JPS58158520A - 気体用微少流量計測方法 - Google Patents
気体用微少流量計測方法Info
- Publication number
- JPS58158520A JPS58158520A JP4227982A JP4227982A JPS58158520A JP S58158520 A JPS58158520 A JP S58158520A JP 4227982 A JP4227982 A JP 4227982A JP 4227982 A JP4227982 A JP 4227982A JP S58158520 A JPS58158520 A JP S58158520A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- gas
- measuring
- flow rate
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は化学工業等のプロセス制御において例えば添加
物、反応調節剤等の気体を微少量だけ連続的に送り込む
装置に適用するのに好適々流量計測方法に関するもので
ある。
物、反応調節剤等の気体を微少量だけ連続的に送り込む
装置に適用するのに好適々流量計測方法に関するもので
ある。
気体流量の計測装置としては、面積式流量計、オリフィ
ス流量計等があり、流量測定の分野においてこれらの流
量計は多く用いられている。
ス流量計等があり、流量測定の分野においてこれらの流
量計は多く用いられている。
しかしながら、これらの流量計の流Ｉ測定範囲は少流量
測定に適したオリフィス流量計においてすらフルスパン
ｇｏｐ−７ｈ程度であり、その測定精度はフルスパンに
対して士、２％程度である。
測定に適したオリフィス流量計においてすらフルスパン
ｇｏｐ−７ｈ程度であり、その測定精度はフルスパンに
対して士、２％程度である。
更に測定精度はベース圧力の高低に依存するのも従来法
の欠点である。
の欠点である。
従って化学工業の分野等における添加物あるいは反応調
節剤等の気体流量を精度よく微少流量において測定、制
御することは従来の流量計を用いては不可能であった。
節剤等の気体流量を精度よく微少流量において測定、制
御することは従来の流量計を用いては不可能であった。
本発明はこれら従来技術の欠点を解決し、微少流量にて
送出する気体の流量を精度よくかつ低圧から高圧までの
広範囲にわたって計測する極めて新規な気体微少流量計
測方法を提供するものである。
送出する気体の流量を精度よくかつ低圧から高圧までの
広範囲にわたって計測する極めて新規な気体微少流量計
測方法を提供するものである。
その特徴とするところは、送出すべき気体を間欠的に計
量タンク（３）に供給し、気体供給時の供給管（、！ａ
）の圧力と送出時の計量タンク（３）の圧力との差圧か
ら計量タンク（３）から排出する時の圧力降下量を求め
ることによってベース圧力の高低に関係なく微少な圧力
変化をとらえ、送出する気体の流量を計測することにあ
る。以下第１図に基づいて本願発明を実現するためのし
た送出流量に基づいて気体の送出量を一定に制御する手
段も含まれているだめ、合わせて説明する。
量タンク（３）に供給し、気体供給時の供給管（、！ａ
）の圧力と送出時の計量タンク（３）の圧力との差圧か
ら計量タンク（３）から排出する時の圧力降下量を求め
ることによってベース圧力の高低に関係なく微少な圧力
変化をとらえ、送出する気体の流量を計測することにあ
る。以下第１図に基づいて本願発明を実現するためのし
た送出流量に基づいて気体の送出量を一定に制御する手
段も含まれているだめ、合わせて説明する。
まず、演算装置（／θ）から供給弁（グ）、計量弁（Ａ
）に開の信号が供給され供給弁（グ）、計量弁（６）は
開になる。圧力調節弁（１）で圧力を調整された気体が
供給管（２ａ）を通って計量タンク（３）に供給される
。
）に開の信号が供給され供給弁（グ）、計量弁（６）は
開になる。圧力調節弁（１）で圧力を調整された気体が
供給管（２ａ）を通って計量タンク（３）に供給される
。
計量タンク（３）の供給完了は差圧測定計（７）によっ
て測定され、供給管（，２ａ）と計量タンク（３）の差
圧カ予め設定した下限値工、より低くなると演算装置（
／θ）から供給弁（４ｔ）、計量弁（乙）に閉信号が、
送出弁（ｊ）に開信号が供給される。送出弁（５）が開
になることによって計量タンク（３）内の気体が流量調
節弁（？）を通って反応器（／ｌｌ）に送り込まれる。
て測定され、供給管（，２ａ）と計量タンク（３）の差
圧カ予め設定した下限値工、より低くなると演算装置（
／θ）から供給弁（４ｔ）、計量弁（乙）に閉信号が、
送出弁（ｊ）に開信号が供給される。送出弁（５）が開
になることによって計量タンク（３）内の気体が流量調
節弁（？）を通って反応器（／ｌｌ）に送り込まれる。
送出弁（ｊ）に開信号を発してから設定時間（１）後に
送出弁（ｊ）に閉信号を、供給弁（ｌｌ）、計量弁（乙
