JPS58158933A - ワイヤボンデイング装置 - Google Patents
ワイヤボンデイング装置Info
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- JPS58158933A JPS58158933A JP57040823A JP4082382A JPS58158933A JP S58158933 A JPS58158933 A JP S58158933A JP 57040823 A JP57040823 A JP 57040823A JP 4082382 A JP4082382 A JP 4082382A JP S58158933 A JPS58158933 A JP S58158933A
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- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はワイヤボンディング装置、％４こキャピラリを
カム機構によって上下動させるワイヤボンディング装置
に関する。
カム機構によって上下動させるワイヤボンディング装置
に関する。
従来のワイヤボンディング装置は第１図に示すような構
造よりなる。即ち、図示しないＸＹテーブルに固定、さ
れたフレーム本体１には支軸２が回転自在に支承されて
おり、この支軸２にアームホルダー３が固定されている
。アームホルダー３には一端部にボンディングアーム４
が固定され、このボンディングアーム４の端部にはワイ
ヤ５が挿通されたキャピラリ６が固定されている。また
前記アームホルダー３の他端部には当て板７が固定され
ている。
造よりなる。即ち、図示しないＸＹテーブルに固定、さ
れたフレーム本体１には支軸２が回転自在に支承されて
おり、この支軸２にアームホルダー３が固定されている
。アームホルダー３には一端部にボンディングアーム４
が固定され、このボンディングアーム４の端部にはワイ
ヤ５が挿通されたキャピラリ６が固定されている。また
前記アームホルダー３の他端部には当て板７が固定され
ている。
一方、図示しない駆動モータによって回転駆動されるカ
ムシャフト１０が前記フレーム本体１に回転自在ｌζ支
承されており、このカムシャフト１０にキャピラリ上下
動用カム１１が固定されている。
ムシャフト１０が前記フレーム本体１に回転自在ｌζ支
承されており、このカムシャフト１０にキャピラリ上下
動用カム１１が固定されている。
またキャピラリ上下動用カム１１の動きを前記キャピラ
リ６に伝達するために、前記キャピラリ上下動用カム１
１と前記尚て板７との中間部には支軸１２がフレーム本
体１に回転自在φこ支承されており、この支軸１２にレ
バー１３が固定されている。そして、レバー１３の一端
部側Ｊｃ回転自在に取付けられたカム７才口丁−１４が
前記キャピラリ上下動用カム１１に圧接するよう奢こ、
レバー１３はスプリング１５で付勢されている。またレ
バー１３の他端部側には国定ねじ１６で固定された高さ
Ｘ＊用ねじ１７が螺合してあり、この高さ調整用ねじ１
７に前記轟で１［７が圧接するよう−こ前記アームホル
ダー３はボンディング荷重用スプリング１８で付勢され
ている。
リ６に伝達するために、前記キャピラリ上下動用カム１
１と前記尚て板７との中間部には支軸１２がフレーム本
体１に回転自在φこ支承されており、この支軸１２にレ
バー１３が固定されている。そして、レバー１３の一端
部側Ｊｃ回転自在に取付けられたカム７才口丁−１４が
前記キャピラリ上下動用カム１１に圧接するよう奢こ、
レバー１３はスプリング１５で付勢されている。またレ
バー１３の他端部側には国定ねじ１６で固定された高さ
Ｘ＊用ねじ１７が螺合してあり、この高さ調整用ねじ１
７に前記轟で１［７が圧接するよう−こ前記アームホル
ダー３はボンディング荷重用スプリング１８で付勢され
ている。
従って、キャピラリ上下動カム１１が回転すると、レバ
ー１３が支軸１２を中心として揺動し、高さ調整用ねじ
１７を介して当て板７に伝達される。これにより、アー
ムホルダー３が支軸２を中心として揺動し、キャピラリ
６が上下動する。一方、図示しないＸＹテーブルのＸＹ
方向移動によってフレーム本体１がＸＹ方向に水平動し
、キャピラリ６が水平動する。そして、前記したキャピ
