路１４１は一対の電極Ｉｌ＋ １２１間の
静電容量Ｃの被測定物ｔ３１に基づ（変化分ΔＣに比例
した電圧ｅｖ尭生じ、演算回路＋５１は電圧Ｃに基づい
て厚さｔに比例した出力電圧Ｅン発生する。（６；は電
極Ｉｌ＋ １２１の間隔りの変動分ΔＤＹ検出するため
のプローブであり、静電容量プローブとしての電極（２
１と固定位置関保ケ有するように相互に連結さｎている
。この実施例では検出グローブ（６）は電磁検出方式の
プローブであるので％磁性金属から成る電極ｉｌ＋に対
向配置され１間隔の変化に対応してインダクタンス値が
変化するように構成されている。（７）は間隔ｆ動分Δ
Ｄに比例した電圧ＥＡＹ第６図に示す工うに発生する変
動分比例電圧発生回路である―プローブ（６１と変動分
比例電圧発生回路（７）とから取る電極間隔変動検出装
置によって検出され大変動分ΔＤに比例する電圧Ｅムは
、差動増幅器（８）の−万の入力となり、差動増＠ ｌ
ｉ （８３のもう−１の入力電圧Ｅから変動分ΔＤに基
づく誤差を除去するために利用される。従って、この寮
施例では、演算回路＋５１と差動増幅器１８１との組み
合せによって厚さ対応電圧発生回路が構成され、これに
より、誤差の少ない厚さ比例電圧を送出てる。
圧変換（ロ）略１４１及び演算回路（５３は、第１−で
同一符号で示すものと実質的に同一であり、静電容量−
電圧＆１１回路１４１は一対の電極Ｉｌ＋ １２１間の
静電容量Ｃの被測定物ｔ３１に基づ（変化分ΔＣに比例
した電圧ｅｖ尭生じ、演算回路＋５１は電圧Ｃに基づい
て厚さｔに比例した出力電圧Ｅン発生する。（６；は電
極Ｉｌ＋ １２１の間隔りの変動分ΔＤＹ検出するため
のプローブであり、静電容量プローブとしての電極（２
１と固定位置関保ケ有するように相互に連結さｎている
。この実施例では検出グローブ（６）は電磁検出方式の
プローブであるので％磁性金属から成る電極ｉｌ＋に対
向配置され１間隔の変化に対応してインダクタンス値が
変化するように構成されている。（７）は間隔ｆ動分Δ
Ｄに比例した電圧ＥＡＹ第６図に示す工うに発生する変
動分比例電圧発生回路である―プローブ（６１と変動分
比例電圧発生回路（７）とから取る電極間隔変動検出装
置によって検出され大変動分ΔＤに比例する電圧Ｅムは
、差動増幅器（８）の−万の入力となり、差動増＠ ｌ
ｉ （８３のもう−１の入力電圧Ｅから変動分ΔＤに基
づく誤差を除去するために利用される。従って、この寮
施例では、演算回路＋５１と差動増幅器１８１との組み
合せによって厚さ対応電圧発生回路が構成され、これに
より、誤差の少ない厚さ比例電圧を送出てる。
第４図は第３図の靜電答量−電圧変換回路【４１及び演
算＠ Ｍ （５１ｙｔ爽に評しく示すものであり、静電
容量−電圧変換回路（４）は高周波ブリッジ回路で構ａ
され、一対の電極ｉｌ＋ １２１から成るコンデンサ容
量ｅｖｆＰなってブリッジ回路Ｖ構成するためのコンｆ
ｙｔＣ１，Ｃ鵞、Ｃｊｂ高周波発！ｒＲ１！１１９７％
整流回路ａ・、及び増幅器ａ１１ン含み、変動分ΔＣに
比例した電圧ｅを発主する。演算回路＋５１は、変換回
路＋４３の出力電圧のに基づいて、 −ｅＫ、の電圧を
形成する回路０と、ｅ＋に１の電圧を形成する回路Ｕ謙
と、 −ｅＫ＠／ ｅ ＋ Ｋｌの除算ン行う回路Ｉと
を含み、厚さｔに比例した電圧Ｅ）１発生する。
算＠ Ｍ （５１ｙｔ爽に評しく示すものであり、静電
容量−電圧変換回路（４）は高周波ブリッジ回路で構ａ
され、一対の電極ｉｌ＋ １２１から成るコンデンサ容
量ｅｖｆＰなってブリッジ回路Ｖ構成するためのコンｆ
ｙｔＣ１，Ｃ鵞、Ｃｊｂ高周波発！ｒＲ１！１１９７％
整流回路ａ・、及び増幅器ａ１１ン含み、変動分ΔＣに
比例した電圧ｅを発主する。演算回路＋５１は、変換回
路＋４３の出力電圧のに基づいて、 −ｅＫ、の電圧を
形成する回路０と、ｅ＋に１の電圧を形成する回路Ｕ謙
と、 −ｅＫ＠／ ｅ ＋ Ｋｌの除算ン行う回路Ｉと