）に開信号を供給し送出弁（５）が閉となり、供給弁（
り）、計量弁（乙）が開になる。
送出弁（ｊ）に閉信号を、供給弁（ｌｌ）、計量弁（乙
）に開信号を供給し送出弁（５）が閉となり、供給弁（
り）、計量弁（乙）が開になる。
演算装置（１０）では送出弁（５）が開の間の差圧側出
量に比例した値を計算し、流量比例信号として調節器（
／／）、記録計（／２）、積算計（／３）に信号を供給
する。
量に比例した値を計算し、流量比例信号として調節器（
／／）、記録計（／２）、積算計（／３）に信号を供給
する。
調節器（／／）に於ては操作者が予め気体送出量を設定
し、その設定流量に比例した信号と上記流量比例信号と
の偏差に応じた開度信号を流量調節弁（？）に供給する
。
し、その設定流量に比例した信号と上記流量比例信号と
の偏差に応じた開度信号を流量調節弁（？）に供給する
。
直前迄の時間は前回の流量比例信号の値を保持し、調節
器（／／）の開度信号も保持される。
器（／／）の開度信号も保持される。
又、演算装置（／θ）では気体の湯度変化による計測誤
差をなくす為、計量タンク（３）に測温体（ｇ）を取付
け、その信号を取り入れて自動温度補償を行うようにし
ている。また計量中の気体元圧変化が計測誤差とならな
いよう供給管（，２ａ）と差圧測定計（７）の間に計量
弁（６）をもうけ、供給弁（り）゛と同時に開閉動作を
させることによって、計量タンク（３）、供給完了時の
供給管（））の圧力を封（３） じ込め計測誤差を生じないようにしている。しかし、気
体供給源の圧力が一定不変と見なせる場合は、計量弁（
６）は省略することができる。
差をなくす為、計量タンク（３）に測温体（ｇ）を取付
け、その信号を取り入れて自動温度補償を行うようにし
ている。また計量中の気体元圧変化が計測誤差とならな
いよう供給管（，２ａ）と差圧測定計（７）の間に計量
弁（６）をもうけ、供給弁（り）゛と同時に開閉動作を
させることによって、計量タンク（３）、供給完了時の
供給管（））の圧力を封（３） じ込め計測誤差を生じないようにしている。しかし、気
体供給源の圧力が一定不変と見なせる場合は、計量弁（
６）は省略することができる。
このように第１図にて示した本発明の一実施手段に於て
は送り込まれる気体を一時的に計量タンク（３）に供給
し、計量タンク（３）内の圧力降下量に基づいて送出流
量を計測する。
は送り込まれる気体を一時的に計量タンク（３）に供給
し、計量タンク（３）内の圧力降下量に基づいて送出流
量を計測する。
このため気体の流量が予め予想される値となるよう流量
調節弁（？）の開度を設定し、微少気体流量を極めて良
い精度で計測し制御することができるようになる。
調節弁（？）の開度を設定し、微少気体流量を極めて良
い精度で計測し制御することができるようになる。
以上述べてきたように本発明は従来にない極めて新規な
気体用微少流量計測方法を提供するものであり、その工
業上の効果は非常に犬である０
気体用微少流量計測方法を提供するものであり、その工
業上の効果は非常に犬である０
／・・・・・圧力調節弁 、！ａ・・・・・供給管、
２ｂ・・・・・送出管 ３・φ・φΦ計量タンク
（グ ） グ・・・・・供給弁 Ｓ・・・・・送出弁６・・
・・・計量弁 ７・・・・・差圧測定計に・・・
・・測温体 タ・・・・・流量調節弁／θ・・・
・・演算装置 ／／・・・・・調節器７．２・・・
・・記録計 ７３・・・・・積算計７′グ・・・
・・反応器 第一図（ａ）、（ｂ）は第１図に示した本発明−実施手
段の動作説明に供する図である。 図（ａ）は供給管（，２ａ）と計量タンク（３）との差
圧変化と時間の関係を表わす図であり、図（１））は供
給弁（り）、計量弁（乙）及び送出弁＜Ｓ＞の時間の関
係を表わす図である。 第３図は反応器（／り）に送り込まれる気体の流量信号
を表わす図であり、破線は実際の流量を、実線は流量信
号を表わす０ 特許出願人 住友化学工業株式会社 代理人 弁理土木村勝哉
２ｂ・・・・・送出管 ３・φ・φΦ計量タンク
（グ ） グ・・・・・供給弁 Ｓ・・・・・送出弁６・・
・・・計量弁 ７・・・・・差圧測定計に・・・
・・測温体 タ・・・・・流量調節弁／θ・・・
・・演算装置 ／／・・・・・調節器７．２・・・
・・記録計 ７３・・・・・積算計７′グ・・・
・・反応器 第一図（ａ）、（ｂ）は第１図に示した本発明−実施手
段の動作説明に供する図である。 図（ａ）は供給管（，２ａ）と計量タンク（３）との差
圧変化と時間の関係を表わす図であり、図（１））は供
給弁（り）、計量弁（乙）及び送出弁＜Ｓ＞の時間の関
係を表わす図である。 第３図は反応器（／り）に送り込まれる気体の流量信号
を表わす図であり、破線は実際の流量を、実線は流量信
号を表わす０ 特許出願人 住友化学工業株式会社 代理人 弁理土木村勝哉
Claims (1)
- 送気管路中に設けられた計量タンクに間欠的に気体を供
給し、前記供給停止中に核タンクより気体を送出しつつ
、該タンクの圧力降下量から気体の送出量を計測するこ