ラリ６の上下動と水平動とによってリードフレーム２０
に固着されたペンット２１とリードフレーム２０のリー
ド２２との間にワイヤ５が接続される。
ー１３が支軸１２を中心として揺動し、高さ調整用ねじ
１７を介して当て板７に伝達される。これにより、アー
ムホルダー３が支軸２を中心として揺動し、キャピラリ
６が上下動する。一方、図示しないＸＹテーブルのＸＹ
方向移動によってフレーム本体１がＸＹ方向に水平動し
、キャピラリ６が水平動する。そして、前記したキャピ
ラリ６の上下動と水平動とによってリードフレーム２０
に固着されたペンット２１とリードフレーム２０のリー
ド２２との間にワイヤ５が接続される。
ところで、ワイヤボッディング装置は装置の組立時及び
キャピラリ６の交換時にキャピラリ６のレベル（高さ）
を調整する必要がある。このため、従来は前記したよう
にキャピラリ上下動用カム１１の動きをアームホルダー
３に伝えるのにＶバー１３を設け、このレバー１３４こ
高さ調整用ねじ１７を設けている。そして、キャピラリ
６のレベル調整は同定ねじ１６を緩め、高さ調整用ねじ
１７を回して上下動させて行っている。
キャピラリ６の交換時にキャピラリ６のレベル（高さ）
を調整する必要がある。このため、従来は前記したよう
にキャピラリ上下動用カム１１の動きをアームホルダー
３に伝えるのにＶバー１３を設け、このレバー１３４こ
高さ調整用ねじ１７を設けている。そして、キャピラリ
６のレベル調整は同定ねじ１６を緩め、高さ調整用ねじ
１７を回して上下動させて行っている。
しかしながら、かかる構造は当て板７と高さ調し、当て
板７は支軸２を中心φこした円弧運動で動作するので、
高さ調整用ねじ１７と当て板７とは常ｌこすべりを生じ
た状態で動きが伝達される。このため、当て板７及び為
さ調整用ねじ１７の摩耗が激しく、長期間使用できない
と共に、摩耗によってすべりがスムースでなくなる。ま
たスベリによる振動がキャピラリ６に伝達するので、高
速化が図れないと共に、ボンダビリティが劣化するとい
う欠点があった。
板７は支軸２を中心φこした円弧運動で動作するので、
高さ調整用ねじ１７と当て板７とは常ｌこすべりを生じ
た状態で動きが伝達される。このため、当て板７及び為
さ調整用ねじ１７の摩耗が激しく、長期間使用できない
と共に、摩耗によってすべりがスムースでなくなる。ま
たスベリによる振動がキャピラリ６に伝達するので、高
速化が図れないと共に、ボンダビリティが劣化するとい
う欠点があった。
またワイヤボンディングにおいては、キャピラリ６の下
端より延在したワイヤ５にボールを形成することを必要
とし、このためフレーム本体１にはボール形成用のトー
チ電極（図示せず）が水平動可能に取付けられている。
端より延在したワイヤ５にボールを形成することを必要
とし、このためフレーム本体１にはボール形成用のトー
チ電極（図示せず）が水平動可能に取付けられている。
しかしながら従来は、前記のよう６とキャピラリ６の７
ベルを調整するとキャピラリ６の上死点位置が変わって
トーチ電極との上下位置が変動するので、トーチ電極の
レベル調整も別個に行わなければならないという欠点が
あった。
ベルを調整するとキャピラリ６の上死点位置が変わって
トーチ電極との上下位置が変動するので、トーチ電極の
レベル調整も別個に行わなければならないという欠点が
あった。
本発明は上記従来技術の欠点を除去したワイヤボッディ
ング装置を提供することを目的とする、。
ング装置を提供することを目的とする、。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第２図は本発明の一実施例を示す断面図である。
図示しない駆動手段でＸＹ方向に駆動されるＸＹ駆動テ
ーブル３０の可動部にはボンブイノブヘッドのフレーム
本体３１が固定されている。フレーム本体３１には支軸
３２及び図示しない駆動モータによって回転駆動される
カムシャフト３３がそれぞれ回転自在に支承されている
。支軸３２（こはアームホルダー３４が固定されている
。アームホルダー３１こは、一端にボンディングアーム
３５が固定され、他端にカムフォロアー３６が回転自在
に取付けられている。そして、カムシャフト３３に固定
されたキャピラリ上下動用カム３７にカムフォロアー３
６が圧接するように、アームホルダー３４はスプリング