を含み、厚さｔに比例した電圧Ｅ）１発生する。
Ｍ５−は第３図のプローブ（６１及び変動分比例電圧発
生ＩＮ Ｍ ＋７１ ’ｉ’詳しく示すものである。こ
の図から明らかなよ５にコイル（１５１と磁心（１秒と
から成るグローブ（６１は電極ｔｌ＋に対向配置され％
酵電体から成る被測定物（３）の有無に関係なく磁心ｕ
８と電極Ｉｌｌとの間隔の変動により自己インダクタン
スが変化するｊ５に構成されている。グローブ（６）は
路３囚に示す１うに電極１２３に連結され１いるので、
プローブ（６）の自己インダクタンスは一対の電極１１
１ ＋２１０関ｗ＆Ｄの変動に対応して変化する。コイ
ルａ９は抵抗顛を介して高周波発畿器αδに接続され、
コイへ４９の一層の電圧は整流回路−で整流されて増幅
器■の入力となり、増幅器■の利得調整によって間隔り
の変動分ΔＤに比例した電圧Ｅムが増幅器■から出力さ
れる。
生ＩＮ Ｍ ＋７１ ’ｉ’詳しく示すものである。こ
の図から明らかなよ５にコイル（１５１と磁心（１秒と
から成るグローブ（６１は電極ｔｌ＋に対向配置され％
酵電体から成る被測定物（３）の有無に関係なく磁心ｕ
８と電極Ｉｌｌとの間隔の変動により自己インダクタン
スが変化するｊ５に構成されている。グローブ（６）は
路３囚に示す１うに電極１２３に連結され１いるので、
プローブ（６）の自己インダクタンスは一対の電極１１
１ ＋２１０関ｗ＆Ｄの変動に対応して変化する。コイ
ルａ９は抵抗顛を介して高周波発畿器αδに接続され、
コイへ４９の一層の電圧は整流回路−で整流されて増幅
器■の入力となり、増幅器■の利得調整によって間隔り
の変動分ΔＤに比例した電圧Ｅムが増幅器■から出力さ
れる。
第３＠に示す測定装置で被測定物（３）の厚さｔｔ’欄
定測定いる期間に電極間隔りの変動が発生せずΔＤ−０
であると仮定丁れば、演算囲ｊｌ （５＋から得られる
犀さｔに比例した電圧ＥＫ間間質変動基づ（−差目含！
れない。また変動分ΔＤＫ比例した補正電圧Ｅムが！［
６＠に示す如く零となり、結局差動増Ｓ器（８）に於い
て、厚さｔに比例した電圧Ｅの補正が行われずに、電圧
Ｅが七の′ｔま出力される。
定測定いる期間に電極間隔りの変動が発生せずΔＤ−０
であると仮定丁れば、演算囲ｊｌ （５＋から得られる
犀さｔに比例した電圧ＥＫ間間質変動基づ（−差目含！
れない。また変動分ΔＤＫ比例した補正電圧Ｅムが！［
６＠に示す如く零となり、結局差動増Ｓ器（８）に於い
て、厚さｔに比例した電圧Ｅの補正が行われずに、電圧
Ｅが七の′ｔま出力される。
次に、一対の電極ｉｌ＋ １２１の間隔りのｆｌｍが発
生し。
生し。
七の変動分がΔＤであるとすれば、一対の電極ｉｌｌな
ｆ）、を冨０の時の靜電答量Ｃ，Ｖｃ対する変化分ΔＤ
潰ｃ−ｃ、ｔｓｇ式で表わされる。
ｆ）、を冨０の時の靜電答量Ｃ，Ｖｃ対する変化分ΔＤ
潰ｃ−ｃ、ｔｓｇ式で表わされる。
そして、この（７１式１１ｔ（３１式に代入すると５次
式が得られる。
式が得られる。
この（９１式から明らかなように演算回路（５１の出力
電変動分ΔＤに比例する。−万、変動分比例電圧発生回
路（７）は、変動分ΔＤに比例した電圧Ｅ１ン発失るよ
５に増Ｉｌｉ器■の利得がＩＩ！Ｉされている。従って
、差動増１１１ｉ ＠ （８＋の一万の入力亀子には（
９１式に承られる。即ち、 Ｅ、−Ｅ−Ｅ。
電変動分ΔＤに比例する。−万、変動分比例電圧発生回
路（７）は、変動分ΔＤに比例した電圧Ｅ１ン発失るよ
５に増Ｉｌｉ器■の利得がＩＩ！Ｉされている。従って
、差動増１１１ｉ ＠ （８＋の一万の入力亀子には（
９１式に承られる。即ち、 Ｅ、−Ｅ−Ｅ。
＝ ｔ
の出力が得られ、変動分ΔＤに無関係に厚さｔに正確に
比例した電圧Ｅｌｌｖ第７図に示すような関係で得るこ
とができる。勿論、検出プローブ（６）による間隔変動
分ΔＤの測定誤差δがあるが、ｔ＞ａと丁れば測定誤差