とを特徴とする気体用微少流量計測方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4227982A JPS58158520A (ja) | 1982-03-16 | 1982-03-16 | 気体用微少流量計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4227982A JPS58158520A (ja) | 1982-03-16 | 1982-03-16 | 気体用微少流量計測方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58158520A true JPS58158520A (ja) | 1983-09-20 |
Family
ID=12631601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4227982A Pending JPS58158520A (ja) | 1982-03-16 | 1982-03-16 | 気体用微少流量計測方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58158520A (ja) |
-
1982
- 1982-03-16 JP JP4227982A patent/JPS58158520A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4285245A (en) | Method and apparatus for measuring and controlling volumetric flow rate of gases in a line | |
| JP4361620B2 (ja) | ガス容器の充填方法 | |
| EP0543273A2 (en) | Method and apparatus for measuring mass flow and energy content using a linear flow meter | |
| US20150066395A1 (en) | Upstream Volume Mass Flow Verification Systems and Methods | |
| CN100462887C (zh) | 半导体制造装置和半导体制造方法 | |
| JPS5944271A (ja) | 医療装置用ガス配量装置 | |
| US20170293309A1 (en) | Mass flow controller and a method for controlling a mass flow rate | |
| CN211098930U (zh) | 一种液体物料定量滴加装置 | |
| US3692048A (en) | Apparatus for controlling a mass flow rate of liquid in a chemical process | |
| JPH02190743A (ja) | ガス濃度測定装置 | |
| JPS58158520A (ja) | 気体用微少流量計測方法 | |
| SU885812A1 (ru) | Устройство дл автоматического дозировани газа в жидкость,например хлора в воду | |
| US2862387A (en) | Shunt line metering total flow | |
| JPS63236530A (ja) | 低圧又は真空系統に低蒸気圧の物質を注入するための装置 | |
| EP0069173B1 (en) | Method and apparatus for measuring and controlling volumetric flow rate of gases in a line | |
| JPS5836294B2 (ja) | 微小流量計測方法 | |
| JPH0132525B2 (ja) | ||
| US3247713A (en) | Fluid metering | |
| JPS6360844B2 (ja) | ||
| JPH0642938B2 (ja) | 気化ガスの流量制御装置 | |
| JPS6319805B2 (ja) | ||
| EP4257934A1 (en) | Method and device for determining a flow rate | |
| JPH087195B2 (ja) | ガスクロマトグラフ | |
| CA1148766A (en) | Method and apparatus for measuring and controlling volumetric flow rate of gases in a line | |
| JP3506040B2 (ja) | ガス保安装置 |