３８で付勢されている。また前記ボノデイノグアーム３
５の一端にはワイヤ３９が挿通されたキャピラリ４０が
固定されている。
ーブル３０の可動部にはボンブイノブヘッドのフレーム
本体３１が固定されている。フレーム本体３１には支軸
３２及び図示しない駆動モータによって回転駆動される
カムシャフト３３がそれぞれ回転自在に支承されている
。支軸３２（こはアームホルダー３４が固定されている
。アームホルダー３１こは、一端にボンディングアーム
３５が固定され、他端にカムフォロアー３６が回転自在
に取付けられている。そして、カムシャフト３３に固定
されたキャピラリ上下動用カム３７にカムフォロアー３
６が圧接するように、アームホルダー３４はスプリング
３８で付勢されている。また前記ボノデイノグアーム３
５の一端にはワイヤ３９が挿通されたキャピラリ４０が
固定されている。
一方、前記ＸＹ駆動テーブル３０の固定部は下端ｌこテ
ーパ４１ａが形成された高さ調整用上側ブロック４１に
固定されている。高さ調整用上側ブロック４１は断面が
ほぼコ字状をしたベースブロック４２＃こ上下動自在に
嵌挿されている。ベースブロック４２の内側には前記高
さ調整用上側ブロック４１のテーパ４１ａとほぼ等しい
テーパ４３ａが上面に形成された高さ調整用下側ブロッ
ク４３が配設され、この高さ調整用下側ブロック４３に
よって高さ調整用上側ブロック４１は支持されている。
ーパ４１ａが形成された高さ調整用上側ブロック４１に
固定されている。高さ調整用上側ブロック４１は断面が
ほぼコ字状をしたベースブロック４２＃こ上下動自在に
嵌挿されている。ベースブロック４２の内側には前記高
さ調整用上側ブロック４１のテーパ４１ａとほぼ等しい
テーパ４３ａが上面に形成された高さ調整用下側ブロッ
ク４３が配設され、この高さ調整用下側ブロック４３に
よって高さ調整用上側ブロック４１は支持されている。
またベースブロック４２には調整ねじ４４が回転自在に
取付けられており、この調整ねじ４４番こ形成されたね
じ部が高さ調整用下側ブロック４３に螺合している。ま
た高さ調整用上側ブロック４１は固定ねじ４５でベース
ブロック４２＃こ固定されている。
取付けられており、この調整ねじ４４番こ形成されたね
じ部が高さ調整用下側ブロック４３に螺合している。ま
た高さ調整用上側ブロック４１は固定ねじ４５でベース
ブロック４２＃こ固定されている。
従つ−Ｃ１図示しない駆動モータによってカムシャフト
３３が回転させられると、キャピラリ上下動用カム３７
のプロフィルに従ってアームホルダー３４が支軸３２を
中心として揺動し、キャピラリ４０が上下動する。また
図示しない駆動機構基こよってＸＹ駆動テーブル３０の
可動部が駆動されてフレーム本体３１が水平移動すると
、キャピラリ４０も水平移動する。
３３が回転させられると、キャピラリ上下動用カム３７
のプロフィルに従ってアームホルダー３４が支軸３２を
中心として揺動し、キャピラリ４０が上下動する。また
図示しない駆動機構基こよってＸＹ駆動テーブル３０の
可動部が駆動されてフレーム本体３１が水平移動すると
、キャピラリ４０も水平移動する。
次にキャピラリ４０の高さ調整方法について説明する。
固定ねじ４５を緩め調整ねじ４４を回わすと、高さ調整
用下側ブロック４３が水平動する。
用下側ブロック４３が水平動する。
これにより、テーパ４３ａと４］ａとの作用ｌこよって
高さ調整用上側ブロック４１は上下動する。
高さ調整用上側ブロック４１は上下動する。
高さ調整用上側ブロック４１が上下動すると、ＸＹ駆動
テーブル３０を介してフレーム本体３１が上下動するの
で、キャピラリ４０も上Ｆ動し、キャピラリ４０の高さ
を調整することができる。調整後は固定ねじ４５を締め
付けて高さ調整用上側及び下側ブロック４１．４３をベ
ースブロック４２に固定する。
テーブル３０を介してフレーム本体３１が上下動するの
で、キャピラリ４０も上Ｆ動し、キャピラリ４０の高さ
を調整することができる。調整後は固定ねじ４５を締め
付けて高さ調整用上側及び下側ブロック４１．４３をベ
ースブロック４２に固定する。
このように、キャピラリ上下動用カム３７の動きをキャ
ピラリに伝達するレバー機構にキャピラリレベル調整機
構を設けていなく、ＸＹ駆動テーブル３０の下ｌζ上下
動調整可能なキャピラリレベル調整機構４１〜４５を設