Ｊは笑用土無視することができ、厚さｔの正確な測定が
可能になる。
比例した電圧Ｅｌｌｖ第７図に示すような関係で得るこ
とができる。勿論、検出プローブ（６）による間隔変動
分ΔＤの測定誤差δがあるが、ｔ＞ａと丁れば測定誤差
Ｊは笑用土無視することができ、厚さｔの正確な測定が
可能になる。
上述から明らかなように本実施例によれば、被測定物（
３１の４嘔の測定期間中に電極間隔りが変動しても、こ
れに左右されずに厚さｔＶ測測定ることが可能である。
３１の４嘔の測定期間中に電極間隔りが変動しても、こ
れに左右されずに厚さｔＶ測測定ることが可能である。
従って、使用範囲の広い静電容量型厚さ鉤定装置ン提供
することができる。
することができる。
また、ｍｘ（２）路（５１によって、厚さｔに比例し声
電圧Ｅｖ求め、これを差動増幅器（８）に入力させて変
動分ΔＤＫｊる誤差を除去しているので、Ｗ１４差の除
去な容易に達成することが可能であり、且′つ誤差を除
去した債にも厚さｔに比例した電圧Ｅ、ｖ得ることがで
きる。
電圧Ｅｖ求め、これを差動増幅器（８）に入力させて変
動分ΔＤＫｊる誤差を除去しているので、Ｗ１４差の除
去な容易に達成することが可能であり、且′つ誤差を除
去した債にも厚さｔに比例した電圧Ｅ、ｖ得ることがで
きる。
また、プローブ（６）％：電極（２１に連結し、史に電
極ｉｌｌ ｔ’ ａ性金属とし、プローブ（６）ｖコイ
ルＱ５１と磁心ａ０とで構成し、プローブ（６）と電極
＋１１との間隔の変化によるインダクタンスの変化で間
隔変動ΔＤｖ検出するようにしたので、誘電体の被測定
物１３１の厚さの変化に無関係に間隔変動ΔＤン検出す
ることが可能である。
極ｉｌｌ ｔ’ ａ性金属とし、プローブ（６）ｖコイ
ルＱ５１と磁心ａ０とで構成し、プローブ（６）と電極
＋１１との間隔の変化によるインダクタンスの変化で間
隔変動ΔＤｖ検出するようにしたので、誘電体の被測定
物１３１の厚さの変化に無関係に間隔変動ΔＤン検出す
ることが可能である。
以上、本発明の実施例について述べたが１本発明はこれ
に限定さｊるものでなく更に変形可能なものである１例
えば、ＳＳａに示す工５に、厚さ測定用の電１ｋ １２
１に同軸状に変動分ΔＤｖ検出するための磁心ａｅ及び
コイル（１５１とから成るグローブ（６１を配してもよ
い、１また。電極１１＋ ’Ｊｒ’第９因に示す１５に
＊濶ローラとし、この−万の肯に厚さ検出用の電極（２
１Ｙ配し、この他方の廁にコイルｆｆ５１と磁心ａ―と
から成る間隔検出用プローブ１６１ Ｙ配してもよい、
またプループ（６２Ｙうず電流型としてもよい。
に限定さｊるものでなく更に変形可能なものである１例
えば、ＳＳａに示す工５に、厚さ測定用の電１ｋ １２
１に同軸状に変動分ΔＤｖ検出するための磁心ａｅ及び
コイル（１５１とから成るグローブ（６１を配してもよ
い、１また。電極１１＋ ’Ｊｒ’第９因に示す１５に
＊濶ローラとし、この−万の肯に厚さ検出用の電極（２
１Ｙ配し、この他方の廁にコイルｆｆ５１と磁心ａ―と
から成る間隔検出用プローブ１６１ Ｙ配してもよい、
またプループ（６２Ｙうず電流型としてもよい。
この場−＆には空心としてもよいし、棒状コアＹ使用し
又もよい、またこのうず電流型の場合には電極ｉｌｌが
ａ柱体である必ＩＩＩがない、ｆ友間隔検出プローブ（
６１馨靜亀容量検出プローブとしてもＦへこの場合には
、例えば第９図の磁心ａ輯の位置に間隔検出用電極ン装
置するか、又は＃！３図のプローブ１６＋の下に被測定
物（３１ン挿入しない状態とする。
又もよい、またこのうず電流型の場合には電極ｉｌｌが
ａ柱体である必ＩＩＩがない、ｆ友間隔検出プローブ（
６１馨靜亀容量検出プローブとしてもＦへこの場合には
、例えば第９図の磁心ａ輯の位置に間隔検出用電極ン装
置するか、又は＃！３図のプローブ１６＋の下に被測定
物（３１ン挿入しない状態とする。
またプローブ（６１で検出する代りに、一対の電極＋１
＋：２夛の間隔０の変動を光電的又は磁気的に検出して
ｔよい、また、静電容量−電圧変換回路１４１Ｙ笑会昭
４０−［４４５５号公報に開示されている方式と【７て
もよい、１しｆ勤労比例電圧発生回路（７）をブリッジ
＠Ｍと増ｆＩｊＡａで＃Ｉ成してもよい。
＋：２夛の間隔０の変動を光電的又は磁気的に検出して
ｔよい、また、静電容量−電圧変換回路１４１Ｙ笑会昭
４０−［４４５５号公報に開示されている方式と【７て
もよい、１しｆ勤労比例電圧発生回路（７）をブリッジ
＠Ｍと増ｆＩｊＡａで＃Ｉ成してもよい。
＠）、図は従来の静電答量淑厚さ測定装置ｕｌｌ’示す
プ四ツク図、＃！２図は第１図の装置に於ける厚さと出
力電圧との関係ン示す特性図、栗３図は本発明の実ｌ１
１１Ｐ！ｌに保わる静電容量温厚さ測定装置Ｙ示すブロ
ック図、累４図を言＃Ｉ３図の静電容量−電圧変換回路
及び演算回路Ｙ詳しく示すブロック図、纂５図は＃１３
図のグローブ及び変動分比例電圧発生回路Ｖ＃Ｌ＜示す
ブロック図、第６図は電極間隔変動分と変動分比例電圧
発生（ロ）路の出方電圧との関係Ｙ示すＩ＃注図、ｊＩ
７図は厚さｔと差動増−器の出力電圧との関係Ｙ示す特
性図、第８図及び纂９図は静電容量音検出する電極と間
隔変動Ｙ検出するプローブとの変形例Ｙ示す断面図であ
る。 尚、図面に用いらｎている符号に於いて、＋１Ｉ１２７
は電極、（３；は被測定物、１４）は静電容量−電圧変
換回路、（５１は演算（９）路、（６）は検出プローブ
、（７）は変動分比例電圧発生回路、（８）は差動増幅
器である。
プ四ツク図、＃！２図は第１図の装置に於ける厚さと出
力電圧との関係ン示す特性図、栗３図は本発明の実ｌ１
１１Ｐ！ｌに保わる静電容量温厚さ測定装置Ｙ示すブロ
ック図、累４図を言＃Ｉ３図の静電容量−電圧変換回路
及び演算回路Ｙ詳しく示すブロック図、纂５図は＃１３
図のグローブ及び変動分比例電圧発生回路Ｖ＃Ｌ＜示す
ブロック図、第６図は電極間隔変動分と変動分比例電圧
発生（ロ）路の出方電圧との関係Ｙ示すＩ＃注図、ｊＩ
７図は厚さｔと差動増−器の出力電圧との関係Ｙ示す特
性図、第８図及び纂９図は静電容量音検出する電極と間
隔変動Ｙ検出するプローブとの変形例Ｙ示す断面図であ
る。 尚、図面に用いらｎている符号に於いて、＋１Ｉ１２７
は電極、（３；は被測定物、１４）は静電容量−電圧変
換回路、（５１は演算（９）路、（６）は検出プローブ
、（７）は変動分比例電圧発生回路、（８）は差動増幅
器である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １１１ 被測定物を挿入し得る電極間隔を有する一対
の電極と。 この一対の電極間の静電容量をこの静電容量に対応した
電圧に変換する静電容量−電圧変換回路と、 前記一対の電極の電極間隔の変動ｒ検出し、この変動に
対応した出力電圧な発生する電極間隔変動検出装置と、 前記静電容量−電圧変換回路の出力電圧と前記電極間隔
変動検出装置の出力電圧とに基づいて前記電極間隔の変
動に基づく娯差な除去した状態の前記被一定智の厚さに
対応する出力電圧を発生下る厚さ対応電圧発生回路と、 から成る静電容量型厚さ測定装置。 （２１前記静電容量−電圧変換回路は、前記一対の電極
間の静電容量の変化分に比ガする電圧Ｙ得る回路である
％軒請求の範ｖｊＡ＃！］項記載の厚さ醐足装置。 ＋３３ 前記厚さ対応電圧発生回路は。 前記静電容量−電圧変換回路の出力電圧に基づい−ＣＩ
ｉＪｌｅ被測定物の厚さに比例した出力電圧を得る演算
回路と、 前記演算回路の出力電圧と前記電極間隔変動検出装置の
出力電圧との差動出力を得る差動増幅器と、 から成るものである特許請求の範囲第２項記載の厚畜一
定装置。 （４１前記電極間隔変動検出装置は、前記一対・豹電極
の一方に対して固定位置関係ン有するように配設すれた
インダクタンスコイルと、１１１記Ｊ４ルのインダクタ