けてキャピラリ４０のレベル調整を行うので、キャピラ
リ４０が振動することもなく、高速化が図れると共にボ
ンダビリティが向上する。またキャピラリ４０の下端か
らボール形成用トーチ電極（図示せず）までの距離が変
らないので、トーチ電極のレベル調整を改めて行う必要
がない。
ピラリに伝達するレバー機構にキャピラリレベル調整機
構を設けていなく、ＸＹ駆動テーブル３０の下ｌζ上下
動調整可能なキャピラリレベル調整機構４１〜４５を設
けてキャピラリ４０のレベル調整を行うので、キャピラ
リ４０が振動することもなく、高速化が図れると共にボ
ンダビリティが向上する。またキャピラリ４０の下端か
らボール形成用トーチ電極（図示せず）までの距離が変
らないので、トーチ電極のレベル調整を改めて行う必要
がない。
以上の説明から明らかな如く、不発明番こよれば、高速
化が図れると共にボ７ダビリテイが向上し、またトーチ
電極のレベルを再度調整する必要もない。
化が図れると共にボ７ダビリテイが向上し、またトーチ
電極のレベルを再度調整する必要もない。
第１図は従来例の断面図、第２図は本発明の一実施例を
示す断面図である。 ３０・・・ｘＹ駆動テーブル、 ３１・・・フレーム
本体、４Ｉ・・・高さ調整用上側ブロック、 ４２・
・・ベースブロック、 ４３・・・高さ調整用下側ブ
ロック、４４・・・調整ねじ、 ４５・・・固定ね
じ。 第２図
示す断面図である。 ３０・・・ｘＹ駆動テーブル、 ３１・・・フレーム
本体、４Ｉ・・・高さ調整用上側ブロック、 ４２・
・・ベースブロック、 ４３・・・高さ調整用下側ブ
ロック、４４・・・調整ねじ、 ４５・・・固定ね
じ。 第２図
Claims (1)
- ＸＹ駆動テーブルの可動部上にボンディングヘッドが固
定されたワイヤボンディング装置において、前記ｘＹ駆
動テーブルの固定部を上下動調整可能なキャピラリレベ
ル調整機構上暑こ固定してなるワイヤボンディング装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57040823A JPS58158933A (ja) | 1982-03-17 | 1982-03-17 | ワイヤボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57040823A JPS58158933A (ja) | 1982-03-17 | 1982-03-17 | ワイヤボンデイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58158933A true JPS58158933A (ja) | 1983-09-21 |
| JPH0136703B2 JPH0136703B2 (ja) | 1989-08-02 |
Family
ID=12591378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57040823A Granted JPS58158933A (ja) | 1982-03-17 | 1982-03-17 | ワイヤボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58158933A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03182657A (ja) * | 1989-12-08 | 1991-08-08 | Suzuki Motor Corp | 内燃機関の吸気量制御装置 |
-
1982
- 1982-03-17 JP JP57040823A patent/JPS58158933A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03182657A (ja) * | 1989-12-08 | 1991-08-08 | Suzuki Motor Corp | 内燃機関の吸気量制御装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0136703B2 (ja) | 1989-08-02 |
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