ンスの変動分に対応する出力電圧を発生する変動分対応
電圧発生回路とから成るものである＊ｔｎｔｙｔ求の範
囲第１項又は第２項又は第３項記載の屠畜測定装置。 （５） 前記一対の電極の少なくとも一方は金属ロー
ラである特許請求の範囲第】項又は累２項又は＃ｌ！３
項又はＪＩｇ４項記載の厚さ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4607882A JPS58162803A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 静電容量型厚さ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4607882A JPS58162803A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 静電容量型厚さ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58162803A true JPS58162803A (ja) | 1983-09-27 |
Family
ID=12736953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4607882A Pending JPS58162803A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 静電容量型厚さ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58162803A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006069786A (ja) * | 2004-09-06 | 2006-03-16 | Canon Inc | シート搬送装置、画像形成装置およびシート検出装置 |
| JP2014163891A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 気液比取得システム、軸受装置、回転機械及び気液比取得方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54110867A (en) * | 1978-02-17 | 1979-08-30 | Hiroyoshi Kume | Thickness measuring method and apparatus |
-
1982
- 1982-03-23 JP JP4607882A patent/JPS58162803A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54110867A (en) * | 1978-02-17 | 1979-08-30 | Hiroyoshi Kume | Thickness measuring method and apparatus |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006069786A (ja) * | 2004-09-06 | 2006-03-16 | Canon Inc | シート搬送装置、画像形成装置およびシート検出装置 |
| JP4533053B2 (ja) * | 2004-09-06 | 2010-08-25 | キヤノン株式会社 | 画像形成装置 |
| JP2014163891A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 気液比取得システム、軸受装置、回転機械及び気液比取得方法 |
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